JPH0899008A - エレクトレットフィルタ - Google Patents
エレクトレットフィルタInfo
- Publication number
- JPH0899008A JPH0899008A JP23731794A JP23731794A JPH0899008A JP H0899008 A JPH0899008 A JP H0899008A JP 23731794 A JP23731794 A JP 23731794A JP 23731794 A JP23731794 A JP 23731794A JP H0899008 A JPH0899008 A JP H0899008A
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- Japan
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- porous film
- electret filter
- electret
- electretized
- filter
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体、電子機器、薬品、生化学的物質等の
製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため
等に用いるエレクトレットフィルタであって、粉塵に対
する高い捕集率を長時間維持するものを提供する。 【構成】 繊維シートの両面にエレクトレット化された
多孔質フィルムが積層されており、多孔質フィルムの一
方が正の電荷を、他方が負の電荷を有するものである。
製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため
等に用いるエレクトレットフィルタであって、粉塵に対
する高い捕集率を長時間維持するものを提供する。 【構成】 繊維シートの両面にエレクトレット化された
多孔質フィルムが積層されており、多孔質フィルムの一
方が正の電荷を、他方が負の電荷を有するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体、電子機器、薬
品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰
囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィル
タの改良に関するものである。
品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰
囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィル
タの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】かようなエレクトレットフィルタとして
は、例えば、エレクトレット化多孔質フィルムを繊維シ
ートと貼り合わせたものが知られている（特開平４−１
６１２０８号公報）。
は、例えば、エレクトレット化多孔質フィルムを繊維シ
ートと貼り合わせたものが知られている（特開平４−１
６１２０８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のエレクトレ
ットフィルタは、図２に示すように、エレクトレット化
された多孔質フィルム１が繊維シート３の貼り合わせに
より補強された構造のものであり、該多孔質フィルム１
の一方の面が正の電荷を、他面が負の電荷を帯びてい
る。
ットフィルタは、図２に示すように、エレクトレット化
された多孔質フィルム１が繊維シート３の貼り合わせに
より補強された構造のものであり、該多孔質フィルム１
の一方の面が正の電荷を、他面が負の電荷を帯びてい
る。
【０００４】このエレクトレットフィルタは多孔質フィ
ルムのエレクトレット化により集塵機能が高いものの、
このような電荷状態の持続時間は短く、比較的短時間で
粉塵に対する捕集率が低下してしまうという問題があ
る。従って、本発明は粉塵に対する高い捕集率を長時間
持続できるエレクトレット化フィルタを提供することを
目的とする。
ルムのエレクトレット化により集塵機能が高いものの、
このような電荷状態の持続時間は短く、比較的短時間で
粉塵に対する捕集率が低下してしまうという問題があ
る。従って、本発明は粉塵に対する高い捕集率を長時間
持続できるエレクトレット化フィルタを提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るエレクトレ
ットフィルタは繊維シートの両面に多孔質フィルムが積
層されており、且つ、前記多孔質フィルムの一方が正の
電荷を、他方が負の電荷を有するようにエレクトレット
化されていることを特徴とするものである。
ットフィルタは繊維シートの両面に多孔質フィルムが積
層されており、且つ、前記多孔質フィルムの一方が正の
電荷を、他方が負の電荷を有するようにエレクトレット
化されていることを特徴とするものである。
【０００６】図１は本発明に係るエレクトレットフィル
タの実例を示しており、繊維シート３の一方の面には正
の電荷を有するようにエレクトレット化された多孔質フ
ィルム１が、他面には負の電荷を有するようにエレクト
レット化された多孔質フィルム２が積層されている。多
孔質フィルムと、繊維シートの積層は接着や熱融着によ
り行うことができる。ただし、多孔質フィルムと繊維シ
ートは点状、筋状、網目状等のように部分的に接着や熱
融着させ、フィルタの表面側から裏面側への空気の流通
を維持し得る積層構造とする。
タの実例を示しており、繊維シート３の一方の面には正
の電荷を有するようにエレクトレット化された多孔質フ
ィルム１が、他面には負の電荷を有するようにエレクト
レット化された多孔質フィルム２が積層されている。多
孔質フィルムと、繊維シートの積層は接着や熱融着によ
り行うことができる。ただし、多孔質フィルムと繊維シ
ートは点状、筋状、網目状等のように部分的に接着や熱
融着させ、フィルタの表面側から裏面側への空気の流通
を維持し得る積層構造とする。
【０００７】なお、上記図１に示すエレクトレットフィ
ルタでは繊維シートがエレクトレット化されていない
が、本発明においては繊維シートがエレクトレット化さ
れていてもよい。
ルタでは繊維シートがエレクトレット化されていない
が、本発明においては繊維シートがエレクトレット化さ
れていてもよい。
【０００８】本発明において用いる多孔質フィルムはエ
レクトレット化できるものであればよく、例えば、ポリ
テトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」とい
う）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフ
ルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
クロロトリフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、ポリ４メチル１ペンテン、ポリ３メチル１ブテ
ン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、
等をその具体例として挙げることができる。この多孔質
フィルムの厚さ等は適宜設定できるが、通常、厚さ約５
〜５００μｍ、孔径約０．１〜１０μｍ、気孔率約７０
〜９５％のものが用いられる。
レクトレット化できるものであればよく、例えば、ポリ
テトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」とい
う）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフ
ルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ
クロロトリフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、ポリ４メチル１ペンテン、ポリ３メチル１ブテ
ン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、
等をその具体例として挙げることができる。この多孔質
フィルムの厚さ等は適宜設定できるが、通常、厚さ約５
〜５００μｍ、孔径約０．１〜１０μｍ、気孔率約７０
〜９５％のものが用いられる。
【０００９】また、繊維シートとしては不織布や織布等
を用いることができる。この繊維シートの厚さ等も適宜
設定できるが、通常、厚さ約０．１〜５ｍｍ、目付１０
〜５００ｇ／ｍ2 である。
を用いることができる。この繊維シートの厚さ等も適宜
設定できるが、通常、厚さ約０．１〜５ｍｍ、目付１０
〜５００ｇ／ｍ2 である。
【００１０】なお、本発明においては粉塵に対する捕集
率をより長時間持続させるため、多孔質フィルムおよび
繊維シートとして、体積抵抗率が１×１０14Ω・ｃｍ以
上のものを用いるのが好適であることが判明している。
率をより長時間持続させるため、多孔質フィルムおよび
繊維シートとして、体積抵抗率が１×１０14Ω・ｃｍ以
上のものを用いるのが好適であることが判明している。
【００１１】このような本発明に係るエレクトレットフ
ィルタは、例えば、繊維シートの両面に多孔質フィルム
を点状、筋状、網目状等に部分的に接着あるいは熱融着
させ、次いで、この積層体に従来から行われている熱エ
レクトレット、エレクトロエレクトレット、メカノエレ
クトレット、ラジオエレクトレット、マグネットエレク
トレット等のエレクトレット化法を適用し多孔質フィル
ムをエレクトレット化することにより得ることができ
る。
ィルタは、例えば、繊維シートの両面に多孔質フィルム
を点状、筋状、網目状等に部分的に接着あるいは熱融着
させ、次いで、この積層体に従来から行われている熱エ
レクトレット、エレクトロエレクトレット、メカノエレ
クトレット、ラジオエレクトレット、マグネットエレク
トレット等のエレクトレット化法を適用し多孔質フィル
ムをエレクトレット化することにより得ることができ
る。
【００１２】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【００１３】実施例１ 厚さ０．５ｍｍ、目付１００ｇ／ｍ2 、体積抵抗率１×
１０16Ω・ｃｍのポリプロピレン不織布の両面に、厚さ
１０μｍ、孔径２μｍ、気孔率９０％、体積抵抗率１×
１０16Ω・ｃｍのＰＴＦＥ多孔質フィルムを重ね合わ
せ、次いで、これを温度１５０℃に加熱された一対のエ
ンボスロール間を通すことにより不織布の両面にＰＴＦ
Ｅ多孔質フィルムが点状に熱融着された積層体を得る。
１０16Ω・ｃｍのポリプロピレン不織布の両面に、厚さ
１０μｍ、孔径２μｍ、気孔率９０％、体積抵抗率１×
１０16Ω・ｃｍのＰＴＦＥ多孔質フィルムを重ね合わ
せ、次いで、これを温度１５０℃に加熱された一対のエ
ンボスロール間を通すことにより不織布の両面にＰＴＦ
Ｅ多孔質フィルムが点状に熱融着された積層体を得る。
【００１４】次に、この積層体に対し、５ｋＶ／ｃｍに
てコロナ放電処理を行うことにより、一方のＰＴＦＥ多
孔質フィルムが正電荷を有し、他方のＰＴＦＥ多孔質フ
ィルムが負電荷を有するようにエレクトレット化された
フィルタ（図１と同構造）を得た。
てコロナ放電処理を行うことにより、一方のＰＴＦＥ多
孔質フィルムが正電荷を有し、他方のＰＴＦＥ多孔質フ
ィルムが負電荷を有するようにエレクトレット化された
フィルタ（図１と同構造）を得た。
【００１５】このエレクトレットフィルタの正電荷を有
するＰＴＦＥ多孔質フィルムが風上側になるようにし、
粒径０．１〜０．１５μｍの粒子を１×１０10個／ｍ3
の割合で含む風（温度２５℃）を風速５．３ｃｍ／秒で
送風したとき、粒子の透過率は０．０６％であった。ま
た、このフィルタの圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。
更に、このフィルタを温度２５℃の部屋で２週間放置し
た後、上記と同様な粒子透過試験を行ったところ、透過
率は０．０７％であり初期値をほぼ維持していた。
するＰＴＦＥ多孔質フィルムが風上側になるようにし、
粒径０．１〜０．１５μｍの粒子を１×１０10個／ｍ3
の割合で含む風（温度２５℃）を風速５．３ｃｍ／秒で
送風したとき、粒子の透過率は０．０６％であった。ま
た、このフィルタの圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。
更に、このフィルタを温度２５℃の部屋で２週間放置し
た後、上記と同様な粒子透過試験を行ったところ、透過
率は０．０７％であり初期値をほぼ維持していた。
【００１６】実施例２ ポリプロピレン不織布に代え、厚さ０．５ｍｍ、目付１
００ｇ／ｍ2 、体積抵抗率１×１０14Ω・ｃｍのポリエ
チレン不織布を用いること以外は実施例１と同様にして
エレクトレットフィルタを得た。
００ｇ／ｍ2 、体積抵抗率１×１０14Ω・ｃｍのポリエ
チレン不織布を用いること以外は実施例１と同様にして
エレクトレットフィルタを得た。
【００１７】このエレクトレットフィルタの性能を実施
例１と同様に試験したところ、粒子の透過率は０．０５
％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。また、２週間放
置後の透過率は０．０９％であり初期値をほぼ維持して
いた。
例１と同様に試験したところ、粒子の透過率は０．０５
％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。また、２週間放
置後の透過率は０．０９％であり初期値をほぼ維持して
いた。
【００１８】実施例３ ポリプロピレン不織布に代え、厚さ０．５ｍｍ、目付１
００ｇ／ｍ2 、体積抵抗率１×１０13Ω・ｃｍのナイロ
ン不織布を用いること以外は実施例１と同様に作業して
エレクトレットフィルタを得た。このフィルタの粒子の
透過率は０．０６％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであっ
た。また、２週間放置後の透過率は０．１％であった。
００ｇ／ｍ2 、体積抵抗率１×１０13Ω・ｃｍのナイロ
ン不織布を用いること以外は実施例１と同様に作業して
エレクトレットフィルタを得た。このフィルタの粒子の
透過率は０．０６％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであっ
た。また、２週間放置後の透過率は０．１％であった。
【００１９】実施例４ ＰＴＦＥ多孔質フィルムに代え、厚さ１０μｍ、孔径２
μｍ、気孔率９０％、体積抵抗率１×１０14Ω・ｃｍの
ポリエチレン多孔質フィルムを用いること以外は実施例
１と同様に作業してエレクトレットフィルタを得た。こ
のフィルタの粒子の透過率は０．０６％、圧力損失は３
０ｍｍＡｑであった。また、２週間放置後の透過率は
０．１２％であった。
μｍ、気孔率９０％、体積抵抗率１×１０14Ω・ｃｍの
ポリエチレン多孔質フィルムを用いること以外は実施例
１と同様に作業してエレクトレットフィルタを得た。こ
のフィルタの粒子の透過率は０．０６％、圧力損失は３
０ｍｍＡｑであった。また、２週間放置後の透過率は
０．１２％であった。
【００２０】比較例 厚さ１２μｍ、孔径２μｍ、気孔率９０％、体積抵抗率
１×１０16Ω・ｃｍのＰＴＦＥ多孔質フィルムを実施例
１と同条件でコロナ放電処理することによりエレクトレ
ット化する。このエレクトレット化多孔質フィルムは一
方の面が正の電荷を、他面が負の電荷を有している。
１×１０16Ω・ｃｍのＰＴＦＥ多孔質フィルムを実施例
１と同条件でコロナ放電処理することによりエレクトレ
ット化する。このエレクトレット化多孔質フィルムは一
方の面が正の電荷を、他面が負の電荷を有している。
【００２１】このエレクトレット化多孔質フィルムの片
面に実施例１で用いたのと同じポリプロピレン不織布を
重ね合わせ、これを温度１５０℃に加熱された一対のエ
ンボスロール間を通すことにより、エレクトレット化Ｐ
ＴＦＥ多孔質フィルムの片面に不織布が点状に熱融着さ
れたエレクトレットフィルタ（図２と同構造）を得た。
面に実施例１で用いたのと同じポリプロピレン不織布を
重ね合わせ、これを温度１５０℃に加熱された一対のエ
ンボスロール間を通すことにより、エレクトレット化Ｐ
ＴＦＥ多孔質フィルムの片面に不織布が点状に熱融着さ
れたエレクトレットフィルタ（図２と同構造）を得た。
【００２２】このエレクトレットフィルタの性能を実施
例１と同様に試験したところ、粒子の透過率は０．０７
％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。また、２週間放
置後には透過率が０．３％に増加した。
例１と同様に試験したところ、粒子の透過率は０．０７
％、圧力損失は３０ｍｍＡｑであった。また、２週間放
置後には透過率が０．３％に増加した。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上記のように構成されているの
で、多孔質フィルムのエレクトレット化寿命が長く、粉
塵に対する高い捕集率を長時間持続できる。
で、多孔質フィルムのエレクトレット化寿命が長く、粉
塵に対する高い捕集率を長時間持続できる。
【図１】本発明に係るエレクトレットフィルタの実例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】従来のエレクトレットフィルタを示す正面図で
ある。
ある。
１ 多孔質フィルム ２ 多孔質フィルム ３ 繊維シート
Claims (2)
- 【請求項１】 繊維シートの両面に多孔質フィルムが積
層されており、且つ、前記多孔質フィルムの一方が正の
電荷を、他方が負の電荷を有するようにエレクトレット
化されていることを特徴とするエレクトレットフィル
タ。 - 【請求項２】 不織布および多孔質フィルムの体積抵抗
率が１×１０14Ω・ｃｍ以上である請求項１記載のエレ
クトレットフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731794A JPH0899008A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エレクトレットフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731794A JPH0899008A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エレクトレットフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0899008A true JPH0899008A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17013580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23731794A Pending JPH0899008A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エレクトレットフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0899008A (ja) |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23731794A patent/JPH0899008A/ja active Pending
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