JPH09101266A - ウェーハ検査装置 - Google Patents
ウェーハ検査装置Info
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- JPH09101266A JPH09101266A JP27958695A JP27958695A JPH09101266A JP H09101266 A JPH09101266 A JP H09101266A JP 27958695 A JP27958695 A JP 27958695A JP 27958695 A JP27958695 A JP 27958695A JP H09101266 A JPH09101266 A JP H09101266A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 77
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハを機械に保持させて、自転，傾斜は
もとより公転ならびに公転半径の変更等を自動的に安定
且つ確実に行うことができて、ウェーハの目視検査を容
易にし、検査能率を向上せしめるウェーハ検査装置を提
供する。 【構成】 ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持さ
せてウェーハの軸心を中心に回転させる自転機構と、ウ
ェーハを任意の方向に且つ平面に対し任意の角度に傾斜
させる傾斜機構と、ウェーハを平面内で一定方向に姿勢
を保持させた状態で平面に直角な回転軸の周りを公転さ
せ且つその公転半径を連続的に変化させる公転機構とよ
りなるウェーハ検査装置。
もとより公転ならびに公転半径の変更等を自動的に安定
且つ確実に行うことができて、ウェーハの目視検査を容
易にし、検査能率を向上せしめるウェーハ検査装置を提
供する。 【構成】 ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保持さ
せてウェーハの軸心を中心に回転させる自転機構と、ウ
ェーハを任意の方向に且つ平面に対し任意の角度に傾斜
させる傾斜機構と、ウェーハを平面内で一定方向に姿勢
を保持させた状態で平面に直角な回転軸の周りを公転さ
せ且つその公転半径を連続的に変化させる公転機構とよ
りなるウェーハ検査装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハの割
れ，傷等の欠陥やごみ，汚れ等の有無の目視による検査
を容易にするウェーハ検査装置に関する。
れ，傷等の欠陥やごみ，汚れ等の有無の目視による検査
を容易にするウェーハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記の半導体ウェーハの目視検査
作業は、図７に示すようにウェーハ１をバキュームピン
セット２により保持し、スポット光源３の下でウェーハ
１の方向を変えずに平面内で図示の如く公転させ、また
ウェーハ１の中心の公転軌跡Ｓの公転半径Ｒを連続的に
変化させる公転操作、図８に示すようにウェーハ１を回
転させ、バキュームピンセット２を９０°，１８０°ご
とに持ち替える自転操作、図９に示すように任意の軸周
りにウェーハ１を傾斜させる傾斜操作を行いながら、ウ
ェーハ１の割れ，傷等の欠陥やごみ，汚れ等の有無を検
査するものであった。
作業は、図７に示すようにウェーハ１をバキュームピン
セット２により保持し、スポット光源３の下でウェーハ
１の方向を変えずに平面内で図示の如く公転させ、また
ウェーハ１の中心の公転軌跡Ｓの公転半径Ｒを連続的に
変化させる公転操作、図８に示すようにウェーハ１を回
転させ、バキュームピンセット２を９０°，１８０°ご
とに持ち替える自転操作、図９に示すように任意の軸周
りにウェーハ１を傾斜させる傾斜操作を行いながら、ウ
ェーハ１の割れ，傷等の欠陥やごみ，汚れ等の有無を検
査するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、半導
体ウェーハ１は大口径化，大重量化し、目視検査に於い
て、ウェーハ１をバキュームピンセット２で保持し、公
転，自転，傾斜などウェーハ１の姿勢をスポット光源３
の下で様々な位置，角度に保つ手作業が困難且つ疲労を
伴うものとなっている。また、検査能率も低下してい
る。
体ウェーハ１は大口径化，大重量化し、目視検査に於い
て、ウェーハ１をバキュームピンセット２で保持し、公
転，自転，傾斜などウェーハ１の姿勢をスポット光源３
の下で様々な位置，角度に保つ手作業が困難且つ疲労を
伴うものとなっている。また、検査能率も低下してい
る。
【０００４】このようなことから近時ウェーハ検査装置
として、ウェーハを機械に保持させて自転，傾斜などウ
ェーハの姿勢を自動的に変更させることのできる装置が
提案（例えば特開平６−１６０２９２号公報参照）され
ている。
として、ウェーハを機械に保持させて自転，傾斜などウ
ェーハの姿勢を自動的に変更させることのできる装置が
提案（例えば特開平６−１６０２９２号公報参照）され
ている。
【０００５】しかしながら、このウェーハ検査装置は、
ウェーハを公転させることができず、ましてや公転の公
転半径を連続的に任意に変更することは不可能であっ
た。そこで本発明は、ウェーハを機械に保持させて、自
転，傾斜はもとより公転ならびに公転半径の変更等を自
動的に安定且つ確実に行うことができて、ウェーハの目
視検査を容易にし、検査能率を向上せしめるウェーハ検
査装置を提供しようとするものである。
ウェーハを公転させることができず、ましてや公転の公
転半径を連続的に任意に変更することは不可能であっ
た。そこで本発明は、ウェーハを機械に保持させて、自
転，傾斜はもとより公転ならびに公転半径の変更等を自
動的に安定且つ確実に行うことができて、ウェーハの目
視検査を容易にし、検査能率を向上せしめるウェーハ検
査装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１のウェーハ検査装置は、ウェーハを平面
内で一定方向に姿勢を保持させてウェーハの軸心を中心
に回転させる自転機構と、ウェーハを任意の方向に且つ
平面に対し任意の角度に傾斜させる傾斜機構と、ウェー
ハを平面内で一定方向に姿勢を保持させた状態で平面に
直角な回転軸の周りを公転させ且つその公転半径を連続
的に変化させる公転機構とよりなるものである。
の本発明の第１のウェーハ検査装置は、ウェーハを平面
内で一定方向に姿勢を保持させてウェーハの軸心を中心
に回転させる自転機構と、ウェーハを任意の方向に且つ
平面に対し任意の角度に傾斜させる傾斜機構と、ウェー
ハを平面内で一定方向に姿勢を保持させた状態で平面に
直角な回転軸の周りを公転させ且つその公転半径を連続
的に変化させる公転機構とよりなるものである。
【０００７】本発明の第２のウェーハ検査装置は、前記
自転機構が、ウェーハを保持するチャックと、チャック
をこれに保持されるウェーハの中心回りに回転可能に支
持する回転軸と、該回転軸を正逆回転する第１モータと
よりなり、前記傾斜機構が、前記回転軸の外周に回転自
在に嵌装され、チャック側の一端部に球形のジャーナル
が設けられた傾動軸と、ジャーナルをケーシングの上面
に支承する球面軸受と、ステージリングに取り付けら
れ、前記傾動軸を所要範囲で傾動可能となす２軸ジンバ
ルと、２軸ジンバルの各ジンバルアームを個別に正逆に
傾動駆動する第２，第３モータとよりなり、前記公転機
構が、前記自転機構及び傾斜機構を収納したケーシング
の底部下面に前記自転機構の中心軸と軸心を一致させて
設けられた軸と、この軸に嵌合するベアリングが収納さ
れ雌ねじを備えた移動体と、この移動体が雌ねじにて螺
合され、第４モータにて正逆回転される送り軸を備えた
公転アームと、この公転アームが固定され、ベアリング
にてテーブルに支持された公転軸と、この公転軸を正逆
にタイミングベルトプーリ，タイミングベルトを介して
駆動する第５モータとよりなることを特徴とする。
自転機構が、ウェーハを保持するチャックと、チャック
をこれに保持されるウェーハの中心回りに回転可能に支
持する回転軸と、該回転軸を正逆回転する第１モータと
よりなり、前記傾斜機構が、前記回転軸の外周に回転自
在に嵌装され、チャック側の一端部に球形のジャーナル
が設けられた傾動軸と、ジャーナルをケーシングの上面
に支承する球面軸受と、ステージリングに取り付けら
れ、前記傾動軸を所要範囲で傾動可能となす２軸ジンバ
ルと、２軸ジンバルの各ジンバルアームを個別に正逆に
傾動駆動する第２，第３モータとよりなり、前記公転機
構が、前記自転機構及び傾斜機構を収納したケーシング
の底部下面に前記自転機構の中心軸と軸心を一致させて
設けられた軸と、この軸に嵌合するベアリングが収納さ
れ雌ねじを備えた移動体と、この移動体が雌ねじにて螺
合され、第４モータにて正逆回転される送り軸を備えた
公転アームと、この公転アームが固定され、ベアリング
にてテーブルに支持された公転軸と、この公転軸を正逆
にタイミングベルトプーリ，タイミングベルトを介して
駆動する第５モータとよりなることを特徴とする。
【０００８】前記自転機構のウェーハを保持するチャッ
クは、ウェーハの中央部又は外周部を真空吸着するバキ
ュームチャックが好ましく、このバキュームチャックを
上端に支持した回転軸は中空になされ、下端部にバキュ
ームチューブが連結される。この他、ウェーハを保持す
るチャックは、静電チャック，機械的チャックでも良
く、機械的チャックは例えば少くとも２本の保持具によ
りウェーハを外周側から挟持するチャック，その他が用
いられる。前記自転機構及び傾斜機構を収納したケーシ
ングは、姿勢制御されながらテーブルに対し夫々Ｘ方
向，Ｙ方向に自由に移動可能になされていることが好ま
しい。
クは、ウェーハの中央部又は外周部を真空吸着するバキ
ュームチャックが好ましく、このバキュームチャックを
上端に支持した回転軸は中空になされ、下端部にバキュ
ームチューブが連結される。この他、ウェーハを保持す
るチャックは、静電チャック，機械的チャックでも良
く、機械的チャックは例えば少くとも２本の保持具によ
りウェーハを外周側から挟持するチャック，その他が用
いられる。前記自転機構及び傾斜機構を収納したケーシ
ングは、姿勢制御されながらテーブルに対し夫々Ｘ方
向，Ｙ方向に自由に移動可能になされていることが好ま
しい。
【０００９】
【作用】本発明の基本的な第１のウェーハ検査装置によ
ると、ウェーハを、自動的に平面内で一定方向に姿勢を
保持して自転させ、また平面に対し任意の角度に傾斜さ
せ、さらに公転させ且つその公転半径を連続的に変更す
ることができる。特に本発明の第２のウェーハ検査装置
によると、上記ウェーハの自転，傾斜，公転及び公転半
径の連続的な変更を、安定して確実に実施できる。
ると、ウェーハを、自動的に平面内で一定方向に姿勢を
保持して自転させ、また平面に対し任意の角度に傾斜さ
せ、さらに公転させ且つその公転半径を連続的に変更す
ることができる。特に本発明の第２のウェーハ検査装置
によると、上記ウェーハの自転，傾斜，公転及び公転半
径の連続的な変更を、安定して確実に実施できる。
【００１０】
【実施例】本発明のウェーハ検査装置の実施例について
図面を参照して説明する。図１はウェーハ検査装置の平
面図、図２は図１のＡ−Ａ線縦断面図で、図中１０は自
転機構１１及び傾斜機構１２を収納したケーシングであ
る。自転機構１１は、ウェーハＷの中央部を吸着して保
持する円板状のバキュームチャック１３と、該バキュー
ムチャック１３をウェーハＷの中心回りに回転可能に支
持し、下端部にバキュームチューブ１４を連結した中空
回転軸１５と、該中空回転軸１５の下端と連結され且つ
後述する傾動軸の外周のブラケット１６に支持されて、
中空回転軸１５を正逆回転する第１モータ１７とよりな
る。
図面を参照して説明する。図１はウェーハ検査装置の平
面図、図２は図１のＡ−Ａ線縦断面図で、図中１０は自
転機構１１及び傾斜機構１２を収納したケーシングであ
る。自転機構１１は、ウェーハＷの中央部を吸着して保
持する円板状のバキュームチャック１３と、該バキュー
ムチャック１３をウェーハＷの中心回りに回転可能に支
持し、下端部にバキュームチューブ１４を連結した中空
回転軸１５と、該中空回転軸１５の下端と連結され且つ
後述する傾動軸の外周のブラケット１６に支持されて、
中空回転軸１５を正逆回転する第１モータ１７とよりな
る。
【００１１】傾斜機構１２は、前記中空回転軸１５の外
周に回転自在に嵌装され、バキュームチャック１３側の
一端部外周に球形のジャーナル１８が設けられた管状の
傾動軸１９と、ジャーナル１８ひいては前記自転機構１
１をケーシング１０の上面に支承する球面軸受２０と、
ケーシング１０の上面に設けられたステージリング２１
に取り付けられ、前記傾動軸１９ひいては自転機構１１
を所要範囲で傾動可能となす図３に示す２軸ジンバル２
２と、この２軸ジンバル２２の各ジンバルアーム２３を
図２に示すリンクアーム２４，２５を介して個別に正逆
に傾動駆動するケーシング１０の外側面に設けられた第
２モータ２６及び第３モータ２７とよりなる。
周に回転自在に嵌装され、バキュームチャック１３側の
一端部外周に球形のジャーナル１８が設けられた管状の
傾動軸１９と、ジャーナル１８ひいては前記自転機構１
１をケーシング１０の上面に支承する球面軸受２０と、
ケーシング１０の上面に設けられたステージリング２１
に取り付けられ、前記傾動軸１９ひいては自転機構１１
を所要範囲で傾動可能となす図３に示す２軸ジンバル２
２と、この２軸ジンバル２２の各ジンバルアーム２３を
図２に示すリンクアーム２４，２５を介して個別に正逆
に傾動駆動するケーシング１０の外側面に設けられた第
２モータ２６及び第３モータ２７とよりなる。
【００１２】図１，図２に於いて、２８は公転機構で、
この公転機構２８は、前記自転機構１１及び傾斜機構１
２を収納したケーシング１０の底部下面に前記自転機構
１１の中空中心軸１５と軸心を一致させて設けた軸２９
と、この軸２９に嵌合するベアリング３０が収納され、
雌ねじ３１を備えた移動体３２と、この移動体３２が雌
ねじ３１にて螺合され、第４モータ３３にて正逆回転さ
れる送り軸３４を備えた公転アーム３５と、この公転ア
ーム３５が上端に固定され、ベアリング３６及びこれを
保持したブラケット３６’にてテーブル３７に支持され
た公転軸３８と、この公転軸３８を正逆にタイミングベ
ルトプーリ３９，タイミングベルト４０を介して駆動す
る第５モータ４１とよりなる。
この公転機構２８は、前記自転機構１１及び傾斜機構１
２を収納したケーシング１０の底部下面に前記自転機構
１１の中空中心軸１５と軸心を一致させて設けた軸２９
と、この軸２９に嵌合するベアリング３０が収納され、
雌ねじ３１を備えた移動体３２と、この移動体３２が雌
ねじ３１にて螺合され、第４モータ３３にて正逆回転さ
れる送り軸３４を備えた公転アーム３５と、この公転ア
ーム３５が上端に固定され、ベアリング３６及びこれを
保持したブラケット３６’にてテーブル３７に支持され
た公転軸３８と、この公転軸３８を正逆にタイミングベ
ルトプーリ３９，タイミングベルト４０を介して駆動す
る第５モータ４１とよりなる。
【００１３】この公転機構２８に於いて、自転機構１１
及び傾斜機構１２を収納したケーシング１０は、姿勢制
御されながらテーブル３７に対しＸ方向，Ｙ方向に自由
に移動可能になされている。即ち、ケーシング１０の上
端部外周に設けた張出プレート４２の下側にローラ４３
及び水平Ｙ方向規制ローラ４４が設けられ、ローラ４３
が枠状のベースプレート４５上のＸ方向に敷設したレー
ル４６上に載り、水平Ｙ方向規制ローラ４４がレール４
６の両側面を挟んでいて、ケーシング１０はローラ４３
にてレール４６上をＸ方向に移動するようになってい
る。また、前記枠状のベースプレート４５の下側にロー
ラ４７及び水平Ｘ方向規制ローラ４８が設けられ、ロー
ラ４７がテーブル３７の上面に設置した枠状のベースプ
レート４９上のＹ方向に敷設したレール５０上に載り、
水平Ｘ方向規制ローラ４８がレール５０の両側面を挟ん
でいて、ケーシング１０はベースプレート４５を介して
ローラ４８にてレール５０上をＹ方向に移動するように
なっている。
及び傾斜機構１２を収納したケーシング１０は、姿勢制
御されながらテーブル３７に対しＸ方向，Ｙ方向に自由
に移動可能になされている。即ち、ケーシング１０の上
端部外周に設けた張出プレート４２の下側にローラ４３
及び水平Ｙ方向規制ローラ４４が設けられ、ローラ４３
が枠状のベースプレート４５上のＸ方向に敷設したレー
ル４６上に載り、水平Ｙ方向規制ローラ４４がレール４
６の両側面を挟んでいて、ケーシング１０はローラ４３
にてレール４６上をＸ方向に移動するようになってい
る。また、前記枠状のベースプレート４５の下側にロー
ラ４７及び水平Ｘ方向規制ローラ４８が設けられ、ロー
ラ４７がテーブル３７の上面に設置した枠状のベースプ
レート４９上のＹ方向に敷設したレール５０上に載り、
水平Ｘ方向規制ローラ４８がレール５０の両側面を挟ん
でいて、ケーシング１０はベースプレート４５を介して
ローラ４８にてレール５０上をＹ方向に移動するように
なっている。
【００１４】このように構成された自転機構１１，傾斜
機構１２，公転機構２８とよりなるウェーハ検査装置５
１は、図４に示す如く作業台（光源，投光２種切換付）
５２の略中央部に設置される。作業台５２の左側部にウ
ェーハＷの供給側キャリヤ５３が設置され、これに隣接
してウェーハ検査装置５１との間にウェーハＷの供給側
移載ロボット５４が設置されている。作業台５２の右側
部にウェーハＷの良品排出側キャリヤ５５と不良品排出
側キャリヤ５６が設置され、これに隣接してウェーハ検
査装置５１との間にウェーハＷの排出側移載ロボット５
７が設置されている。作業台５２の前側には、自転機構
１１，傾斜機構１２，公転機構２８の始動用スイッチ５
８、制御用スイッチ５９，６０と、ウェーハＷの良否分
別スイッチ６１が設けられている。尚６２は、作業台５
２上を清浄するクリーンベンチである。
機構１２，公転機構２８とよりなるウェーハ検査装置５
１は、図４に示す如く作業台（光源，投光２種切換付）
５２の略中央部に設置される。作業台５２の左側部にウ
ェーハＷの供給側キャリヤ５３が設置され、これに隣接
してウェーハ検査装置５１との間にウェーハＷの供給側
移載ロボット５４が設置されている。作業台５２の右側
部にウェーハＷの良品排出側キャリヤ５５と不良品排出
側キャリヤ５６が設置され、これに隣接してウェーハ検
査装置５１との間にウェーハＷの排出側移載ロボット５
７が設置されている。作業台５２の前側には、自転機構
１１，傾斜機構１２，公転機構２８の始動用スイッチ５
８、制御用スイッチ５９，６０と、ウェーハＷの良否分
別スイッチ６１が設けられている。尚６２は、作業台５
２上を清浄するクリーンベンチである。
【００１５】然してウェーハＷを検査するには、先ず始
動用スイッチ５８を押して供給側移載ロボット５４の作
動により供給側キャリヤ５３に収容されたウェーハＷを
取り出して、待機位置に位置しているウェーハ検査装置
５１のバキュームチャック１３に載置し、真空吸着せし
める。次に制御用スイッチ５９を押して、自転機構１１
の第１モータ１７を駆動してバキュームチャック１３を
１８０°正逆回転すると共に、傾斜機構１２の第２モー
タ２６，第３モータ２７を駆動して２軸ジンバル２２の
各ジンバルアーム２３を個別に適宜傾動してバキューム
チャック１３を所要の角度θに傾斜させ、さらに制御用
スチッチ６０を押して、公転機構２８の第５モータ４１
を駆動して公転軸３８を回転し、その上端に固定された
公転アーム３５を回転してバキュームチャック１３を公
転し、且つ公転機構２８の第４モータ３３を駆動して公
転アーム３５上の送り軸３４を正逆回転し、移動体３２
を移動して、公転軸３８の中心とケーシング１０の中心
即ちバキュームチャック１３の中空回転軸１５の垂直時
の中心との距離である公転半径Ｒを適宜変化させる。こ
うしてバキュームチャック１３に吸着されたウェーハＷ
は、自転，所要の角度θの傾斜，公転及び公転半径の連
続的な変更が自動的に安定して確実に行われるので、ウ
ェーハＷの目視検査は容易となる。
動用スイッチ５８を押して供給側移載ロボット５４の作
動により供給側キャリヤ５３に収容されたウェーハＷを
取り出して、待機位置に位置しているウェーハ検査装置
５１のバキュームチャック１３に載置し、真空吸着せし
める。次に制御用スイッチ５９を押して、自転機構１１
の第１モータ１７を駆動してバキュームチャック１３を
１８０°正逆回転すると共に、傾斜機構１２の第２モー
タ２６，第３モータ２７を駆動して２軸ジンバル２２の
各ジンバルアーム２３を個別に適宜傾動してバキューム
チャック１３を所要の角度θに傾斜させ、さらに制御用
スチッチ６０を押して、公転機構２８の第５モータ４１
を駆動して公転軸３８を回転し、その上端に固定された
公転アーム３５を回転してバキュームチャック１３を公
転し、且つ公転機構２８の第４モータ３３を駆動して公
転アーム３５上の送り軸３４を正逆回転し、移動体３２
を移動して、公転軸３８の中心とケーシング１０の中心
即ちバキュームチャック１３の中空回転軸１５の垂直時
の中心との距離である公転半径Ｒを適宜変化させる。こ
うしてバキュームチャック１３に吸着されたウェーハＷ
は、自転，所要の角度θの傾斜，公転及び公転半径の連
続的な変更が自動的に安定して確実に行われるので、ウ
ェーハＷの目視検査は容易となる。
【００１６】ウェーハＷの表面の目視検査が終了する
と、ウェーハＷが元の供給位置に戻され、バキュームチ
ャック１３の真空吸着が解除され、ウェーハＷは供給側
移載ロボット５４によりバキュームチャック１３から取
り出され、反転せしめられて、再びバキュームチャック
１３に載置され、真空吸着せしめられる。そして、再び
前記のように自転，所要角度θの傾斜，公転及び公転半
径の連続的な変更が行われて、ウェーハＷの裏面の目視
検査が行われる。
と、ウェーハＷが元の供給位置に戻され、バキュームチ
ャック１３の真空吸着が解除され、ウェーハＷは供給側
移載ロボット５４によりバキュームチャック１３から取
り出され、反転せしめられて、再びバキュームチャック
１３に載置され、真空吸着せしめられる。そして、再び
前記のように自転，所要角度θの傾斜，公転及び公転半
径の連続的な変更が行われて、ウェーハＷの裏面の目視
検査が行われる。
【００１７】ウェーハＷの表裏の目視検査が終了する
と、バキュームチャック１３を元の位置に戻して真空解
除を行い、ウェーハＷの良否分別スイッチ６１を押して
排出側移載ロボット５７の作動によりバキュームチャッ
ク１３からウェーハＷが取り出され、良品の場合は良品
排出側キャリヤ５５に、不良品の場合に不良品排出側キ
ャリア５６に収納される。
と、バキュームチャック１３を元の位置に戻して真空解
除を行い、ウェーハＷの良否分別スイッチ６１を押して
排出側移載ロボット５７の作動によりバキュームチャッ
ク１３からウェーハＷが取り出され、良品の場合は良品
排出側キャリヤ５５に、不良品の場合に不良品排出側キ
ャリア５６に収納される。
【００１８】上記実施例においては、ウェーハＷを目視
検査する場合について説明したが、目視検査に限定され
るものではなく、顕微鏡検査する場合にも適用できるも
のである。また、上記実施例のバキュームチャック１３
は円板状で、ウェーハＷの中央部を真空吸着している
が、図５のａ，ｂに示すように両端を上向きに屈曲した
帯板状のバキュームチャック１３’となして、ウェーハ
Ｗの外周部の対向位置を真空吸着するようにしてもよ
い。また、静電チャックでもよく、さらには機械的なチ
ャックとして、図６のａ，ｂに示すように回転軸６３の
上端に十字状で外端が上向きに傾斜した受けチャック６
４を設けて、この受けチャック６４にウェーハＷの外周
テーパ部を支持するようにしてもよい。
検査する場合について説明したが、目視検査に限定され
るものではなく、顕微鏡検査する場合にも適用できるも
のである。また、上記実施例のバキュームチャック１３
は円板状で、ウェーハＷの中央部を真空吸着している
が、図５のａ，ｂに示すように両端を上向きに屈曲した
帯板状のバキュームチャック１３’となして、ウェーハ
Ｗの外周部の対向位置を真空吸着するようにしてもよ
い。また、静電チャックでもよく、さらには機械的なチ
ャックとして、図６のａ，ｂに示すように回転軸６３の
上端に十字状で外端が上向きに傾斜した受けチャック６
４を設けて、この受けチャック６４にウェーハＷの外周
テーパ部を支持するようにしてもよい。
【００１９】尚、本発明は、ウェーハ検査装置としてい
るが、検査するものはウェーハＷに限らず、液晶板その
他薄板部品の検査にも適用できるものである。
るが、検査するものはウェーハＷに限らず、液晶板その
他薄板部品の検査にも適用できるものである。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のウェー
ハ検査装置によれば、ウェーハの自転，傾斜，公転及び
公転半径の変更を、自動的に安定して確実に実施できる
ので、ウェーハの目視検査が容易となり、検査能率が向
上する。
ハ検査装置によれば、ウェーハの自転，傾斜，公転及び
公転半径の変更を、自動的に安定して確実に実施できる
ので、ウェーハの目視検査が容易となり、検査能率が向
上する。
【図１】本発明のウェーハ検査装置の一実施例を示す平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線縦断面図である。
【図３】図２のウェーハ検査装置の傾斜機構における２
軸ジンバルを示す斜視図である。
軸ジンバルを示す斜視図である。
【図４】本発明のウェーハ検査装置が設置された作業台
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図５】本発明のウェーハ検査装置の自転機構における
バキュームチャックの他の例を示すもので、ａは平面
図、ｂは縦断面図である。
バキュームチャックの他の例を示すもので、ａは平面
図、ｂは縦断面図である。
【図６】バキュームチャックに代わる機械的なチャック
の一例を示すもので、ａは平面図、ｂは縦断面図であ
る。
の一例を示すもので、ａは平面図、ｂは縦断面図であ
る。
【図７】従来のウェーハ検査時のウェーハの公転操作を
示す図である。
示す図である。
【図８】従来のウェーハ検査時のウェーハの自転操作を
示す図である。
示す図である。
【図９】従来のウェーハ検査時のウェーハの傾斜操作を
示す図である。
示す図である。
１０ ケーシング １１ 自転機構 １２ 傾斜機構 １３ バキュームチャック １４ バキュームチューブ １５ 中空回転軸 １７ 第１モータ １８ ジャーナル １９ 傾動軸 ２０ 球面軸受 ２１ ステージリング ２２ ２軸ジンバル ２３ ジンバルアーム ２６ 第２モータ ２７ 第３モータ ２９ 軸 ３０ ベアリング ３１ 雌ねじ ３２ 移動体 ３３ 第４モータ ３４ 送り軸 ３５ 公転アーム ３６ ベアリング ３７ テーブル ３８ 公転軸 ３９ タイミングベルトプーリ ４０ タイミングベルト ４１ 第５モータ
Claims (6)
- 【請求項１】 ウェーハを平面内で一定方向に姿勢を保
持させてウェーハの軸心を中心に回転させる自転機構
と、ウェーハを任意の方向に且つ平面に対し任意の角度
に傾斜させる傾斜機構と、ウェーハを平面内で一定方向
に姿勢を保持させた状態で平面に直角な回転軸の周りを
公転させ且つその公転半径を連続的に変化させる公転機
構とよりなるウェーハ検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のウェーハ検査装置に於い
て、自転機構が、ウェーハを保持するチャックと、チャ
ックをこれに保持されるウェーハの中心回りに回転可能
に支持する回転軸と、該回転軸を正逆回転する第１モー
タとよりなり、傾斜機構が、前記回転軸の外周に回転自
在に嵌装され、チャック側の一端部に球形のジャーナル
が設けられた傾動軸と、ジャーナルをケーシングの上面
に支承する球面軸受と、ステージリングに取り付けら
れ、前記傾動軸を所要範囲で傾動可能となす２軸ジンバ
ルと、２軸ジンバルの各ジンバルアームを個別に正逆に
傾動駆動する第２，第３モータとよりなり、公転機構
が、前記自転機構及び傾斜機構を収納したケーシングの
底部下面に、前記自転機構の中心軸と軸心を一致させて
設けた軸と、この軸に嵌合するベアリングが収納され雌
ねじを備えた移動体と、この移動体が雌ねじにて螺合さ
れ、第４モータにて正逆回転される送り軸を備えた公転
アームと、この公転アームが固定され、ベアリングにて
テーブルに支持された公転軸と、この公転軸を正逆にタ
イミングベルトプーリ，タイミングベルトを介して駆動
する第５モータとよりなることを特徴とするウェーハ検
査装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のウェーハ検査装置に於い
て、自転機構のウェーハを保持するチャックが、ウェー
ハの中央部又は外周部を真空吸着するバキュームチャッ
クで、このバキュームチャックを回転可能に支持する回
転軸が中空になされ、下端部にバキュームチューブが連
結されていることを特徴とするウェーハ検査装置。 - 【請求項４】 請求項２記載のウェーハ検査装置に於い
て、自転機構のウェーハを保持するチャックが、静電チ
ャックであることを特徴とするウェーハ検査装置。 - 【請求項５】 請求項２記載のウェーハ検査装置に於い
て、自転機構のウェーハを保持するチャックが、機械的
チャックであることを特徴とするウェーハ検査装置。 - 【請求項６】 自転機構及び傾斜機構を収納したケーシ
ングが、姿勢制御されながらテーブルに対しＸ方向，Ｙ
方向に自由に移動可能になされていることを特徴とする
請求項２〜５のいずれかに記載のウェーハ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27958695A JP3567348B2 (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ウェーハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27958695A JP3567348B2 (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ウェーハ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09101266A true JPH09101266A (ja) | 1997-04-15 |
| JP3567348B2 JP3567348B2 (ja) | 2004-09-22 |
Family
ID=17613057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27958695A Expired - Lifetime JP3567348B2 (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ウェーハ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3567348B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109244032A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-01-18 | 苏州晋宇达实业股份有限公司 | 一种离子注入机的硅片公转盘 |
| CN111929320A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-11-13 | 憬承光电科技(厦门)有限公司 | 一种绷膜环晶圆检查机 |
| CN116183612A (zh) * | 2022-02-21 | 2023-05-30 | 晟耀光电科技股份有限公司 | 晶圆多向翻转检测机台 |
| JP2023103042A (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 株式会社ディスコ | 撮像装置 |
| CN119198729A (zh) * | 2024-09-03 | 2024-12-27 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 双层晶圆目检倾斜台及其控制方法 |
| CN119936058A (zh) * | 2025-04-03 | 2025-05-06 | 深圳市三维机电设备有限公司 | 一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 |
-
1995
- 1995-10-03 JP JP27958695A patent/JP3567348B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109244032A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-01-18 | 苏州晋宇达实业股份有限公司 | 一种离子注入机的硅片公转盘 |
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| JP2023103042A (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 株式会社ディスコ | 撮像装置 |
| CN116183612A (zh) * | 2022-02-21 | 2023-05-30 | 晟耀光电科技股份有限公司 | 晶圆多向翻转检测机台 |
| CN119198729A (zh) * | 2024-09-03 | 2024-12-27 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 双层晶圆目检倾斜台及其控制方法 |
| CN119936058A (zh) * | 2025-04-03 | 2025-05-06 | 深圳市三维机电设备有限公司 | 一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3567348B2 (ja) | 2004-09-22 |
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