JPH0884994A - 酸化剤含有液の処理方法 - Google Patents

酸化剤含有液の処理方法

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JPH0884994A
JPH0884994A JP24854994A JP24854994A JPH0884994A JP H0884994 A JPH0884994 A JP H0884994A JP 24854994 A JP24854994 A JP 24854994A JP 24854994 A JP24854994 A JP 24854994A JP H0884994 A JPH0884994 A JP H0884994A
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JP
Japan
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oxidant
containing liquid
palladium
treating
molybdenum
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Application number
JP24854994A
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English (en)
Inventor
Matsunori Sawada
松範 沢田
Yoshiko Asada
佳子 麻田
Minoru Ogiso
稔 小木曽
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Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
Original Assignee
Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 安い処理費、簡単な操作で迅速に多量の酸化
剤を分解できる、酸化剤含有液の処理方法を提供する。 【構成】 ステンレス、チタン等の耐食性金属基体上に
白金−タングステン、白金−モリブデン、パラジウム−
タングステン、パラジウム−モリブデンの合金被覆を有
する触媒と酸化剤含有液を接触させ、酸化剤を分解す
る。上記合金被覆は電気めっきにより得られた共析被覆
であることが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、酸化剤含有液の処理方
法に係わるもので、特にか過酢酸や過酸化水素等の酸化
剤を含有した廃液の処理方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在半導体製造工場排水システムからは
過酢酸や過酸化水素を含む廃液が多量に排出されてお
り、またその他化学工場等からも諸々の酸化剤を含む廃
液が排出されており、その処理が重要問題とされてい
る。従来、これらの酸化剤の分解は、活性炭塔による分
解、亜硫酸ナトリウムの還元剤の添加による分解廃液中
の他の有機物との接触による分解が行われていた。
【0003】ところが上記のような方法をとっても、活
性炭塔による分解では活性炭層内に微生物が多数増殖
し、回収水の水質を悪化させたり、また亜硫酸ナトリウ
ム等の還元剤の添加による処理では還元剤のコストによ
る処理費の増加、還元剤添加量のコントロールが微妙で
あり、還元剤との反応により生じる塩の増加等問題が多
数生じていた。また有機物との反応では処理費の増加や
生成する塩の増加等の問題はないものの、反応速度がゆ
るやかであり、大量に処理しようとすると、分解が間に
合わず、酸化剤が残留したまま排水として放出されてし
まうといった問題が生じていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来行われ
ていた上記問題点を解決するためになされたもので、処
理費が易く、簡単な操作で迅速に多量の酸化剤を分解で
きる、酸化剤含有液の処理方法を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、耐食性金属
基体上に白金−タングステン、白金−モリブデン、パラ
ジウム−タングステン又はパラジウム−モリブデンの合
金被覆を有する触媒と酸化剤含有液を接触させ、酸化剤
を分解することにより達成される。なお、上記触媒と酸
化剤含有液の接触は、触媒収納容器へ酸化剤含有液を循
環供給することにより効率よく達成される。また、上記
合金被覆は電気めっきにより得られた合金被覆であるこ
とが好ましい。さらに、上記耐食性金属基体としてはス
テンレス、チタンなどが好ましいものである。
【0006】
【作用】本発明者らは以前白金−タングステン、白金−
モリブデン、パラジウム−タングステン、パラジウム−
モリブデン等のめっき析出被覆が触媒活性を有し、特に
ヒドラジン等の還元剤を分解するのに有効であることを
見いだした。(特開平6−379号公報、特開平6−3
1167号公報)ところがその後、上記めっきで得られ
た合金触媒は酸化剤を分解する還元触媒能力も有してい
ることがあきらかとなり、過酢酸等の酸化剤の処理が可
能となった。この方法によれば、酸化剤は無害な化合物
に分解されて(例えば過酢酸は水と酢酸)、さらに他の
薬品の投入の必要もなく、反応による副生成物の心配も
ない上、反応速度が速い為、大量処理が可能となる。
【0007】触媒と酸化剤含有液の接触は、液中へ触媒
を投入するだけでも可能であるが、触媒収納容器を設
け、そこへ酸化剤含有液を巡回供給することにより効率
良く酸化剤が分解できる。なお、上記触媒の基体として
用いられる耐食性金属基体としては、特に限定されるも
のでないが、入手の容易なステンレス、チタン等が用い
られる。
【0008】
【実施例1】直径 0.3mmのステンレス鋼線よりなる35メ
ッシュの網(50mm×50mm)を、電解脱脂剤(日本エレク
トロプレイティング・エンジニヤース社製:イートレッ
クス♯12)の5%水溶液中において60℃、電圧5V、で
60秒間電解脱脂をおこない、水洗ののち6規定塩酸水溶
液に30秒間浸漬、さらに水洗ののち、金ストライクメッ
キ浴(日本エレクトロプレイティング・エンジニヤース
社製:オーロボンドTCL)により50℃、電圧2Vで60
秒間金メッキを行った。その後、水洗し、5%硫酸水溶
液に30秒間浸漬、水洗の工程を経て以下に示すパラジウ
ム−モリブデン合金メッキ浴にて、下記条件でメッキを
行い、所望のパラジウム−モリブデン共析メッキ被覆3
gのついた触媒を得た。 (メッキ浴) 塩化パラジウム 1.5g モリブデン酸ナトリウム 60g リン酸緩衝液 少々 リン酸アンモニウム塩 少々
【0009】以上を 800mlの水に溶解した後、 0.5N水
酸化ナトリウム水溶液にてpHを調整し、最終的に水で
1000mlに希釈した。 (メッキ条件) 温度 60℃ 電流密度 0.3A/dm2 メッキ時間 6.5分間 得られたメッキ被覆は、モリブデン13.1重量%、パラジ
ウム86.9重量%の共析メッキ被覆であった。
【0010】得られたパラジウム−モリブデン合金被覆
の触媒を用いて過酢酸の分解を行った。10lの反応容器
に過酢酸 4,000ppm を含有した廃液を用意し、上記触媒
を収納した容器に循環供給した。(常温・常圧)1時間
循環を続けた後、廃液を採取し過酢酸の濃度を測定した
ところ、ほぼ6ppm であった。さらに循環を続け2時間
経過後再度廃液を採取し過酢酸の濃度を測定したとこ
ろ、ほぼ0ppm であった。
【0011】
【従来例1】実施例1で用いたのと同じ廃液10lを用意
し、亜硫酸ナトリウムを添加して分解を試みた。亜硫酸
ナトリウム10gを添加し、2時間撹拌したが、過酢酸は
1,000ppmにしか下がらず、さらに亜硫酸ナトリウムを10
g添加して6時間撹拌したところ、過酢酸の分解は完了
したが、亜硫酸ナトリウムの入れ過ぎのためCODが 1
2,000ppmとなり排水への放流が不可能となってしまっ
た。
【0012】
【発明の効果】以上の通り、本発明の酸化剤含有液の処
理方法によれば、安い処理費、簡単な操作で迅速に多量
の酸化剤を分解処理することができ廃水処理コストの低
減に大いに役立つものである。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 耐食性金属基体上に白金−タングステ
    ン、白金−モリブデン、パラジウム−タングステン又は
    パラジウム−モリブデンの合金被覆を有する触媒を触媒
    収納容器に入れ酸化剤含有液を触媒収納容器へ循環供給
    することにより酸化剤を分解する、酸化剤含有液の処理
    方法。
  2. 【請求項2】 上記合金被覆が電気めっきにより得られ
    た合金被覆である請求項1記載の酸化剤含有液の処理方
    法。
  3. 【請求項3】 上記触媒が、耐食性金属基体と白金−タ
    ングステン、白金−モリブデン、パラジウム−タングス
    テン又はパラジウム−モリブデンとの間に金めっきの中
    間層を有している。請求項2記載の酸化剤含有液の処理
    方法。
  4. 【請求項4】 上記耐食性の金属基体がステンレスであ
    る請求項1、2又は3記載の酸化剤含有液の処理方法。
  5. 【請求項5】 上記耐食性の金属基体がチタンである請
    求項1、2又は3記載の酸化剤含有液の処理方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014064971A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Japan Organo Co Ltd 過酢酸含有排水の処理装置および過酢酸含有排水の処理方法
CN104961273A (zh) * 2015-06-16 2015-10-07 广州超邦化工有限公司 一种碱性锌-镍合金电镀废水的处理方法
JP2016059901A (ja) * 2014-09-19 2016-04-25 カーリットホールディングス株式会社 触媒カートリッジ及びそれを備える過酸化物含有水溶液処理装置
JP2016107216A (ja) * 2014-12-08 2016-06-20 栗田工業株式会社 過酢酸含有排水の処理装置および処理方法
CN119100511A (zh) * 2024-11-07 2024-12-10 南通玉江环保科技有限公司 一种强化亚铁离子-过氧乙酸体系降解有机物污染物的方法

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