JPH0890272A - レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ガイド光の損失を少なくして光ファイバ入射調
整を容易に行えるようにし、かつ装置の小型化を実現す
る。 ［構成］アライメントレーザ１６より出射されたガイド
光ＬＢはミラー２２を介してミラー２４に表側から入射
し、ミラー２４の外側反射面２４ａおよび内側反射面２
４ｂより入射ユニット１４に向かって互いに平行な２本
の分割ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 が出る。これらの分割ガ
イド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 は、ミラー２０に裏側から入射し
てそこを真っすぐに透過し、入射ユニット３０の光入射
口１４ａに入り集光レンズ３０を通って光ファイバ１２
の一端面１２ａに入射し、それぞれポットを形成する。
光ファイバ１２の一端面１２ａに映るガイド光スポット
は、ミラー２０，１８を介して光ファイバスコープ２６
によって観察される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器からのレ
ーザ光を光ファイバの一端面に入射させるようにしたレ
ーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＹＡＧレーザ等の加工用のレーザ装置で
は、装置本体から離れた場所でレーザ加工を行うため
に、装置本体内の入射ユニットと遠隔（加工場所）の出
射ユニットとを光ファイバで結び、装置本体内で発生し
たレーザ光を入射ユニットから光ファイバを通して出射
ユニットへ伝送し、出射ユニット側でレーザ光を被加工
物に向けて照射するようにしている。この場合、装置本
体側の入射ユニットにおいては、レーザ光が光ファイバ
の一端面に正しく（つまり端面中心部に集光して）入射
しなくてはいけない。光ファイバに対するレーザ光の入
射が正確に行われないと、レーザ出力が大きく損失した
り、光ファイバの端面が焼損したりする。そこで、装置
の組立時またはセッティング時に、入射ユニットにおい
て集光レンズの位置を光軸方向（Ｚ方向）に調整（焦点
合わせ）するとともに、光ファイバの取付位置を光軸方
向と垂直な方向（ＸＹ方向）で調整（光軸合わせ）する
ようにしている。

【０００３】この種のレーザ装置では、主たるレーザ光
が一般に不可視光（たとえばＹＡＧレーザ光は赤外線）
であることから、上記のような光ファイバ入射調整（焦
点合わせおよび光軸合わせ調整）を行うためのガイド光
として直進性の強い可視光たとえば赤色レーザ光を連続
発振（ＣＷ）モードで出力するレーザいわゆるアライメ
ントレーザを設けている。

【０００４】従来は、レーザ加工用のレーザ光を発生す
る加工用レーザ発振器に対してアライメントレーザを光
学的に後方位置に配置し、アライメントレーザより出射
された可視性のガイド光を加工用レーザ発振器に裏側か
ら入れて加工用レーザ光と同じ光路に乗せ、ミラー等で
入射ユニットに導き、集光レンズを通して光ファイバの
一端面に入射させていた。そして、光ファイバ入射調整
時には、作業者が光ファイバスコープで光ファイバの一
端面を観察しながら、ガイド光のスポットが光ファイバ
端面の中心部に結像するように、入射ユニット内の集光
レンズの位置および光ファイバの取付位置を調整するよ
うにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のレーザ装置では、アライメントレーザより出射された
ガイド光は加工用レーザ発振器を通り抜けてから光ファ
イバの端面に入射するようになっている。加工用レーザ
発振器内の光共振器（全反射ミラーおよび出力ミラー）
には加工用レーザ光の波長に対する反射コーティングが
施されているが可視光の波長に対する反射コーティング
は施されていないので、ガイド光は光共振器を透過する
ことができる。しかし、それでもガイド光は光共振器を
通り抜ける際にある程度の損失を免れず、またレーザ媒
体を通り抜ける際にも相当の損失（減衰）を受ける。こ
のため、入射ユニットに入射するガイド光の光強度が低
くなり、結果として光ファイバの端面に映るガイド光の
スポットがはっきりせず、スポットの有無ないし位置が
分かりにくいという不具合がある。

【０００６】さらに、従来のレーザ装置では、装置内で
最大のスペースを占める加工用レーザ発振器の後方にア
ライメントレーザまたはミラーを配置する構成であるた
め、装置寸法が長手方向で大きくなり、小型化が難しい
という問題もある。

【０００７】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、ガイド光の損失を少なくして光ファイバ入射調
整を容易に行えるようにし、かつ装置の小型化を実現す
るレーザ装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の第１のレーザ装置は、ユニット本体の一
端側で光ファイバの一端部を保持し、前記ユニット本体
の他端側の光入射口から入ってきたレーザ光を光学レン
ズにより集光して前記光ファイバの一端面に入射せしめ
る入射ユニットと、主レーザ光を発生する主レーザ光発
生手段と、可視性のガイド光を発生するガイド光発生手
段と、互いに平行な第１および第２の反射面を有し、前
記ガイド光発生手段からの前記ガイド光を前記第１の反
射面に入射せしめ、前記第１の反射面で前記ガイド光の
一部を所定方向に反射させて残りを透過させ、前記第１
の反射面からの透過光を前記第２の反射面で前記所定方
向に反射させる分割反射型の第１のミラーと、前記第１
のミラーおよび前記主レーザ光発生手段と前記入射ユニ
ットとの間に配置され、前記第１のミラーからの２つの
分割ガイド光を裏側面に入射せしめて前記入射ユニット
の光入射口側へ透過させるとともに、前記主レーザ光発
生手段からの前記主レーザ光を表側面に入射せしめて前
記第１のミラーからの２つの反射光のいずれか一方と同
軸で前記入射ユニットの光入射口側へ反射させる第２の
ミラーとを具備する構成とした。

【０００９】また、本発明の第２のレーザ装置は、上記
第１のレーザ装置において、前記主レーザ光発生手段と
前記第２のミラーとの間に配置され、前記主レーザ光発
生手段からの前記主レーザ光を表側面に入射せしめて前
記第２のミラー側へ反射させるとともに、前記光ファイ
バの一端面より前記光学レンズおよび前記第２のミラー
を介して前記表側面に入射してきた可視光を前記光ファ
イバの一端面を視覚的に観察するためのスコープ側へ透
過させる第３のミラーを具備する構成とした。

【００１０】

【作用】本発明のレーザ装置では、ガイド光発生手段か
らのガイド光が第１のミラーに入射することで、第１の
ミラーの外側反射面および内側反射面より互いに平行な
２つの分割ガイド光が所定方向に出る。これら２つの分
割ガイド光は、第２のミラーを透過して入射ユニットに
入り、ユニット内で光学レンズを通って光ファイバの端
面に入射する。これにより、光ファイバの端面には両分
割ガイド光のスポットが映る。これらのガイド光スポッ
トは、光ファイバの端面が光学レンズの焦点からずれて
いるときは離れた位置に映り、光ファイバの端面が光学
レンズの焦点に位置しているときは重なり合う。また、
光ファイバ端面の位置が光学レンズの焦点に近いか遠い
かに応じてガイド光スポットのスポット径が変化する。
作業員は、スコープで光ファイバの端面を観察しなが
ら、光ファイバ端面の中心部で２つのガイド光スポット
がほぼフォーカス状態で重なり合うように、光学レンズ
の位置および光ファイバ端面の取付位置を調整すればよ
い。

【００１１】

【実施例】以下、添付図を参照して本発明の実施例を説
明する。

【００１２】図１は、本発明の一実施例によるレーザ装
置の要部の構成を模式的に示す。

【００１３】このレーザ装置は、加工用のＹＡＧレーザ
光ＬＡを発生するＹＡＧレーザ発振器１０と、ＹＡＧレ
ーザ光ＬＡを光ファイバ１２の一端面１２ａに入射させ
るための入射ユニット１４と、可視性のガイド光ＬＢを
発生するアライメントレーザ１６と、ＹＡＧレーザ発振
器１０からのＹＡＧレーザ光ＬＡまたはアライメントレ
ーザ１６からのガイド光ＬＢを入射ユニット１４へ導く
ための複数のミラー１８〜２４と、光ファイバ１２の一
端面（レーザ入射面）１２ａを視覚的に観察するための
光ファイバスコープ２６とを有している。

【００１４】ＹＡＧレーザ発振器１０の内部には、ＹＡ
Ｇロッド（レーザ媒体）と励起ランプが所定の位置関係
で平行に配設され、ＹＡＧロッドの光軸上の両側に光共
振器を構成する全反射ミラーおよび出力ミラーが配置さ
れている。発振器１０内で励起ランプが点灯すると、そ
の光エネルギを受けてＹＡＧロッドがレーザ発振し、そ
の両端面より光が放出され、その放出された光のうち共
振周波数の光が全反射ミラーと出力ミラーとの間で増幅
され、その一部が出力ミラーよりレーザ加工用のレーザ
光ＬＡとして出力される。

【００１５】アライメントレーザ１６は、たとえばＨｅ
−Ｎｅレーザ、半導体レーザまたは発光ダイオードから
なり、たとえば赤色の光をガイド光ＬＢとして発生す
る。

【００１６】入射ユニット１４は、ユニット本体の一端
側で光ファイバ１２の一端部を着脱可能に取り付けて保
持するファイバ取付部２８と、ファイバ取付部２８に保
持された光ファイバ１２の一端面と対向する位置で光軸
方向に移動可能に配置された集光レンズ３０とを備えて
おり、ユニット本体の他端側の光入射口１４ａから入っ
てきた光を集光レンズ３０により集光して光ファイバ１
２の一端面（レーザ入射面）１２ａに入射させる構造と
なっている。入射ユニット１４の具体的構成については
図２および図３につき後述する。

【００１７】光ファイバスコープ２６は、近距離型スコ
ープまたは光学ファインダであり、内部の移動レンズ３
２，３４を光軸方向で移動させることにより、光入射口
２６ａに入ってきた光を当該スコープのアイピースに接
眼している人間の目３６に集光して結像させるようにな
っている。本レーザ装置における光ファイバスコープ２
６は、後述するミラー１８，２０および集光レンズ３０
を通して光ファイバ１２の一端面（レーザ入射面）１２
ａを観察できるように配置されている。

【００１８】ミラー１８〜２４はそれぞれ図示のような
位置および角度で配置されている。すなわち、ミラー２
０は、その表側の反射面２０ａを入射ユニット１４の光
入射口１４ａに４５゜傾けて対向させ、集光レンズ３０
の光軸上に配置される。ミラー１８は、その表側の反射
面１８ａをＹＡＧレーザ発振器１０の出射口に４５゜傾
けて対向させ、ＹＡＧレーザ発振器１０からのＹＡＧレ
ーザ光ＬＡをミラー２０に向けて反射させる位置に配置
される。ミラー２４は、その表側の反射面２４ａを入射
ユニット１４の光入射口１４ａに４５゜傾けて対向さ
せ、入射ユニット１４から見てミラー２０の後方で集光
レンズ３０の光軸上に配置される。ミラー２２は、その
表側の反射面２２ａをアライメントレーザ１６の出射口
に４５゜傾けて対向させ、アライメントレーザ１６から
のＹＡＧレーザ光ＬＢをミラー２４に向けて反射させる
位置に配置される。

【００１９】ミラー２０は、表側の反射面２０ａに任意
の光（レーザ光または可視光のいずれでも）が入射した
ときはその入射角に対応した反射角で反射させ、その裏
面２０ｂに入射した可視光を真っすぐ透過させるように
構成されている。ミラー１８は、表側の反射面１８ａに
ＹＡＧレーザ光が入射したときはそのＹＡＧレーザ光を
入射角に対応した反射角で反射させるが、可視光が入射
したときはその可視光を真っすぐ透過させるように構成
されている。ミラー２２は、その表側の反射面２２ａに
可視光が入射したときはその可視光を入射角に対応した
反射角で反射させるように構成されている。

【００２０】ミラー２４は、互いに平行な表側の外側反
射面２４ａ（第１の反射面）および裏側の内側反射面２
４ｂ（第２の反射面）をそれぞれ部分反射面および全反
射面とし、表側から可視光が入射したときはその可視光
の一部を外側反射面２４ａにて入射角に対応した反射角
で反射させるとともに、その残り（外側反射面２４ａを
透過した可視光）の全部を内側反射面２４ｂにて入射角
に対応した反射角で反射させるように構成されている。
外側反射面２４ａの反射率・透過率は適当でよく、たと
えば反射率５０％、透過率５０％に選ばれてよい。この
ように、ミラー２４は、１本の可視光線が表側から入射
すると、外側反射面２４ａと内側反射面２４ｂから２本
の平行な分割可視光を出すような分割反射型に構成され
ている。

【００２１】上記のように構成された本実施例のレーザ
装置において、光ファイバ入射調整を行うときは、ＹＡ
Ｇレーザ発振器のレーザ発振動作を止めて、アライメン
トレーザ１６だけを発光させる。アライメントレーザ１
６より出射されたガイド光ＬＢは、直進してミラー２２
の表側反射面２２ａに入射し、そこで反射して光路を直
角に曲げ、ミラー２４に表側から入射する。

【００２２】このミラー２４において、ガイド光ＬＢの
一部は外側反射面２４ａで反射して光路を直角に曲げる
とともに、その残り（外側反射面２４ａを透過した可視
光）の全部は内側反射面２４ｂで反射して光路を直角に
曲げる。この結果、ミラー２４から入射ユニット１４に
向かって互いに平行な２本の分割ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ
2 が出る。これらの分割ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 のう
ち、内側反射面２４ｂからの分割ガイド光ＬＢ2 が入射
ユニット１４の集光レンズ３０の光軸上を進むように、
ミラー２４の位置が調整されている。

【００２３】ミラー２４からの互いに平行な２本の分割
ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 は、ミラー２０に裏側から入射
してそこを真っすぐに透過し、入射ユニット３０の光入
射口１４ａを通って集光レンズ３０にそれぞれ入射す
る。入射した両分割ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 のうち、光
軸上のガイド光ＬＢ2 はそのまま直進するが、光軸から
所定の距離だけオフセットしているガイド光ＬＢ1 はレ
ンズ３０で光路を光軸側に曲げてから、レンズ３０の焦
点に向かって直進する。

【００２４】しかして、光ファイバ１２の一端面１２ａ
に両ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 が入射すると、そこにそれ
ぞれのスポットが映る。これらのガイド光スポットは、
光ファイバ１２の一端面１２ａが集光レンズ３０の焦点
からずれていると互いに離れた位置に映り、光ファイバ
１２の一端面１２ａが集光レンズ３０の焦点に位置して
いると互いに重なり合う。

【００２５】このように光ファイバ１２の一端面１２ａ
に映るガイド光スポットは、光ファイバスコープ２６に
よって視覚的に観察される。つまり、光ファイバ１２の
一端面１２ａの像を表す可視光ＬＣは、ミラー２０に表
側から入射してそこの反射面２０ａで直角に反射したの
ち、ミラー１８に表側から入射してそこを真っすぐに透
過し、光ファイバスコープ２６の光入射口２６ａに入
り、光ファイバスコープ２６内の移動レンズ３２，３４
を通って作業員の目３６に結像する。なお、光ファイバ
入射調整に先立ち、光ファイバ１２の他端面（図示せ
ず）より可視光を入れ、光ファイバ１２の一端面１２ａ
を発光させることで、光ファイバスコープ２６のピント
合わせを行うことができる。

【００２６】本実施例のレーザ装置では、光ファイバ１
２の一端面（レーザ入射面）１２ａからの可視光ＬＣが
分割反射型ミラー２４を通らずにミラー２０，１８を経
由して光ファイバスコープ２６に導かれるため、損失が
少なく、明瞭なガイド光スポットの映像を与えることが
できる。

【００２７】作業員は、光ファイバ１２の一端面１２ａ
の中心部で２つのガイド光スポットが重なり合うよう
に、集光レンズ３０の光軸上（Ｚ方向）の位置および光
ファイバ端面１２ａのＸＹ方向の取付位置を調整すれば
よい。もっとも、集光レンズ３０の色収差のため可視ガ
イド光ＬＢの焦点がＹＡＧレーザ光ＬＡの焦点よりも幾
らかレンズ３０側に寄ること、光ファイバの端面がＹＡ
Ｇレーザ光の焦点に位置するとその端面がレーザのエネ
ルギで焼損するおそれがあること等から、通常はガイド
光スポットがデフォーカス気味になるように焦点合わせ
が行われる。

【００２８】上記のような光ファイバ入射調整を行った
後、ＹＡＧレーザ発振器１０を発振動作させると、ＹＡ
Ｇレーザ発振器１０より出射されたＹＡＧレーザ光ＬＡ
は、ミラー１８に表側から入射してそこの反射面１８ａ
で反射して光路をミラー２０側に直角に曲げ、次にミラ
ー２０に表側から入射してそこの反射面２０ａで反射し
て光路を入射ユニット１４側へ曲げ、集光レンズ３０の
光軸上を直進して光ファイバ１２の一端面１２ａの中心
部に若干デフォーカスで集光入射する。

【００２９】光ファイバ１２の他端は遠隔たとえば加工
現場の出射ユニット（図示せず）に接続されている。入
射ユニット１４で光ファイバ１２の一端面１２ａに入射
したＹＡＧレーザ光ＬＡは、光ファイバ１２を中を伝わ
って出射ユニットへ送られ、そこからワークへ向けて集
光照射される。

【００３０】図２および図３に入射ユニット１４の一構
成例を示す。図２はユニット１４の縦断面図、図３はユ
ニット１４を一端側から見た側面図である。

【００３１】この入射ユニットは、ユニット本体４０
と、このユニット本体４０の一端部（図２では左端部）
に光ファイバ１２の一端部を着脱可能に取付する光ファ
イバ取付部２８と、ユニット本体４０の他端側（図２で
は右端部）の光入射口１４ａより入ってきた光線Ｌを光
ファイバ１２の一端面１２ａに集光させるための集光レ
ンズ３０を保持する円筒状のレンズ保持部４２とから構
成されている。本実施例において、光線ＬはＹＡＧレー
ザ発振器１０からのＹＡＧレーザ光ＬＡおよび／または
アライメントレーザ１６からのガイド光ＬＢである。

【００３２】光ファイバ取付部４２の中央部には、光フ
ァイバ１２の一端部を受けるためのリセプタクル４４が
設けられている。このリセプタクル４４の外側面にはＸ
方向の位置調整ネジ４６およびコイルバネ４８のそれぞ
れの先端部が相対抗して当接するとともに、Ｙ方向の位
置調整ネジ５０およびコイルバネ（図示せず）のそれぞ
れの先端部も相対抗して当接している。Ｘ方向のコイル
バネ４８およびＹ方向のコイルバネのバネ圧は、ユニッ
ト本体４０の側面に固着されたナット５２，５４に螺着
しているネジ５６，５８によって調整される。Ｘ方向位
置調整ネジ４６およびＹ方向位置調整ネジ５０のそれぞ
れのツマミ（頭部）を回転操作することで、ＸＹ方向に
おけるリセプタクル４４の位置を調整し、ひいてはＸＹ
方向における光ファイバ１２の端面１２ａの位置合わせ
（センタリング）を行えるようになっている。

【００３３】集光レンズ３０は、レンズ保持部４２の内
壁面の中間部で突起６０とストッパリング６２との間に
挟着保持されている。レンズ保持部４２は、ユニット本
体４０の中間部から他端部にかけて延在する円筒部４０
ａの内側に遊嵌されている。レンズ保持部４２の突起６
０よりユニット中央寄りの側面には、後述するボルト６
４が螺着するためのネジ孔４２ａが設けられている。ま
た、レンズ保持部４２の外壁面には中間部から他端部に
かけてネジ山４２ｂが形成されている。

【００３４】ユニット本体４０の円筒部４０ａには、光
軸と平行に延在する案内溝６６が形成されており、この
案内溝６６を介してボルト６４がレンズ保持部４２のネ
ジ孔４２ａに螺着している。案内溝６６は、ボルト６４
の軸部と遊嵌する溝幅の狭い溝部６６ａとボルト６４の
頭部と遊嵌する溝幅の広い溝部６６ｂとからなってい
る。このように、レンズ保持部４２に螺着したボルト６
４がユニット本体４０の案内溝６６によって光軸と平行
な方向にしか移動できないようになっている。これによ
り、ユニット本体４０に対してレンズ保持部４２は円周
方向に移動できず光軸方向にのみ移動できるようになっ
ている。

【００３５】ユニット本体４０の他端部（右端部）には
円周方向に段部６８と突起部７０が設けられ、この段部
６８と突起部７０とで画成される円周方向の溝部または
凹部に支持リング７２が回転可能に外嵌されている。こ
の外嵌を可能にするため、支持リング７０は２分割され
ている。この支持リング７０に外側から位置調整リング
７４が複数本たとえば４本のネジ７６によって固着さ
れ、位置調整リング７４と支持リング７６は一体に回転
できるようになっている。位置調整リング７４の内周面
にはネジ山７４ａが切られており、このネジ山７４ａは
レンズ保持部４２の外周面のネジ山４２ｂに螺合してい
る。

【００３６】上記のように、ボルト６４と案内溝６６に
よってレンズ保持部４２の移動方向が光軸方向に規制さ
れているため、位置調整リング７４を回転させると、レ
ンズ保持部４２がユニット本体４０に対して光軸方向に
移動するようになっている。このレンズ保持部４２の移
動の向きは位置調整リング７４の回転方向によって決ま
る。たとえば、位置調整リング７４を時計方向に回転さ
せるとレンズ保持部４２はユニット一端側（右側）へ移
動し、位置調整リング７４を反時計方向に回転させると
レンズ保持部４２はユニット他端側（左側）へ移動する
ようになっている。

【００３７】このように、位置調整リング７４を回すこ
とによって、レンズ保持部４２を光軸方向（Ｚ方向）に
移動させ、集光レンズ３０の焦点を光ファイバ１２の端
面１２ａ付近に合わせることができる。この焦点調整に
おいて、集光レンズ３０は回転することなく光軸方向に
移動するので、集光レンズ３０の焦点は回転することな
く一定の光軸（直線）上を移動する。したがって、光フ
ァイバ１２の心合わせ後に、焦点調整を行っても、焦点
が光ファイバ１２の端面中心部からずれることはない。

【００３８】上記したように、本実施例のレーザ装置で
は、アライメントレーザ１６より出射されたガイド光Ｌ
Ｂが、ＹＡＧレーザ発振器１０を通り抜けることなく、
３つのミラー２２，２４，２０を介して入射ユニット１
４に入射するようになっている。ミラー２２，２４，２
０での反射または透過による光強度の減衰または損失は
少ないので、ガイド光ＬＢは十分な光強度で入射ユニッ
ト１４に入射し、光ファイバ１２の端面１２ａに明るい
スポットを形成する。また、光ファイバスコープ２６
は、分割反射型ミラー２４を介さずに、ミラー２０およ
び集光レンズ３０を介して光ファイバ１２の端面１２ａ
を観ることができる。

【００３９】このため、作業員は、光ファイバ１２の端
面１２ａに映るガイド光スポットの輪郭および位置をは
っきり視認することができ、入射ユニット１４における
集光レンズの位置調整（焦点合わせ）および光ファイバ
の取付位置調整（光軸合わせ）を短時間で簡単に行うこ
とができる。

【００４０】また、本実施例のレーザ装置では、ＹＡＧ
レーザ発振器１０の後方にアライメントレーザ１６ある
いはミラー等の光学部品を配置する必要がないため、そ
のぶんユニットの長手方向の寸法が従来装置よりも短く
なり、装置の小型化をはかることができる。

【００４１】上記した実施例におけるミラー１８〜２４
の配置構成および設置枚数は一例であり、ＹＡＧレーザ
発振器１０あるいはアライメントレーザ１６の配置位置
に応じて種々の変形が可能である。たとえば、図４に示
すように、ミラー２０に対するＹＡＧレーザ発振器１０
および光ファイバスコープ２６の配置位置が上記実施例
とは反対側になったときは、ミラー２４からの２本の分
割ガイド光ＬＢ1 ，ＬＢ2 のうち外側反射面２４ａから
の分割ガイド光ＬＢ1 がミラー２０の先でＹＡＧレーザ
光ＬＡまたは光ファイバスコープ系の可視光と同軸にな
り、内側反射面２４ｂからの分割ガイド光ＬＢ2 がＹＡ
Ｇレーザ光ＬＡまたは光ファイバスコープ系の可視光と
は干渉しない光路を通るようにすればよい。

【００４２】また、本発明のレーザ装置における加工用
レーザ発振器は、ＹＡＧレーザ発振器に限らず、炭酸ガ
スレーザ発振器等でも可能である。また、本発明は、加
工用レーザ装置以外にも、種々のレーザ装置に適用可能
である。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザ装
置によれば、ガイド光発生手段からのガイド光を主レー
ザ光発生手段を経由させずに入射ユニットに導いて光フ
ァイバの一端面に入射させるようにしたので、ガイド光
の損失が少なく、光ファイバ端面に明瞭なガイド光スポ
ットが形成される。また、光ファイバの一端面またはレ
ーザ入射面からの可視光を分割反射型ミラーを通さずに
光ファイバスコープに導くことで、光ファイバ端面にお
けるガイド光スポットが一層はっきりと観察される。こ
れにより、光ファイバ入射調整を容易に行うことができ
る。また、主レーザ光発生手段の後方にガイド光を入れ
るためのミラー等の光学部品を配置する必要がないた
め、装置の小型化・省スペース化を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるレーザ装置の要部の構
成を示すブロック図である。

【図２】実施例のレーザ装置における入射ユニットの一
構成例を示す縦断面図である。

【図３】実施例のレーザ装置における入射ユニットの一
構成例を示す側面図である。

【図４】実施例のレーザ装置の一変形例を示すブロック
図である。

【符号の説明】

１０ ＹＡＧレーザ発振器 １２ 光ファイバ １２ａ 光ファイバの一端面 １４ 入射ユニット １８，２０，２２ ミラー ２４ 分割反射型ミラー ２８ 光ファイバ取付部 ３０ 集光レンズ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ファイバの一端部を取り付け、所定の
   光入射口から入ってきた光を光学レンズにより集光して
   前記光ファイバの一端面に入射せしめる入射ユニット
   と、 主レーザ光を発生する主レーザ光発生手段と、 可視性のガイド光を発生するガイド光発生手段と、 互いに平行な第１および第２の反射面を有し、前記ガイ
   ド光発生手段からの前記ガイド光を前記第１の反射面に
   入射せしめ、前記第１の反射面で前記ガイド光の一部を
   所定方向に反射させて残りを透過させ、前記第１の反射
   面からの透過光を前記第２の反射面で前記所定方向に反
   射させる分割反射型の第１のミラーと、 前記第１のミラーおよび前記主レーザ光発生手段と前記
   入射ユニットとの間に配置され、前記第１のミラーから
   の２つの分割ガイド光を裏側面に入射せしめて前記入射
   ユニットの光入射口側へ透過させるとともに、前記主レ
   ーザ光発生手段からの前記主レーザ光を表側面に入射せ
   しめて前記第１のミラーからの２つの反射光のいずれか
   一方とほぼ同じ光路で前記入射ユニットの光入射口側へ
   反射させる第２のミラーと、を具備することを特徴とす
   るレーザ装置。
2. 【請求項２】 前記主レーザ光発生手段と前記第２のミ
   ラーとの間に配置されて、前記主レーザ光発生手段から
   の前記主レーザ光を表側面に入射せしめて前記第２のミ
   ラー側へ反射させるとともに、前記光ファイバの一端面
   より前記光学レンズおよび前記第２のミラーを介して前
   記表側面に入射してきた可視光を前記光ファイバの一端
   面を視覚的に観察するためのスコープ側へ透過させる第
   ３のミラーをさらに具備することを特徴とする請求項１
   に記載のレーザ装置。