JPH09103636A - 分離ガス供給方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】２種以上のガスを含む原料ガスから特定ガスを
分離させて外部の各種装置に供給するにあたり、その装
置における特定ガスの使用量が大きく変動する場合で
も、十分な量の特定ガスを安定して供給でき、またガス
送り装置を停止させた後、その運転を再開させた場合で
も、当初から所定の高濃度の特定ガスが装置に安定して
供給され、ランニングコストも安くなるようにする。 【解決手段】ガス送り装置１１から２種以上のガスを含
む原料ガスをガス分離装置２１，２２に送って特定ガス
を分離させ、この特定ガスを第１収容槽３０及び第２収
容槽３５に供給して収容させ、この第２収容槽から特定
ガスを外部に供給すると共に、この第２収容槽における
特定ガスの圧力を圧力検知手段３６により測定し、その
結果に基づき制御装置４０によりガス送り装置の運転を
制御するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２種以上のガス
を含む原料ガスをガス送り装置によりガス分離装置に送
り、このガス分離装置により原料ガス中の特定ガスを分
離して外部の各種装置に供給する分離ガス供給方法に係
り、特に、外部の各種装置において使用する特定ガスの
使用量が大きく変動する場合においても、所定濃度の特
定ガスを安定して供給することができ、またガス送り装
置の無駄な運転もなくなってランニングコストも安くな
る分離ガス供給方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、２種以上のガスを含む原料ガ
スをガス送り装置によりガス分離装置に送り、このガス
分離装置により原料ガス中の特定ガスを分離して外部の
各種装置に供給することが行なわれており、近年におい
ては、安価な不活性ガスを得る目的で、ガス分離装置に
より空気等の原料ガスから窒素ガスを分離させ、このよ
うに分離された窒素ガスを、例えば食品やお茶の葉等を
充填させる容器や袋等に供給し、容器や袋等に充填され
た食品やお茶の葉等の充填物が酸化するのを防止する等
の様々な用途に使用されていた。

【０００３】ここで、上記のように空気等の原料ガスか
ら窒素ガスを分離させるガス分離装置としては、従来よ
り窒素ガスを選択的に通過させる膜を用いて原料ガスか
ら窒素ガスを分離させるようにしたものや、空気等の原
料ガス中における窒素ガス以外の酸素ガス等を吸着剤に
選択的に吸着させて窒素ガスを分離させるようにしたも
のが一般に使用されていた。

【０００４】ここで、窒素ガス以外のガスを吸着する吸
着剤を用いたガス分離装置により空気等の原料ガスから
窒素ガスを分離させ、このように分離された窒素ガスを
外部の各種装置に供給するにあたっては、図１に示すよ
うに、ガス送り装置１によって空気等の原料ガスを吸着
剤が充填されたガス分離装置２に供給し、このガス分離
装置２において、原料ガス中における酸素ガス等を吸着
剤に吸着させて窒素ガスを分離し、このように分離され
た窒素ガスを収容槽３に供給して、この収容槽３に窒素
ガスを所定の圧力で収容させ、この収容槽３から窒素ガ
スを外部の各種装置に供給するようにしていた。

【０００５】ここで、上記のように収容槽３から窒素ガ
スが供給される装置において、窒素ガスの使用量が安定
している場合には特に大きな問題はないが、例えば、お
茶の葉を容器や袋に充填させるのに窒素ガスを使用する
場合のように、新茶の時期と他の時期とで窒素ガスの使
用量が大きく変動する場合に問題が生じた。

【０００６】すなわち、上記のように新茶の時期に一時
的に大量の窒素ガスが使用される場合は、上記の装置に
よって窒素ガスを十分に供給することができなくなる一
方、その他の時期において窒素ガスを殆ど使用しないた
め、上記のガス送り装置１の運転を停止させると、この
ガス送り装置１の運転を再開させて、ガス分離装置２に
より空気から窒素ガスを分離させ、この窒素ガスを収容
槽３に供給した当初においては、ガス分離装置２におけ
る窒素ガスの分離が十分に行なえず、濃度の低い窒素ガ
スが収容槽３に供給され、この収容槽３から濃度の低い
窒素ガスが上記の装置に供給されるという問題があっ
た。

【０００７】このため、従来においては、上記のように
窒素ガスを使用しない場合であっても、上記のガス送り
装置１を運転させ、原料ガスをガス分離装置２に供給し
て、原料ガスから窒素ガスを分離させて収容槽３に供給
し、必要以上の窒素ガスを収容槽３から順次排出させる
ようにしており、ガス送り装置１の無駄な運転が続き、
ランニングコストが高く付く等の問題があった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この発明においては、
２種以上のガスを含む原料ガスをガス送り装置によりガ
ス分離装置に送り、このガス分離装置により原料ガス中
の特定ガスを分離して外部の各種装置に供給する場合に
おける上記のような問題を解決することを課題とするも
のである。

【０００９】すなわち、この発明においては、上記のよ
うに２種以上のガスを含む原料ガスから特定ガスを分離
させ、この特定ガスを外部の各種装置に供給するにあた
り、その装置における特定ガスの使用量が大きく変動
し、一時的に大量の特定ガスが使用される場合において
も、装置に十分な量の特定ガスを安定して供給すること
ができると共に、特定ガスを使用しない場合において、
ガス分離装置に原料ガスを送るガス送り装置を停止さ
せ、その後、このガス送り装置を運転させて特定ガスを
装置に供給する際に、供給される特定ガスの濃度が低下
するということがなく、所定の高濃度の特定ガスが安定
して装置に供給されるようにすることを課題とするもの
である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明における分離ガ
ス供給方法においては、上記のような課題を解決するた
め、２種以上のガスを含む原料ガスをガス送り装置によ
ってガス分離装置に送り、このガス分離装置により原料
ガス中の特定ガスを分離し、分離された特定ガスを第１
収容槽に収容させると共に、この第１収容槽から特定ガ
スを第２収容槽に供給して、この第２収容槽にも特定ガ
スを収容させ、この第２収容槽から特定ガスを外部に供
給すると共に、この第２収容槽における特定ガスの圧力
を圧力検知手段により測定し、この圧力検知手段による
測定結果に基づいて制御装置により上記ガス送り装置の
運転を制御するようにしたのである。

【００１１】ここで、この発明における分離ガス供給方
法において、上記のように第２収容槽から特定ガスが外
部の装置に供給されて、この第２収容槽における特定ガ
スの圧力が変動している間は、この圧力の変動を上記圧
力検知手段により検知して制御装置に伝え、この制御装
置によりガス送り装置の運転を連続して行ない、このガ
ス送り装置から原料ガスを連続してガス分離装置に供給
して特定ガスを分離させ、分離された特定ガスを第１収
容槽及び第２収容槽に供給する。

【００１２】一方、この第２収容槽から特定ガスが外部
の装置に供給されず、この第２収容槽における特定ガス
の圧力が変動しなくなった場合には、これを上記圧力検
知手段によって検知して制御装置に伝え、この制御装置
によりガス送り装置の運転を停止させる。

【００１３】その後、外部の装置への特定ガスの供給が
再開され、第２収容槽における特定ガスの圧力が変動し
た場合には、これを上記のように圧力検知手段により検
知して制御装置に出力し、この制御装置によりガス送り
装置の運転を再開させ、このガス送り装置から原料ガス
をガス分離装置に供給して、原料ガスから特定ガスを分
離させる。

【００１４】ここで、このようにガス送り装置の運転を
再開させて、ガス分離装置により原料ガスから特定ガス
を分離させた当初においては、特定ガスの分離が十分に
行なえず、第１収容槽における特定ガスの濃度が低下す
るが、このようにガス分離装置の運転を再開させた当初
は、第２収容槽から所定の高濃度になった特定ガスが外
部の装置に供給され、このように第２収容槽から特定ガ
スが供給されている間に、上記のガス分離装置において
特定ガスが十分に分離されて第１収容槽における特定ガ
スが所定の高濃度になる。

【００１５】そして、このように所定の高濃度になった
第１収容槽から第２収容槽に供給され、このように新た
に供給された所定の高濃度になった特定ガスが、この第
２収容槽から外部の装置に供給されるようになり、外部
の装置に所定の高濃度の特定ガスを安定して供給できる
ようになる。

【００１６】また、上記のように第２収容槽から特定ガ
スが外部の装置に供給されない状態では、上記のように
制御装置によりガス送り装置を停止させているため、無
駄な装置の運転がなくなり、ランニングコストが安くな
る。

【００１７】また、この発明において、上記の第１収容
槽における特定ガスの濃度を濃度検知手段により測定
し、この第１収容槽内における特定ガスの濃度が所定濃
度に達した状態で制御装置により第１収容槽から第２収
容槽に特定ガスを供給させるようにすると、第２収容槽
には常に所定の高濃度の特定ガスが供給されるようにな
り、この第２収容槽から外部の装置に所定の高濃度の特
定ガスがより安定して供給されるようになる。

【００１８】さらに、この発明において、第２収容槽か
ら特定ガスを外部の装置に供給する途中に、特定ガスを
収容させたガスボンベ等の予備ガス供給手段を接続させ
ておくと、ガス送り装置の運転を再開させた当初におい
て、大量の特定ガスを外部の装置に供給する場合に、上
記の第２収容槽に収容された特定ガスが使用されたとし
ても、その後は、この予備ガス供給手段から外部の装置
にさらに所定濃度の特定ガスが供給され、より安定して
特定ガスを外部の装置に供給できるようになると共に、
第２収容槽の容積を必要以上に大きくする必要もなくな
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る分離ガス供
給方法の実施形態を添付図面に基づいて具体的に説明す
る。

【００２０】この実施形態のものにおいては、図２に示
すように、窒素ガスや酸素ガス等を含む空気を原料ガス
として使用し、ガス送り装置１１により空気を圧縮さ
せ、この圧縮された空気を原料ガス供給管１２を通して
ガス分離装置に送り、このガス分離装置において原料ガ
スである空気中に含まれる窒素ガスを分離させるように
している。

【００２１】ここで、このように圧縮された空気を原料
ガス供給管１２を通してガス分離装置に供給する前に、
圧縮された空気を除湿清浄化装置１３に導き、この除湿
清浄化装置１３により圧縮された空気を除湿・浄化させ
るようにしている。

【００２２】一方、上記のガス分離装置として、この実
施形態のものにおいては、原料ガスである空気に含まれ
る窒素ガス以外の酸素ガス等を選択的に吸着する吸着剤
を充填させた２つのガス分離槽２１，２２を並設させて
いる。

【００２３】そして、上記のように除湿・清浄化された
空気を各ガス分離槽２１，２２に供給するにあたって
は、上記の原料ガス供給管１２を途中で２つに分離さ
せ、分離された各原料ガス供給管１２ａ，１２ｂにそれ
ぞれ弁１４ａ，１４ｂを設けて各ガス分離槽２１，２２
の下部に接続させている。

【００２４】また、各ガス分離槽２１，２２によって分
離された窒素ガスを各ガス分離槽２１，２２から第１収
容槽３０に案内する案内管３１ａ，３１ｂを各ガス分離
槽２１，２２の上端部にそれぞれ弁３２ａ，３２ｂを介
して接続し、この各案内管３１ａ，３１ｂを途中で連結
して１本にし、この１本になった案内管３１により窒素
ガスを第１収容槽３０に供給するようにしている。

【００２５】また、各ガス分離槽２１，２２に原料ガス
を供給するように分離された各原料ガス供給管１２ａ，
１２ｂの間に弁１５ａを介して第１連結管１６ａを設け
ると共に、各ガス分離槽２１，２２から窒素ガスを第１
収容槽３０に案内する案内管３１ａ，３１ｂの間にも弁
１５ｂを介して第２連結管１６ｂを設けている。

【００２６】さらに、各ガス分離槽２１，２２に空気を
供給する各原料ガス供給管１２ａ，１２ｂに各ガス分離
槽２１，２２内におけるガスを排気する排気管１７ａ，
１７ｂをそれぞれ弁１８ａ，１８ｂを介して接続させて
いる。

【００２７】また、上記の各ガス分離槽２１，２２によ
って分離された窒素ガスが供給される第１収容槽３０に
は濃度センサー３３等を設け、この濃度センサー３３に
より第１収容槽３０内に収容された窒素ガスの濃度等を
検知して、その結果を制御装置４０に出力するようにし
ている。

【００２８】また、この第１収容槽３０の下部に弁３４
ａを介して第１収容槽３０内における窒素ガスを第２収
容槽３５に供給する窒素ガス供給管３４ｂを設け、上記
の制御装置４０によりこの弁３４ａを開放させて、第１
収容槽３０から第２収容槽３５に窒素ガスを供給し、こ
の第２収容槽３５に窒素ガスを収容させるようにしてい
る。

【００２９】また、この第２収容槽３５には収容された
特定ガスの圧力を測定する圧力センサー３６等を設け、
この圧力センサー３６により測定された窒素ガスの圧力
等を上記の制御装置４０に出力するようにしている。

【００３０】そして、この制御装置４０においては、上
記のガス送り装置１１から各ガス分離槽２１，２２に供
給された原料ガス中における窒素ガスを分離させて、第
１収容槽３０に所定濃度の窒素ガスを供給させるよう
に、上記の各原料ガス供給管１２ａ，１２ｂ、連結管１
６ａ，１６ｂ、案内管３１ａ，３１ｂ、排気管１７ａ，
１７ｂに設けられた各弁１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５
ｂ，３２ａ，３２ｂ，１８ａ，１８ｂの開閉を制御する
と共に、第１収容槽３０に設けられた濃度センサー３３
による測定結果に基づき、この第１収容槽３０内におけ
る窒素ガスの濃度が所定濃度に達した時点で上記窒素ガ
ス供給管３４ｂの弁３４ａを開放させて窒素ガスを第２
収容槽３５に送るようにし、また第２収容槽３５に設け
られた圧力センサー３６の測定結果に基づき、上記のガ
ス送り装置１１の運転を制御させるようにしている。

【００３１】さらに、この実施形態のものにおいては、
上記の第２収容槽３５から窒素ガスを使用する外部の装
置（図示せず）に窒素ガスを供給する分離ガス供給管３
７ａにレギュレータ３７ｂと逆止弁３７ｃとを設け、こ
の分離ガス供給管３７ａを第２収容槽３５に接続すると
共に、上記レギュレータ３７ｂと逆止弁３７ｃより下流
側の位置において、予備ガス供給手段３８として所定濃
度の窒素ガスが収容されたガスボンベ３８をレギュレー
タ３９ｂと逆止弁３９ｃとを介して補助供給管３９ａに
よって上記の分離ガス供給管３７ａに接続させている。

【００３２】次に、上記の実施形態のものにより、原料
ガスの空気中から窒素ガスを分離させ、この分離された
窒素ガスを第１収容槽３０及び第２収容槽３５に収容さ
せて、窒素ガスを外部の装置に供給する場合について具
体的に説明する。

【００３３】まず、上記のガス送り装置１１により圧縮
された空気を除湿清浄化装置１３に導き、この除湿清浄
化装置１３によって除湿及び浄化された空気を上記の各
ガス分離槽２１，２２に供給する。

【００３４】そして、この実施形態のものにおいては、
上記のように２つのガス分離槽２１，２２を設け、各ガ
ス分離槽２１，２２において空気から窒素ガスを分離さ
せる操作を交互に行ない、分離された窒素ガスが連続し
て上記の第１収容槽３０に供給されるようにしている。

【００３５】ここで、第１ガス分離槽２１において空気
から窒素ガスを分離させるにあたっては、この第１ガス
分離槽２１に空気を送る原料ガス供給管１２ａの弁１４
ａと、この第１ガス分離槽２１によって分離された窒素
ガスを第１収容槽３０に送る案内管３１ａの弁３２ａを
開ける一方、第２ガス分離槽２２に空気を送る原料ガス
供給管１２ｂの弁１４ｂ、第２ガス分離槽２２において
分離された窒素ガスを第１収容槽３０に送る案内管３１
ｂの弁３２ｂ、各連結管１６ａ，１６ｂに設けられた各
弁１５ａ，１５ｂ、さらには第１ガス分離槽２１内にお
けるガスを排出させる排出管１７ａに設けられた弁１８
ａを閉じた状態にする。

【００３６】そして、上記のように第１ガス分離槽２１
に空気を送る原料ガス供給管１２ａの弁１４ａと、この
第１ガス分離槽２１によって分離された窒素ガスを第１
収容槽３０に送る案内管３１ａの弁３２ａとを開放させ
ると、上記のガス送り装置１１により圧縮された空気が
第１ガス分離槽２１に送られ、この空気中における酸素
ガス等の窒素ガス以外のガスがこの第１ガス分離槽２１
内に充填された吸着剤に吸着されて窒素ガスが空気から
分離される一方、この第１ガス分離槽２１内におけるガ
スの圧力が第１収容槽３０内に収容された窒素ガスの圧
力より低い当初においては、第１収容槽３０内に収容さ
れた窒素ガスがこの第１ガス分離槽２１に流れ込むよう
になる。

【００３７】そして、上記のガス送り装置１１から圧縮
された空気が第１ガス分離槽２１内に順次送られて、こ
の第１ガス分離槽２１内におけるガスの圧力が第１収容
槽３０におけるガスの圧力より高くなると、この第１ガ
ス分離槽２１において分離された窒素ガスが第１収容槽
３０に送られるようになる。この場合、第１ガス分離槽
２１から第１収容槽３０に供給される窒素ガスには、上
記のように第１収容槽３０から第１ガス分離槽２１に流
れ込んだ高濃度の窒素ガスが含まれ、当初から濃度の高
い窒素ガスが第１ガス分離槽２１から第１収容槽３０に
供給されるようになる。

【００３８】また、このように第１ガス分離槽２１内に
充填された吸着剤に酸素ガス等が吸着されて、この吸着
剤による窒素ガスの分離能力が低下した場合には、この
第１ガス分離槽２１に空気を供給する原料ガス供給管１
２ａの弁１４ａ及びこの第１ガス分離槽２１から窒素ガ
スを第１収容槽３０に供給する案内管３１ａの弁３２ａ
を閉じる一方、上記の各連結管１６ａ，１６ｂに設けら
れた各弁１５ａ，１５ｂを開ける。このように各連結管
１６ａ，１６ｂに設けられた各弁１５ａ，１５ｂを開け
ると、第１ガス分離槽２１の上部にある高濃度の窒素ガ
スが第２連結管１６ｂを通して第２ガス分離槽２２の上
部に供給されると共に、第１ガス分離槽２１の下部にお
ける低濃度の窒素ガスが第１連結管１６ａを通して第２
ガス分離槽２２の下部に供給される。

【００３９】その後、上記の各連結管１６ａ，１６ｂに
おける各弁１５ａ，１５ｂを閉じる一方、空気を第２ガ
ス分離槽２２に供給する原料ガス供給管１２ｂの弁１４
ｂと、この第２ガス分離槽２２から窒素ガスを第１収容
槽３０に送る案内管３１ｂの弁３２ｂと、第１ガス分離
槽２１内におけるガスを排出させる排出管１７ａの弁１
８ａとを開放させる。

【００４０】ここで、上記のように第２ガス分離槽２２
に空気を送る原料ガス供給管１２ｂの弁１４ｂと、この
第２ガス分離槽２２によって分離された窒素ガスを第１
収容槽３０に送る案内管３１ｂの弁３２ｂとを開放させ
ると、ガス送り装置１１から圧縮された空気が第２ガス
分離槽２２に送られ、この空気中における酸素ガス等の
窒素ガス以外のガスがこの第２ガス分離槽２２内に充填
された吸着剤に吸着されて窒素ガスが空気から分離され
る一方、この第２ガス分離槽２２内におけるガスの圧力
が第１収容槽３０内に収容された窒素ガスの圧力より低
い当初においては、第１収容槽３０内に収容された窒素
ガスがこの第２ガス分離槽２２に流れ込むようになる。

【００４１】そして、前記の第１ガス分離槽２２の場合
と同様に、ガス送り装置１１から圧縮された空気が第２
ガス分離槽２２内に順次送られ、この第２ガス分離槽２
２内におけるガスの圧力が第１収容槽３０におけるガス
の圧力より高くなると、この第２ガス分離槽２２におい
て分離された窒素ガスが第１収容槽３０に送られるよう
になる。この場合、第２ガス分離槽２２から第１収容槽
３０に供給される窒素ガスには、前記のように第１ガス
分離槽２１から第２連結管１６ｂを通して第２ガス分離
槽２２の上部に供給された高濃度の窒素ガスや第１収容
槽３０から流れ込んだ高濃度の窒素ガスが含まれ、当初
から高い濃度になった窒素ガスが第２ガス分離槽２２よ
り第１収容槽３０に供給されるようになる。

【００４２】一方、上記の第１ガス分離槽２１において
は、その内部におけるガスが上記の排出管１７ａを通し
て大気に排出され、この第１ガス分離槽２１の内部圧力
が低下し、またその吸着剤に吸着されていた酸素ガス等
も放出されて、吸着剤が再生される。

【００４３】そして、上記のような操作を繰り返して行
ない、各ガス分離槽２１，２２から分離された窒素ガス
を第１収容槽３０に供給する。

【００４４】また、このように第１収容槽３０内に窒素
ガスが供給され、この第１収容槽３０内に収容された窒
素ガスが所定濃度に達すると、これを上記の濃度センサ
ー３３により検知して上記の制御装置４０に出力し、こ
の制御装置４０により窒素ガス供給管３４ｂの弁３４ａ
を開放して窒素ガスを第２収容槽３５に供給し、この第
２収容槽３５内に所定の高濃度になった窒素ガスを収容
させ、この第２収容槽３５内に収容された窒素ガスを分
離ガス供給管３７ａを通して外部の装置に供給する。

【００４５】ここで、このように第２収容槽３５から窒
素ガスを所定の装置に供給し、この第２収容槽３５内に
おける窒素ガスの圧力が変動している場合においては、
これを上記の圧力センサー３６により検知して制御装置
４０に出力し、この制御装置４０によって前記のガス送
り装置１１を連続して運転させる。

【００４６】一方、外部の装置における窒素ガスの使用
が停止し、上記の第２収容槽３５から窒素ガスが供給さ
れなくなり、この第２収容槽３５内における窒素ガスの
圧力が変動しなくなった場合には、これを上記の圧力セ
ンサー３６により検知して制御装置４０に出力し、この
制御装置４０により前記のガス送り装置１１の運転を停
止させる。このようにすると、外部の装置における窒素
ガスの使用が停止した場合にも、ガス送り装置１１が運
転され続けるということがなく、ランニングコストが低
減される。

【００４７】そして、このようにガス送り装置１１の運
転を停止させた後、外部の装置における窒素ガスの使用
が開始され、第２収容槽３５内における窒素ガスが外部
の装置に供給されて、この第２収容槽３５内における窒
素ガスの圧力が変動した場合には、これを上記の圧力セ
ンサー３６により検知して制御装置４０に出力し、この
制御装置４０によりガス送り装置１１の運転を再開さ
せ、このガス送り装置１１から原料ガスである空気を各
ガス分離槽２１，２２に供給し、前記のように各ガス分
離槽２１，２２により窒素ガスを分離させて、第１収容
槽３０に窒素ガスを供給する。

【００４８】ここで、このようにガス送り装置１１の運
転を再開させ、各ガス分離槽２１，２２において窒素ガ
スを分離させて第１収容槽３０に供給した当初において
は、第１収容槽３０内における窒素ガスの濃度が低く、
これを前記の濃度センサー３３により検知して制御装置
４０に出力し、この制御装置４０により窒素ガス供給管
３４ｂの弁３４ａを閉塞させて、濃度の低い窒素ガスが
第２収容槽３５に供給されるのを停止する。

【００４９】そして、上記の各ガス分離槽２１，２２に
おいて窒素ガスが十分に分離されて第１収容槽３０内に
おける窒素ガスの濃度が所定の濃度に達するまでは、第
２収容槽３５内における所定濃度の窒素ガスを外部の装
置に順次供給する。

【００５０】また、前記の新茶の時期等のように外部の
装置において、一時的に大量の窒素ガスが使用され、こ
の第２収容槽３５内に収容されていた窒素ガスが消費さ
れた場合には、前記のガスボンベ３８から外部の装置に
所定濃度の窒素ガスを供給する。

【００５１】そして、このように第２収容槽３５やガス
ボンベ３８から窒素ガスを外部の装置に供給している間
に、上記の各ガス分離槽２１，２２において窒素ガスが
分離されて第１収容槽３０内における窒素ガスの濃度が
所定の濃度に達すると、これを前記の濃度センサー３３
により検知して制御装置４０に出力し、この制御装置４
０により窒素ガス供給管３４ｂの弁３４ａを開放させ
て、所定濃度の窒素ガスを第２収容槽３５に供給し、こ
のように第２収容槽３５に供給された所定濃度の窒素ガ
スを外部の装置に供給する。

【００５２】このようにすると、ガス送り装置１１の運
転を再開させた当初においても、濃度が低下した窒素ガ
スが外部の装置に供給されるということがなく、常に一
定した所定濃度の窒素ガスが外部の装置に安定して供給
されるようになる。

【００５３】なお、この実施形態のものにおいては、原
料ガスである空気から窒素ガスを分離させるにあたり、
ガス分離装置として酸素ガス等を吸着する吸着剤が充填
された２つのガス分離槽２１，２２を設けるようにした
が、このガス分離槽の数を１つにしたり、また窒素ガス
を選択的に通過させるガス分離膜を用いて空気から窒素
ガスを分離させるようにしたガス分離装置を使用するこ
とも可能である。

【００５４】また、この実施形態のものにおいては、原
料ガスとして空気を用い、この空気中における酸素ガス
等を除去して不活性な窒素ガスを分離させ、この窒素ガ
スを外部の装置に供給するようにしたが、使用する原料
ガス、分離させる特定ガスの種類等は自由に変更するこ
とができる。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明における
分離ガス供給方法においては、２種以上のガスを含む原
料ガスをガス送り装置によりガス分離装置に送り、この
ガス分離装置により原料ガス中の特定ガスを分離して外
部の各種装置に供給する場合において、その装置におけ
る特定ガスの使用量が大きく変動し、一時的に大量の特
定ガスが使用される場合においても、その装置に十分な
量の特定ガスを安定して供給できると共に、特定ガスを
使用しない場合において、ガス送り装置を停止させ、そ
の後、ガス送り装置の運転を再開させて特定ガスを上記
の装置に供給する時に、濃度の低い特定ガスが供給され
るということがなく、所定の高濃度の特定ガスが安定し
て装置に供給されるようになった。

【００５６】また、この発明における供給方法において
は、上記のように外部の装置において特定ガスを使用し
ない場合には、ガス送り装置を停止させるため、従来の
ようにガス送り装置が無駄に運転されるということがな
く、ランニングコストが安くなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】２種以上のガスを含む原料ガスをガス送り装置
によりガス分離装置に供給して特定ガスを分離させ、こ
の特定ガスを外部の装置に供給する従来例の概略説明図
である。

【図２】この発明の一実施形態において、２種以上のガ
スを含む原料ガスをガス送り装置によりガス分離装置に
供給して特定ガスを分離させ、この特定ガスを外部の装
置に供給する状態を示した概略説明図である。

【符号の説明】

１１ ガス送り装置 １２，１２ａ，１２ｂ 原料ガス供給管 ２１，２２ ガス分離槽（ガス分離装置） ３０ 第１収容槽 ３１，３１ａ，３１ｂ 案内管 ３３ 濃度センサー（濃度検知手段） ３４ｂ 窒素ガス供給管 ３５ 第２収容槽 ３６ 圧力センサー（圧力検知手段） ３７ａ 分離ガス供給管 ３８ ガスボンベ（予備ガス供給手段） ４０ 制御装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２種以上のガスを含む原料ガスをガス送
   り装置によりガス分離装置に送り、このガス分離装置に
   より原料ガス中の特定ガスを分離し、分離された特定ガ
   スを第１収容槽に収容させると共に、この第１収容槽か
   ら特定ガスを第２収容槽に供給して、この第２収容槽に
   も特定ガスを収容させ、この第２収容槽から特定ガスを
   外部に供給すると共に、この第２収容槽における特定ガ
   スの圧力を圧力検知手段により測定し、この圧力検知手
   段による測定結果に基づいて制御装置により上記ガス送
   り装置の運転を制御することを特徴とする分離ガス供給
   方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載した分離ガス供給方法に
   おいて、第１収容槽における特定ガスの濃度を濃度検知
   手段により測定し、第１収容槽における特定ガスの濃度
   が所定濃度に達した段階で、制御装置により第１収容槽
   から第２収容槽に特定ガスを供給することを特徴とする
   分離ガス供給方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載した分離ガス供給方法に
   おいて、第２収容槽から特定ガスを外部に供給する途中
   に、大量の特定ガスの使用に対応させる予備ガス供給手
   段を接続させたことを特徴とする分離ガス供給方法。