JPH09101431A - 導波路の接続方法 - Google Patents

導波路の接続方法

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JPH09101431A JP8151512A JP15151296A JPH09101431A JP H09101431 A JPH09101431 A JP H09101431A JP 8151512 A JP8151512 A JP 8151512A JP 15151296 A JP15151296 A JP 15151296A JP H09101431 A JPH09101431 A JP H09101431A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 単一モード光ファイバをプレーナ基板上の導
波路に接続するための単純で実用的な方法を提供する。 【解決手段】 導波路基板にはこの導波路基板との間で
光ファイバが接続される面を形成するように保持ブロッ
クを取り付け、透明な接着剤により光ファイバを接着す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は導波路の接続のため
の方法に関し、特に異なる構造の光導波路の接続に関す
る。
【０００２】本発明は主に、単一モード光ファイバを基
板上に形成された導波路を含む光学コンポーネントに接
続する場合に利用する。
【０００３】
【従来の技術】プレーナ基板上の光学コンポーネント、
例えばニオブ酸リチウム基板上の光導波路を光通信シス
テムにうまく導入するには、種々の条件に依存するが、
特に、このようなコンポーネントを光ファイバに相互接
続できるか否かに依存することが多い。この相互接続
は、低損失であり、ある程度の機械的衝撃に耐えること
ができ、しかも単純で確実に接続できなければならな
い。
【０００４】接続しようとする光学コンポーネントが基
板上の光導波路またはこれと構造が同等のものである場
合には、このような相互接続を行うことが特に困難であ
る。導波路は基板の表面に埋め込まれ、基板の端面が導
波路の終端と同一平面となる。光ファイバと基板の端部
との間には構造的な類似性がないので、二つのコンポー
ネントは寸法および断面積が実質的に異なり、相互接続
を行うために特別の技術が開発されている。
【０００５】光ファイバと基板上の導波路との間の損失
を許容できる程度に低くおさえる構造として、「エンド
ファイア」結合と呼ばれる構造がある。この構造では、
光ファイバコアは導波路と物理的に一直線に配置され、
介在コンポーネントなしに直接に光学的に結合される。
このような構造は、アルファーネス (ALFERNESS,R.C.)
、ラマスワミ (RAMASWAMY,V.R.) 、コロトキ (KOROTK
Y, S.K.)、ディブィノ (DIVINO,M.D.)およびブール (BU
HL,L.L.)、「Ｉ＝1.32μｍのための有効な単一モードフ
ァイバのチタン拡散ニオブ酸リチウム導波路への結合
(Efficient single-mode fibre to titanium difused l
ithiumniobate waveguide coupling forＩ＝1.32μｍ)
」、IEEE J.Quantum Electron.、1982年、第QE-18
巻、第1807頁ないし第1813頁に開示されている。この技
術は、光ファイバの終端を導波路の終端に正確に一直線
に配置するだけでなく、導波路のモードパターンを光フ
ァイバのモードパターンに正確に整合させることによ
り、低損失を実現できる。
【０００６】しかし、上述の技術は、低損失を保ちなが
ら導波路に対してどのように光ファイバ終端を固定する
か、そして、これをコンポーネントのパッケージングに
どのように適合させるかという問題を解決していない。
【０００７】光ファイバと導波路との間の接続構造を提
供する容易に使用可能な方法がないため、導波路コンポ
ーネントをパッケージングするときに、結合損失を非常
に増大させる位置ずれが簡単に生じ、このことがエンド
ファイア結合技術の主な障害となっている。単一モード
光ファイバのファイバコアは、直径が典型的には0.005
mmと0.01mmとの間であることに注意する必要がある。導
波路も同等の寸法であり、このため数マイクロメータの
位置ずれでも接続損失の増加に十分である。
【０００８】満足できる接続構造を提供する技術を捜す
ために、正確な位置関係で光ファイバの終端を導波路に
接続するための技術に関する以下の文献に示されるよう
に、多くの努力がなされている、シーム (SHEEM S.K.)
、ギアレオラニ (GIALLEORANI T.G.) 、「ファイバ終
端の突き合わせ結合における高さ方向の位置合わせのた
めの二次元シリコン溝 (Two-dimentional silicon groo
ves for altitudinal alignment in fibre end-butt co
upling) 」、Optics Letts. 、1978年、第３巻、第73頁
ないし第 752頁、バルマ (BULMER C.H.)、シーム (SHEE
M S.K.) 、バーンス (BURNS W.K.) 、「単一モードファ
イバとニオブ酸リチウムチャネル導波路との間のフリッ
プチップ光学カプラの製造 (Fabrication of flip-chip
optical couplers between single-mode fibres andli
thium niobate channel waveguides) 」、IEEE Trans.o
nComps.Hybrids and Manuf.Tech. 、1981年第CHMT-4
巻、第350 頁ないし第355 頁、スー(HSU H.P.)、ミルト
ン(MILTON A.F.) およびバーンス(BURNSW.K.) 、「多フ
ァイバの単一モードチャネル導波路とのエンドファイア
結合 (Multiple fibreend fire coupling with single-
mode channel wave-guides)」、Appl.Phys.Lett. 、197
8年、第33（７）巻、第603 頁ないし第605 頁、ラーマ
(RAMER O.G.）、ネルソン(NELSON C.) およびモー (MOH
RC.) 、「実験的な集積回路の損失およびチップのピッ
グテーリング(Experimental integratedcircuit losses
and pigtailing of chips)」、IEEE J.Quantum Electr
on.、1981年、第QE-17巻、第970 頁ないし第 974頁、ア
ルディッティ (ARDITTY H.J.) 、ベッティニ (BETTINI
J.P.) 、グラインドージ (GRAINDORGE P.)、レフェブレ
(LEFEVRE H.C.) 、パプチョン (PAPUCHON M.)、ブール
ビン (BOURBIN Y.) 、バトー (VATOUX S.) 、ベラード
(BERARD D.)およびコロンビン (COLOMBINJ.Y.) 、「集
積化されたファイバ光学ジャイロスコープ真鍮板の試験
結果 (Test results on an integrated fivre-optics g
yroscopebrass board)」、IEEE Conf.Optical Fibre Se
nsors 、第26頁ないし第28頁、1983年４月、英国ロンド
ン。
【０００９】上述の参考文献ではすべて、シリコンＶ字
溝を用いて、導波路に対して横方向および角度方向に光
ファイバの位置合わせを行い、十分な光学結合を得るた
めに、高同心性のコアおよび一定の直径をもつ光ファイ
バの使用に頼っている。しかし、同心性および直径に依
存しない結合を行うためには、垂直方向の位置合わせが
必要である。これを実現するひとつの方法として、結合
しようとする光ファイバの下の横溝に先細りした調整用
光ファイバを配置して使用する方法があり、この方法
は、例えば上述のシーム他およびバルマ他によると、サ
ブミクロンの精度で垂直方向の位置合わせを行うことが
できる。位置合わせの後は、エポキシ樹脂で光ファイバ
を溝内に固定する。
【００１０】このような位置合わせおよび固定は、比較
的良好な機械的強度で相互接続を行うことができるが、
上述の問題点、すなわち固定段階での位置ずれの発生を
解決できない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、単一モード
光ファイバをプレーナ基板上の導波路に接続するため
の、単純で実際的な、しかもコアの同心性または光ファ
イバの公称直径に頼る必要のない方法を提供することを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、単一モード光
ファイバを導波路基板上の導波路に光学的に一直線に配
置して固定する導波路の接続方法において、光ファイバ
の終端面をその光ファイバの軸に対して実質的に垂直で
平坦な面に形成するステップと、一つの面が導波路基板
の端面と実質的に同一面を形成するように、かつ導波路
基板の表面に導波路をまたぐように導波路基板とは別構
造の保持ブロックを取り付けるステップと、光ファイバ
の終端面と光導波路とを光学的に一直線に配置するステ
ップと、光ファイバの終端面を透明な接着剤により導波
路基板および保持ブロックの双方にまたがるようにかつ
光ファイバの終端面と光導波路とが光学的に一直線とな
る状態を維持するように接着するステップとを含むこと
を特徴とする。
【００１３】光学的に一直線に配置するステップは、光
ファイバに光を入射し、導波路を通過した光量を検出す
ることにより行うことがよい。この場合、光量の検出
は、導波路の強い近視野像が得られるように、導波路に
対する光ファイバの終端面の位置を変化させることによ
り行うことがよい。
【００１４】屈折率が光ファイバと実質的に等しい結合
ゲルを光ファイバの終端面と導波路との間に配置するこ
とがよい。
【００１５】接着剤として光硬化接着剤を用いることが
望ましい。特に、白色光硬化接着剤を用いることが望ま
しい。
【００１６】保持ブロックとして導波路基板と同じ材料
のものを用いることが望ましい。導波路基板上に隣接し
て複数の導波路が設けられている場合には、この複数の
導波路にわたって保持ブロックを取り付けることがよ
い。
【００１７】導波路基板への保持ブロックの取り付けと
光フイァバの終端面と光導波路との接着とで同じ接着剤
を用いることが望ましい。
【００１８】本明細書では、「透明」という用語を「動
作波長において透明」の意味として用いる。したがっ
て、例えば1500nmの赤外波長で使用するためには、この
波長で接着剤が透明であることが重要であり、可視波長
で透明である必要はない。同様に、以下の「屈折率」と
いう用語を「動作波長における屈折率」の意味で用い
る。
【００１９】本発明により作成された単一モード光ファ
イバと導波路基板との接続構造は、ファイバコアと導波
路との間に許容できない高結合損失を引き起こすことな
しに、光ファイバと導波路基板との間の満足できる強い
機械的ジョイントが得られる。
【００２０】導波路に隣接する領域の屈折率の値が大き
過ぎるときには、導波路内の損失が増加するので、保持
ブロックの導波路との界面または接触領域の屈折率は、
導波路の屈折率を大きく越えてはならない。したがっ
て、界面または接触領域の屈折率は、導波路の屈折率と
等しいまたはこれより小さいことが望ましい。適切な屈
折率の接着剤で保持ブロックを基板に固定することによ
り、導波路と保持ブロックとの間に挿入された接着剤で
界面が形成され、上記の屈折率の要求を容易に達成でき
る。
【００２１】所望の素子構造 (例えばメタライゼーショ
ン) の形成が実質的に完了した後に、基板および保持ブ
ロックの端を別々に研磨し、本発明の方法により保持ブ
ロックを取り付けることが、製造中の初期に保持ブロッ
クを取り付けて、保持ブロックおよび基板の終端面を一
緒に研磨するより明らかに有利である。第一に、製造工
程の遅い時点での研磨工程は、完成した素子に損傷を生
じさせる可能性があるため望ましくない。素子製造の遅
い段階で生じた損傷は歩どまりを大きく削減し、既に費
やした工程時間を浪費となり、素子のコストを引き上げ
る。さらに、組み立て後に研磨を行う場合ほどの位置合
わせの精度は必要なく、ブロックの端と基板との間の小
さな（約±５μｍ以内の）位置ずれを、接着剤の厚さの
変化により適切に補償することができる。唯一の基本的
な位置合わせは横方向であり、本発明の方法で実施でき
る。
【００２２】
【発明の実施形態】ニオブ酸リチウム基板上の一つの光
導波路に入力光ファイバおよび出力光ファイバを接合
し、これにより光ファイバと導波路との接続構造を作成
する方法について以下に説明する。
【００２３】図面を参照すると、図１および図２は、光
学的単一モード光ファイバ１を導波路基板３の導波路２
に接続したジョイントの概略図である。
【００２４】光ファイバ１は単一モード光ファイバであ
り、直径が約0.1mm のクラッディング９を含み、このク
ラッディング９は、光ファイバ１の光導波構造を形成す
る直径が約0.00 5mmの単一モードコアを取り囲む。
【００２５】導波路基板３は、長さが数cmで、幅が約１
cmで、厚さがmmオーダの、ニオブ酸リチウムの直方体ス
ラブで構成される。二つの最も大きい側面の一方には一
つ以上の導波路２が埋め込まれ（図面にはその一つだけ
を示す）、この導波路２は典型的にはスラブの長い側面
に平行に設けられ、スラブの幅を横切って終端してい
る。導波路２は狭いストリップとして形成され、このス
トリップは近傍の基板材料より大きな屈折率をもつ。導
波路を形成する方法は公知であり、本発明にはそれほど
関連がないので、ここでは説明しない。
【００２６】導波路２が設けられている基板の側面に、
これもニオブ酸リチウムで作られた保持ブロック４をし
っかりと取り付ける。保持ブロック４は図に示すように
一つの導波路をまたいでいる。実際には、保持ブロック
が導波路基板３の幅全体（すなわち図２に示された側
面）に延長されることがあり、また、一つ以上の導波路
をまたぐことがある。
【００２７】保持ブロック４は接着剤層８′により基板
にしっかりと固定される。光ファイバ１は、接着剤層８
により、基板３および保持ブロック４に突き合わせ接合
される。
【００２８】コア５の光学的位置が正確に導波路２に合
っている光ファイバと導波路とのジョイントを作るに
は、以下のように実施する。
【００２９】光ファイバ終端面６（図１）が実質的に光
ファイバ軸と直角になるように光ファイバを劈開して、
光ファイバ終端面を準備する。光ファイバ終端面を劈開
する方法は公知であり、ここでは説明しない。
【００３０】ニオブ酸リチウムの保持ブロック４は、導
波路基板３の、関連する導波路２の終端７の近傍に取り
付けられる。保持ブロック４の側面の一つは、導波路基
板３の導波路が終端される側面に一直線に配置され、接
着剤層８′で基板３に接着される。
【００３１】次に、光ファイバ１のコア５が導波路に一
直線に配置され、光ファイバ１の終端面が導波路基板３
と保持ブロック４との双方に、以下のようにして接着さ
れる。
【００３２】保持ブロック４は、白色光を照射すること
により硬化する接着剤層８′により、導波路基板３に取
り付けられる。接着剤層８′として、ウェルヘイム (We
hrheim) のカルツァー・アンド・カンパニ（KULZER an
d Co.)で製造された、歯に詰めるための光硬化性中間ラ
イナのデュラフィル・ボンド (Durafill Bond)を使用し
た。接着剤は、硬化したときに、ニオブ酸リチウム基板
の屈折率より小さい屈折率を有する。保持ブロック４は
ニオブ酸リチウム以外でも構成することができ、その断
面は方形である。第一の面が導波路基板３と平行に接触
し、第二の面が基板３の終端面と同一面になるように配
置される。
【００３３】基板３の終端面とブロック２の第二の面と
を一致させて配置する便利な手段は、接着剤層８′が硬
化する前に、二つの面を共通の平坦面に突き合わせるも
のである。図２を参照すると、保持ブロック４は導波路
２をまたぐように配置され、導波路表面だけではなく、
埋め込まれた導波路２の両側の基板３の表面にも接触し
ている。
【００３４】図３および図４を参照すると、入力光ファ
イバ31の終端は、最初にマイクロポジショナ34にクラン
プされ、このマイクロポジショナ34は、三方向の調整
（すなわち光ファイバの動きを上下、左右および光ファ
イバの軸方向に許容する）と、二つの回転または角度方
向の調整（すなわち光ファイバの振れ角方向および仰角
方向に調整することができる) とを行うことができる。
角度方向の調整は、入力光ファイバ31の終端面にHeNeレ
ーザ（図示せず）のビームに直角に入射して行い、さら
にこのビームで装置の光軸を定義する。入力光ファイバ
31は、クラッディングモードを除去するために、モード
ストリップされる。
【００３５】導波路基板３はパッケージ内に取り付けら
れ、このパッケージは基板の両端で導波路２の終端にア
クセスできるようになっている。パッケージ自身はゴニ
オメータヘッド35に取り付けられ、ゴニオメータヘッド
35は正確な角度方向を提供する。導波路基板３の終端面
は、レーザのビームと直角になるように配置される。
【００３６】光源32は、入力光ファイバ31の導波路基板
３から離れた側の終端に結合される。光源はパッケージ
ングされた半導体レーザで、単一モード光ファイバテー
ルを有する。入力光ファイバ31は、ＴＥモードまたはＴ
Ｍモードの一方を選択することのできる分極コントロー
ラ33を通過する。
【００３７】入力光ファイバ31の終端は、マイクロポジ
ショナ34の直線調節機能を用いることにより、導波路２
と一直線に配置されるように動かされ、光源32が活性化
されているときに、５倍の顕微鏡対物レンズ36で導波路
２の出力終端を観察する。対物レンズ36から得られた像
は、ビデオカメラおよびモニタ37を使用して表示され
る。
【００３８】導波路２の強い近視野像が観測されるま
で、入力光ファイバ31の位置を変化させる。入力光ファ
イバ31の終端と導波路２との間のファブリペロー共振効
果を防ぐため、さらに開始状態の安定性を増加させるた
めに、結合ゲルを使用する。ゲルの屈折率は入力光ファ
イバ31の屈折率に整合している。
【００３９】上述の位置合わせ工程の後に、画像装置す
なわち対物レンズ36とビデオカメラおよびモニタ37とが
取り除かれる。
【００４０】次に、図４に示すように、出力光ファイバ
41の一端をモードストリップし、較正されたホトダイオ
ード43に結合する。他端は他のマイクロポジショナ42に
取り付け、上述のHeNeビームにより供給された光軸で角
度的に位置合わせされる。この後、マイクロポジショナ
42の直線調節機能で大まかに出力光ファイバ41を導波路
２に位置合わせし、少量の光硬化接着剤を、出力光ファ
イバ41の終端と導波路基板および導波路出力端の近傍の
保持ブロックとの間に導入する。接着剤の屈折率は出力
光ファイバ41の屈折率にほぼ一致している。この後に、
入力光ファイバ31および出力光ファイバ41を、ホトダイ
オード43で測定されるパワーが最大となるまで、順番に
移動させる。この段階で、出力光ファイバ41と導波路２
との間の接着剤に白色光が照射し、これにより、導波路
２の終端と、この終端の近傍に配置された基板３および
保持ブロック４の表面とに、出力光ファイバ41を固定す
る。これにより、図１および図２に示されるタイプのジ
ョイントが作られる。
【００４１】接着剤を硬化させる間、ホトダイオード43
で測定されるパワーを監視し、強度を改善するために、
ジョイントの周囲に接着剤を付加する。最後に、導波路
基板３を載置しているパッケージの底に、出力光ファイ
バ41を取り付けるために、ジョイントから離れた部分に
接着剤を加える。これにより、出力光ファイバ41にどの
ような張力が生じても、その張力が直接にジョイントに
伝達しないようにする。
【００４２】この後に、屈折率が整合しているゲルを入
力光ファイバ31および導波路２から除去し、少量の白色
光硬化接着剤で置き換える。再びジョイントの位置合わ
せを行い、ホトダイオード43で測定されるパワーが最大
になる位置で接着剤を硬化させ、出力ジョイントと同様
にジョイントが取り付けられる。最後に、付け加えられ
た保護用ファイバシース（図示せず）とともに終端壁を
パッケージングする。
【００４３】導波路基板３上にニオブ酸リチウムの保持
ブロック４を取り付けた効果を検査するため、特に、導
波路２の導波特性について検査するため、ニオブ酸リチ
ウム保持ブロック４を取り付けた前後の双方に関して、
10μｍ広帯域導波路で近視野光強度分布測定を行った。
図５にはこの結果を示し、この図を参照すると前後のプ
ロットに特別な差異はなく、保持ブロック４が導波路２
の導波特性を変えないことがわかる。
【００４４】図６は、24個の終端の標本に対する、ジョ
イントの固定により導入される過剰損失を示す。この損
失は、接着剤を硬化させる前後の、導波路から光ファイ
バに結合するパワーの測定から計算した。ジョイントに
対する平均過剰損失は0.06dBで、標準偏差は0.05dBであ
った。ここでは扱った導波路は、例えばモードパターン
の点で、使用した光ファイバとの最適化は行っていない
ことに注意する必要がある。
【００４５】ジョイントの機械的強度を光ファイバの引
張り試験により評価した。ジョイントを通常の方法によ
り作ったが、光ファイバ上の他の張力除去手段は設けな
かった。光ファイバに0.7 ニュートンの力を加えたとき
にジョイントが壊れた。
【００４６】本発明は、プレーナ基板上の導波路に光フ
ァイバを取り付けるための、単純で実際的な技術を提供
する。この技術は、導波路コンポーネントのパッケージ
ングに利用でき、ほとんど結合損失を生じることなしに
強固なジョイントを製造できる。
【００４７】本発明の実施例を一つの入力光ファイバ31
および一つの出力光ファイバだけを参照して説明した
が、多くの場合には、関連する導波路基板３が、基板の
一つの表面に平行に埋め込まれた複数の導波路を含む。
このような場合にも、基板の終端面の近傍に一つの保持
ブロックを用い、端部で終端する基板のすべての導波路
をまたぐように取り付けることが便利である。
【００４８】保持ブロック４の導波路基板３への取り付
けに使用した接着剤の屈折率は、一般に、基板の屈折率
以下に選択される。導波路の近傍のどのような材料の屈
折率も光誘導特性に影響しない。幅が一般に約10μｍで
ある導波路に対応する小さい寸法なので、導波路２をま
たいで保持ブロック４を取り付けた導波路の特性に影響
するのは、通常は接着剤の屈折率より保持ブロック４自
身の屈折率である。接着剤の屈折率が基板の屈折率より
小さい場合には、通常は、光が導波路の外の接着剤に結
合しない。しかし、ある条件ではこのような結合が必要
であり、このような場合には、接着剤の屈折率および可
能な場合には保持ブロック４の屈折率を、基板の屈折率
より大きいものにする。
【００４９】保持ブロック４の研磨面と導波路の終端と
の間のオフセットが約５μｍのジョントで、許容できる
結合損失が得られた。このようなオフセットが許容でき
る長さは、導波路基板３への保持ブロック４の取り付け
に使用する手段に影響する。
【００５０】保持ブロック４と基板とは、双方ともにニ
オブ酸リチウム材料として説明したが、他の適当な材料
でもよい。また、上述のように白色光硬化接着剤を用い
るのではなく、屈折率および可能な場合には強度の点で
要求を満たすような、他のタイプの接着剤を使用しても
よい。
【００５１】上述の工程は、例えば位置合わせ動作を実
行するためのマイクロプロセッサ制御等の適当な制御回
路を用いることにより、少なくとも部分的に自動化でき
る。また、本方法は、一つ以上の入力または出力光ファ
イバを、二つ以上の導波路を含む基板に取り付けること
ができる。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の導波路の
接続方法は、プレーナ基板上の導波路に光ファイバを取
り付けるための単純で実用的な方法である。この方法
は、導波路コンポーネントのパッケージングに利用で
き、ほとんど結合損失を生じることなしに強固なジョイ
ントを製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例方法により基板上の導波路と光学
的に一直線に配置されて固定された光ファイバの断面図
を示す図。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿った断面を矢印で示した方
向から見た図。
【図３】入力光ファイバを基板上の導波路に一直線に配
置するときに使用する装置の概略の配置を示す図。
【図４】入力および出力光ファイバを基板上の導波路に
一直線に配置しこれを固定するときに使用する装置の概
略の配置を示す図。
【図５】導波路と光ファイバとの本発明方法による接続
構造と本発明方法によらない接続構造との近視野試験の
測定の比較結果を示すグラフ。
【図６】ジョイントの標本番号に対する試験損失測定の
ヒストグラム。
【符号の説明】
１ 光ファイバ ２ 導波路 ３ 導波路基板 ４ 保持ブロック ５ コア ６ 光ファイバ終端面 ７ 終端 ８、８′ 接着剤層 ９ クラッディング 31 入力光ファイバ 32 光源 33 分極コントローラ 34 マイクロポジショナ 35 ゴニオメータヘッド 36 対物レンズ 37 ビデオカメラおよびモニタ 41 出力光ファイバ 42 マイクロポジショナ 43 ホトダイオード

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 単一モード光ファイバを導波路基板上の
    導波路に光学的に一直線に配置して固定する導波路の接
    続方法において、（ａ）前記光ファイバの終端面をその
    光ファイバの軸に対して実質的に垂直で平坦な面に形成
    するステップと、（ｂ）一つの面が前記導波路基板の端
    面と実質的に同一面を形成するように、かつ前記導波路
    基板の表面に前記導波路をまたぐように前記導波路基板
    とは別構造の保持ブロックを取り付けるステップと、
    （ｃ）前記光ファイバの終端面と前記光導波路とを光学
    的に一直線に配置するステップと、（ｄ）前記光ファイ
    バの終端面を透明な接着剤により前記導波路基板および
    前記保持ブロックの双方にまたがるようにかつ前記光フ
    ァイバの終端面と前記光導波路とが光学的に一直線とな
    る状態を維持するように接着するステップとを含むこと
    を特徴とする導波路の接続方法。
  2. 【請求項２】 光学的に一直線に配置するステップは、
    前記光ファイバに光を入射し、前記導波路を通過した光
    量を検出することにより行う請求項１記載の導波路の接
    続方法。
  3. 【請求項３】 光量の検出は、前記導波路の強い近視野
    像が得られるように、前記導波路に対する前記光ファイ
    バの終端面の位置を変化させることにより行う請求項２
    記載の導波路の接続方法。
  4. 【請求項４】 屈折率が前記光ファイバと実質的に等し
    い結合ゲルを前記光ファイバの終端面と前記導波路との
    間に配置する請求項１ないし３のいずれか記載の導波路
    の接続方法。
  5. 【請求項５】 前記接着剤として光硬化接着剤を用いる
    請求項１ないし４のいずれか記載の導波路の接続方法。
  6. 【請求項６】 前記光硬化接着剤は白色光硬化接着剤で
    ある請求項５記載の導波路の接続方法。
  7. 【請求項７】 前記保持ブロックとして前記導波路基板
    と同じ材料のものを用いる請求項１ないし６のいずれか
    記載の導波路の接続方法。
  8. 【請求項８】 前記導波路基板上には隣接して複数の導
    波路が設けられ、この複数の導波路にわたって前記保持
    ブロックを取り付ける請求項１ないし７のいずれか記載
    の導波路の接続方法。
  9. 【請求項９】 前記導波路基板への前記保持ブロックの
    取り付けと前記光フイァバの終端面と前記光導波路との
    接着とで同じ接着剤を用いる請求項１ないし８のいずれ
    か記載の導波路の接続方法。
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