JPH088586A - 薄板基板の移送装置 - Google Patents
薄板基板の移送装置Info
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- JPH088586A JPH088586A JP6134289A JP13428994A JPH088586A JP H088586 A JPH088586 A JP H088586A JP 6134289 A JP6134289 A JP 6134289A JP 13428994 A JP13428994 A JP 13428994A JP H088586 A JPH088586 A JP H088586A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業テーブル１２の上面における薄板基板１
を、当該薄板基板１のうち割れたものを前記作業テーブ
ルから除去しながら、搬送台１５等に移送することを自
動的に行う。 【構成】 作業テーブル１２の左右両側に、受取り移送
体１３，１４を作業テーブルとその側方の搬送台１５等
との間を往復動するように配設し、一方の受取り移送体
に二つのフィンガー１３ａ，１３ｂを、他方の受取り移
送体に一つのフィンガー１４ａを設け、更に、前記両受
取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方
の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割
れ検出センサー１６，１７を設け、更に、前記作業テー
ブルの上方には、下面に多孔板１９を張設して成る真空
吸引ボックス１８を、前記作業テーブルとその側方との
間を往復動するように配設する。
を、当該薄板基板１のうち割れたものを前記作業テーブ
ルから除去しながら、搬送台１５等に移送することを自
動的に行う。 【構成】 作業テーブル１２の左右両側に、受取り移送
体１３，１４を作業テーブルとその側方の搬送台１５等
との間を往復動するように配設し、一方の受取り移送体
に二つのフィンガー１３ａ，１３ｂを、他方の受取り移
送体に一つのフィンガー１４ａを設け、更に、前記両受
取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方
の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割
れ検出センサー１６，１７を設け、更に、前記作業テー
ブルの上方には、下面に多孔板１９を張設して成る真空
吸引ボックス１８を、前記作業テーブルとその側方との
間を往復動するように配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック製の基板又
はガラスマスク等のような薄板基板を、当該薄板基板に
対する一つの作業テーブルから次の作業テーブル又は搬
送台等に移送する装置に関するものである。
はガラスマスク等のような薄板基板を、当該薄板基板に
対する一つの作業テーブルから次の作業テーブル又は搬
送台等に移送する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、セラミック製の基板等の薄板基
板は、これを作業テーブルの上面に載せた状態で、当該
薄板基板の表面に対して回路パターン等のマスク印刷等
を行ったのち、前記作業テーブルから、次の作業テーブ
ル又は搬送台等に移替え移送される。
板は、これを作業テーブルの上面に載せた状態で、当該
薄板基板の表面に対して回路パターン等のマスク印刷等
を行ったのち、前記作業テーブルから、次の作業テーブ
ル又は搬送台等に移替え移送される。
【０００３】この場合における従来の移送装置は、図５
〜図７に示すように、薄板基板１を、上下動する作業テ
ーブル２の上面に載せ、この状態で、当該薄板基板１の
表面に対して回路パターンのマスク印刷等を行う一方、
前記作業テーブル２における左右両側のうち一方側に
は、一対の真空吸着式フィンガー３ａを備えた受取り移
送体３を、他方側には、同じく一対の真空吸着式フィン
ガー４ａを備えた受取り移送体４を各々配設し、前記作
業テーブル２を、その上面における薄板基板１に対する
マスク印刷等が完了したのち、図７及び図８に示すよう
に、両受取り移送体３，４よりも低い部位まで下降動す
ることにより、当該作業テーブル２の上面における薄板
基板１を、作業テーブル２から前記両受取り移送体３，
４の上面に移し替え、次いで、前記両受取り移送体３，
４が、前記作業テーブル２の側方の部位に配設した搬送
台５の上部まで水平移動したのち、当該両受取り移送体
３，４を下降動するか、或いは、搬送台５を上昇動する
ことにより、前記両受取り移送体３，４の上面における
薄板基板１を、両受取り移送体３，４から搬送台５に移
し替えるように構成している。
〜図７に示すように、薄板基板１を、上下動する作業テ
ーブル２の上面に載せ、この状態で、当該薄板基板１の
表面に対して回路パターンのマスク印刷等を行う一方、
前記作業テーブル２における左右両側のうち一方側に
は、一対の真空吸着式フィンガー３ａを備えた受取り移
送体３を、他方側には、同じく一対の真空吸着式フィン
ガー４ａを備えた受取り移送体４を各々配設し、前記作
業テーブル２を、その上面における薄板基板１に対する
マスク印刷等が完了したのち、図７及び図８に示すよう
に、両受取り移送体３，４よりも低い部位まで下降動す
ることにより、当該作業テーブル２の上面における薄板
基板１を、作業テーブル２から前記両受取り移送体３，
４の上面に移し替え、次いで、前記両受取り移送体３，
４が、前記作業テーブル２の側方の部位に配設した搬送
台５の上部まで水平移動したのち、当該両受取り移送体
３，４を下降動するか、或いは、搬送台５を上昇動する
ことにより、前記両受取り移送体３，４の上面における
薄板基板１を、両受取り移送体３，４から搬送台５に移
し替えるように構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記作業テー
ブル２の上面において薄板基板１に対するマスク印刷等
を行うに際して、当該薄板基板１に割れが発生すること
があり、このように薄板基板１が割れた場合、前記作業
テーブル２を下降動しても、割れた薄板基板１は、図８
に二点鎖線で示すように、両受取り移送体３，４のうち
いずれか一方又は両方と作業テーブル２とに跨がって載
ったままの状態になることにより、両受取り移送体３，
４の上面側に移し替えることができないから、割れた薄
板基板を作業テーブル２の上面から除去することができ
ない事態を招来する。
ブル２の上面において薄板基板１に対するマスク印刷等
を行うに際して、当該薄板基板１に割れが発生すること
があり、このように薄板基板１が割れた場合、前記作業
テーブル２を下降動しても、割れた薄板基板１は、図８
に二点鎖線で示すように、両受取り移送体３，４のうち
いずれか一方又は両方と作業テーブル２とに跨がって載
ったままの状態になることにより、両受取り移送体３，
４の上面側に移し替えることができないから、割れた薄
板基板を作業テーブル２の上面から除去することができ
ない事態を招来する。
【０００５】そこで、前記従来の移送装置では、前記の
ように、薄板基板１が作業テーブル２の上面において割
れた場合には、前記両受取り移送体３，４の移動を停止
して、割れた薄板基板の全てを、作業テーブル２の上面
から作業者の手で取り除くようにしなければならないと
言う問題があった。本発明は、作業テーブルの上面にお
ける薄板基板が割れた場合、その割れが多方向であって
も確実に検出して、この割れた薄板基板の全てを、前記
作業テーブルの上面から自動的に取り除くことができる
ようにした装置を提供することを技術的課題とするもの
である。
ように、薄板基板１が作業テーブル２の上面において割
れた場合には、前記両受取り移送体３，４の移動を停止
して、割れた薄板基板の全てを、作業テーブル２の上面
から作業者の手で取り除くようにしなければならないと
言う問題があった。本発明は、作業テーブルの上面にお
ける薄板基板が割れた場合、その割れが多方向であって
も確実に検出して、この割れた薄板基板の全てを、前記
作業テーブルの上面から自動的に取り除くことができる
ようにした装置を提供することを技術的課題とするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「上面に薄板基板を載せた状態で上下
動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当
該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方におけ
る搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送
装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方
の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二
つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基
板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両
受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他
方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の
割れ検出センサーを設ける一方、前記作業テーブルの上
方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックス
を、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側
方との間を往復動するように配設する。」と言う構成に
した。
るため本発明は、「上面に薄板基板を載せた状態で上下
動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当
該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方におけ
る搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送
装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方
の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二
つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基
板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両
受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他
方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の
割れ検出センサーを設ける一方、前記作業テーブルの上
方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックス
を、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側
方との間を往復動するように配設する。」と言う構成に
した。
【０００７】
【作 用】この構成において、作業テーブルの上面に
載せた薄板基板に対するマスク印刷等の作業が完了する
と、前記作業テーブルが、その両側に配設した両受取り
移送体の上面よりも低い部位まで下降動することによ
り、その上面における薄板基板を、前記両受取り移送体
における各フィンガーの上面に載るように移し替える。
すると、前記両受取り移送体が、搬送台の方向に移動し
たのち下降動することにより、その上面における薄板基
板を、当該両受取り移送体の上面から搬送台の上面に移
し替えるのである。
載せた薄板基板に対するマスク印刷等の作業が完了する
と、前記作業テーブルが、その両側に配設した両受取り
移送体の上面よりも低い部位まで下降動することによ
り、その上面における薄板基板を、前記両受取り移送体
における各フィンガーの上面に載るように移し替える。
すると、前記両受取り移送体が、搬送台の方向に移動し
たのち下降動することにより、その上面における薄板基
板を、当該両受取り移送体の上面から搬送台の上面に移
し替えるのである。
【０００８】そして、前記薄板基板が、前記作業テーブ
ルの上面でのマスク印刷等の作業において割れた場合、
前記作業テーブルを両受取り移送体の上面よりも低い部
位まで下降動したとき、割れた薄板基板が、両受取り移
送体のうちいずれか一方又は両方と作業テーブルとに跨
がるように載った状態になって、両受取り移送体の間に
設けられている光式割れ検出センサーにおける光を遮る
ことになるから、これによって、薄板基板が割れている
ことが検出できる。
ルの上面でのマスク印刷等の作業において割れた場合、
前記作業テーブルを両受取り移送体の上面よりも低い部
位まで下降動したとき、割れた薄板基板が、両受取り移
送体のうちいずれか一方又は両方と作業テーブルとに跨
がるように載った状態になって、両受取り移送体の間に
設けられている光式割れ検出センサーにおける光を遮る
ことになるから、これによって、薄板基板が割れている
ことが検出できる。
【０００９】すると、この割れ検出に基づいて、前記作
業テーブルが、両受取り移送体の上面よりも高い部位ま
で上降動することに次いで、真空吸引ボックスが、前記
作業テーブルの上部まで移動して、この状態で真空吸引
することにより、割れた薄板基板の全てを、当該真空吸
引ボックスの下面における多孔板に密着・吸引したの
ち、作業テーブルの上方が側方の移動するから、前記作
業テーブルの上面における割れた薄板基板の全てを、作
業テーブルの上面から取り除くことができるのである。
業テーブルが、両受取り移送体の上面よりも高い部位ま
で上降動することに次いで、真空吸引ボックスが、前記
作業テーブルの上部まで移動して、この状態で真空吸引
することにより、割れた薄板基板の全てを、当該真空吸
引ボックスの下面における多孔板に密着・吸引したの
ち、作業テーブルの上方が側方の移動するから、前記作
業テーブルの上面における割れた薄板基板の全てを、作
業テーブルの上面から取り除くことができるのである。
【００１０】
【発明の効果】従って、本発明によると、作業テーブル
の上面における薄板基板を、当該薄板基板のうち割れた
ものの全てを作業テーブルの上面から除去しながら、搬
送台等に移送することを、自動的に行うことができるか
ら、その作業能率を大幅に向上できる効果を有する。
の上面における薄板基板を、当該薄板基板のうち割れた
ものの全てを作業テーブルの上面から除去しながら、搬
送台等に移送することを、自動的に行うことができるか
ら、その作業能率を大幅に向上できる効果を有する。
【００１１】しかも、本発明は、作業テーブルの左右両
側に配設した両受取り移送体のうち一方の受取り移送体
に、薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、
他方の受取り移送体に、薄板基板に対する一つのフィン
ガーを各々設けて、薄板基板を、前記三つのフィンガー
にて３点支持に構成したことにより、従来のように、両
受取り移送体の各々にフィンガー２個ずつ設けて薄板基
板を４点支持に構成した場合よりも、多方向の割れを検
出することができるから、薄板基板の割れを検出するこ
との精度が高くて、搬送台等に割れた薄板基板が送り出
されることを確実に低減できる効果をも有する。
側に配設した両受取り移送体のうち一方の受取り移送体
に、薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、
他方の受取り移送体に、薄板基板に対する一つのフィン
ガーを各々設けて、薄板基板を、前記三つのフィンガー
にて３点支持に構成したことにより、従来のように、両
受取り移送体の各々にフィンガー２個ずつ設けて薄板基
板を４点支持に構成した場合よりも、多方向の割れを検
出することができるから、薄板基板の割れを検出するこ
との精度が高くて、搬送台等に割れた薄板基板が送り出
されることを確実に低減できる効果をも有する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図１〜図４の図面
について説明する。この図において符号１２は、上下動
機構１２ａにて上下動するように構成した作業テーブル
を示し、この作業テーブル１２は、上昇動した状態で、
その上面における薄板基板１に対してマスク印刷等の作
業を行うと、下降動するように構成されている。
について説明する。この図において符号１２は、上下動
機構１２ａにて上下動するように構成した作業テーブル
を示し、この作業テーブル１２は、上昇動した状態で、
その上面における薄板基板１に対してマスク印刷等の作
業を行うと、下降動するように構成されている。
【００１３】符号１３，１４は、前記作業テーブル１２
の左右両側に配設した受取り移送体を示し、この両受取
り移送体１３，１４は、図示しない機構により、前記作
業テーブル１２とその側方の部位に配設した搬送台１５
との間を水平方向に往復動すると共に、搬送台１５の箇
所において、搬送台１５に向かって下降動するように構
成されている。
の左右両側に配設した受取り移送体を示し、この両受取
り移送体１３，１４は、図示しない機構により、前記作
業テーブル１２とその側方の部位に配設した搬送台１５
との間を水平方向に往復動すると共に、搬送台１５の箇
所において、搬送台１５に向かって下降動するように構
成されている。
【００１４】そして、前記両受取り移送体１３，１４の
うち一方の受取り移送体１３には、その内側面に、前記
作業テーブル１２に設けた二つの切欠部１２ｂ，１２ｃ
内を上下方向に通過するようにした二つの真空吸着式の
フィンガー１３ａ，１３ｂが設けられる一方、他方の受
取り移送体１４には、その内側面に、前記作業テーブル
１２に設けた一つの切欠部１２ｄ内を上下方向に通過す
るようにした一つの真空吸着式のフィンガー１４ａが設
けられている。
うち一方の受取り移送体１３には、その内側面に、前記
作業テーブル１２に設けた二つの切欠部１２ｂ，１２ｃ
内を上下方向に通過するようにした二つの真空吸着式の
フィンガー１３ａ，１３ｂが設けられる一方、他方の受
取り移送体１４には、その内側面に、前記作業テーブル
１２に設けた一つの切欠部１２ｄ内を上下方向に通過す
るようにした一つの真空吸着式のフィンガー１４ａが設
けられている。
【００１５】更に、前記他方の受取り移送体１４には、
光を前記作業テーブルの上面と略平行に一方の両受取り
移送体１３に向かって発射するようにした発光素子１６
を、一方の受取り移送体１３には、前記発光素子１６か
らの光に対する受光素子１７を各々設ける。また、符号
１８は、下面に金網１９等の多孔板を張設した真空吸引
ボックスを示し、この真空吸引ボックス１８は、前記作
業テーブル１２と、その側方に配設した回収ボックス２
０との間に往復動するように構成され、且つ、この真空
吸引ボックス１８には、図示しない真空ブロワーへの真
空吸引ダクト２１が接続されている。
光を前記作業テーブルの上面と略平行に一方の両受取り
移送体１３に向かって発射するようにした発光素子１６
を、一方の受取り移送体１３には、前記発光素子１６か
らの光に対する受光素子１７を各々設ける。また、符号
１８は、下面に金網１９等の多孔板を張設した真空吸引
ボックスを示し、この真空吸引ボックス１８は、前記作
業テーブル１２と、その側方に配設した回収ボックス２
０との間に往復動するように構成され、且つ、この真空
吸引ボックス１８には、図示しない真空ブロワーへの真
空吸引ダクト２１が接続されている。
【００１６】この構成において、作業テーブル１２の上
面に載せた薄板基板１に対するマスク印刷等の作業が完
了すると、前記作業テーブル１２が、その両側に配設し
た両受取り移送体１３，１４の上面よりも低い部位まで
下降動することにより、その上面における薄板基板１
を、前記両受取り移送体１３，１４における各フィンガ
ー１３ａ，１３ｂ，１４ａの上面に載るように移し替え
る。すると、前記両受取り移送体１３，１４が、搬送台
１５の方向に移動したのち下降動することにより、その
上面における薄板基板１を、当該両受取り移送体１３，
１４の上面から搬送台１５の上面に移し替えるのであ
る。
面に載せた薄板基板１に対するマスク印刷等の作業が完
了すると、前記作業テーブル１２が、その両側に配設し
た両受取り移送体１３，１４の上面よりも低い部位まで
下降動することにより、その上面における薄板基板１
を、前記両受取り移送体１３，１４における各フィンガ
ー１３ａ，１３ｂ，１４ａの上面に載るように移し替え
る。すると、前記両受取り移送体１３，１４が、搬送台
１５の方向に移動したのち下降動することにより、その
上面における薄板基板１を、当該両受取り移送体１３，
１４の上面から搬送台１５の上面に移し替えるのであ
る。
【００１７】そして、前記薄板基板１が、前記作業テー
ブル１２の上面でのマスク印刷等の作業において割れた
場合、前記作業テーブル１２を両受取り移送体１３，１
４の上面よりも低い部位まで下降動したとき、割れた薄
板基板１が、図４に二点鎖線で示すように、両受取り移
送体１３，１４のうちいずれか一方又は両方と作業テー
ブル１２とに跨がるように載った状態になって、両受取
り移送体１３，１４に設けられている発光素子１６から
受光素子１７への光が遮断されるから、これによって、
薄板基板１が割れていることが検出できる。
ブル１２の上面でのマスク印刷等の作業において割れた
場合、前記作業テーブル１２を両受取り移送体１３，１
４の上面よりも低い部位まで下降動したとき、割れた薄
板基板１が、図４に二点鎖線で示すように、両受取り移
送体１３，１４のうちいずれか一方又は両方と作業テー
ブル１２とに跨がるように載った状態になって、両受取
り移送体１３，１４に設けられている発光素子１６から
受光素子１７への光が遮断されるから、これによって、
薄板基板１が割れていることが検出できる。
【００１８】すると、この割れ検出に基づいて、前記作
業テーブル１２が、両受取り移送体１３，１４の上面よ
りも高い部位まで上降動し、真空吸引ボックス１８が、
前記作業テーブル１２の上部まで移動して、この状態で
真空吸引することにより、割れた薄板基板１の全てを、
当該真空吸引ボックス１８の下面における金網１９等の
多孔板に密着するように吸引し、次いで、前記真空吸引
ボックス１８が、作業テーブル１２の上方からその側方
に配設した回収ボックス２０の上方まで移動したのち、
真空吸引を解除することにより、前記作業テーブル１２
の上面において割れた薄板基板１の全てを、作業テーブ
ル１２の上面から回収ボックス２０に入れるように取り
除くことができるのである。
業テーブル１２が、両受取り移送体１３，１４の上面よ
りも高い部位まで上降動し、真空吸引ボックス１８が、
前記作業テーブル１２の上部まで移動して、この状態で
真空吸引することにより、割れた薄板基板１の全てを、
当該真空吸引ボックス１８の下面における金網１９等の
多孔板に密着するように吸引し、次いで、前記真空吸引
ボックス１８が、作業テーブル１２の上方からその側方
に配設した回収ボックス２０の上方まで移動したのち、
真空吸引を解除することにより、前記作業テーブル１２
の上面において割れた薄板基板１の全てを、作業テーブ
ル１２の上面から回収ボックス２０に入れるように取り
除くことができるのである。
【００１９】なお、本発明によって取り扱う薄板基板
は、セラミック製の薄板基板に限らず、ガラス製の薄板
基板であっても良く、また、本発明は、前記実施例のよ
うに、薄板基板１を、作業テーブル１２から搬送台１５
に移送する場合に限らず、薄板基板１を、作業テーブル
１２から次の工程における作業テーブルに移送する場合
にも適用できることは言うまでもない。
は、セラミック製の薄板基板に限らず、ガラス製の薄板
基板であっても良く、また、本発明は、前記実施例のよ
うに、薄板基板１を、作業テーブル１２から搬送台１５
に移送する場合に限らず、薄板基板１を、作業テーブル
１２から次の工程における作業テーブルに移送する場合
にも適用できることは言うまでもない。
【図１】本発明における実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１及び図２のIII −III 視断面図である。
【図４】本発明における実施例の作用状態を示す図であ
る。
る。
【図５】従来の装置を示す斜視図である。
【図６】図５のVI−VI視断面図である。
【図７】従来の装置における作用状態を示す図である。
【図８】図７のVIII−VIII視断面図である。
１ 薄板基板 １２ 作業テーブル １３ 一方の受取り移送体 １３ａ，１３ｂ 一方の受取り移送体における
フィンガー １４ 他方の受取り移送体 １４ａ 他方の受取り移送体における
フインガー １５ 搬送台 １６ 発光素子 １７ 受光素子 １８ 真空吸引ボックス １９ 金網 ２０ 回収ボックス ２１ 真空吸引ダクト
フィンガー １４ 他方の受取り移送体 １４ａ 他方の受取り移送体における
フインガー １５ 搬送台 １６ 発光素子 １７ 受光素子 １８ 真空吸引ボックス １９ 金網 ２０ 回収ボックス ２１ 真空吸引ダクト
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】上面に薄板基板を載せた状態で上下動する
作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当該両受
取り移送体が前記作業テーブルとその側方における搬送
台等との間を往復動するように配設して成る移送装置に
おいて、前記両受取り移送体のうちいずれか一方の受取
り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二つのフ
ィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基板に対
する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両受取り
移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方の受
取り移送体に向かって発射するようにした光式の割れ検
出センサーを設ける一方、前記作業テーブルの上方に
は、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックスを、
当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側方と
の間を往復動するように配設したことを特徴とする薄板
基板の移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13428994A JP3666512B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 薄板基板の移送装置 |
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| KR100731042B1 (ko) * | 2002-11-18 | 2007-06-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 및 액정표시소자 제조 공정용 장치 및 이를 이용한 기판 로딩 방법 |
| CN102810497A (zh) * | 2011-05-24 | 2012-12-05 | 奥博泰克Lt太阳能公司 | 断裂晶片回收系统 |
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1994
- 1994-06-16 JP JP13428994A patent/JP3666512B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
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|---|---|---|---|---|
| AT411197B (de) * | 2001-02-16 | 2003-10-27 | Datacon Semiconductor Equip | Verfahren zum montieren, haltern oder abmontieren eines wafers sowie einrichtung zur durchführung des verfahrens |
| KR100731042B1 (ko) * | 2002-11-18 | 2007-06-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 및 액정표시소자 제조 공정용 장치 및 이를 이용한 기판 로딩 방법 |
| US9287152B2 (en) | 2009-12-10 | 2016-03-15 | Orbotech LT Solar, LLC. | Auto-sequencing multi-directional inline processing method |
| CN102810497A (zh) * | 2011-05-24 | 2012-12-05 | 奥博泰克Lt太阳能公司 | 断裂晶片回收系统 |
| JP2012248837A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-13 | Orbotech Lt Solar Llc | 壊れたウェーハ回収システム |
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