JPH0896737A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0896737A JPH0896737A JP6234762A JP23476294A JPH0896737A JP H0896737 A JPH0896737 A JP H0896737A JP 6234762 A JP6234762 A JP 6234762A JP 23476294 A JP23476294 A JP 23476294A JP H0896737 A JPH0896737 A JP H0896737A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- lens
- image
- electron beam
- sample
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】対物レンズ５内に設けた磁場印加手段７と，対
物レンズ５と結像レンズ９の間に設けた電子線の偏向補
正手段と，交流磁場の任意の位相を選択して印加する手
段および像表示手段の同期信号による印加磁場の駆動手
段を具備する電子顕微鏡。 【効果】従来の試料位置で磁区の観察が可能になり、偏
向補正手段として従来具備するレンズを代用可能にな
る。また磁区の運動方向とその大きさおよび、磁区の運
動の様子を動的に観察可能になる。
物レンズ５と結像レンズ９の間に設けた電子線の偏向補
正手段と，交流磁場の任意の位相を選択して印加する手
段および像表示手段の同期信号による印加磁場の駆動手
段を具備する電子顕微鏡。 【効果】従来の試料位置で磁区の観察が可能になり、偏
向補正手段として従来具備するレンズを代用可能にな
る。また磁区の運動方向とその大きさおよび、磁区の運
動の様子を動的に観察可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁性試料に磁場を印加し
て磁区の運動を観察するのに適した電子顕微鏡に関す
る。
て磁区の運動を観察するのに適した電子顕微鏡に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁場を印加した磁性試料の電子顕
微鏡像を観察することにより磁区構造に関する多くの知
見が得られている。特に特公昭59−8025号では周期的に
変化する磁場を試料に印加し、磁場印加用コイルと対物
レンズの間に配置した補正用コイルで電子線を光軸上に
戻し対物レンズに入射させている。対物レンズ通過後
は、磁場印加手段からのトリガ信号により特定周期時の
電子線だけを二次電子増倍管に取り込み陰極管上に像を
表示している。
微鏡像を観察することにより磁区構造に関する多くの知
見が得られている。特に特公昭59−8025号では周期的に
変化する磁場を試料に印加し、磁場印加用コイルと対物
レンズの間に配置した補正用コイルで電子線を光軸上に
戻し対物レンズに入射させている。対物レンズ通過後
は、磁場印加手段からのトリガ信号により特定周期時の
電子線だけを二次電子増倍管に取り込み陰極管上に像を
表示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来では、磁場印加手
段と偏向補正手段が対物レンズより上方に位置するた
め、試料ホルダを対物レンズ位置だけでなく磁場印加手
段位置にも設ける必要があった。さらに印加磁場の特定
周期時の静止像しか表示できなかった。
段と偏向補正手段が対物レンズより上方に位置するた
め、試料ホルダを対物レンズ位置だけでなく磁場印加手
段位置にも設ける必要があった。さらに印加磁場の特定
周期時の静止像しか表示できなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明では対物レンズの
間に磁場印加手段を配置して試料に直流磁場あるいは任
意の位相，周期，振幅を持つ交流磁場を印加できるよう
にし、前記対物レンズと結像レンズの間に配置した偏向
補正手段にて前記磁場印加手段による電子線の偏向を補
正できるようにし、磁区の運動を観察する。また像表示
手段からの同期信号により前記磁場印加手段と前記偏向
補正手段を駆動し、印加した磁場による磁区の運動を動
的に観察可能にする。
間に磁場印加手段を配置して試料に直流磁場あるいは任
意の位相，周期，振幅を持つ交流磁場を印加できるよう
にし、前記対物レンズと結像レンズの間に配置した偏向
補正手段にて前記磁場印加手段による電子線の偏向を補
正できるようにし、磁区の運動を観察する。また像表示
手段からの同期信号により前記磁場印加手段と前記偏向
補正手段を駆動し、印加した磁場による磁区の運動を動
的に観察可能にする。
【０００５】
【作用】対物レンズの間に設置した磁場印加手段に磁場
印加用電源で発生させた直流電流あるいは任意の位相，
周期，振幅を持つ交流電流を任意の同期信号で印加す
る。対物レンズに入射した電子線は磁場印加手段により
偏向される。磁場印加手段のＸ成分とＹ成分をそれぞれ
任意の比率で分配した電流を加算して偏向補正用コイル
に印加し、電子線の偏向を振り戻して電子線を光軸上に
戻して補正する。また像表示手段の同期信号により磁場
印加手段と補正手段を駆動し、１画面毎に交互に磁場印
加のある場合とない場合の像を同位相または位相を変え
て表示し、磁区の運動方向とその大きさを動的に観察す
る。
印加用電源で発生させた直流電流あるいは任意の位相，
周期，振幅を持つ交流電流を任意の同期信号で印加す
る。対物レンズに入射した電子線は磁場印加手段により
偏向される。磁場印加手段のＸ成分とＹ成分をそれぞれ
任意の比率で分配した電流を加算して偏向補正用コイル
に印加し、電子線の偏向を振り戻して電子線を光軸上に
戻して補正する。また像表示手段の同期信号により磁場
印加手段と補正手段を駆動し、１画面毎に交互に磁場印
加のある場合とない場合の像を同位相または位相を変え
て表示し、磁区の運動方向とその大きさを動的に観察す
る。
【０００６】
【実施例】本発明は対物レンズ内に設けられた磁場印加
手段と，印加磁場による電子線の偏向を補正するための
補正手段と，磁場印加手段に静磁場あるいは任意の位
相，周期，振幅を持つ交流磁場を印加することにより磁
性試料の動的観察を可能にするもので、以下図面に基づ
き説明する。
手段と，印加磁場による電子線の偏向を補正するための
補正手段と，磁場印加手段に静磁場あるいは任意の位
相，周期，振幅を持つ交流磁場を印加することにより磁
性試料の動的観察を可能にするもので、以下図面に基づ
き説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を説明するための
ブロック図であり、図中１は電子銃であり、電子銃１よ
り発生した電子線２は集束レンズ３に入射して平行ビー
ムにされ、光軸４に沿って磁性試料６に入射する。対物
レンズ５内には試料６に磁場を印加するための二つのコ
イル７ａ，７ｂが配置されそれぞれＸ，Ｙ方向の磁場を
発生する。コイル７ａ，７ｂには磁場印加電源２０より
直流あるいは任意の交流電流が供給される。交流電流
は、同期回路１４の任意の信号または像表示手段１１か
らの同期信号２１で正弦波発生回路１５に発生した任意
周期の正弦波，方形波，三角波等の交流信号を位相調整
器１６に導入し、任意の位相，振幅の交流電流にし電流
増幅器１７ａ，１７ｂで増幅してコイル７ａ，７ｂに導
入される。従ってコイル７ａ，７ｂにより試料６には任
意の磁場が印加され試料６内の磁性部分が動く。また電
子線は試料６に印加された磁場により偏向されて二つの
コイルにより構成される補正コイル８ａ，８ｂに入射す
る。補正コイル８ａ，８ｂは、コイル７ａ，７ｂで電子
線２が受けた偏向を打ち消すような磁場を印加して電子
線を光軸４上に戻し補正している。このとき補正コイル
８ａ，８ｂには図２に示すようにコイル７ａ，７ｂの
Ｘ，Ｙ方向の電流をそれぞれ分配器１８ａ，18ｂにより
任意の比率で分配し、分配した電流の合成値が電流増幅
器１９ａ，１９ｂで増幅して印加されるためコイル７
ａ，７ｂとは電気的に同期している。補正コイル８ａ，
８ｂの後段には結像レンズ９が配置されており、結像レ
ンズ９で結像された像は撮像する変換手段１０で光学像
に変換された後、像表示手段１１で表示される。勿論、
偏向補正用コイルの前段にも他の結像レンズが配置され
うる。
ブロック図であり、図中１は電子銃であり、電子銃１よ
り発生した電子線２は集束レンズ３に入射して平行ビー
ムにされ、光軸４に沿って磁性試料６に入射する。対物
レンズ５内には試料６に磁場を印加するための二つのコ
イル７ａ，７ｂが配置されそれぞれＸ，Ｙ方向の磁場を
発生する。コイル７ａ，７ｂには磁場印加電源２０より
直流あるいは任意の交流電流が供給される。交流電流
は、同期回路１４の任意の信号または像表示手段１１か
らの同期信号２１で正弦波発生回路１５に発生した任意
周期の正弦波，方形波，三角波等の交流信号を位相調整
器１６に導入し、任意の位相，振幅の交流電流にし電流
増幅器１７ａ，１７ｂで増幅してコイル７ａ，７ｂに導
入される。従ってコイル７ａ，７ｂにより試料６には任
意の磁場が印加され試料６内の磁性部分が動く。また電
子線は試料６に印加された磁場により偏向されて二つの
コイルにより構成される補正コイル８ａ，８ｂに入射す
る。補正コイル８ａ，８ｂは、コイル７ａ，７ｂで電子
線２が受けた偏向を打ち消すような磁場を印加して電子
線を光軸４上に戻し補正している。このとき補正コイル
８ａ，８ｂには図２に示すようにコイル７ａ，７ｂの
Ｘ，Ｙ方向の電流をそれぞれ分配器１８ａ，18ｂにより
任意の比率で分配し、分配した電流の合成値が電流増幅
器１９ａ，１９ｂで増幅して印加されるためコイル７
ａ，７ｂとは電気的に同期している。補正コイル８ａ，
８ｂの後段には結像レンズ９が配置されており、結像レ
ンズ９で結像された像は撮像する変換手段１０で光学像
に変換された後、像表示手段１１で表示される。勿論、
偏向補正用コイルの前段にも他の結像レンズが配置され
うる。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、試料位置を新たに対物
レンズ上方に設ける必要がなくなり、従来の試料位置で
磁区の観察が可能になる。さらにイメージシフトコイル
を偏向補正手段として代用することが可能になる。
レンズ上方に設ける必要がなくなり、従来の試料位置で
磁区の観察が可能になる。さらにイメージシフトコイル
を偏向補正手段として代用することが可能になる。
【０００９】また像表示手段の同期信号によって磁場印
加手段が駆動され、像表示手段には磁場を印加した時と
印加しない時の電子線像が交互に表示される。印加して
いる交流磁場の位相を選択することにより、印加磁場が
同位相時には磁区の運動方向とその大きさを静止像とし
て観察することができ、位相を変えた場合は磁区が運動
する様子を動的に観察することが可能になる。
加手段が駆動され、像表示手段には磁場を印加した時と
印加しない時の電子線像が交互に表示される。印加して
いる交流磁場の位相を選択することにより、印加磁場が
同位相時には磁区の運動方向とその大きさを静止像とし
て観察することができ、位相を変えた場合は磁区が運動
する様子を動的に観察することが可能になる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図。
【図２】図１の詳細の説明図。
１…電子銃、２…電子線、３…集束レンズ、４…光軸、
５，５ａ，５ｂ…対物レンズ、６…試料、７ａ，７ｂ…
コイル、８ａ，８ｂ…補正コイル、９…結像レンズ、１
０…変換手段、１１…像表示手段、１４…同期回路、１
５…正弦波発生回路、１６…位相調整器、１７ａ，１７
ｂ，１９ａ，１９ｂ…電流増幅器、18ａ，１８ｂ…分配
器、２０…磁場印加電源、２１…同期信号。
５，５ａ，５ｂ…対物レンズ、６…試料、７ａ，７ｂ…
コイル、８ａ，８ｂ…補正コイル、９…結像レンズ、１
０…変換手段、１１…像表示手段、１４…同期回路、１
５…正弦波発生回路、１６…位相調整器、１７ａ，１７
ｂ，１９ａ，１９ｂ…電流増幅器、18ａ，１８ｂ…分配
器、２０…磁場印加電源、２１…同期信号。
Claims (1)
- 【請求項１】電子銃と，前記電子銃から発生した電子線
を試料上に収束するための収束レンズと，前記試料を透
過した電子線が入射する対物レンズと，前記試料に磁場
を印加する手段と，前記電子線による像を結像する複数
の結像レンズと，前記結像レンズによる像を撮像する手
段と，像を表示する手段とを具備した電子顕微鏡におい
て、前記磁場印加手段による電子線の偏向を補正する手
段を対物レンズと結像レンズの間に設けたことおよび前
記磁場印加手段と偏向補正手段を前記像表示手段よりの
信号にて駆動させる手段を設けたことを特徴とする電子
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6234762A JPH0896737A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6234762A JPH0896737A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0896737A true JPH0896737A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16975965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6234762A Pending JPH0896737A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0896737A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002080218A1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-10-10 | Japan Science And Technology Corporation | Magnetic field applying sample observing system |
| EP1598848A3 (en) * | 2004-05-21 | 2006-11-02 | Tohoku University | Electron microscope |
| JP2007080724A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Tohoku Univ | 電子顕微鏡の磁場印加装置 |
| US8158940B2 (en) | 2009-05-20 | 2012-04-17 | Jeol Ltd. | Magnetic domain imaging system |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP6234762A patent/JPH0896737A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002080218A1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-10-10 | Japan Science And Technology Corporation | Magnetic field applying sample observing system |
| US6838675B2 (en) * | 2001-03-29 | 2005-01-04 | Hitachi, Ltd. | Specimen observation system for applying external magnetic field |
| EP1598848A3 (en) * | 2004-05-21 | 2006-11-02 | Tohoku University | Electron microscope |
| US7241995B2 (en) | 2004-05-21 | 2007-07-10 | Tohoku University | Electron microscope equipped with magnetic microprobe |
| JP2007080724A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Tohoku Univ | 電子顕微鏡の磁場印加装置 |
| US8158940B2 (en) | 2009-05-20 | 2012-04-17 | Jeol Ltd. | Magnetic domain imaging system |
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