JPH09105677A - セラミックシース型部品及びその製造方法 - Google Patents

セラミックシース型部品及びその製造方法

Info

Publication number
JPH09105677A
JPH09105677A JP7289192A JP28919295A JPH09105677A JP H09105677 A JPH09105677 A JP H09105677A JP 7289192 A JP7289192 A JP 7289192A JP 28919295 A JP28919295 A JP 28919295A JP H09105677 A JPH09105677 A JP H09105677A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
type component
sheath type
inner core
ceramic sheath
core portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7289192A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidenori Kita
英紀 北
Hideo Kawamura
英男 河村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd
Original Assignee
Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd filed Critical Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd
Priority to JP7289192A priority Critical patent/JPH09105677A/ja
Priority to US08/630,273 priority patent/US5811761A/en
Priority to EP96302628A priority patent/EP0771773B1/en
Priority to DE69606009T priority patent/DE69606009T2/de
Publication of JPH09105677A publication Critical patent/JPH09105677A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B18/00—Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23Q—IGNITION; EXTINGUISHING-DEVICES
    • F23Q7/00—Incandescent ignition; Igniters using electrically-produced heat, e.g. lighters for cigarettes; Electrically-heated glowing plugs
    • F23Q7/001—Glowing plugs for internal-combustion engines
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
    • G01K1/12—Protective devices, e.g. casings for preventing damage due to heat overloading
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G01K7/04—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples the object to be measured not forming one of the thermoelectric materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/48—Organic compounds becoming part of a ceramic after heat treatment, e.g. carbonising phenol resins
    • C04B2235/483—Si-containing organic compounds, e.g. silicone resins, (poly)silanes, (poly)siloxanes or (poly)silazanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/04—Ceramic interlayers
    • C04B2237/08—Non-oxidic interlayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/04—Ceramic interlayers
    • C04B2237/08—Non-oxidic interlayers
    • C04B2237/083—Carbide interlayers, e.g. silicon carbide interlayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/04—Ceramic interlayers
    • C04B2237/09—Ceramic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/04—Ceramic interlayers
    • C04B2237/09—Ceramic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
    • C04B2237/095—The active component for bonding being silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32—Ceramic
    • C04B2237/36—Non-oxidic
    • C04B2237/365—Silicon carbide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32—Ceramic
    • C04B2237/36—Non-oxidic
    • C04B2237/368—Silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/60—Forming at the joining interface or in the joining layer specific reaction phases or zones, e.g. diffusion of reactive species from the interlayer to the substrate or from a substrate to the joining interface, carbide forming at the joining interface
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/62—Forming laminates or joined articles comprising holes, channels or other types of openings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/64—Forming laminates or joined articles comprising grooves or cuts
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/68—Forming laminates or joining articles wherein at least one substrate contains at least two different parts of macro-size, e.g. one ceramic substrate layer containing an embedded conductor or electrode
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/70—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
    • C04B2237/704—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the ceramic layers or articles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/76—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
    • C04B2237/765—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/84—Joining of a first substrate with a second substrate at least partially inside the first substrate, where the bonding area is at the inside of the first substrate, e.g. one tube inside another tube
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23Q—IGNITION; EXTINGUISHING-DEVICES
    • F23Q7/00—Incandescent ignition; Igniters using electrically-produced heat, e.g. lighters for cigarettes; Electrically-heated glowing plugs
    • F23Q7/001—Glowing plugs for internal-combustion engines
    • F23Q2007/004—Manufacturing or assembling methods

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、導体線材の断線が防止できる耐熱
性で耐熱ショック性のセラミックシース型部品及びその
製造方法を提供する。 【解決手段】 このセラミックシース型部品は、窒化ケ
イ素又はサイヤロンから成る保護パイプ１内に、一端か
ら他端へ長手方向に延びる導体線材２を配置し、導体線
材２を反応焼結窒化ケイ素から成る充填部材３に埋設さ
せる。充填部材３は、焼結時寸法変化率が小さい内芯部
４と、内芯部４と保護パイプ１との間の境界層を形成す
る焼結時寸法変化率が内芯部４より大きい封止部５との
二層から構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、グローヒータや熱電
対として適用できるセラミックシース型部品及びその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のセラミックシース型部品は、ディ
ーゼルエンジンにおいて燃料の着火補助装置のグロープ
ラグ即ちグローヒータとして開発されている。熱電対
は、３００℃〜１４００℃の温度範囲の温度を計測する
ため、各種の測定材を適合させている。ところで、グロ
ーヒータの作製については、ＷコイルにＳｉ，Ｔｉを含
む原料を着肉させて成形体を作製し、該成形体をＳｉ3
Ｎ4 製の鞘又はパイプに挿入した後、これを反応焼結
し、グローヒータは均一な組成に構成されていた（例え
ば、特開平７−２１７８８６号公報参照）。また、熱電
対の素線は、酸化性又は還元性の雰囲気に対して弱い場
合が多く、一般的には素線を保護パイプに入れて使用さ
れている。
【０００３】また、従来の熱電対を収容する保護管とし
ては、次のような材料を用いて作製されている。即ち、
従来の保護管は、ＢＮ（耐熱温度：１０００℃）、磁器
（耐熱温度：１４００℃）、アルミナ（耐熱温度：１６
００℃）、高クロム鋼（耐熱温度：１０５０℃）、アラ
ンダム（耐熱温度：１４００℃）等の各種の保護管が使
用されている。このような保護管で作製されている熱電
対は、耐熱温度まで使用すると、１回の測定で破損し、
再度使用できなくなるので、通常、温度測定として６０
０℃〜８００℃程度、高温としても１０００℃程度の温
度雰囲気で使用されているのが現状である。
【０００４】また、熱電対の保護管としては、例えば、
特開昭６３−１１５７４号公報や特開昭６１−２４６６
３６号公報に開示されたものがある。
【０００５】前掲特開昭６３−１１５７４号公報に開示
された熱電対保護管は、溶湯の温度測定用熱電対の保護
管であり、二層構造を有し、内層が焼結した窒化ケイ素
又はサイアロン系セラミックスからなり、外層が主とし
て、ＢＮ−ＳｉＯ2 −Ａｌ2Ｏ3 −Ｙ2 Ｏ3 から構成し
たものである。
【０００６】また、前掲特開昭６１−２４６６３６号公
報に開示された溶鋼連続測温用保護管は、熱電対の保護
管として使用でき、反応焼結窒化ケイ素から成る保護管
とアルミナ内管との間にＡｌＮ粉を充填し、ＡｌＮ粉の
上部にアルミナウールを更に充填した保護管を作ったも
のであり、溶鋼による侵食速度が低減され、長時間の溶
鋼温度の測定を可能にしたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
保護パイプ内に充填する成形体が脆いため、破損が頻繁
し、長尺品を作製するのは困難であった。また、熱電対
を保護する保護管は、実際には、１０００℃以上の温度
では保護管には相当の損傷が発生する。そのため、従来
の熱電対は、高温炉や溶湯の温度の測定には困難性があ
るのが現状である。例えば、熱電対を細い径のパイプ形
状に構成した場合に、熱電対を保護する保護管の強度、
保護管内の充填材の密度を適正に調整するために、製造
上の問題が存在する。また、ＢＮで保護管を作製した熱
電対は、Ｏ2 の存在下では酸化するため、炉内のＯ2 を
排気してから使用しているのが現状である。
【０００８】また、熱電対を保護管内に配置した構造に
ついて、保護管を反応焼結の窒化ケイ素を用いて作製し
た場合でも、保護管内には一端から他端へ長手方向に延
びる種類の異なる一対の線材を配置するが、保護管内に
充填させる充填部材として適正な材料を選定しないと、
保護管内面と充填部材との間に隙間が発生し、線材が保
護管内に存在するＯ2 と酸化して断線したり、或いは熱
ショックを受けて破損するという問題がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決することであり、Ｓｉ3 Ｎ4 、サイアロン、炭化
ケイ素のような耐熱性のセラミックスでパイプや鞘の保
護パイプを形成し、前記保護パイプ内にセラミックス充
填部材を配置し、前記充填部材内にコイルや導電素線を
埋設し、コイルや導電素線を封じ込めると共に、前記充
填部材を内外二層の部分から構成することにより、前記
線材の断線を防止でき、前記保護パイプに充填部材を密
着させて破損を防止し、耐熱性で耐熱ショック性に優
れ、耐久性に富んだセラミックシース型部品及びその製
造方法に関する。
【００１０】この発明は、窒化ケイ素、炭化ケイ素及び
サイアロンのいずれかから成るパイプや鞘の保護パイ
プ、該保護パイプ内に一端から他端へ長手方向に延びる
ように配置された導体線材、該導体線材を埋設するよう
に前記保護パイプ内に充填された反応焼結窒化ケイ素か
ら構成された充填部材から成るセラミックシース型部品
において、前記充填部材は焼結時寸法変化率が小さい内
芯部と該内芯部と前記保護パイプとの間の境界層を形成
する焼結時寸法変化率が前記内芯部より大きい封止部と
の二層から構成されていることを特徴とするセラミック
シース型部品に関する。
【００１１】また、このセラミックシース型部品におい
て、前記内芯部のＴｉ換算量が０〜２ｗｔ％であり、ま
た、前記封止部のＴｉ換算量が５ｗｔ％以上で且つ４０
ｗｔ％未満であり、好ましくは５〜３０ｗｔ％である。
また、前記封止部には、有機ケイ素ポリマーが転化した
非晶質のセラミックスが存在する。
【００１２】このセラミックシース型部品は、前記内芯
部がＴｉ量が少ないので、焼結膨張することがなく、内
部の埋設させるＷ、Ｗ合金等の前記導体線材が仮焼時に
引張応力が作用して断線することがなく、また、前記封
止部がＴｉ量が多いので、焼結膨張して前記保護パイプ
と前記内芯部との間に隙間を埋めて良好な密着状態を確
保でき、割れ、クラック、がたつきを防止して耐久性を
向上できる。
【００１３】また、このセラミックシース型部品は、前
記導体線材を発熱部と抵抗部から成るヒータコイルで構
成し、グローヒータに適用できる。
【００１４】或いは、このセラミックシース型部品は、
前記導体線材を種類の異なる一対の線材から構成した場
合には熱電対に適用できる。更に、一方の前記線材がＷ
−５％Ｒｅから成り、他方の前記線材はＷ−２６％Ｒｅ
から構成することができる。
【００１５】又は、この発明は、導体素線やコイルの線
材に、Ｓｉを含む着肉用原料を着肉させて成形して成形
体を作製するステップ、前記成形体を窒素雰囲気中で１
２００℃以上で仮焼して仮焼体を作製するステップ、前
記仮焼体の表面に前記原料とは異なる組成を持つＳｉを
含むペースト状組成物を塗布して積層体を作製するステ
ップ、前記積層体を窒化ケイ素、炭化ケイ素及びサイア
ロンのいずれかから成る保護パイプ内に配置した後、窒
素雰囲気中で１３５０℃以上で反応焼結するステップ、
から構成したことを特徴とするセラミックシース型部品
の製造方法に関する。
【００１６】また、このセラミックシース型部品の製造
方法において、前記着肉用原料はＴｉが０〜２ｗｔ％と
残部がＳｉとＳｉ3 Ｎ4 との粉末から成り、また、前記
ペースト状組成物には５ｗｔ％以上で且つ４０ｗｔ％未
満であり、好ましくは５〜３０ｗｔ％のＴｉが含まれて
いる。
【００１７】また、このセラミックシース型部品の製造
方法において、前記反応焼結するステップの前又は後に
有機ケイ素ポリマー溶液を含浸するステップを含むもの
である。。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図４を参照して、
この発明によるセラミックシース型部品及びその製造方
法の実施例を説明する。図１はこのセラミックシース型
部品としてのグローヒータの製造方法の一実施例を示す
説明図、及び図４はこのセラミックシース型部品をグロ
ーヒータに適用した実施例を示す断面図である。
【００１９】図１及び図４に示すように、このセラミッ
クシース型部品として、グローヒータに適用した実施例
が示されている。このセラミックシース型部品は、グロ
ーヒータ１０として構成する場合には、導体線材２を、
例えば、発熱部（例えば、Ｆｅ−Ｃｒコイル）２Ｈと抵
抗部（Ｎｉコイル）２Ｒから成るコイルで構成する。こ
のセラミックシース型部品のグローヒータ１０は、図１
又は図４に示すように、窒化ケイ素、炭化ケイ素及びサ
イアロンのいずれかから成る鞘、パイプ等の保護パイプ
１、保護パイプ１内に隔置して一端から他端へ長手方向
に延びる導体線材２、導体線材２を埋設するように保護
パイプ１内に充填された反応焼結窒化ケイ素から成る充
填部材３から成り、充填部材３が内芯部４と該内芯部４
と保護パイプ１との間の境界層を形成する封止部５との
内外二層から構成されている。充填部材３において、内
芯部４は焼結時寸法変化率が小さい反応焼結窒化ケイ素
で構成され、また、封止部５は焼結時寸法変化率が内芯
部４より大きい反応焼結窒化ケイ素から構成されてい
る。
【００２０】図３には、Ｔｉ添加率（ｗｔ％）に対する
焼結時の寸法変化率（％）の関係を表すグラフが示され
ている。図３において、Ｔｉ添加率（ｗｔ％）は、Ｔｉ
量をＴｉ量、Ｓｉ量、及びＳｉ3 Ｎ4 量の合計量で除し
た率（ｗｔ％）で表している。また、Ｔｉ添加率が４０
ｗｔ％以上では、成形体の焼結は困難であった。
【００２１】このセラミックシース型部品において、内
芯部４のＴｉ換算量が０〜２ｗｔ％であり、また、封止
部５のＴｉ換算量が５ｗｔ％以上で且つ４０ｗｔ％未満
であり、好ましくは５〜３０ｗｔ％である。図３から分
かるように、Ｔｉ添加率が０〜２ｗｔ％の場合には、焼
結時の寸法変化率は−０．１〜０％である。また、Ｔｉ
添加率が５〜３０ｗｔ％の場合には、焼結時の寸法変化
率は＋０．２〜１．２％である。
【００２２】更に、封止部５には、有機ケイ素ポリマー
が転化した非晶質のセラミックスを含んでいる。仮焼成
の前の成形体又は仮焼成の後に仮焼体を有機ケイ素ポリ
マーに浸漬し、成形体又は仮焼体に有機ケイ素ポリマー
を含浸させ、それを反応焼結によって有機ケイ素ポリマ
ーを非晶質のセラミックスに転化する。非晶質のセラミ
ックスは、保護パイプ１の内壁面に馴染んで密着し、保
護パイプ１の充填部材３のガタ付き等の現象を防止し、
破損を防止できると共に、密封状態を良好にし、導体線
材に対する外気からの影響を阻止する。
【００２３】次に、このセラミックシース型部品の製造
方法について説明する。このセラミックシース型部品の
製造方法において、導体素線やコイルの線材に、Ｓｉを
含む着肉用原料を着肉させて成形して成形体を作製する
ステップ、前記成形体を窒素雰囲気中で１２００℃以上
で仮焼して仮焼体を作製するステップ、前記仮焼体の表
面に前記原料とは異なる組成を持つＳｉを含むペースト
状組成物を塗布して積層体を作製するステップ、前記積
層体を窒化ケイ素、炭化ケイ素及びサイアロンのいずれ
かから成る保護パイプ内に配置した後、窒素雰囲気中で
１３５０℃以上で反応焼結するステップ、から構成した
ことを特徴とするものである。
【００２４】このセラミックシース型部品の製造方法に
おいて、着肉用原料はＴｉが０〜２ｗｔ％と残部がＳｉ
とＳｉ3 Ｎ4 との粉末から成り、また、前記ペースト状
組成物には５〜３０ｗｔ％のＴｉが含まれている。ま
た、このセラミックシース型部品の製造方法において、
仮焼成するステップの前又は後に有機ケイ素ポリマー溶
液を含浸するステップを含むことを特徴とするものであ
る。
【００２５】次に、図２及び図５を参照して、このセラ
ミックシース型部品を熱電対に適用した実施例を説明す
る。図２はこのセラミックシース型部品として熱電対の
製造方法の一実施例を示す説明図、及び図５はこのセラ
ミックシース型部品を熱電対に適用した実施例を示す断
面図である。このセラミックシース型部品を熱電対１１
として作製する場合には、導体線材２を２種類の線材か
ら構成し、一方の線材２ＡをＷ−５％Ｒｅから構成し、
他方の線材２ＢをＷ−２６％Ｒｅから構成する。また、
保護パイプとしては、径の小さい長尺の鞘９を使用す
る。この実施例は、上記実施例と比較して、その他の構
成については、同一の構成であり且つ同一の機能を有し
ているので、重複する説明は省略する。
【００２６】〔実施例１〕このセラミックシース型部品
の製造方法において、ヒータを作製する実施例を図１を
参照して説明する。まず、φ０．２ｍｍの導体線材とし
てのＷコイル２にＳｉ，Ｔｉ，Ｓｉ3 Ｎ4 の粉末から成
る原料を着肉し、窒素雰囲気内で１３００℃で仮焼して
内芯仮焼体６を作製した。一方、内芯仮焼体６に嵌合で
きる内径φ８ｍｍ、長さ３５ｍｍのＳｉ3 Ｎ4 から成る
パイプ１を作製した。次に、上記と同原料と有機バイン
ダーの混練物から成るペースト７を内芯仮焼体６の表面
に塗布して成形体８を作製した。成形体８をパイプ１内
に挿入し、窒素雰囲気内で１４００℃で本焼成し、それ
によって、内芯仮焼体６が内芯部４に転化し、ペースト
７が封止部５に転化した充填部材３が作製され、パイプ
１内に充填部材３が配置されたヒータ１０を作製した。
【００２７】ヒータ１０は、パイプ１と内芯部４との間
に、ペースト７が転化した封止部５が存在する構造を有
している。ヒータ１０を作製する時に、内芯部４及び封
止部５の原料組成を種々に変化させ、得られた種々のヒ
ータ１０の断面積を観察すると共に、通電試験を行っ
た。その結果を表１に示す。
【表１】
【００２８】表１に示すように、内芯部４におけるＴｉ
の添加量は０〜２ｗｔ％であり、また、封止部５は５〜
３０ｗｔ％が良好なヒータ１０を構成することが分かっ
た。また、表１から分かるように、内芯部４におけるＴ
ｉの添加量を増大させた場合には、図３のグラフに示す
ように、焼結時の膨張量が大きくなることが分かる。焼
結時に内芯部４の膨張量が大きくなると、内芯部４に埋
設された導体線材としてのＷ線２に径方向に引張応力が
作用し、Ｗ線２が断線し易くなる。
【００２９】〔実施例２〕このセラミックシース型部品
の製造方法において、熱電対を作製する実施例を図２及
び図５を参照して説明する。この実施例では、線材２と
してＷ−５％Ｒｅから成る線材２ＡとＷ−２６％Ｒｅか
ら成る線材２Ｂとの端部１４を結合した２種類の直列に
結線した線材２を選定し、線材２にＴｉの添加量を２ｗ
ｔ％とした原料を着肉し、外形がφ６ｍｍ、長さが３０
０ｍｍとなる成形体を形成した。該成形体を、実施例１
と同様に、窒素雰囲気内で１３００℃で仮焼して内芯仮
焼体６を作製した。一方、内芯仮焼体６に嵌合できる内
径φ６ｍｍ、長さ３００ｍｍのＳｉ3 Ｎ4 から成るパイ
プ即ち鞘９を作製した。鞘９には、例えば、φ０．５の
通孔１２が隔置して多数形成されている。次に、Ｔｉ量
を２０ｗｔ％としてペースト７を内芯仮焼体６の表面に
塗布して成形体８を作製した。成形体８を鞘９を構成す
るパイプ内に挿入し、窒素雰囲気内で１４００℃で本焼
成し、それによって、内芯仮焼体６が内芯部４に転化
し、ペースト７が封止部５に転化した充填部材３が作製
され、鞘９内に充填部材３が配置された熱電対１１を作
製した。ここで、鞘９は長尺であるので、反応焼結を促
進するために鞘９に通孔１２を形成しておけば、反応焼
結時にＳｉ，Ｔｉ，Ｓｉ3 Ｎ4 の粉末から成る原料が反
応焼結して反応焼結セラミックスに転化する。次いで、
図５に示すように、鞘９の通孔１２をセラミック皮膜１
３で閉鎖して鞘９内を密閉し、鞘９内に導体線材２を密
封する。
【００３０】熱電対１１は、鞘９と内芯４との間に、ペ
ースト７が転化した封止部５が存在する構造を有してい
る。熱電対１１を作製する時に、内芯部４及び封止部５
の原料組成を種々に変化させ、得られた種々の熱電対１
１の断面積を観察すると共に、通電試験を行った。その
結果は、実施例１と同様な結果を得た。
【００３１】〔実施例３〕この実施例では、導体線材２
としてφ０．２ｍｍのＷコイルを選定した。線材２に、
６０ｗｔ％のＳｉと４０ｗｔ％のＳｉ3 Ｎ4 の粉末から
成る原料を着肉し、成形体を形成した。該成形体を、実
施例１と同様に、窒素雰囲気内で１３００℃で仮焼して
内芯仮焼体６を作製した。次に、４０ｗｔ％のＳｉ、６
０ｗｔ％のＳｉ3 Ｎ4 の粉末と有機系バインダーの混練
物からなるペースト７を内芯仮焼体６の表面に塗布して
成形体８を作製した。一方、Ｓｉ3 Ｎ4 から成る保護パ
イプ１を内径φ６ｍｍで長さ３５ｍｍのサイズに形成し
た。成形体８を保護パイプ１内に挿入し、窒素雰囲気内
で１４００℃で本焼成した。反応焼結によって、内芯仮
焼体６が内芯部４に転化し、ペースト７が封止部５に転
化した充填部材３が作製され、保護パイプ１内に充填部
材３が配置されたグローヒータ１０を作製した。ペース
ト７は、焼成時に膨張し、封止部５が保護パイプ１内に
良好に密着状態になった。
【００３２】〔実施例４〕実施例３において、成形体の
仮焼成して内芯仮焼体６を作製する前に、ポリカルボシ
ラン（ＰＣＳ）２０ｗｔ％のトルエン溶液内に成形体８
を浸し、減圧中で１０分管放置し、成形体８の隙間に前
記溶液を含浸させた後、成形体８を保護パイプ１内に挿
入し、上記各実施例と同様に本焼成した。この処理によ
って、内芯部４と保護パイプ１との間に隙間の全く無い
ヒータを作製することができた。このグローヒータで
は、ポリカルボシラン（ＰＣＳ）から転化した非晶質の
セラミックスが形成されていた。
【００３３】〔実施例５〕実施例３において、内芯仮焼
体６を作製した後に、内芯仮焼体６をポリカルボシラン
（ＰＣＳ）２０ｗｔ％のトルエン溶液内に浸し、減圧中
で１０分間放置し、内芯仮焼体６の隙間に前記溶液を含
浸させた後、該内芯仮焼体６を上記各実施例と同様に保
護パイプ１内に挿入して本焼成した。この処理によっ
て、内芯部４と保護パイプ１との間に隙間の全く無いヒ
ータを作製することができた。ヒータでは、ポリカルボ
シラン（ＰＣＳ）から転化した非晶質のセラミックスが
形成されていた。
【００３４】
【発明の効果】この発明によるセラミックシース型部品
及びその製造方法は、上記のように構成され、次のよう
な効果を有する。即ち、このセラミックシース型部品
は、保護パイプ内の充填部材が焼結時寸法変化率が小さ
い内芯部と該内芯部と前記保護パイプとの間の境界層を
形成する焼結時寸法変化率が前記内芯部より大きい封止
部との二層から構成されているので、焼結によって内芯
部内に埋設される線材が断線することがなく、前記封止
部が焼結膨張によって前記保護パイプとの間の隙間を密
封するので、前記線材は前記保護パイプ内で密封状態に
配置され、Ｏ2 等のガスが存在しない雰囲気に封入され
て外気の影響を受けることがなく、酸化による断線等が
発生せず、耐久性に富んだグローヒータや熱電対を構成
することができる。
【００３５】前記保護パイプは、耐熱性で耐腐食性のＳ
ｉ3 Ｎ4 、ＳｉＣ又はサイアロンのセラミックスから構
成され、前記保護パイプ内の充填部材中に線材が埋設さ
れているので、耐熱ショック性に優れた構造となり、デ
ィーゼルエンジンのグロープラグは勿論のこと、溶融金
属炉、プラズマ溶融炉、電気炉等の高温炉の温度管理等
の温度測定に適した熱電対を提供できる。しかも、前記
線材を前記充填部材で強固に保持して前記保護パイプで
保護するので、耐久性に優れ、温度測定精度が高精度と
なり、安定した信頼性のあるセラミックシース型部品を
提供でき、特に、酸化・還元性の雰囲気中で高温度を測
定するのに適している。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるセラミックシース型部品の製造
方法において、グローヒータを作製する実施例を説明す
る説明図である。
【図２】この発明によるセラミックシース型部品の製造
方法において、熱電対を作製する実施例を説明する説明
図である。
【図３】Ｔｉ添加量に対する焼結時の寸法変化率を示す
グラフである。
【図４】この発明によるセラミックシース型部品におけ
るグローヒータの一実施例を示す断面図である。
【図５】この発明によるセラミックシース型部品におけ
る熱電対の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 保護パイプ ２，２Ａ，２Ｂ 導体線材 ２Ｈ 発熱部 ２Ｒ 抵抗部 ３ 充填部材 ４ 内芯部 ５ 封止部 ６ 内芯仮焼体 ７ ペースト ８ 成形体 ９ 鞘（保護パイプ） １０ グローヒータ １１ 熱電対 １２ 通孔 １３ セラミック皮膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｂ 3/14 Ｃ０４Ｂ 35/58 ３０２Ｙ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 窒化ケイ素、炭化ケイ素及びサイアロン
    のいずれかから成る保護パイプ、該保護パイプ内に一端
    から他端へ長手方向に延びるように配置された導体線
    材、該導体線材を埋設するように前記保護パイプ内に充
    填された反応焼結窒化ケイ素から構成された充填部材か
    ら成るセラミックシース型部品において、前記充填部材
    は焼結時寸法変化率が小さい内芯部と該内芯部と前記保
    護パイプとの間の境界層を形成する焼結時寸法変化率が
    前記内芯部より大きい封止部との二層から構成されてい
    ることを特徴とするセラミックシース型部品。
  2. 【請求項２】 前記内芯部のＴｉ換算量が０〜２ｗｔ％
    であり、また、前記封止部のＴｉ換算量が５ｗｔ％以上
    で且つ４０ｗｔ％未満であることを特徴とする請求項１
    に記載のセラミックシース型部品。
  3. 【請求項３】 前記封止部には、有機ケイ素ポリマーが
    転化した非晶質のセラミックスが存在することを特徴と
    する請求項１又は２に記載のセラミックシース型部品。
  4. 【請求項４】 前記導体線材をヒータコイルで構成した
    場合には、グローヒータに適用できることを特徴とする
    請求項１〜３のいずれか１項に記載のセラミックシース
    型部品。
  5. 【請求項５】 前記導体線材を種類の異なる一対の線材
    から構成した場合には熱電対に適用できることを特徴と
    する請求項１〜３のいずれか１項に記載のセラミックシ
    ース型部品。
  6. 【請求項６】 一方の前記線材がＷ−５％Ｒｅから成
    り、他方の前記線材はＷ−２６％Ｒｅから成ることを特
    徴とする請求項５に記載のセラミックシース型部品。
  7. 【請求項７】 導体素線やコイルの線材に、Ｓｉを含む
    着肉用原料を着肉させて成形して成形体を作製するステ
    ップ、前記成形体を窒素雰囲気中で１２００℃以上で仮
    焼成して仮焼体を作製するステップ、前記仮焼体の表面
    に前記原料とは異なる組成を持つＳｉを含むペースト状
    組成物を塗布して積層体を作製するステップ、前記積層
    体を窒化ケイ素、サイアロン及び炭化ケイ素のいずれか
    から成る保護パイプ内に配置した後、窒素雰囲気中で１
    ３５０℃以上で反応焼結するステップ、から構成したこ
    とを特徴とするセラミックシース型部品の製造方法。
  8. 【請求項８】 前記着肉用原料はＴｉが０〜２ｗｔ％と
    残部がＳｉとＳｉ3Ｎ4 との粉末から成り、また、前記
    ペースト状組成物には５〜３０ｗｔ％のＴｉが含まれて
    いることを特徴とする請求項７に記載のセラミックシー
    ス型部品の製造方法。
  9. 【請求項９】 前記仮焼成するステップの前又は後に有
    機ケイ素ポリマー溶液を含浸するステップを含むことを
    特徴とする請求項７又は８に記載のセラミックシース型
    部品の製造方法。
JP7289192A 1995-10-12 1995-10-12 セラミックシース型部品及びその製造方法 Pending JPH09105677A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7289192A JPH09105677A (ja) 1995-10-12 1995-10-12 セラミックシース型部品及びその製造方法
US08/630,273 US5811761A (en) 1995-10-12 1996-04-10 Ceramic sheath device with multilayer silicon nitride filler insulation
EP96302628A EP0771773B1 (en) 1995-10-12 1996-04-15 Ceramic sheath type part and method of manufacturing the same
DE69606009T DE69606009T2 (de) 1995-10-12 1996-04-15 Keramisches Bauteil vom Hülsentyp und Verfahren zur Herstellung desselben

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7289192A JPH09105677A (ja) 1995-10-12 1995-10-12 セラミックシース型部品及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09105677A true JPH09105677A (ja) 1997-04-22

Family

ID=17739974

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7289192A Pending JPH09105677A (ja) 1995-10-12 1995-10-12 セラミックシース型部品及びその製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5811761A (ja)
EP (1) EP0771773B1 (ja)
JP (1) JPH09105677A (ja)
DE (1) DE69606009T2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10132666A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk 高温測温用セラミック熱電対
JP2012508870A (ja) * 2008-11-14 2012-04-12 エプコス アクチエンゲゼルシャフト センサ素子及びセンサ素子の製造方法
CN112898030A (zh) * 2021-02-04 2021-06-04 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19506950C2 (de) * 1995-02-28 1998-07-23 Bosch Gmbh Robert Glühstiftkerze für Dieselmotoren
JPH10169982A (ja) * 1996-12-11 1998-06-26 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk セラミックヒータ及びその製造方法
JPH11260534A (ja) * 1998-01-09 1999-09-24 Ngk Insulators Ltd 加熱装置およびその製造方法
KR19990066851A (ko) 1998-01-12 1999-08-16 카와무라 히데오 금속용탕 온도측정용 열전대
US6059453A (en) * 1998-04-20 2000-05-09 Rosemount Inc. Temperature probe with sapphire thermowell
US6144015A (en) * 1998-09-25 2000-11-07 General Motors Corporation Glow sensor--ceramic flat plate
US6191400B1 (en) * 1999-10-21 2001-02-20 Emerson Electric Co. Metal sheath heating element and method of manufacturing same
US6455781B1 (en) 2001-08-23 2002-09-24 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Thermocouple ceramic bead insulator
US7083771B2 (en) 2002-07-10 2006-08-01 Advanced Composite Materials Corporation Process for producing silicon carbide fibers essentially devoid of whiskers
US20040009112A1 (en) 2002-07-10 2004-01-15 Advanced Composite Materials Corporation Silicon carbide fibers essentially devoid of whiskers and method for preparation thereof
TW557352B (en) * 2002-10-07 2003-10-11 Actherm Inc Electronic clinical thermometer with rapid response
DE102004045815A1 (de) * 2004-09-22 2006-03-23 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Einbettung eines metallischen Drahts in einem keramischen Element
KR100645688B1 (ko) * 2005-08-30 2006-11-14 삼성에스디아이 주식회사 증착장치의 히터 및 이를 채용한 증발원
GB0520778D0 (en) * 2005-10-12 2005-11-23 Environmental Monitoring And C Ceramic component and fabrication method
US20070235450A1 (en) 2006-03-30 2007-10-11 Advanced Composite Materials Corporation Composite materials and devices comprising single crystal silicon carbide heated by electromagnetic radiation
JP5480294B2 (ja) 2009-01-12 2014-04-23 フェデラル−モーグル・イグニション・カンパニー 燃料に点火するためのイグナイターシステム
KR101156430B1 (ko) * 2009-09-25 2012-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 증착 소스 및 유기 발광 소자 제조 방법
US9113501B2 (en) 2012-05-25 2015-08-18 Watlow Electric Manufacturing Company Variable pitch resistance coil heater
US9301341B2 (en) 2013-03-14 2016-03-29 Chromalox, Inc. Medium voltage heating element assembly
RU2533755C1 (ru) * 2013-05-20 2014-11-20 Виктор Александрович Куликов Термопреобразователь сопротивления (варианты) и способ его изготовления
DE102013212205B4 (de) 2013-06-26 2024-02-08 Türk & Hillinger GmbH Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Heizpatrone
US9523285B2 (en) 2013-12-13 2016-12-20 Chromalox, Inc. Energy storage systems with medium voltage electrical heat exchangers
DE102015200778A1 (de) * 2015-01-20 2016-07-21 Robert Bosch Gmbh Glühstiftkerze
US11457513B2 (en) * 2017-04-13 2022-09-27 Bradford White Corporation Ceramic heating element

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2051225B (en) * 1979-06-18 1983-03-23 Ngk Spark Plug Co Auxiliary combustion chamber preheating device for internal combustion engines
JPS6022264B2 (ja) * 1980-07-10 1985-05-31 工藤 和子 減圧乾燥装置
JPS6019404B2 (ja) * 1980-10-22 1985-05-16 日本特殊陶業株式会社 シ−ズグロ−プラグ
JPS6019404A (ja) * 1983-07-14 1985-01-31 株式会社鈴江農機製作所 歩行形農耕車の改善された耕うん部
JPS61107013A (ja) * 1984-10-31 1986-05-24 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミツクグロ−プラグ
JPS61246636A (ja) * 1985-04-25 1986-11-01 Japan Metals & Chem Co Ltd 溶鋼連続測温用保護管
US4796671A (en) * 1986-03-18 1989-01-10 Hitachi Metals, Ltd. Protective tube for thermocouple and method of producing same
JPH03140710A (ja) * 1989-10-25 1991-06-14 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd グロープラグ
JPH03282123A (ja) * 1990-03-29 1991-12-12 Hitachi Metals Ltd デイーゼルエンジン用グロープラグ
US5084606A (en) * 1990-05-17 1992-01-28 Caterpillar Inc. Encapsulated heating filament for glow plug
US5304778A (en) * 1992-11-23 1994-04-19 Electrofuel Manufacturing Co. Glow plug with improved composite sintered silicon nitride ceramic heater
JPH07208741A (ja) * 1994-01-21 1995-08-11 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk セラミツク発熱体
JPH07217886A (ja) * 1994-02-07 1995-08-18 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk 自己制御型セラミックグロープラグ
JPH08250262A (ja) * 1995-03-15 1996-09-27 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk セラミツクヒータ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10132666A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk 高温測温用セラミック熱電対
JP2012508870A (ja) * 2008-11-14 2012-04-12 エプコス アクチエンゲゼルシャフト センサ素子及びセンサ素子の製造方法
CN112898030A (zh) * 2021-02-04 2021-06-04 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0771773A2 (en) 1997-05-07
EP0771773A3 (en) 1997-10-15
DE69606009T2 (de) 2000-09-14
US5811761A (en) 1998-09-22
EP0771773B1 (en) 2000-01-05
DE69606009D1 (de) 2000-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09105677A (ja) セラミックシース型部品及びその製造方法
EP0764837A1 (en) Thermocouple structure
JP5989896B2 (ja) セラミックヒータ
EP0528793B1 (en) Encapsulated heating filament for glow plug
EP0928958A2 (en) Sheathed thermocouple lance for measuring temperature in molten metal bath
JP5436675B2 (ja) ヒータおよびこれを備えたグロープラグ
JP3658770B2 (ja) セラミックスグロープラグ
JP2003229236A (ja) セラミックヒータの製造方法及びグロープラグの製造方法
JP3306427B2 (ja) シース構造体
JP4832626B2 (ja) 熱電対
JP5289462B2 (ja) セラミックヒータ
JP3078418B2 (ja) セラミック発熱体
JP3603614B2 (ja) 熱電対
JP5777812B2 (ja) ヒータおよびこれを備えたグロープラグ
JP5832552B2 (ja) セラミック構造体、セラミックヒータおよびこれを備えたグロープラグ
JP2000055740A (ja) 金属溶湯測温用熱電対保護管
KR0183533B1 (ko) 글로우 플러그용 세라믹 발열체
JPH07239123A (ja) セラミックグロープラグ
JP3874581B2 (ja) セラミックヒータ及びこれを用いたグロープラグ
EP2753144B1 (en) Heater and glow plug equipped with same
JP3627316B2 (ja) 熱電対の構造
JP3439807B2 (ja) セラミック発熱体
JPH10189226A (ja) セラミックヒータおよびその製造方法
JP4038138B2 (ja) セラミックヒータおよびその製造方法
JP3329189B2 (ja) セラミックシース型熱電対