JPH0896337A - Disk drive device with floating slider and floating slider - Google Patents
Disk drive device with floating slider and floating sliderInfo
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- JPH0896337A JPH0896337A JP25452794A JP25452794A JPH0896337A JP H0896337 A JPH0896337 A JP H0896337A JP 25452794 A JP25452794 A JP 25452794A JP 25452794 A JP25452794 A JP 25452794A JP H0896337 A JPH0896337 A JP H0896337A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- slider
- air
- recording medium
- flying
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ドライブの設計上要求される任意の浮上条件
(周速とスキュー角)に対応して、スライダーの浮上量
をデータゾーン全域で一定にすることができる浮上型ス
ライダー。
【構成】記録媒体4の外周側に位置し、空気潤滑面とし
て記録媒体に対面して空気流入端部70側に位置して、
テーパー部112を有する第1のレール111aと、記
録媒体の内周側に位置し、一箇所以上の屈曲点BPを持
ち、第1のレール111aの幅よりも広い幅となってい
る第2のレール111bであって、空気潤滑面として記
録媒体に対面して空気流入端部70側に位置して、テー
パー部113を有する前記第2のレール111bと、空
気流出端部80においてスライダー中心軸CL上に設け
られた突起状のヘッド素子5と、を備える浮上型スライ
ダー。
(57) [Summary] [Purpose] A flying slider that can keep the flying height of the slider constant over the entire data zone in response to any flying conditions (peripheral speed and skew angle) required for drive design. . [Structure] Located on the outer peripheral side of the recording medium 4, facing the recording medium as an air-lubricated surface, and located on the air inflow end portion 70 side,
A first rail 111a having a tapered portion 112 and a second rail positioned on the inner circumference side of the recording medium, having one or more bending points BP, and having a width wider than the width of the first rail 111a. The rail 111b is the second rail 111b, which is located on the air inflow end portion 70 side facing the recording medium as an air lubrication surface and has a taper portion 113, and the slider central axis CL at the air outflow end portion 80. A flying-type slider, comprising: a head element 5 having a protrusion shape provided on the top.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスクシステ
ムのようなディスクドライブ装置に適用される浮上型ス
ライダーと、この浮上型スライダーを備えるディスクド
ライブ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flying slider applied to a disk drive device such as a hard disk system, and a disk drive device equipped with this flying slider.
【0002】[0002]
【従来の技術】たとえばコンピュータ等の記録媒体とし
ては、ランダムアクセスが可能な円盤状の記録媒体、た
とえば磁気ディスク(ハードディスク)が広く用いられ
ている。最近の記録媒体に対する高記録密度化に対する
要求に伴ない、たとえばハードディスクドライブシステ
ム(HDD)では、ゾーンビット記録法が採用されつつ
ある。このゾーンビット記録法とは、ハードディスク上
のデータ領域をいくつかのゾーンに分けて、ハードディ
スクの外周側のゾーンほど高周波数で記録することによ
り、ハードディスク全体の記録容量を増大させる方法で
ある。このゾーンビット記録法を有効に活用するために
は、磁気ヘッド(ヘッド素子ともいう)を搭載している
スライダー部品の浮上量を、ハードディスクのデータ領
域全体で一定にすることが必要になる。2. Description of the Related Art As a recording medium for, for example, a computer, a disc-shaped recording medium capable of random access, for example, a magnetic disk (hard disk) is widely used. With the recent demand for higher recording density for recording media, for example, in hard disk drive systems (HDD), the zone bit recording method is being adopted. The zone bit recording method is a method of increasing the recording capacity of the entire hard disk by dividing the data area on the hard disk into several zones and recording at a higher frequency in the outer peripheral zone of the hard disk. In order to effectively utilize this zone bit recording method, it is necessary to make the flying height of a slider component carrying a magnetic head (also called a head element) constant over the entire data area of the hard disk.
【0003】また、現在の記録媒体のドライブの多く
は、ドライブの起動時にCSS方式(コンタクトスター
トストップ方式)を採用しているために、磁気ヘッドと
記録媒体(メディア)間での摺動に対する耐久性の向上
が望まれている。この摺動による磁気ヘッドの摩耗を抑
えるためには、磁気ヘッドが記録媒体に対して摺動する
時間を短くすれば良いとされている。この摺動時間の短
縮化には、スライダーの浮上特性の1つである「hig
h−pitch」化が必要である。このピッチとは、空
気流入端部の浮上量と空気流出端部の浮上量の差であ
る。ピッチ(pitch)が高ければ、短距離離着が可
能となり、摺動時間が短くなる。Further, most of the current recording medium drives adopt the CSS system (contact start / stop system) when the drive is started, and therefore, durability against sliding between the magnetic head and the recording medium (medium). The improvement of the sex is desired. In order to suppress the wear of the magnetic head due to this sliding, it is said that the time during which the magnetic head slides on the recording medium should be shortened. To reduce the sliding time, one of the slider levitation characteristics, "high
"h-pitch" is required. This pitch is the difference between the flying height at the air inflow end and the flying height at the air outflow end. If the pitch is high, it is possible to attach and detach for a short distance, and the sliding time is shortened.
【0004】図11は、従来用いられてきたテーパーフ
ラット型スライダーの構造を示している。従来のスライ
ダーは、2本の空気潤滑面ABS(Air Beari
ng Surface)としての2本のレール11,1
1を有している。このレール11,11は、エアグルー
ブ14と呼ばれる、たとえば20μm以上の深さを持つ
溝で分離されている。エアグルーブ14は、通常砥石に
よる機械加工で形成されている。空気潤滑面11の空気
流入端部11a側には、角度1度以下のごく緩やかな傾
斜が設けられていて、この傾斜はテーパー部12と呼ば
れている。空気潤滑面11上での空気圧の発生は、かな
りの部分このテーパー部12に起因している。FIG. 11 shows the structure of a taper flat type slider which has been used conventionally. The conventional slider has two air lubricated surfaces ABS (Air Beari).
two rails 11, 1 as ng Surface)
One. The rails 11 and 11 are separated by a groove called an air groove 14, which has a depth of, for example, 20 μm or more. The air groove 14 is usually formed by machining with a grindstone. On the air inflow end 11a side of the air-lubricated surface 11, a very gentle inclination with an angle of 1 degree or less is provided, and this inclination is called a taper portion 12. The generation of the air pressure on the air-lubricated surface 11 is due to the tapered portion 12 to a large extent.
【0005】従来のテーパーフラット型スライダーの浮
上量は、スライダーが相対する空気量の速度(周速)お
よびスライダー中心軸に対する空気流の角度(スキュー
角)で決定される。図11のようなスライダーは、スイ
ングアームの先端に取り付けられるのであるが、このス
イングアームを用いたハードディスクドライブシステム
においては、ハードディスク上の各半径位置において周
速とスキュー角が変化していく。周速はハードディスク
上の半径に比例して増加するために、外周側にいくに従
い増加する傾向がある。一方、空気圧の発生は、空気流
がスライダーに正面から入る時(スキュー角=0度)に
最大の効率で発生し、スキュー角の増加に伴ないその発
生効率は低下する。従ってスキュー角=0度を挟んだス
キュー角の増減に伴ない、スライダーの浮上量は一般に
低下する。The flying height of a conventional taper flat slider is determined by the velocity of air volume (circumferential velocity) facing the slider and the angle of air flow (skew angle) with respect to the slider central axis. A slider as shown in FIG. 11 is attached to the tip of a swing arm. In a hard disk drive system using this swing arm, the peripheral speed and the skew angle change at each radial position on the hard disk. Since the peripheral speed increases in proportion to the radius on the hard disk, it tends to increase toward the outer peripheral side. On the other hand, the air pressure is generated with the maximum efficiency when the airflow enters the slider from the front (skew angle = 0 degree), and the generation efficiency is reduced as the skew angle is increased. Therefore, the flying height of the slider generally decreases as the skew angle increases or decreases with the skew angle of 0 degree.
【0006】図12は、従来のテーパーフラット型スラ
イダーのドライブ上での定浮上特性を示している。符号
104aは、ドライブの最も理想的な条件での定浮上特
性を示している。符号104bは、現在一般的に使用さ
れているドライブの定浮上特性である。そして符号10
4cは、ヘッド部でのスキュー角がプラスマイナス5度
の場合の定浮上特性である。一般にドライブ設計上の理
由から、スライダーが使用される周速およびスキュー角
範囲が決定されている。また同時にスライダーに対して
サスペンションが加えるバネ荷重もドライブ設計上決定
されている。FIG. 12 shows the constant flying characteristics of a conventional taper flat slider on a drive. Reference numeral 104a indicates a constant floating characteristic under the most ideal condition of the drive. Reference numeral 104b is a constant levitation characteristic of a drive currently generally used. And reference numeral 10
4c is a constant floating characteristic when the skew angle at the head portion is plus or minus 5 degrees. Generally, the peripheral speed and skew angle range in which the slider is used are determined for drive design reasons. At the same time, the spring load applied by the suspension to the slider is also determined by the drive design.
【0007】以上の制約条件に対して、テーパーフラッ
ト型スライダーの場合、主な設計パラメータは、図11
の空気潤滑面11の幅である。この図11の空気潤滑面
11の幅によって、浮上量の周速依存性およびスキュー
角依存性の両者が決定される。浮上量の設定値に対し
て、空気潤滑面11の幅は、上述の浮上条件のもとで自
動的に決まり、同時に浮上量のスキュー角依存性も決定
されてしまう。図12から分かるように、ある空気潤滑
面11の幅に対して、ごく限られたスキュー角の範囲に
対してのみ、従来のテーパーフラット型では定浮上特性
が得られるに過ぎず、それ以外の条件では、良好なCF
H特性(Constant Flying Heigh
t、定浮上特性)が得られない。このCFH特性は、ド
ライブでの全浮上領域を通しての一定の浮上量を保つこ
とである。In the case of the taper flat slider, the main design parameters for the above constraint conditions are shown in FIG.
This is the width of the air-lubricated surface 11. Both the peripheral speed dependence and the skew angle dependence of the flying height are determined by the width of the air-lubricated surface 11 in FIG. With respect to the set value of the flying height, the width of the air-lubricated surface 11 is automatically determined under the above flying conditions, and at the same time, the skew angle dependency of the flying height is also determined. As can be seen from FIG. 12, with respect to the width of a certain air-lubricated surface 11, the conventional taper-flat type can only obtain a constant floating characteristic only within a very limited skew angle range. Good CF under conditions
H characteristics (Constant Flying Height
t, constant floating characteristics) cannot be obtained. The CFH characteristic is to maintain a constant flying height over the entire flying area in the drive.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】このように従来のテー
パーフラット型スライダーでは、実際上空気潤滑面11
の幅しか設計パラメータとすることができないので、定
浮上特性を改善するのは極めて困難である。またhig
h−pitch化に対しても、HGA(ヘッド/ジンバ
ル/アッセンブリ)組立て時に、荷重点の位置をスライ
ダー後端部に移動させて、スライダーの前端部が浮き上
がりやすいように組立てている。しかしこのような従来
のスライダーでは、スライダーチップの小型化に伴ない
組立て精度の限界という点でhigh−pitch化の
可能性が見えないというのが現状である。As described above, in the conventional taper flat type slider, the air-lubricated surface 11 is practically used.
It is extremely difficult to improve the constant levitation characteristics, because only the width of γ can be used as the design parameter. Also hig
Even in the case of h-pitch, at the time of HGA (head / gimbal / assembly) assembly, the position of the load point is moved to the rear end of the slider, so that the front end of the slider is easily lifted. However, with such a conventional slider, the current situation is that the possibility of high-pitching cannot be seen from the viewpoint of the limit of the assembly accuracy with the downsizing of the slider chip.
【0009】そこで本発明は上記課題を解消するために
なされたものであり、ドライブの設計上要求される任意
の浮上条件(周速とスキュー角)に対応して、スライダ
ーの浮上量をデータゾーン全域で一定にすることができ
る浮上型スライダーと浮上型スライダーを備えるディス
クドライブ装置を提供することを目的としている。Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the flying height of the slider is set to the data zone in accordance with the arbitrary flying conditions (peripheral speed and skew angle) required in the design of the drive. It is an object of the present invention to provide a flying slider that can be made uniform over the entire area and a disk drive device including the flying slider.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的は、第1の発明
にあっては、記録媒体の回転により発生する空気流によ
って揚力を受ける浮上型スライダーにおいて、前記記録
媒体の外周側に位置し、空気潤滑面として前記記録媒体
に対面して空気流入端部側に位置して、テーパー部を有
する第1のレールと、前記記録媒体の内周側に位置し、
一箇所以上の屈曲点を持ち、前記第1のレールの幅より
も広い幅となっている第2のレールであって、空気潤滑
面として前記記録媒体に対面して空気流入端部側に位置
して、テーパー部を有する前記第2のレールと、空気流
出端部においてスライダー中心軸上に設けられた突起状
のヘッド素子と、を備える浮上型スライダーにより、達
成される。第1の本発明にあっては、好ましくは前記第
2のレールの幅は、前記第1のレールの幅よりも10μ
m以上200μm以下だけ広い。第1の本発明にあって
は、好ましくは前記第2のレールの前記一箇所以上の屈
曲点は、スライダー中心軸に関して、レール曲げ角が1
0度以上45度以下になっている。上記目的は、第2の
発明にあっては、記録媒体を回転する手段と、前記記録
媒体の回転により発生する空気流によって揚力を受ける
浮上型スライダーであり、前記記録媒体の外周側に位置
し、空気潤滑面として、前記記録媒体に対面する第1の
レールであって、空気流入端部側に位置して、テーパー
部を有する前記第1のレールと、前記記録媒体の内周側
に位置し、一箇所以上の屈曲点を持ち、前記第1のレー
ルの幅よりも広い幅となっている第2のレールであっ
て、空気潤滑面として、前記記録媒体に対面し、空気流
入端部側に位置して、テーパー部を有する前記第2のレ
ールと、前記空気流出端部においてスライダー中心軸上
に設けられた突起状のヘッド素子と、を備える前記浮上
型スライダーと、前記浮上型スライダーを保持するサス
ペンションと、を備える浮上型スライダーを備えるディ
スクドライブ装置。According to the first aspect of the present invention, there is provided a flying slider that receives a lift force by an air flow generated by rotation of a recording medium, the flying slider being located on the outer peripheral side of the recording medium. A first rail having a taper portion, located on the air inflow end side facing the recording medium as an air-lubricated surface, and on the inner peripheral side of the recording medium;
A second rail having one or more bending points and having a width wider than that of the first rail, the second rail being located on the air inflow end side facing the recording medium as an air lubrication surface. Then, it is achieved by a flying slider including the second rail having a taper portion and a protruding head element provided on the slider central axis at the air outflow end portion. In the first aspect of the present invention, the width of the second rail is preferably 10 μm greater than the width of the first rail.
Wider than m and 200 μm or less. In the first aspect of the present invention, preferably, the one or more bending points of the second rail have a rail bending angle of 1 with respect to a slider central axis.
It is more than 0 degrees and less than 45 degrees. According to the second aspect of the present invention, there is provided a means for rotating a recording medium, and a flying slider that receives a lift force by an air flow generated by the rotation of the recording medium. A first rail that faces the recording medium as an air-lubricating surface, is located on the air inflow end side and has a tapered portion, and is located on the inner peripheral side of the recording medium. A second rail having one or more bending points and having a width wider than that of the first rail, facing the recording medium as an air lubrication surface, and having an air inflow end portion. The second slider having a taper portion positioned on the side, and a protrusion-shaped head element provided on the slider central axis at the air outflow end portion; Holding the suspension Disk drive device comprising a floating type slider comprising a Pensions, the.
【0011】[0011]
【作用】上記構成によれば、第1の発明では、第1のレ
ールがテーパー部と有し、第2のレールもテーパー部を
有しているので、記録媒体が回転することにより空気潤
滑面での空気圧を発生できる。第2のレールは、第1の
レールに比べて幅が広くしかも一箇所以上の屈曲点を持
っているので、全浮上領域での浮上量の一定化が可能
で、スライダーの浮上特性の最適化が図れる。ヘッド素
子が、スライダーの中心軸にあるために、空気潤滑面A
BSの形状によるスライダーの浮上量への影響が少な
い。このため、加工精度を比較的甘くすることができ量
産時の歩留りを向上する。突起状のヘッド素子が、空気
流出端部においてスライダー中心軸上に設けられている
ので、このヘッド素子を含む部分が空気潤滑面として機
能する。このために、ヘッド素子をスライダー中心軸上
に配置することができ、スライダーの小型化を可能にす
るというメリットがある。第1の発明では、ドライブの
設計上要求される任意の浮上条件(周速とスキュー角)
に対応して、スライダーの浮上量をデータゾーン全域で
一定にすることができる。第1の本発明にあっては、第
2のレールの幅が、前記第1のレールの幅よりも10μ
mより小さい寸法広いだけであると、記録媒体の外側の
ゾーン(OD)での浮上量増加を抑制できず、記録媒体
の外側のゾーンでの浮上量が増加する。このため、充分
なCFH特性を得ることができない点で好ましくない。
また、第2のレールの幅が、第1のレールの幅よりも2
00μmを超える値分広いと、逆に記録媒体の外側のゾ
ーンで著しく浮上量が低下して、良好なCFH特性を得
ることができない点で好ましくない。第1の本発明にあ
っては、第2のレールの一箇所以上の屈曲点が、スライ
ダー中心軸に関して、レール曲げ角が10度より小さい
角度であると、記録媒体の外側のゾーンでロール角の増
加が著しくなり、メディアクラッシュの危険が増加す
る。また、シーク時の動的安定性も劣化する点で好まし
くない。また、第2のレールの一箇所以上の屈曲点が、
スライダー中心軸に関して、レール曲げ角が45度より
大きい角度であると、記録媒体の外側のゾーンでロール
角が大きな負値をとり、やはり動的不安定性が増大する
点で好ましくない。第2の発明は、第1のレールがテー
パー部と有し、第2のレールもテーパー部を有している
ので、回転手段により記録媒体が回転することにより空
気潤滑面での空気圧を発生する。突起状のヘッド素子
が、空気流出端部においてスライダー中心軸上に設けら
れているので、このヘッド素子を含む部分が空気潤滑面
として機能する。しかも、第2のレールは、第1のレー
ルに比べて幅が広くしかも一箇所以上の屈曲点を持って
いる。この浮上型スライダーの揚力と、このスライダー
を保持しているサスペンションの記録媒体へ向かう力の
釣り合いにより、スライダーは記録媒体上で安定して浮
上する。スライダーは全浮上領域で浮上量の一定化が可
能で、スライダーの浮上特性の最適化が図れる。According to the above construction, in the first aspect of the invention, the first rail has the tapered portion and the second rail also has the tapered portion. Therefore, when the recording medium rotates, the air-lubricated surface is formed. Can generate air pressure at. Since the second rail is wider than the first rail and has one or more bending points, it is possible to make the flying height constant in the entire flying area and optimize the flying characteristics of the slider. Can be achieved. Since the head element is on the central axis of the slider, the air-lubricated surface A
The influence of the BS shape on the flying height of the slider is small. Therefore, the processing accuracy can be made relatively weak, and the yield in mass production is improved. Since the protruding head element is provided on the slider central axis at the air outflow end, the portion including this head element functions as an air lubrication surface. Therefore, there is an advantage that the head element can be arranged on the slider central axis, and the slider can be downsized. In the first invention, any levitation conditions (peripheral speed and skew angle) required for the drive design
Accordingly, the flying height of the slider can be made constant over the entire data zone. In the first aspect of the present invention, the width of the second rail is 10 μm smaller than the width of the first rail.
If the size is wider than m, the increase in the flying height in the outer zone (OD) of the recording medium cannot be suppressed, and the flying height in the outer zone of the recording medium increases. Therefore, it is not preferable because sufficient CFH characteristics cannot be obtained.
In addition, the width of the second rail is 2 more than the width of the first rail.
If the value is larger than 00 μm, on the contrary, the flying height is significantly reduced in the outer zone of the recording medium, and it is not preferable because good CFH characteristics cannot be obtained. In the first aspect of the present invention, when the bending point of one or more positions of the second rail is an angle at which the rail bending angle is smaller than 10 degrees with respect to the slider central axis, the roll angle is increased in the zone outside the recording medium. And the risk of media crash increases. Further, it is not preferable because the dynamic stability at the time of seek is deteriorated. In addition, at one or more bending points of the second rail,
When the rail bending angle is larger than 45 degrees with respect to the slider central axis, the roll angle takes a large negative value in the outer zone of the recording medium, which is also unfavorable in that dynamic instability also increases. In the second invention, the first rail has the taper portion and the second rail also has the taper portion. Therefore, the rotation of the recording medium by the rotating means generates the air pressure on the air-lubricated surface. . Since the protruding head element is provided on the slider central axis at the air outflow end, the portion including this head element functions as an air lubrication surface. Moreover, the second rail is wider than the first rail and has one or more bending points. Due to the balance between the lift force of the flying slider and the force of the suspension holding the slider toward the recording medium, the slider stably floats above the recording medium. The slider can keep the flying height constant in the entire flying area, and the flying characteristics of the slider can be optimized.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The examples described below are
Since it is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are attached, but the scope of the present invention is, unless otherwise stated to limit the present invention, in the following description.
It is not limited to these modes.
【0013】図1は、本発明の浮上型スライダーを備え
るディスク装置の好ましい実施例を示している。図1に
おいて、回転型の磁気記録媒体としてのハードディスク
4は、回転手段400により回転方向Rに沿って回転可
能になっている。浮上型のスライダー1は、ハードディ
スク4に対向して、ハードディスクの半径方向に移動す
るようになっている。スライダー1は、磁気ヘッド5を
搭載している。この磁気ヘッド5は、薄膜ヘッドおよび
バルク(MIG,Metal in Gap)のヘッド
のどちらも採用することができる。スライダー1は、サ
スペンション2の先端側に接着により固定されている。
サスペンション2は、スライダー1をハードディスク4
に対して押し付けるための付勢手段である。FIG. 1 shows a preferred embodiment of a disk device equipped with the floating slider of the present invention. In FIG. 1, a hard disk 4 serving as a rotary magnetic recording medium is rotatable in a rotation direction R by a rotating means 400. The flying slider 1 is arranged to face the hard disk 4 and move in the radial direction of the hard disk. The slider 1 is equipped with a magnetic head 5. The magnetic head 5 can be either a thin film head or a bulk (MIG, Metal in Gap) head. The slider 1 is fixed to the tip of the suspension 2 by adhesion.
For suspension 2, slider 1 to hard disk 4
It is a biasing means for pressing against.
【0014】ハードディスク4は、回転手段400によ
り高速で回転されるのであるが、この際にスライダー1
は、ハードディスク4の表面に発生する空気流により上
向きの揚力を得る。スライダー1は、この揚力とサスペ
ンション2による下向きの力の釣り合いにより、ハード
ディスク4上で安定して浮上させる。これにより、スラ
イダー1は、高速で回転するハードディスク4の信号記
録面に記録されている信号を読み出したり、あるいは信
号記録面に対して信号を書き込むことができるようにな
っている。The hard disk 4 is rotated at high speed by the rotating means 400, and at this time, the slider 1
Generates an upward lift force by the air flow generated on the surface of the hard disk 4. The slider 1 stably floats above the hard disk 4 by the balance between the lift force and the downward force of the suspension 2. As a result, the slider 1 can read a signal recorded on the signal recording surface of the hard disk 4 rotating at a high speed or write a signal on the signal recording surface.
【0015】スライダー1とサスペンション2が接着さ
れて、1つの部品と見なされてHGA(ヘッド/ジンバ
ル/アッセンブリ)という名称で呼ばれる。このHGA
6は、さらにアクチュエータアーム3に取り付けられて
いる。アチクュエータアーム3は、回転軸3aを中心と
してロータリアクチュエータ3bにより回転することに
より、スライダー1上の磁気ヘッド5がハードディスク
4上を移動してハードディスク4の各半径位置で信号の
記録および再生を行うことができる。このようなヘッド
移動方式をスイングアーム方式と呼んでいるが、スイン
グアーム方式では図2に示すような様にハードディスク
4の各半径位置において、スライダー1が相対する空気
流の速度(以下周速という)、およびスライダー中心軸
に対する空気流の角度(以下スキュー角という)が変化
していく。The slider 1 and the suspension 2 are bonded to each other and are regarded as one component, which is called HGA (head / gimbal / assembly). This HGA
6 is further attached to the actuator arm 3. The attituator arm 3 is rotated by the rotary actuator 3b about the rotation shaft 3a, so that the magnetic head 5 on the slider 1 moves on the hard disk 4 to record and reproduce a signal at each radial position of the hard disk 4. It can be carried out. Such a head moving method is called a swing arm method. In the swing arm method, as shown in FIG. 2, at each radial position of the hard disk 4, the velocity of the air flow that the slider 1 faces (hereinafter referred to as the peripheral velocity). ), And the angle of the airflow with respect to the slider central axis (hereinafter referred to as the skew angle) changes.
【0016】図2では、3つの半径位置P1,P2,P
3におけるスライダー1の状態を模式的に示していて、
スライダーは一般的な従来のものを例にしている。空気
流はAの矢印で示している。半径位置P1では、スキュ
ー角が0度より小さい。半径位置P2ではスキュー角が
0度である。これに対して半径位置P3ではスキュー角
が0度より大きい。このスキュー角は、図2において符
号αで示している。In FIG. 2, three radial positions P1, P2, P
3 schematically shows the state of the slider 1 in 3.
For the slider, a general conventional slider is used as an example. The airflow is indicated by the arrow A. At the radial position P1, the skew angle is smaller than 0 degree. The skew angle is 0 degree at the radial position P2. On the other hand, the skew angle is larger than 0 degree at the radial position P3. This skew angle is indicated by symbol α in FIG.
【0017】図3は、本発明の浮上型スライダーの好ま
しい構造例を示している。図3において、スライダー1
は、第1のレール111aと第2のレール111b、エ
アグルーブ114、ヘッド搭載部16およびヘッド素子
としての磁気ヘッド5を有している。第1のレール11
1aは、外周側のサイドレールともいい、図1のハード
ディスク4の外周側に対応して位置しており、空気潤滑
面(ABS)として機能し、空気流入端部70側に位置
している。第1のレール111aは、空気流入端部70
側にテーパー部112を有している。第2のレール11
1bは、内周側のサイドレールともいい、第1のレール
111aよりもハードディスク4の内周側(ハードディ
スク4の回転中心側RP)に位置しており、空気潤滑面
(ABS)として機能する。この第2のレール111b
は、空気流入端部70側に位置していて、空気流入端部
70側にテーパー部113を有している。第2のレール
111bは、ハードディスク4の回転中心軸側であり、
第1のレール111aは外周側に位置している。FIG. 3 shows an example of a preferable structure of the flying slider of the present invention. In FIG. 3, the slider 1
Has a first rail 111a and a second rail 111b, an air groove 114, a head mounting portion 16, and a magnetic head 5 as a head element. First rail 11
1a is also referred to as an outer peripheral side rail, is located corresponding to the outer peripheral side of the hard disk 4 in FIG. 1, functions as an air lubrication surface (ABS), and is located on the air inflow end 70 side. The first rail 111a has an air inflow end portion 70.
It has a taper portion 112 on the side. Second rail 11
1b is also called an inner peripheral side rail, is located on the inner peripheral side of the hard disk 4 (the rotation center side RP of the hard disk 4) with respect to the first rail 111a, and functions as an air lubrication surface (ABS). This second rail 111b
Is located on the air inflow end 70 side and has a tapered portion 113 on the air inflow end 70 side. The second rail 111b is the rotation center axis side of the hard disk 4,
The first rail 111a is located on the outer peripheral side.
【0018】ヘッド搭載部16と第1のレール111a
と第2のレール111bの間にはエアグルーブ114が
形成されている。第2のレール111bは、1つの屈曲
点BPを有している。この屈曲点BPのレール曲げ角
は、好ましくは10度以上45度以下に設定されてい
て、好ましくはレール曲げ角αが10ないし20度に設
定されている。空気流入端部70側の一部分111cと
一部分111dが平行であるが、残りの部分111eと
111fは平行ではない。上述したように第2のレール
111bのみに一箇所の屈曲点BPを設けるのは、内周
レール111bの屈曲により、浮上量のスキュー角依存
性がシフトして、CFH特性の調整が可能となり、かつ
外周レールの屈曲よりその効果(シフト量)が大きい。Head mounting portion 16 and first rail 111a
An air groove 114 is formed between the second rail 111b and the second rail 111b. The second rail 111b has one bending point BP. The rail bending angle of the bending point BP is preferably set to 10 degrees or more and 45 degrees or less, and the rail bending angle α is preferably set to 10 to 20 degrees. The portion 111c and the portion 111d on the air inflow end portion 70 side are parallel, but the remaining portions 111e and 111f are not parallel. As described above, providing only one bending point BP only on the second rail 111b is because the skew angle dependency of the flying height is shifted by the bending of the inner rail 111b, and the CFH characteristic can be adjusted. Moreover, the effect (shift amount) is greater than the bending of the outer peripheral rail.
【0019】第2のレール111bの幅Wは、第1のレ
ール111aの幅W1よりも広く設定されている。この
ように第2のレール111bの幅Wが第1のレール11
1aの幅W1より広く設定されるのは、このレール幅の
差により、図6に示す浮上量のスキュー角依存性カーブ
が負スキュー角側にシフトし、かつこのシフト量がΔW
=W−W1の量に応じて変化する。したがって、任意の
ドライブでのスキュー角範囲に対して、適当なΔWを選
ぶことにより、最適なCFH特性を得ることができるた
めである。第2のレール111bの幅Wは、第1のレー
ル111aの幅W1よりも、たとえば10μm以上20
0μm以下の範囲の値で広くなっている。好ましくは、
第2のレール111bの幅Wは、第1のレールの幅W1
よりも50ないし100μm広く設定されている。The width W of the second rail 111b is set wider than the width W1 of the first rail 111a. In this way, the width W of the second rail 111b is equal to the width of the first rail 11b.
The reason why the width W1 of 1a is set wider is that the difference in rail width causes the skew angle dependence curve of the flying height shown in FIG. 6 to shift to the negative skew angle side, and this shift amount is ΔW.
= W-W1. Therefore, the optimum CFH characteristic can be obtained by selecting an appropriate ΔW for the skew angle range in an arbitrary drive. The width W of the second rail 111b is, for example, 10 μm or more than the width W1 of the first rail 111a.
It is wide in the range of 0 μm or less. Preferably,
The width W of the second rail 111b is the width W1 of the first rail.
It is set wider than 50 to 100 μm.
【0020】図3のヘッド搭載部16は、好ましくは突
起状もしくは島状にエアグルーブ114に対して形成さ
れている。このヘッド搭載部16には磁気ヘッド5が搭
載されている。ヘッド搭載部16は空気流出端部80側
に位置している。空気流入端部70と空気流出端部80
は、図2で示すように、空気流Aの流入端部70と流出
端部80に対応している。ヘッド搭載部16は、第1の
レール111a、第2のレール111bと、好ましくは
同一面上に位置している。ヘッド搭載部16の面は、第
1のレール111a、第2のレール111bと同様に空
気潤滑面の役割を果たす。ヘッド搭載部16はスライダ
ー1の中心部もしくは中心軸CLに対応して位置されて
いる。The head mounting portion 16 of FIG. 3 is preferably formed in a protruding shape or an island shape with respect to the air groove 114. The magnetic head 5 is mounted on the head mounting portion 16. The head mounting portion 16 is located on the air outflow end portion 80 side. Air inflow end 70 and air outflow end 80
Correspond to the inflow end 70 and the outflow end 80 of the airflow A, as shown in FIG. The head mounting portion 16 is preferably located on the same plane as the first rail 111a and the second rail 111b. The surface of the head mounting portion 16 plays the role of an air lubrication surface like the first rail 111a and the second rail 111b. The head mounting portion 16 is located corresponding to the central portion of the slider 1 or the central axis CL.
【0021】第1のレール111aと第2のレール11
1bは、深さ10μm以上の、好ましくは20μmの深
さのエアグルーブ114によって分離されている。The first rail 111a and the second rail 11
1b are separated by air grooves 114 with a depth of 10 μm or more, preferably 20 μm.
【0022】次に、図3のスライダーの動作について説
明する。内周側の第2のレール111bの幅Wと外周側
の第1のレール111aの幅W1の差(以下レール幅非
対称量ΔWという)、および内周レール11bの屈曲点
BPにおける曲げ角(以下レール曲げ角θという)を任
意に制御することにより、スライダーの浮上特性の最適
化が可能である。レール幅非対称量ΔWをパラメータに
した場合に、本発明の実施例のスライダー1の空気流出
端部80の浮上量のスキュー角依存性(周速=一定)
を、図4に示している。Next, the operation of the slider shown in FIG. 3 will be described. The difference between the width W of the second rail 111b on the inner circumference side and the width W1 of the first rail 111a on the outer circumference side (hereinafter referred to as the rail width asymmetry amount ΔW), and the bending angle at the bending point BP of the inner circumference rail 11b (hereinafter It is possible to optimize the flying characteristics of the slider by controlling the rail bending angle θ). When the rail width asymmetry amount ΔW is used as a parameter, the skew angle dependency of the flying height of the air outflow end portion 80 of the slider 1 according to the embodiment of the present invention (peripheral speed = constant).
Is shown in FIG.
【0023】図4において、レール幅非対称量ΔWの増
加に伴ない、正スキュー角側(たとえばプラス20度)
での浮上量の低下が増加することが読み取れる。既に述
べたように、従来のロータリアクチュエータを用いたハ
ードディスクドライブ装置では、メディアであるハード
ディスクの外周へいくほど周速とスキュー角が増加す
る。浮上量は周速の増加に伴ない増加し、浮上量はスキ
ュー角の増加に伴ない減少する。図11に示したような
従来のテーパーフラット型のスライダーとは異なり、本
発明の図3に示すスライダー1では、ハードディスクド
ライブでのスキュー角の範囲の設定に応じて、レール幅
非対称量ΔWを調整することにより、外周での浮上量低
下を制御することができる。この結果、図3のスライダ
ー1の全浮上領域での浮上量の一定化が可能となる。In FIG. 4, as the rail width asymmetry amount ΔW increases, the positive skew angle side (for example, plus 20 degrees).
It can be seen that the decrease in the flying height increases at. As described above, in the hard disk drive device using the conventional rotary actuator, the peripheral speed and the skew angle increase toward the outer periphery of the hard disk that is the medium. The flying height increases as the peripheral speed increases, and the flying height decreases as the skew angle increases. Unlike the conventional taper flat slider as shown in FIG. 11, the slider 1 shown in FIG. 3 of the present invention adjusts the rail width asymmetry amount ΔW according to the setting of the skew angle range in the hard disk drive. By doing so, it is possible to control the lowering of the flying height at the outer circumference. As a result, the flying height can be made constant in the entire flying area of the slider 1 in FIG.
【0024】図5は、レール幅非対称量ΔWを一定と
し、レール曲げ角θをパラメータにした時の、スライダ
ー1のロール特性のスキュー角依存性(周速=一定)を
示している。また、図6は、レール曲げ角θを一定と
し、レール幅非対称量ΔWをパラメータにした時の、ス
ライダー1のロール特性のスキュー角依存性(周速=一
定)を示している。このロール角とは、スライダー断面
の中心軸(重心を通る)と、水平軸とのなす角である。FIG. 5 shows the skew angle dependence (peripheral speed = constant) of the roll characteristic of the slider 1 when the rail width asymmetry amount ΔW is constant and the rail bending angle θ is used as a parameter. Further, FIG. 6 shows the skew angle dependence (peripheral speed = constant) of the roll characteristic of the slider 1 when the rail bending angle θ is constant and the rail width asymmetry amount ΔW is used as a parameter. The roll angle is an angle formed by the central axis (passing through the center of gravity) of the slider cross section and the horizontal axis.
【0025】図6において、レール幅非対称量ΔWを増
加させると、スライダー1のロール角は正側にシフトす
るが、スキュー角に対する変化率自身はほとんど一定で
ある。ところが、図5に示すように、レール曲げ角θを
増加させると、スキュー角に対するロール角の変化率が
鈍化する。このために、全浮上領域を通じて、スライダ
ー1はほぼ一定のロール角を得ることが可能となり、ス
ライダー1の最小浮上量が許容される値より小さくなる
ことを避けることができる。また極端に大きいロール角
は、ヘッドシーク時における加速度によって浮上量の動
的な不安定性を引き起こす。それ故に、上述した浮上量
の最適化により、浮上量の動的特性の改善を図ることが
できる。In FIG. 6, when the rail width asymmetry amount ΔW is increased, the roll angle of the slider 1 shifts to the positive side, but the rate of change itself with respect to the skew angle is almost constant. However, as shown in FIG. 5, when the rail bending angle θ is increased, the rate of change of the roll angle with respect to the skew angle becomes dull. Therefore, the slider 1 can obtain a substantially constant roll angle throughout the entire flying area, and the minimum flying height of the slider 1 can be prevented from becoming smaller than an allowable value. Further, an extremely large roll angle causes dynamic instability of the flying height due to acceleration during head seek. Therefore, by optimizing the flying height described above, the dynamic characteristics of the flying height can be improved.
【0026】さらに本発明のスライダー1は、high
−pitch化に対しても有効である。すなわち図3に
例示するように、サイドレールともいう第1のレール1
11a、第2のレール111bの長さが比較的短い分、
空気流入端部70でのレール幅を広くとることができ
る。このために、スライダー1の前部で大きな正圧発生
があるために、スライダー1は前部で浮き上がり、その
結果大きなピッチ(PITCH)を持つ。Further, the slider 1 of the present invention is high
-It is also effective for making a pitch. That is, as illustrated in FIG. 3, the first rail 1 also called a side rail.
11a, the length of the second rail 111b is relatively short,
The rail width at the air inflow end portion 70 can be widened. Therefore, since a large positive pressure is generated in the front part of the slider 1, the slider 1 floats up in the front part, resulting in a large pitch (PITCH).
【0027】図7と図8は、本発明のスライダーの好ま
しい実施例を示している。図7と図8のスライダー1
は、たとえば次のようにして製造することができる。ま
ず、アルチック材のスライダーチップの表面全体にウレ
タン系のレジスト材を塗布し、第1のレール111aと
第2のレール111bおよびヘッド搭載部16のみマス
キングを施して、紫外線により光硬化をさせたものであ
る。ウレタン系レジスト材を硬化後、現像液により未硬
化部分を除去することにより、図10に示すようにスラ
イダー1の表面上の上述した必要な箇所に対してレジス
トマスクMを形成する。このスライダーチップ1の表面
のアルチック材は、図10に示すように、微細セラミッ
クス砥粒500を搬送ガス(空気、窒素ガス)により噴
射ノズル600から噴射して加工するパウダービームエ
ッチング(PBE)法により除去して、エアグルーブ1
14を形成している。このエアグルーブ114の形成法
は、リアクティブイオンエッチング(RIE)法あるい
はイオンミリング法によっても形成可能である。このよ
うにして作られたスライダーチップ1は、図1のサスペ
ンション2上に接着して、HGA(ヘッド/ジンバル/
アッセンブリ)6を形成する。7 and 8 show a preferred embodiment of the slider of the present invention. Slider 1 in FIGS. 7 and 8
Can be manufactured, for example, as follows. First, a urethane-based resist material is applied to the entire surface of the slider chip made of Altic material, only the first rail 111a, the second rail 111b, and the head mounting portion 16 are masked, and photocured by ultraviolet rays. Is. After the urethane-based resist material is cured, the uncured portion is removed with a developing solution to form a resist mask M on the surface of the slider 1 at the above-mentioned necessary locations as shown in FIG. As shown in FIG. 10, the AlTiC material on the surface of the slider chip 1 is formed by a powder beam etching (PBE) method in which fine ceramics abrasive grains 500 are jetted from a jet nozzle 600 by a carrier gas (air, nitrogen gas) to be processed. Remove and remove air groove 1
14 is formed. The air groove 114 can be formed by a reactive ion etching (RIE) method or an ion milling method. The slider chip 1 thus manufactured is adhered onto the suspension 2 shown in FIG. 1 to form an HGA (head / gimbal /
Assembly 6 is formed.
【0028】図9は、本発明のスライダー1を2.5イ
ンチハードディスクドライブシステムに適用した場合に
おけるスライダー1の浮上特性を示している。レール幅
非対称量ΔWが、0,50,100μmと増加するにつ
れて、ハードディスク4の外周での浮上量が低下してい
ることが分かる。このスキュー角範囲では、ΔW=50
μmの時に最も良好なスライダー1の定浮上特性が得ら
れる。FIG. 9 shows the flying characteristics of the slider 1 when the slider 1 of the present invention is applied to a 2.5 inch hard disk drive system. It can be seen that as the rail width asymmetry amount ΔW increases to 0, 50, and 100 μm, the flying height on the outer periphery of the hard disk 4 decreases. In this skew angle range, ΔW = 50
The best constant floating characteristic of the slider 1 is obtained when the thickness is μm.
【0029】図7と図8のスライダー1の実施例につい
て説明する。図7のスライダー1では、第1のレール1
11aの幅W1がたとえば350μmである。第2のレ
ール111bの幅Wはたとえば400μmである。第2
のレール111bのレール曲げ角θはたとえば10度で
ある。ヘッド搭載部16の中心軸Cに対する幅W2はた
とえば400μmである。図7の実施例では第2のレー
ル111bに1つの屈曲点BPが形成されている。An embodiment of the slider 1 shown in FIGS. 7 and 8 will be described. In the slider 1 of FIG. 7, the first rail 1
The width W1 of 11a is 350 μm, for example. The width W of the second rail 111b is, for example, 400 μm. Second
The rail bending angle θ of the rail 111b is 10 degrees, for example. The width W2 of the head mounting portion 16 with respect to the central axis C is 400 μm, for example. In the embodiment shown in FIG. 7, one bending point BP is formed on the second rail 111b.
【0030】これに対して、図8のスライダー1の実施
例では、第2のレール111bに2つの屈曲点BP1と
BP2が形成されている。屈曲点BP1のレール曲げ角
θ1はたとえば5度であり、屈曲点BP2の曲げ角θ2
はたとえば8度である。図2のハードディスク4の回転
中心RPに対して内周側にあるガイドレールには、1つ
以上の屈曲点BPを形成する。これによりスライダー1
の最適な定浮上特性およびロール特性を得ることができ
る。On the other hand, in the embodiment of the slider 1 shown in FIG. 8, two bending points BP1 and BP2 are formed on the second rail 111b. The rail bending angle θ1 at the bending point BP1 is, for example, 5 degrees, and the bending angle θ2 at the bending point BP2.
Is, for example, 8 degrees. One or more bending points BP are formed on the guide rail on the inner peripheral side of the rotation center RP of the hard disk 4 in FIG. This makes slider 1
The optimum constant floating characteristics and roll characteristics can be obtained.
【0031】上述した実施例では、ハードディスクドラ
イブの設計上要求される任意の浮上条件(周速、スキュ
ー角)に対応してスライダーの浮上量をハードディスク
のデーダゾーン全域で一定にすることができる。特に2
ギャップ型MR/IND薄膜ヘッドを使用する場合に
は、スライダーのスキュー角の範囲が0度を中心として
プラスマイナス5度程度の狭い範囲で変化させることが
今後予想されるのであるが、本発明の実施例は、前述し
たスキュー角の範囲においても定浮上量化を図ることが
できる。スライダーの浮上時のロール角を最小化するこ
とができるので、磁気ヘッドのシーク時の加速度による
スライダーの浮上量の動的な不安定性を低減することが
できる。In the above-described embodiment, the flying height of the slider can be made constant over the entire data zone of the hard disk in accordance with the optional flying conditions (peripheral speed, skew angle) required for designing the hard disk drive. Especially 2
When the gap type MR / IND thin film head is used, it is expected that the range of the skew angle of the slider will be changed within a narrow range of about ± 5 degrees around 0 degree in the future. In the embodiment, it is possible to achieve a constant flying height even within the range of the skew angle described above. Since the roll angle of the slider when flying can be minimized, it is possible to reduce the dynamic instability of the flying height of the slider due to the acceleration when the magnetic head seeks.
【0032】スライダーの流入端70で空気潤滑面(A
BS)面積を多くとることで、high−pitch化
が可能である。この結果、スライダーがより低速度で離
着陸するために、摺動時間が短縮され、コンタクトスタ
ートストップ方式(CSS方式)におけるスライダーの
耐久性を改善することができる。同時にスライダーの浮
上特性の外乱に対する追随性が向上するために、ドライ
ブ動作時における信頼性が向上する。磁気ヘッドともい
うヘッド素子が、スライダーの中心軸にあるために、空
気潤滑面(ABS)の形状によるスライダーの浮上量へ
の影響が少ない。このため、加工精度を比較的甘くする
ことができ量産時の歩留りを向上することができる。と
ころで本発明は上記実施例に限定されない。図示の実施
例では、記録媒体としてハードディスクを例に説明して
いるが、これに限らず、本発明はフロッピーディスクを
対象にしてもよい。本発明は、たとえばデータストレー
ジ用の情報記録再生装置に適用することができる。ま
た、第2のレールの屈曲点は、図示の実施例では、1つ
または2つ記載されているが、これに限らず3以上の屈
曲点を設けてもよい。An air-lubricated surface (A
By increasing the (BS) area, high-pitching is possible. As a result, the slider takes off and land at a lower speed, so that the sliding time is shortened and the durability of the slider in the contact start / stop system (CSS system) can be improved. At the same time, since the followability of the flying characteristics of the slider to disturbance is improved, the reliability during drive operation is improved. Since the head element, which is also called a magnetic head, is located on the central axis of the slider, the influence of the shape of the air-lubricated surface (ABS) on the flying height of the slider is small. Therefore, the processing accuracy can be made relatively weak and the yield in mass production can be improved. The present invention is not limited to the above embodiment. In the illustrated embodiment, a hard disk is described as an example of the recording medium, but the present invention is not limited to this, and the present invention may be applied to a floppy disk. The present invention can be applied to, for example, an information recording / reproducing apparatus for data storage. Further, although one or two bending points are described in the illustrated embodiment, the second rail is not limited to this, and three or more bending points may be provided.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ド
ライブの設計上要求される任意の浮上条件(周速とスキ
ュー角)に対応して、スライダーの浮上量をデータゾー
ン全域で一定にすることができる。As described above, according to the present invention, the flying height of the slider is made constant over the entire data zone in accordance with the optional flying conditions (peripheral speed and skew angle) required for the drive design. can do.
【図1】本発明の浮上型スライダーを備えるハードディ
スクドライブ装置を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a hard disk drive device including a floating slider of the present invention.
【図2】図1のスライダーのスキュー角を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a skew angle of the slider of FIG.
【図3】本発明のスライダーの好ましい実施例を示す斜
視図。FIG. 3 is a perspective view showing a preferred embodiment of the slider of the present invention.
【図4】レール幅非対称量ΔWをパラメータとした時
の、スキュー角に対する浮上量変化量を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a flying height change amount with respect to a skew angle when a rail width asymmetry amount ΔW is used as a parameter.
【図5】レール曲げ角θをパラメータにした時の、本発
明のスライダーのロール特性のスキュー角依存性(周速
=一定)を示す図。FIG. 5 is a diagram showing skew angle dependence (peripheral speed = constant) of roll characteristics of the slider of the present invention when the rail bending angle θ is used as a parameter.
【図6】レール幅非対称量ΔWをパラメータとした時
の、本発明のスライダーのロール特性のスキュー角依存
性(周速=一定)を示す図。FIG. 6 is a diagram showing skew angle dependence (peripheral speed = constant) of roll characteristics of the slider of the present invention when the rail width asymmetry amount ΔW is used as a parameter.
【図7】本発明のスライダーの好ましい実施例を示す
図。FIG. 7 is a diagram showing a preferred embodiment of the slider of the present invention.
【図8】本発明のスライダーの別の好ましい実施例を示
す図。FIG. 8 is a diagram showing another preferred embodiment of the slider of the present invention.
【図9】本発明のスライダーを2.5インチハードディ
スクドライブに適用した場合における、スライダーの浮
上特性を示す図。FIG. 9 is a diagram showing the flying characteristics of a slider when the slider of the present invention is applied to a 2.5-inch hard disk drive.
【図10】パウダービームエッチング(PBE)法によ
り、スライダー表面のアルチック材を除去してエアグル
ーブを形成する作業を示す図。FIG. 10 is a view showing an operation of forming an air groove by removing the AlTiC material on the slider surface by a powder beam etching (PBE) method.
【図11】従来のスライダーの例を示す図。FIG. 11 is a diagram showing an example of a conventional slider.
【図12】従来のテーパーフラット型スライダーのハー
ドディスクドライブの定浮上特性を示す図。FIG. 12 is a diagram showing constant floating characteristics of a conventional taper flat slider hard disk drive.
4 ハードディスク(記録媒体) 5 磁気ヘッド(ヘッド素子) 16 ヘッド搭載部 70 空気流入端部 80 空気流出端部 111a 第1のレール(外周側のレール) 111b 第2のレール(内周側のレール) 112,113 テーパー部 114 エアグルーブ BP 第2のレールの屈曲点 W 第2のレールの幅 W1 第1のレールの幅 CL スライダーの中心線 4 hard disk (recording medium) 5 magnetic head (head element) 16 head mounting portion 70 air inflow end portion 80 air outflow end portion 111a first rail (outer rail) 111b second rail (inner rail) 112, 113 Tapered portion 114 Air groove BP Bending point of second rail W Width of second rail W1 Width of first rail CL Center line of slider
Claims (4)
よって揚力を受ける浮上型スライダーにおいて、 前記記録媒体の外周側に位置し、空気潤滑面として前記
記録媒体に対面して空気流入端部側に位置して、テーパ
ー部を有する第1のレールと、 前記記録媒体の内周側に位置し、一箇所以上の屈曲点を
持ち、前記第1のレールの幅よりも広い幅となっている
第2のレールであって、空気潤滑面として前記記録媒体
に対面して空気流入端部側に位置して、テーパー部を有
する前記第2のレールと、 空気流出端部においてスライダー中心軸上に設けられた
突起状のヘッド素子と、を備えることを特徴とする浮上
型スライダー。1. A flying slider that receives a lift force by an air flow generated by the rotation of a recording medium, the flying slider being located on the outer peripheral side of the recording medium and facing the recording medium as an air lubrication surface toward the air inflow end side. A first rail having a tapered portion, an inner circumferential side of the recording medium, one or more bending points, and a width wider than the width of the first rail. A second rail, which is located on the air inflow end side facing the recording medium as an air lubrication surface and has a taper portion; and an air outflow end portion provided on the slider central axis. And a protrusion-shaped head element formed as described above.
ールの幅よりも10μm以上200μm以下だけ広い請
求項1に記載の浮上型スライダー。2. The flying slider according to claim 1, wherein the width of the second rail is wider than the width of the first rail by 10 μm or more and 200 μm or less.
曲点は、スライダー中心軸に関して、レール曲げ角が1
0度以上45度以下になっている請求項1に記載の浮上
型スライダー。3. The one or more bending points of the second rail have a rail bending angle of 1 with respect to the slider central axis.
The levitation slider according to claim 1, wherein the levitation slider is from 0 degrees to 45 degrees.
を受ける浮上型スライダーであり、 前記記録媒体の外周側に位置し、空気潤滑面として、前
記記録媒体に対面する第1のレールであって、空気流入
端部側に位置して、テーパー部を有する前記第1のレー
ルと、 前記記録媒体の内周側に位置し、一箇所以上の屈曲点を
持ち、前記第1のレールの幅よりも広い幅となっている
第2のレールであって、空気潤滑面として、前記記録媒
体に対面し、空気流入端部側に位置して、テーパー部を
有する前記第2のレールと、 前記空気流出端部においてスライダー中心軸上に設けら
れた突起状のヘッド素子と、を備える前記浮上型スライ
ダーと、 前記浮上型スライダーを保持するサスペンションと、を
備えることを特徴とする浮上型スライダーを備えるディ
スクドライブ装置。4. A unit for rotating a recording medium, and a floating slider that receives a lift force by an air flow generated by the rotation of the recording medium, the slider being located on the outer peripheral side of the recording medium and serving as an air-lubricated surface. A first rail facing the medium, the first rail being located on the air inflow end side and having a taper portion, and the inner rail of the recording medium, and one or more bending points A second rail having a width wider than that of the first rail, the air bearing surface facing the recording medium, being located on the air inflow end side, and being a tapered portion. And a suspension for holding the floating slider, the second rail having the second rail, and a protrusion-shaped head element provided on the slider central axis at the air outflow end. Disk drive device comprising a floating type slider, wherein Rukoto.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25452794A JPH0896337A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Disk drive device with floating slider and floating slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25452794A JPH0896337A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Disk drive device with floating slider and floating slider |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0896337A true JPH0896337A (en) | 1996-04-12 |
Family
ID=17266284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25452794A Pending JPH0896337A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Disk drive device with floating slider and floating slider |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0896337A (en) |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP25452794A patent/JPH0896337A/en active Pending
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