JPH0893696A - ファンフィルタユニット - Google Patents
ファンフィルタユニットInfo
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- JPH0893696A JPH0893696A JP22674694A JP22674694A JPH0893696A JP H0893696 A JPH0893696 A JP H0893696A JP 22674694 A JP22674694 A JP 22674694A JP 22674694 A JP22674694 A JP 22674694A JP H0893696 A JPH0893696 A JP H0893696A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 3
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- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、クリーンルームや手術室の天井、
生産装置の上、クリーンブースなどのクリーン機器に配
置されて使用されるファンフィルタユニットに関し、吐
出抵抗を増大することなく、フィルタからの吐出風速分
布を均一にすることを目的とする。 【構成】 矩形筒状のユニット本体の下端開口部にフィ
ルタを配置するとともに、ユニット本体の上面に形成さ
れる吸気用開口部にファンを配置してなるファンフィル
タユニットにおいて、ファンを軸流型のファンにより構
成するとともに、ファンとフィルタとの間に遮音板を配
置し、ユニット本体の内周の上部に、内方に向けて突出
しファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する
複数の整流板を配置して構成する。また、ユニット本体
を、横断面正方形形状にし、その中心にファンおよび正
方形状の遮音板の中心を配置して構成する。
生産装置の上、クリーンブースなどのクリーン機器に配
置されて使用されるファンフィルタユニットに関し、吐
出抵抗を増大することなく、フィルタからの吐出風速分
布を均一にすることを目的とする。 【構成】 矩形筒状のユニット本体の下端開口部にフィ
ルタを配置するとともに、ユニット本体の上面に形成さ
れる吸気用開口部にファンを配置してなるファンフィル
タユニットにおいて、ファンを軸流型のファンにより構
成するとともに、ファンとフィルタとの間に遮音板を配
置し、ユニット本体の内周の上部に、内方に向けて突出
しファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する
複数の整流板を配置して構成する。また、ユニット本体
を、横断面正方形形状にし、その中心にファンおよび正
方形状の遮音板の中心を配置して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームや手術
室の天井、生産装置の上、クリーンブースなどのクリー
ン機器に配置されて使用されるファンフィルタユニット
に関する。
室の天井、生産装置の上、クリーンブースなどのクリー
ン機器に配置されて使用されるファンフィルタユニット
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、クリーンルームの天井には、空
調空気をフィルタを介して室内に供給するために、例え
ば、特開平３−２６４７９９号公報，特開平３−２６２
５０８号公報等に開示されるファンフィルタユニット
（ＦＦＵ）が配置されている。
調空気をフィルタを介して室内に供給するために、例え
ば、特開平３−２６４７９９号公報，特開平３−２６２
５０８号公報等に開示されるファンフィルタユニット
（ＦＦＵ）が配置されている。
【０００３】図３および図４は、特開平３−２６４７９
９号公報に開示されるファンフィルタユニットを示すも
ので、図において符号１１は、矩形筒状のユニット本体
を示している。
９号公報に開示されるファンフィルタユニットを示すも
ので、図において符号１１は、矩形筒状のユニット本体
を示している。
【０００４】このユニット本体１１の下端開口部には、
フィルタ１３が配置され、また、フィルタ１３の上方に
は、整流用多孔板１５が配置されている。ユニット本体
１１の上面には、吸気用開口部１７が形成され、この吸
気用開口部１７にシロッコファン，ターボファン等の遠
心型のファン１９が配置されている。
フィルタ１３が配置され、また、フィルタ１３の上方に
は、整流用多孔板１５が配置されている。ユニット本体
１１の上面には、吸気用開口部１７が形成され、この吸
気用開口部１７にシロッコファン，ターボファン等の遠
心型のファン１９が配置されている。
【０００５】このファンフィルタユニットでは、ファン
１９により吸気用開口部１７から吸引された空気が、整
流用多孔板１５により整流された後、フィルタ１３によ
り浄化され室内に供給される。
１９により吸気用開口部１７から吸引された空気が、整
流用多孔板１５により整流された後、フィルタ１３によ
り浄化され室内に供給される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のファンフィルタユニットでは、ファン１９に
遠心型のファンを使用しているため、気流の吐出方向と
吐出範囲が限定され、フィルタ１３への吐出動圧が偏
り、フィルタ１３からの吐出風速分布が不均一になると
いう問題があった。
うな従来のファンフィルタユニットでは、ファン１９に
遠心型のファンを使用しているため、気流の吐出方向と
吐出範囲が限定され、フィルタ１３への吐出動圧が偏
り、フィルタ１３からの吐出風速分布が不均一になると
いう問題があった。
【０００７】そして、吐出風速分布を均一にするため
に、整流用多孔板１５を使用すると、吐出抵抗が増大
し、この結果、吐出風量が減少し、ファン１９の動力を
大きくする必要があるという問題があった。
に、整流用多孔板１５を使用すると、吐出抵抗が増大
し、この結果、吐出風量が減少し、ファン１９の動力を
大きくする必要があるという問題があった。
【０００８】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、吐出抵抗を増大することなく、フ
ィルタからの吐出風速分布を均一にすることができるフ
ァンフィルタユニットを提供することを目的とする。
めになされたもので、吐出抵抗を増大することなく、フ
ィルタからの吐出風速分布を均一にすることができるフ
ァンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１のファンフィル
タユニットは、矩形筒状のユニット本体の下端開口部に
フィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面
に形成される吸気用開口部にファンを配置してなるファ
ンフィルタユニットにおいて、前記ファンを軸流型のフ
ァンにより構成するとともに、前記ファンとフィルタと
の間に遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部
に、内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生す
る旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置してなる
ものである。
タユニットは、矩形筒状のユニット本体の下端開口部に
フィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面
に形成される吸気用開口部にファンを配置してなるファ
ンフィルタユニットにおいて、前記ファンを軸流型のフ
ァンにより構成するとともに、前記ファンとフィルタと
の間に遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部
に、内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生す
る旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置してなる
ものである。
【００１０】請求項２のファンフィルタユニットは、請
求項１において、前記ユニット本体は、横断面正方形形
状をしており、その中心に前記ファンおよび正方形状の
遮音板の中心が配置されているものである。
求項１において、前記ユニット本体は、横断面正方形形
状をしており、その中心に前記ファンおよび正方形状の
遮音板の中心が配置されているものである。
【００１１】請求項３のファンフィルタユニットは、請
求項２において、前記遮音板の中心部に、下方に向けて
窪む正方形状の凹部を形成し、前記凹部の内周面を底面
側に向けて傾斜してなるものである。
求項２において、前記遮音板の中心部に、下方に向けて
窪む正方形状の凹部を形成し、前記凹部の内周面を底面
側に向けて傾斜してなるものである。
【００１２】請求項４のファンフィルタユニットは、請
求項２または３において、前記ユニット本体の前記遮音
板の下方に、内周部が前記遮音板に重なる矩形環状の外
側遮音板を配置してなるものである。
求項２または３において、前記ユニット本体の前記遮音
板の下方に、内周部が前記遮音板に重なる矩形環状の外
側遮音板を配置してなるものである。
【００１３】請求項５のファンフィルタユニットは、請
求項１ないし４において、前記ファンのボス部には、吸
い込み方向に向けて突出する先端先細り状の気流案内部
が配置されているものである。
求項１ないし４において、前記ファンのボス部には、吸
い込み方向に向けて突出する先端先細り状の気流案内部
が配置されているものである。
【００１４】
【作用】請求項１のファンフィルタユニットでは、軸流
型のファンを使用するため、ファンの回転によりファン
を中心にして外方に広がる旋回流が発生するが、この旋
回流が、外周部においてユニット本体の内周の上部に配
置される複数の整流板に衝突し抑制され、下方に向かう
流れになり、フィルタを介して室内に吹き出される。
型のファンを使用するため、ファンの回転によりファン
を中心にして外方に広がる旋回流が発生するが、この旋
回流が、外周部においてユニット本体の内周の上部に配
置される複数の整流板に衝突し抑制され、下方に向かう
流れになり、フィルタを介して室内に吹き出される。
【００１５】また、ファンとフィルタとの間に配置され
る遮音板により、ファンから発生する騒音が遮音され
る。請求項２のファンフィルタユニットでは、ユニット
本体を横断面正方形形状にし、その中心にファンおよび
正方形状の遮音板の中心を配置したので、フィルタの四
方から同一条件で空気が吐出される。
る遮音板により、ファンから発生する騒音が遮音され
る。請求項２のファンフィルタユニットでは、ユニット
本体を横断面正方形形状にし、その中心にファンおよび
正方形状の遮音板の中心を配置したので、フィルタの四
方から同一条件で空気が吐出される。
【００１６】請求項３のファンフィルタユニットでは、
遮音板の中心部に下方に向けて窪む正方形状の凹部を形
成し、凹部の内周面を底面側に向けて傾斜したので、凹
部の底面に衝突した空気が、傾斜面に案内されて外側に
向けて円滑に流れる。
遮音板の中心部に下方に向けて窪む正方形状の凹部を形
成し、凹部の内周面を底面側に向けて傾斜したので、凹
部の底面に衝突した空気が、傾斜面に案内されて外側に
向けて円滑に流れる。
【００１７】請求項４のファンフィルタユニットでは、
ユニット本体の遮音板の下方に、外側遮音板の内周が重
なるように配置したので、ファンから発生する騒音が直
接フィルタに達することが防止される。
ユニット本体の遮音板の下方に、外側遮音板の内周が重
なるように配置したので、ファンから発生する騒音が直
接フィルタに達することが防止される。
【００１８】請求項５のファンフィルタユニットでは、
ファンのボス部に気流案内部を配置したので、空気の流
れが円滑になる。
ファンのボス部に気流案内部を配置したので、空気の流
れが円滑になる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、本発明のファンフィルタユニ
ットの一実施例を示しており、図において符号３１は、
筒状のユニット本体を示している。
する。図１および図２は、本発明のファンフィルタユニ
ットの一実施例を示しており、図において符号３１は、
筒状のユニット本体を示している。
【００２０】このユニット本体３１は、横断面正方形形
状とされている。ユニット本体３１の下端開口部３３に
は、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタ
３５が配置されている。
状とされている。ユニット本体３１の下端開口部３３に
は、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタ
３５が配置されている。
【００２１】ユニット本体３１の上面３７の中心には、
吸気用開口部３９が形成され、この吸気用開口部３９に
軸流型ファン４１が配置されている。この軸流型ファン
４１は、吸気用開口部３９に嵌挿されるべルマウス４３
を有している。
吸気用開口部３９が形成され、この吸気用開口部３９に
軸流型ファン４１が配置されている。この軸流型ファン
４１は、吸気用開口部３９に嵌挿されるべルマウス４３
を有している。
【００２２】べルマウス４３の中央には、ボス部４５が
配置され、ボス部４５の外周に羽根４７が固定されてい
る。ボス部４５には、モータ４９が連結され、モータ４
９は、ブラケット５１を介してべルマウス４３に固定さ
れている。
配置され、ボス部４５の外周に羽根４７が固定されてい
る。ボス部４５には、モータ４９が連結され、モータ４
９は、ブラケット５１を介してべルマウス４３に固定さ
れている。
【００２３】そして、ボス部４５には、吸い込み方向に
向けて突出する先端先細り状の気流案内カバー５３が装
着されている。ユニット本体３１の内周の上部には、内
方に向けて突出し軸流型ファン４１の回転により発生す
る旋回流の旋回を抑制する複数の整流板５５が固定され
ている。
向けて突出する先端先細り状の気流案内カバー５３が装
着されている。ユニット本体３１の内周の上部には、内
方に向けて突出し軸流型ファン４１の回転により発生す
る旋回流の旋回を抑制する複数の整流板５５が固定され
ている。
【００２４】この整流板５５には、グラスウール，ロッ
クウール等からなる吸音材５７が装着されている。ユニ
ット本体３１の軸流型ファン４１の下方には、遮音板５
９が配置されている。
クウール等からなる吸音材５７が装着されている。ユニ
ット本体３１の軸流型ファン４１の下方には、遮音板５
９が配置されている。
【００２５】この遮音板５９は、正方形状をしており、
その中心が軸流型ファン４１の下方に位置されている。
遮音板５９には、グラスウール，ロックウール等からな
る吸音材６１が装着されており、遮音板５９は、ブラケ
ット６３によりユニット本体３１の内面に固定されてい
る。
その中心が軸流型ファン４１の下方に位置されている。
遮音板５９には、グラスウール，ロックウール等からな
る吸音材６１が装着されており、遮音板５９は、ブラケ
ット６３によりユニット本体３１の内面に固定されてい
る。
【００２６】遮音板５９の中心部には、下方に向けて窪
む正方形状の凹部６５が形成されている。そして、凹部
６５の内周面が、底面側に向けて傾斜する傾斜面６７と
されている。
む正方形状の凹部６５が形成されている。そして、凹部
６５の内周面が、底面側に向けて傾斜する傾斜面６７と
されている。
【００２７】ユニット本体３１の遮音板５９の下方に
は、矩形環状の外側遮音板６９が配置されている。この
外側遮音板６９は、その内周部が遮音板５９に重なるよ
うに配置されている。
は、矩形環状の外側遮音板６９が配置されている。この
外側遮音板６９は、その内周部が遮音板５９に重なるよ
うに配置されている。
【００２８】そして、外側遮音板６９には、グラスウー
ル，ロックウール等からなる吸音材７１が装着されてい
る。上述したファンフィルタユニットでは、軸流型ファ
ン４１により吸気用開口部３９から吸引された空気が、
旋回流とされた後、この旋回流が、外周部において整流
板５５に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、遮
音板５９と外側遮音板６９との間を通過した後フィルタ
３５に達し、フィルタ３５で浄化された後室内に吹き出
される。
ル，ロックウール等からなる吸音材７１が装着されてい
る。上述したファンフィルタユニットでは、軸流型ファ
ン４１により吸気用開口部３９から吸引された空気が、
旋回流とされた後、この旋回流が、外周部において整流
板５５に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、遮
音板５９と外側遮音板６９との間を通過した後フィルタ
３５に達し、フィルタ３５で浄化された後室内に吹き出
される。
【００２９】しかして、上述したファンフィルタユニッ
トでは、軸流型ファン４１の使用により軸流型ファン４
１の外方に向けて旋回流が発生するが、この旋回流が、
外周部においてユニット本体３１の内周の上部に配置さ
れる複数の整流板５５に衝突し抑制され、下方に向かう
流れになり、フィルタ３５を介して室内に吹き出される
ため、フィルタ３５からの吐出風速分布を均一にするこ
とができる。
トでは、軸流型ファン４１の使用により軸流型ファン４
１の外方に向けて旋回流が発生するが、この旋回流が、
外周部においてユニット本体３１の内周の上部に配置さ
れる複数の整流板５５に衝突し抑制され、下方に向かう
流れになり、フィルタ３５を介して室内に吹き出される
ため、フィルタ３５からの吐出風速分布を均一にするこ
とができる。
【００３０】また、整流用多孔板等により整流する必要
がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止でき
る。さらに、軸流型ファン４１とフィルタ３５との間に
配置される遮音板５９により、軸流型ファン４１から発
生する騒音を確実に遮音することができる。
がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止でき
る。さらに、軸流型ファン４１とフィルタ３５との間に
配置される遮音板５９により、軸流型ファン４１から発
生する騒音を確実に遮音することができる。
【００３１】また、上述したファンフィルタユニットで
は、ユニット本体３１を横断面正方形形状にし、その中
心に軸流型ファン４１および正方形状の遮音板５９の中
心を配置したので、フィルタ３５の四方から同一条件で
空気が吐出されることになり、フィルタ３５からの吐出
風速分布をより均一にすることができる。
は、ユニット本体３１を横断面正方形形状にし、その中
心に軸流型ファン４１および正方形状の遮音板５９の中
心を配置したので、フィルタ３５の四方から同一条件で
空気が吐出されることになり、フィルタ３５からの吐出
風速分布をより均一にすることができる。
【００３２】さらに、遮音板５９の中心部に下方に向け
て窪む正方形状の凹部６５を形成し、凹部６５の内周面
を底面側に向けて傾斜したので、凹部６５の底面に衝突
した空気が、傾斜面６７に案内されて外側に向けて円滑
に流れ気流が乱されることがなくなり、気流騒音の減
少、吐出抵抗の減少が図られ、また、フィルタ３５から
の吐出風速分布をより均一にすることができる。
て窪む正方形状の凹部６５を形成し、凹部６５の内周面
を底面側に向けて傾斜したので、凹部６５の底面に衝突
した空気が、傾斜面６７に案内されて外側に向けて円滑
に流れ気流が乱されることがなくなり、気流騒音の減
少、吐出抵抗の減少が図られ、また、フィルタ３５から
の吐出風速分布をより均一にすることができる。
【００３３】また、上述したファンフィルタユニットで
は、ユニット本体３１の遮音板５９の下方に、外側遮音
板６９の内周が重なるように配置したので、軸流型ファ
ン４１から発生する騒音が直接フィルタ３５に達するこ
とが防止され、消音効果を向上することができる。
は、ユニット本体３１の遮音板５９の下方に、外側遮音
板６９の内周が重なるように配置したので、軸流型ファ
ン４１から発生する騒音が直接フィルタ３５に達するこ
とが防止され、消音効果を向上することができる。
【００３４】さらに、軸流型ファン４１のボス部４５に
気流案内カバー５３を配置したので、空気の流れが円滑
になり、軸流型ファン４１の騒音を低減し、また、軸流
型ファン４１の効率を向上することができる。
気流案内カバー５３を配置したので、空気の流れが円滑
になり、軸流型ファン４１の騒音を低減し、また、軸流
型ファン４１の効率を向上することができる。
【００３５】また、上述したファンフィルタユニットで
は、軸流型ファン４１を使用したため、遠心型のファン
を使用する場合に比較して重量が非常に軽くなり、ま
た、ユニット本体３１の軸長方向長さを短くすることが
できる。
は、軸流型ファン４１を使用したため、遠心型のファン
を使用する場合に比較して重量が非常に軽くなり、ま
た、ユニット本体３１の軸長方向長さを短くすることが
できる。
【００３６】従って、従来の遠心型のファンを使用した
ファンフィルタユニットでは、幅×長さが６００mm×１
２００mm程度の大きさが限度であったが、１２００mm×
１２００mm程度の大きさのファンフィルタユニットを容
易に提供することが可能になった。
ファンフィルタユニットでは、幅×長さが６００mm×１
２００mm程度の大きさが限度であったが、１２００mm×
１２００mm程度の大きさのファンフィルタユニットを容
易に提供することが可能になった。
【００３７】なお、上述したファンフィルタユニット
に、本出願人が開発した冷媒循環マルチシステム（ＲＣ
Ｍ）を設けることにより、部分負荷および部分高清浄に
容易に対応することが可能になる。
に、本出願人が開発した冷媒循環マルチシステム（ＲＣ
Ｍ）を設けることにより、部分負荷および部分高清浄に
容易に対応することが可能になる。
【００３８】また、フィルタにパラボラ型のフィルタを
使用することにより、清浄度エリアを拡大することが容
易に可能になる。
使用することにより、清浄度エリアを拡大することが容
易に可能になる。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１のファンフ
ィルタユニットでは、軸流型のファンの使用により発生
する旋回流が、外周部においてユニット本体の内周の上
部に配置される複数の整流板に衝突し抑制され、下方に
向かう流れになり、フィルタを介して室内に吹き出され
るため、フィルタからの吐出風速分布を均一にすること
ができる。
ィルタユニットでは、軸流型のファンの使用により発生
する旋回流が、外周部においてユニット本体の内周の上
部に配置される複数の整流板に衝突し抑制され、下方に
向かう流れになり、フィルタを介して室内に吹き出され
るため、フィルタからの吐出風速分布を均一にすること
ができる。
【００４０】また、整流用多孔板等により整流する必要
がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止でき
る。さらに、ファンとフィルタとの間に配置される遮音
板により、ファンから発生する騒音を確実に遮音するこ
とができる。
がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止でき
る。さらに、ファンとフィルタとの間に配置される遮音
板により、ファンから発生する騒音を確実に遮音するこ
とができる。
【００４１】請求項２のファンフィルタユニットでは、
ユニット本体を横断面正方形形状にし、その中心にファ
ンおよび正方形状の遮音板の中心を配置したので、フィ
ルタの四方から同一条件で空気が吐出されることにな
り、フィルタからの吐出風速分布をより均一にすること
ができる。
ユニット本体を横断面正方形形状にし、その中心にファ
ンおよび正方形状の遮音板の中心を配置したので、フィ
ルタの四方から同一条件で空気が吐出されることにな
り、フィルタからの吐出風速分布をより均一にすること
ができる。
【００４２】請求項３のファンフィルタユニットでは、
凹部の底面に衝突した空気が、傾斜面に案内されて外側
に向けて円滑に流れ、気流が乱されることがなくなり、
気流騒音の減少、吐出抵抗の減少が図られ、また、フィ
ルタからの吐出風速分布をより均一にすることができ
る。
凹部の底面に衝突した空気が、傾斜面に案内されて外側
に向けて円滑に流れ、気流が乱されることがなくなり、
気流騒音の減少、吐出抵抗の減少が図られ、また、フィ
ルタからの吐出風速分布をより均一にすることができ
る。
【００４３】請求項４のファンフィルタユニットでは、
ユニット本体の遮音板の下方に、外側遮音板の内周が重
なるように配置したので、ファンから発生する騒音が直
接フィルタに達することが防止され、消音効果を向上す
ることができる。
ユニット本体の遮音板の下方に、外側遮音板の内周が重
なるように配置したので、ファンから発生する騒音が直
接フィルタに達することが防止され、消音効果を向上す
ることができる。
【００４４】請求項５のファンフィルタユニットでは、
ファンのボス部に気流案内部を配置したので、空気の流
れが円滑になり、ファンの騒音を低減し、また、ファン
の効率を向上することができるという利点がある。
ファンのボス部に気流案内部を配置したので、空気の流
れが円滑になり、ファンの騒音を低減し、また、ファン
の効率を向上することができるという利点がある。
【図１】本発明のファンフィルタユニットの一実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１のファンフィルタユニットを上方から見た
説明図である。
説明図である。
【図３】従来のファンフィルタユニットを示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】図３の断面図である。
３１ ユニット本体 ３３ 下端開口部 ３５ フィルタ ３７ 上面 ３９ 吸気用開口部 ４１ 軸流型ファン ５３ 気流案内カバー ５５ 整流板 ５９ 遮音板 ６５ 凹部 ６７ 傾斜面 ６９ 外側遮音板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上原 誠司 東京都千代田区有楽町１丁目４番１号 三 機工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 矩形筒状のユニット本体の下端開口部に
フィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面
に形成される吸気用開口部にファンを配置してなるファ
ンフィルタユニットにおいて、 前記ファンを軸流型のファンにより構成するとともに、
前記ファンとフィルタとの間に遮音板を配置し、前記ユ
ニット本体の内周の上部に、内方に向けて突出し前記フ
ァンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数
の整流板を配置してなることを特徴とするファンフィル
タユニット。 - 【請求項２】 請求項１記載のファンフィルタユニット
において、 前記ユニット本体は、横断面正方形形状をしており、そ
の中心に前記ファンおよび正方形状の遮音板の中心が配
置されていることを特徴とするファンフィルタユニッ
ト。 - 【請求項３】 請求項２記載のファンフィルタユニット
において、 前記遮音板の中心部に、下方に向けて窪む正方形状の凹
部を形成し、前記凹部の内周面を底面側に向けて傾斜し
てなることを特徴とするファンフィルタユニット。 - 【請求項４】 請求項２または請求項３記載のファンフ
ィルタユニットにおいて、 前記ユニット本体の前記遮音板の下方に、内周部が前記
遮音板に重なる矩形環状の外側遮音板を配置してなるこ
とを特徴とするファンフィルタユニット。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれか１項
記載のファンフィルタユニットにおいて、 前記ファンのボス部には、吸い込み方向に向けて突出す
る先端先細り状の気流案内部が配置されていることを特
徴とするファンフィルタユニット。
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1994
- 1994-09-21 JP JP22674694A patent/JP3555775B2/ja not_active Expired - Fee Related
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