JPH09107013A

JPH09107013A - 基板受け渡し装置

Info

Publication number: JPH09107013A
Application number: JP7261741A
Authority: JP
Inventors: Hideki Adachi; 秀喜足立; Tatsuhiko Inada; 龍彦稲田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1995-10-09
Filing date: 1995-10-09
Publication date: 1997-04-22
Also published as: KR100245452B1; KR970023970A; US5730574A

Abstract

(57)【要約】【課題】２台の基板受け渡し手段を設けるとともに、
互いに交差する方向から基板の抜き差しが可能なカセッ
トを採用することで、省スペース化を図り、かつ基板受
け渡しを常に円滑かつ効率良く行わせる。【解決手段】基板受け渡し装置１の架台１０上には、
四角形の各頂点となる位置であって、それぞれ対角位置
に、第１ロボット１１と第２ロボット１２が、及び第１
カセット２１と第２カセット２２が設けられている。第
１ロボット１１の横には受け渡し棚３が、第１ロボット
１２の横には基板受け台４が配置されている。第１ロボ
ット１１は第１カセット２１に対して左右方向から、第
２カセット２２に対して前後方向から進退し、第２ロボ
ット１２は第１カセット２１に対して前後方向から、第
２カセット２２に対して左右方向から進退する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示基板や半
導体基板の製造プロセスに適用される一連の基板処理装
置を経由することで基板に対して順次所要の処理を施す
ものにおいて、連続する基板処理装置間で順次基板の受
け渡しを行う基板受け渡し装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示基板や半導体基板の製造プロセ
スに適用される一連の基板処理装置として、例えば、基
板洗浄装置、レジスト塗布装置、乾燥装置、露光装置、
現像装置等が用いられている。この場合、ある基板処理
装置で処理された基板を、一旦カセットに収納し、次い
で、このカセットから基板を取り出して次工程の基板処
理装置に搬送する搬送ロボットからなる基板受け渡し装
置が採用されている。

【０００３】従来、この種の基板受け渡し装置として、
図１２に示すものが知られていた。図１２において、６
００は基板受け渡し装置で、対向する両側には前工程の
処理装置の受け渡し棚６１０、及び基板搬送用の基板受
け台６２０を有する後工程の処理装置がそれぞれ配設さ
れている。基板受け渡し装置６００は、一方側（図中、
右側）に配設された基板受け渡し棚６１０と直列に並ぶ
第１カセット６０１、第２カセット６０２、及び第１、
第２カセット６０１，６０２の並び方向と平行して往復
動可能にされた１台のロボット６０３を有する。基板受
け台６２０はロボット６０３の移動方向の延長上の所定
位置に位置するように構成されている。ロボット６０３
は第１アーム６０３ａ、第２アーム６０３ｂ及びその先
端に基板搭載用のハンド６０３ｃを備えるとともに、第
１アーム６０３ａは回転可能にされ、この第１アーム６
０３ａの回転に連動して第２アーム６０３ｂが旋回し、
かつハンド６０３ｃが常に径方向に向くようにされてお
り、これにより第１、第２カセット６０１，６０２、受
け渡し棚６１０及び基板受け台６２０の各位置に対して
進退し、基板Ｂの給排を行うようになっている。

【０００４】この基板受け渡し装置６００は、前工程を
終了して受け渡し棚６１０に給送されてきた基板Ｂをカ
セット６０１を介して次工程処理装置の基板受け台６２
０に給送し、かつ処理を終了して基板受け台６２０に戻
された基板Ｂをカセット６０２を介して受け渡し棚６１
０に戻すように制御され、これにより、受け渡し棚６１
０に戻された基板Ｂをさらに後の工程に給送するように
なっている。すなわち、受け渡し棚６１０が、図示、右
方向の実線位置から図示されない搬送装置により破線で
示された位置まで搬送されてくると、ロボット６０３は
右方向に移動し、更にハンド６０３ｃを伸ばしてこの基
板Ｂを搭載し、第１カセット６０１に基板Ｂを収納す
る。受け渡し棚６１０から第１カセット６０１への受け
渡しが終了し、一定時間内に第２カセット６０２から基
板受け渡し棚６１０への基板戻し指示が出されない時
は、受け渡し棚６１０は図示の破線位置から実線位置ま
でに図示されない搬送装置により移動される。受け渡し
棚６１０に基板Ｂが給送されてくる毎に、この処理が行
われる。一方、次工程処理装置側が処理すべき基板Ｂを
要求すると、ロボット６０３は第１カセット６０１から
基板Ｂを抜き取って、基板受け台６２０に手渡す。ま
た、次工程処理装置側で処理された基板Ｂが基板受け台
６２０まで戻されてくると、この基板Ｂを受け取って、
第２カセット６０２に収納する。そして、受け渡し棚６
１０への基板戻し指示があると、受け渡し棚６１０が破
線位置にない場合は、実線位置から破線位置まで搬送さ
れ、第２カセット６０２に収納されている基板Ｂを抜き
出して受け渡し棚６１０に搬出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来装置では、１
台のロボット６０３で第１、第２カセット６０１，６０
２、受け渡し棚６１０及び基板受け台６２０の４箇所に
対して基板Ｂの受け渡しを行っているため、短時間的に
見れば円滑に基板受け渡し処理が行える。しかし、前後
工程での各処理時間（タクトタイム）は必ずしも等しく
設定されておらず、特に、１つの処理装置が並列ライン
から構成されている装置において、その内のあるライン
が異常等によって一時的に中断した場合等は、特にタク
トタイムの差が顕著となり、この結果、両者のタクトタ
イム差が時間の経過に伴って蓄積することにより、長時
間的には基板受け渡しが連続して行われなくなる。ま
た、稼動中に処理装置の一部に対してメンテナンス処理
を施す場合もある。このような場合には、長い待ち時間
が生じて円滑な受け渡し処理が損なわれ、却って受け渡
し効率を低下させ、更にはロボット６０３の動作制御を
不能状態に陥らせる虞れがある。すなわち、１台のロボ
ットで受け渡しを行う場合、前工程あるいは次工程でタ
クトの遅れが発生すると、その遅れた位置でロボットも
停止することとなり、他方の工程が基板Ｂの取り出し、
あるいは受け渡しを必要とする時間内に基板Ｂの受け渡
しができなくなるため、本来遅れのなかった他工程まで
タクトの遅れを発生させることとなる。

【０００６】また、１台のロボット６０３で上述した４
箇所に対して基板Ｂの受け渡しを行わなければならず、
しかも、各カセットは一方向から抜き差しする構造を有
するものであることから、結局、ロボット６０３に比較
的長ストロークの水平移動を行わせる対処方法を採用せ
ねばならず、そのためタクトタイムが長くなるとともに
構造が複雑化し、かつ装置を設置するスペースの増大を
招いていた。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、２台の
基板受け渡し手段を設けるとともに、互いに交差する方
向から基板Ｂの抜き差しが可能なカセットを採用するこ
とで、省スペース化を図り、かつ基板受け渡しを常に円
滑に行わせる効率良い基板受け渡し装置を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、第１の処理装
置と第２の処理装置との間で基板の受け渡しを仲介する
基板受け渡し装置であって、基板をそれぞれ複数枚ずつ
積層載置可能に保持するとともに、水平面上で、第１の
方向から搬入され、かつこの搬入方向と交差する第２の
方向から搬出可能にされた第１、第２のカセットと、上
記第１の処理装置に対向配置されるとともに、上記第１
のカセットの上記第１の方向、かつ上記第２のカセット
の上記第２の方向に対向配設され、上記第１の処理装置
から上記第１のカセットへ、及び上記第２のカセットか
ら上記第１の処理装置へ、それぞれ１枚ずつ基板を受け
渡しする第１の受け渡し手段と、上記第２の処理装置に
対向配置されるとともに、上記第１のカセットの上記第
２の方向、かつ第２のカセットの上記第１の方向に対向
配設され、上記第１のカセットから上記第２の処理装置
へ、及び上記第２の処理装置から上記第２のカセット
へ、それぞれ１枚ずつ基板を受け渡しする第２の受け渡
し手段とを備えたものである。

【０００９】この構成によれば、第１の処理装置から第
２の処理装置へ基板を搬送するときは、第１の受け渡し
手段によって上記第１の処理装置から上記第１のカセッ
トへ、第１の方向から一旦搬入され、次いで、第２の受
け渡し手段が第２の方向から上記第１のカセット内の基
板を搬出して第２の処理装置へ搬送することで、基板は
第１のカセットから上記第２の処理装置へ搬送される。
また、第２の処理装置から第１の処理装置へ搬送する
（戻す）ときは、第２の受け渡し手段によって第２の処
理装置から上記第２のカセットへ、第１の方向から一旦
搬入され、次いで、第１の受け渡し手段が第２の方向か
ら上記第２のカセット内の基板を搬出して第１の処理装
置へ搬送することで、基板は第２のカセットから上記第
１の処理装置へ戻される。

【００１０】また、上記第１の処理装置と上記第２の処
理装置との間であって、四角形の各頂点位置に配設さ
れ、それぞれ対角位置に、第１、第２の受け渡し手段
が、及び第１、第２のカセットが位置するように設ける
ことにより、第１の受け渡し手段は第１の処理装置及び
第１、第２のカセットと対向し、第２の受け渡し手段は
第２の処理装置及び第１、第２のカセットと対向するよ
うになる。

【００１１】また、上記第１、第２の受け渡し手段の少
なくとも一方は、対向配置されている上記第１の処理装
置、あるいは第２の処理装置に対して接離方向に移動可
能にすると、第１、第２の処理装置の構成、配置、種類
による構造上の差異が基板受け渡し装置側で吸収され、
処理装置に対し、その配設位置に変更を強いることはな
い。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る基板受け渡
し装置の第１実施形態を説明するための略平面図、図２
は、その略正面図で、第１ロボットは省略されている。

【００１３】この基板受け渡し装置は、例えば基板に所
定のパターンを露光処理する露光装置と、この露光装置
の前、後処理装置（例えばプリベーク装置と現像装置）
との間に介設されるもので、前処理装置から露光装置
へ、及び露光装置から後処理装置への基板搬送を行うイ
ンタフェースとして機能する。

【００１４】図１において、１は基板受け渡し装置で、
ほぼ四角形状の架台１０を有し、この架台１０上には基
板受け渡しのための２台の第１、第２ロボット１１，１
２及びバッファ機能を有する２個の第１、第２カセット
２１，２２が搭載されている。また、架台１０の一方側
（図１の右側）には前後処理装置側が有する受け渡し棚
３が、架台１０の他方側（図１の左側）には露光装置側
が有する基板載置用の基板受け台４がそれぞれ所定寸法
だけ離間して配設されている。

【００１５】本実施形態に採用される受け渡し棚３は、
架台１０の水平右側に延設された受け渡し台部１０ａ上
に設けられ、上下２段の載置棚を有しており、例えば下
側の棚は前処理装置からの受け取り用であり、上側の棚
は後処理装置への給送用である。各載置棚には四角形の
頂点位置に４本の基板受けピン３０が突設されており、
基板Ｂはこの基板受けピン３０によって４点支持される
（図２参照）。また、基板受け台４は、基板受け渡し装
置１から給送された基板を露光装置内の各処理部（例え
ば、レジスト膜へのパターン露光転写部、追加露光のた
めのエッジ露光部や文字焼き付け部）に順次搬送する移
動ロボットに渡すとともに、露光処理が終了した基板を
基板受け渡し装置１側に戻すためのもので、給排のため
の上下２段の載置台を有している。そして、一方の載置
台上に、露光前の基板Ｂが本基板受け渡し装置１から手
渡されるとともに、露光後の基板Ｂが他方の載置台から
本基板受け渡し装置１に手渡されるようになっている。

【００１６】基板受け渡し装置１の架台１０上には、四
角形の各頂点となる位置であって、それぞれ対角位置
に、第１ロボット１１と第２ロボット１２が、及び第１
カセット２１と第２カセット２２が設けられている。す
なわち、第１ロボット１１の右側には受け渡し棚３が、
後側（図１の上側）には第２カセット２２が、左側には
第１カセット２１が位置する。第２ロボット１２の左側
には基板受け台４が、前側（図１の下側）には第１カセ
ット２１が、右側には第２カセット２２が位置する。な
お、前後処理装置及び露光装置の配置状態によっては、
受け渡し棚３が第１ロボット１１の前側に、基板受け台
４が第２ロボット１２の後側に位置するように配設され
てもよい。

【００１７】また、第１、第２カセット２１，２２は、
その配置位置を維持するべく架台１０上のカセット載置
台１０ｂ，１０ｃ（図１参照）で、その隅部の規制片部
材によって着脱可能にされている。第１、第２カセット
２１，２２がカセット載置台１０ｂ，１０ｃにより着脱
可能とされることで、例えば前後処理装置や露光装置内
の並列ラインの一部が中断した場合に、必要に応じて本
カセットを他の正常ラインの搬出、搬入部に回して正常
ラインの処理を続行させるように手当したり、処理タク
トタイムとの関係で前処理装置で基板が滞留した場合等
に、滞留したカセットをこの基板受け渡し装置１に持っ
てきて、次工程の処理を続行させるように手当すること
が容易、可能となる。

【００１８】第１、第２ロボット１１，１２は、後述す
るようにハンドの形状を除いて同一構造を有するもので
ある。昇降、屈伸及び旋回を行うロボットとして種々の
ものが知られているが、ここでは、第２ロボット１２を
例に、その構造並びに動作の一例について簡単に説明し
ておく。第２ロボット１２は円筒状の基部１２１を有
し、その内部には、鉛直軸回りに回動可能にされた円筒
軸部１２２が軸支されている。この円筒軸部１２２は図
略の回動モータ及び同期ベルト等の駆動力伝達系を介し
て基部１２１に対して回動可能にされるとともに、昇降
モータ及び昇降機構によって昇降可能にされている。円
筒軸部１２２の内部には更に図略の回動軸が軸支されて
おり、この回動軸は、図略のハンド駆動モータ及び駆動
力伝達系によって円筒軸部１２２に対して回動可能にさ
れている。

【００１９】円筒軸部１２２内の回動軸の上端には第１
アーム１２３が、その先端で共回り可能に取り付けら
れ、この第１アーム１２３の先端と第２アーム１２４の
基端とが垂直な同心状の回動軸を介して共回り可能に連
結され、更に、第２アーム１２４の先端とハンド１２５
の基端とが垂直な同心状の回動軸を介して共回り可能に
連結されている。更に、第１アーム１２３の基端と先
端、第２アーム１２４の基端と先端の各回動軸にはプー
リが取り付けられているとともに、第１アーム１２３の
先端と基端の各プーリ間、及び第２アーム１２４の先端
と基端の各プーリ間には、それぞれベルト等が張架され
ている。ここで、第１、第２アーム１２３，１２４を等
しい長さとし、かつ第１アームの基端と先端の回動軸に
取り付けられた両プーリの径比を２：１、第２アームの
基端と先端の回動軸に取り付けられた両プーリの径比を
１：２に設定しておくことで、回動モータ及びハンド駆
動モータを等速逆回転させると、ハンド１２５が径方向
を向いた姿勢を維持した状態で屈伸でき、回動モータの
み回転させたときは、ハンド１２５をその屈伸姿勢を維
持したまま旋回させることができる。

【００２０】なお、ハンド１２５は長尺平板状に形成さ
れているものである。一方、第１ロボット１１のハンド
１１５は二股の平板腕を有し、各腕には、全体として四
角形の各頂点位置となるように、その長手方向の上面２
個所に基板受けピン１１５ａが突設されている。

【００２１】第１、第２カセット２１，２２は直方体形
状であって同一構造を有するものである。そして、第１
ロボット１１に対しては、その長尺の辺が対向する向き
に、第２ロボット１２に対しては、その短尺の辺が対向
する向きにして基台１０に搭載されている。

【００２２】図３〜図６は、第１、第２カセット２１，
２２の第１実施形態を示す構成図で、図３（ａ）は平面
図、（ｂ）は上部枠体を除いた状態の平面図、図４
（ａ）は図３（ａ）の正面図、図４（ｂ）は図３（ａ）
の側面図、図５は全体斜視図、図６は一部拡大斜視図で
ある。以下、第１カセット２１を例に説明する。

【００２３】第１カセット２１は、長方形状の底板２１
１と、同様に長方形状に枠組み固定された上部枠体２１
２とを有し、その間に支柱２１３を立設することで枠体
が構成されている。なお、底板２１１の板面は所要の強
度を保持しつつ、重量軽減を図るべく交差する梁形状を
残して切欠かれており、上部枠体２１２には長尺方向中
央を結ぶ梁２１４が設けられている。また、底板２１１
と上部枠体２１２間であって、長尺及び短尺のそれぞれ
一辺部には、所要本数の補強柱２１５が介設されてい
る。従って、基板Ｂのカセット内への収納及び取り出し
動作は補強部材２１５が介設されていない辺側（図３の
右側及び上側）から行われるようになっている。

【００２４】底板２１１の各隅部には、平面視でＬ字状
のコーナベース２１６が固設されている。コーナベース
２１６は基部２１６ａとこの基部２１６ａから底板２１
１の内方に向かう延設部２１６ｂとからなり、この延設
部２１６ａの先端上面には基板受けピン２１６ｃが突設
されている。各コーナベース２１６の基板受けピン２１
６ｃの取付け位置は、このカセット２１内に収納される
基板Ｂを重量的に均等配分する位置で支持するように、
例えば基板Ｂを相似的に縮小した四角形の頂点位置に設
定されている。なお、基板受けピン２１６ｃの取付け位
置は、上記した重量の均等配分に代えて、基板Ｂの撓み
が最小となるような四点位置を設定してもよい。

【００２５】四隅に取り付けられた支柱２１３は、その
取付け位置と上記基板受けピン２１６ｃとを結ぶ方向と
直交する内方側面２１３１と、この内方側面２１３１に
直交する隣接側面２１３２とを有する（図６参照）。更
に、内方側面２１３１には上下方向に所定のピッチで水
平突片２１３１ａが突設形成されている。この水平突片
２１３１ａは基板Ｂを搭載支持する支持部材２１７の位
置決めと、その強度補強とを兼ねるものである。

【００２６】基板Ｂを載置支持する支持部材２１７は、
各支柱２１３に上記水平突片２１３１を利用して複数個
が段状に取付けられている。図６に示すように、支持部
材２１７は板状の固定部２１７ａと、この固定部２１７
ａから所要長だけ延設される板状の支持部２１７ｂとを
有する。支持部２１７ｂは、垂直面を有する固定部２１
７ａの上辺の先端側から前方に向かうとともに、支持部
２１７ｂの上辺で屈曲されて水平面が形成されている。
更に、支持部２１７ａの先端上面適所には基板Ｂを支持
する基板受けピン２１８が突設されている。この基板受
けピン２１８はコーナベース２１６の基板受けピン２１
６ｃと鉛直線状で一致するように位置決めされている。

【００２７】支持部材２１７の支柱２１３への取付けを
図６を参照して説明する。支持部材２１７の支持部２１
７ｂを水平突片２１３１ａの上面に載せた状態で、支持
部２１７ｂの基端を支柱２１３の内方側面２１３１に当
接させ、更に、固定部２１７ａを支柱２１３の隣接側面
２１３２に当接させる。この状態で、予め対向するよう
に位置決めして形成されている固定部２１７ａの孔を介
して隣接側面２１３２の雌ネジ孔にネジを螺着するなど
して固定部２１７ａを支柱２１３に締結する。そして、
図６に示すように、各水平突片２１３１ａに対して、そ
れぞれ支持部材２１７を締結することで、支柱２１３に
複数個の支持部材２１７が段状に（例えば２０段）取り
付けられる。なお、最下段となるコーナベース２１６の
基板受けピン２１６ｃと下から２段目となる支持部材２
１７の基板受けピン２１８との鉛直方向寸法は他の基板
受けピン２１８間のピッチ寸法と一致している。

【００２８】なお、上述した水平突片２１３１ａの形成
ピッチ、すなわち基板受けピン２１８間寸法は、第１、
第２ロボット１１，２１のハンド１１５，１２５が上の
段の基板受けピン２１８、かつ下の段の基板受けピン２
１８（あるいは２１６ａ）に干渉することなく、第１、
第２カセット２１，２２内に進入し得る寸法に設定され
ている。

【００２９】第１、第２カセット２１，２２を上記構造
とすることで、基板Ｂを図３（ａ）の右側及び上側とい
う互いに交差する方向から出し入れすることが可能とな
る。また、第１、カセット２１と第２カセット２２と
は、補強柱２１５を配設する辺位置を変更するのみで双
方を製造することができるという利点がある。

【００３０】なお、補強柱２１５は必ずしも必要ではな
く、例えば短尺辺側の補強柱２１５を除いた場合、この
短尺辺側に対しては、互いに反対方向から出し入れが可
能となるので、その分、利用性が向上する。更に、長尺
辺側の補強柱２１５を除けば、より汎用性が高くなる。
また、底板２１１及び上部枠体２１２として正方形状の
ものを採用すれば、第１、第２のカセット２１，２２を
共通化することができ、従って製造面及び取扱面でも利
点がある。また、この場合に補強柱２１５を除けば、３
方向や４方向から基板Ｂの向きを考慮することなく基板
Ｂの出し入れが行えることとなる。

【００３１】図７は、基板Ｂの給排動作を制御するブロ
ック図である。コントローラ５は、受け渡し棚３側から
の基板受取指令及び基板要求指令、基板受け台４側から
の基板受取指令及び基板要求指令、第１、第２カセット
２１，２２の基板収納とその棚情報の管理、及び上記の
各指令に対する第１、第２ロボット１１，１２の動作指
示信号を生成し、出力するもので、内部に処理用の制御
プログラム部５１を有する。第１、第２ロボット１１，
１２に対する動作指令とは、第１、第２ロボット１１，
１２内にそれぞれ装填されている前述の昇降モータ１１
１ａ，１２１ａ、回動モータ１１１ｂ，１２１ｂ及びハ
ンド駆動モータ１１１ｃ，１２１ｃに対する各駆動指令
であって、これらの駆動指令信号によってハンド１１
５，１２５の昇降、ハンド１１５，１２５の屈伸及びハ
ンド１１５，１２５の旋回が行われる。そして、各モー
タ１１１ａ，１２１ａ〜１１１ｃ，１２１ｃに対する駆
動量は予め設定されている駆動パルス数によって制御さ
れ、かつ、これらの駆動量を積算することで現昇降位
置、屈伸状態及び旋回角度位置が管理可能にされてい
る。あるいは、受け渡し棚３、基板受け台４、またハン
ド１１５，１２５や第１、第２カセット２１，２２に必
要に応じて近接センサやマイクロスイッチ等を設けて、
基板Ｂの有無、ハンド１１５，１２５の有無を検出して
制御を行うこともできる。

【００３２】続いて、基板Ｂの給排動作について説明す
る。（１）第１ロボット１１による受け取り棚３から第１カ
セット２１への基板Ｂの収納前処理装置から受け渡し棚３の下段の棚に基板Ｂが載置
されて基板受取指令があると、第１ロボット１１は円筒
軸部１１２を上記受け渡し棚３の下段の棚よりも多少低
い位置に昇降制御するとともに、受け渡し棚３の方向に
旋回する。受け渡し棚３と対向する方向まで旋回して停
止すると、次いで、第１、第２アーム１１３，１１４を
伸ばして、受け渡し棚３の下部に進入する。次いで、僅
かに上昇して基板Ｂをハンド１１５の基板受けピン１１
５ａで受け取る。基板Ｂの受け取りが終了すると、第
１、第２アーム１１３，１１４を折り畳んでから、円筒
軸部１１２を１８０°だけ回動させて、ハンド１１５を
第１カセット２１の長尺辺に対向させる。そして、第１
カセット２１の収納するべき棚情報を受け取り、指示さ
れた棚に対する高さ位置（該棚位置より僅かに高く、か
つその直ぐ上段の棚よりも低い）にハンド１１５を昇降
制御し、この高さ制御が終了すると、第１、第２アーム
１１３，１１４を伸ばして、第１カセット２１内に進入
する。進入が終了すると、円筒軸部１１２を僅かに下降
させて、ハンド１１５上の基板Ｂを第１カセット２１の
収納すべき棚の指示ピン２１８上に載置する。基板Ｂの
載置が終了すると、僅かに下降して第１、第２アーム１
１３，１１４を折り畳んで第１カセット２１から抜け、
旋回して所定のホーム位置に復帰する。

【００３３】（２）第２ロボット１２による第１カセッ
ト２１から基板受け台４への基板Ｂの給送第２ロボット１２は、露光装置側から基板要求指令を受
けると、第１、第２アーム１２３，１２４を折り畳んだ
状態で旋回して、第１カセット２１の短尺辺に対向させ
る。次いで、抜き出す基板Ｂの載置されている棚情報を
受け取り、指示された棚の高さに対応した高さ位置（該
棚位置より僅かに低く、かつその直ぐ下段の棚よりも高
い）に向けてハンド１２５を昇降制御する。そして、高
さ制御が終了すると、第１、第２アーム１２３，１２４
を伸ばして、第１カセット２１内に進入する。進入が終
了すると、円筒軸部１２２を僅かに上昇させて、ハンド
１２５上に基板Ｂを受け取る。基板Ｂの受け取りが終了
すると、第１、第２アーム１２３，１２４を折り畳んで
第１カセット２１から抜ける。次いで、円筒軸部１２２
を９０°だけ回動させて、ハンド１２５を基板受け台４
に対向させる。そして、ハンド１２５を基板受け台４の
高さ位置に昇降制御し、この高さ制御が終了すると、第
１、第２アーム１２３，１２４を伸ばして、基板受け台
４上に基板Ｂを引き渡す。この後、第１、第２アーム１
２３，１２４を折り畳むとともに、旋回して所定のホー
ム位置に復帰する。

【００３４】（３）第２ロボット１２による基板受け台
４から第２カセット２２への基板Ｂの収納露光処理済みの基板Ｂが基板受け台４に戻され、基板受
取指令があると、第２ロボット１２は円筒軸部１２２を
上記基板受け台４に対向する位置まで回動させ、更に高
さを昇降制御する。次いで、第１、第２アーム１２３，
１２４を伸ばして、基板受け台４の下部に進入し、この
状態で僅かに上昇して基板Ｂをハンド１２５で受け取
る。基板Ｂの受け取りが終了すると、第１、第２アーム
１２３，１２４を折り畳んでから、円筒軸部１２２を１
８０°だけ回動させて、ハンド１２５を第２カセット２
２の短尺辺に対向させる。そして、第２カセット２２の
収納するべき棚情報を受け取り、指示された棚に対する
高さ位置（該棚位置より僅かに高く、かつその直ぐ上段
の棚よりも低い）にハンド１２５を昇降制御し、この高
さ制御が終了すると、第１、第２アーム１２３，１２４
を伸ばして、第２カセット２２内に進入する。進入が終
了すると、円筒軸部１２２を僅かに下降させて、ハンド
１２５上の基板Ｂを第２カセット２２の収納すべき棚に
載置する。基板Ｂの載置が終了すると、僅かに下降して
第１、第２アーム１２３，１２４を折り畳んで第２カセ
ット２２から抜け、旋回して所定のホーム位置に復帰す
る。

【００３５】（４）第１ロボット１１による第２カセッ
ト２２から受け渡し棚３への基板Ｂの給送第１ロボット１１は、後処理装置側から基板要求指令を
受けると、第１、第２アーム１１３，１１４を折り畳ん
だ状態で旋回して、第２カセット２２の長尺辺に対向さ
せる。次いで、抜き出す基板Ｂの載置されている棚情報
を受け取り、指示された棚の高さに対応した高さ位置
（該棚位置より僅かに低く、かつその直ぐ下段の棚より
も高い）に向けてハンド１１５を昇降制御する。そし
て、高さ制御が終了すると、第１、第２アーム１１３，
１１４を伸ばして、第２カセット２２内に進入する。進
入が終了すると、円筒軸部１１２を僅かに上昇させて、
ハンド１１５上に基板Ｂを受け取る。基板Ｂの受け取り
が終了すると、第１、第２アーム１１３，１１４を折り
畳んで第２カセット２２から抜ける。次いで、円筒軸部
１１２を９０°だけ回動させて、ハンド１１５を受け渡
し棚３に対向させる。そして、ハンド１１５を受け渡し
棚３の上段の棚の高さより僅かに高い位置に昇降制御
し、この高さ制御が終了すると、第１、第２アーム１１
３，１１４を伸ばして、受け渡し棚３の上段の棚内に進
入する。この状態で、ハンド１１５を僅かに下降させる
ことで、受け渡し棚３に引き渡す。この後、第１、第２
アーム１１３，１１４を折り畳むとともに、旋回して所
定のホーム位置に復帰する。

【００３６】なお、本実施形態においては、第１ロボッ
ト１１及び第２ロボット１２における基板受け渡し時の
回転方向について特に規定しておらず、いずれの方向に
回転させることも可能であるが、タクトタイム短縮の観
点からは、より回転距離の短くなる方向に各ロボットを
回転させることが好ましいのはもちろんである。

【００３７】このように２台の第１、第２ロボット１
１，１２を採用し、かつ隣接する２辺（交差する２方
向）から基板Ｂの出し入れ可能にするバッファ用の第
１、第２カセット２１，２２を採用したので、受け渡し
棚３側と基板受け台４側の双方が基板要求を指令した場
合でも、充分対応できるとともに、受け渡し棚３と基板
受け台４側のタクトタイム差を吸収できる。また、上記
の第１、第２カセット構造によって第１、第２ロボット
１１，１２を含む基板受け渡し装置１の省スペース化が
図れる。

【００３８】図８は、基板受け渡し装置の第２実施形態
を説明するための略平面図である。第２実施形態は、第
１実施形態に対して、第１ロボット１１が左右方向に所
定の少ストロークだけ往復動可能に構成されている点が
相違しているものである。

【００３９】すなわち、第１ロボット１１はその基部１
１１が可動テーブル１１０に載置されている。この可動
テーブル１１０は、その下部適所に雌ネジ孔が螺設され
ており、一方、この可働テーブル１１０の下方には、左
右方向に配置され、可動テーブル１１０の雌ネジ孔に螺
合するボールネジが螺設されたシャフト、このシャフト
に平行に配置されたガイド用ステー、及びシャフトを回
転駆動するモータを備えている。かかる構成を採用する
ことで、受け渡し棚３と架台１０とが第１実施形態の場
合に比して離間している場合でも、比較的小さいタクト
タイムで受け渡し棚３との間での基板Ｂの給排を行うこ
とができる。

【００４０】図９は、基板受け渡し装置の第３実施形態
を説明するための略平面図である。第３実施形態は、第
１実施形態に対して、第２ロボット１２が左右方向に所
定の少ストロークだけ往復動可能に構成されている点が
相違しているものである。

【００４１】すなわち、第２ロボット１２はその基部１
２１が可動テーブル１２０に載置されている。この可動
テーブル１２０は、その下部適所に雌ネジ孔が螺設され
ており、一方、この可働テーブル１２０の下方には、左
右方向に配置され、可動テーブル１２０の雌ネジ孔に螺
合するボールネジが螺設されたシャフト、このシャフト
に平行に配置されたガイド用ステー、及びシャフトを回
転駆動するモータを備えている。かかる構成を採用する
ことで、基板受け台４と架台１０とが第１実施形態の場
合に比して離間している場合でも、比較的小さいタクト
タイムで基板受け台４と間での基板Ｂの給排を行うこと
ができる。

【００４２】図１０は、基板受け渡し装置の第４実施形
態を説明するための略平面図、図１１は、その略正面図
で、第１ロボットは省略されている。第４実施形態で
は、第１実施形態に対して、受け渡し棚３の構造のみが
相違するものである。すなわち、架台１０から水平方向
に延設されている受け渡し台部１０ａに、立設された回
転軸３１がこの受け渡し台部１０ａに対して回動可能に
軸支されるととともに、受け渡し台部１０ａ内に内装さ
れているモータにより回転駆動されるように駆動力伝達
構造が構成されている。回動アーム３２は水平方向に所
定長を有し、その中心が回動軸３１の上端に固定されて
おり、その両端には支持台部３３，３４が立設されてい
る。そして、これら支持台部３３，３４の上端に同一形
状の受け渡し棚３ａ，３ｂが取り付けられている。受け
渡し棚３ａ，３ｂは第１実施形態の受け渡し棚３と同一
物である。

【００４３】そして、受け渡し台部１０ａ内に内装され
ているモータを駆動させて回動軸３１を半周だけ回転さ
せることで、第１ロボット１１と対向する位置に受け渡
し棚３ａ，３ｂを交互に対向配置し得るようにしてい
る。このように、受け渡し棚として同一形状の２個の棚
３ａ，３ｂを設けることで、第１ロボット１１への基板
受取指令と前後処理装置からの基板要求指令とが同時に
発生しても、かかる要求に対する応答処理を同時にこな
すことができるので、基板給排のタクトタイムを可及的
に短縮することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明は、第１の方向から
搬入され、かつこの搬入方向と交差する第２の方向から
搬出可能にされた第１、第２のカセットと、上記第１の
処理装置に対向配置されるとともに、上記第１のカセッ
トの上記第１の方向、かつ上記第２のカセットの上記第
２の方向に対向配設され、上記第１の処理装置から上記
第１のカセットへ、及び上記第２のカセットから上記第
１の処理装置へ、それぞれ１枚ずつ基板を受け渡しする
第１の受け渡し手段と、上記第２の処理装置に対向配置
されるとともに、上記第１のカセットの上記第２の方
向、かつ第２のカセットの上記第１の方向に対向配設さ
れ、上記第１のカセットから上記第２の処理装置へ、及
び上記第２の処理装置から上記第２のカセットへ、それ
ぞれ１枚ずつ基板を受け渡しする第２の受け渡し手段と
を備えた構成としたので、従来の１台の受け渡し手段で
長ストローク移動を強いられる構成に比して省スペース
化が図れ、かつ基板受け渡しを短いタクトタイムで行え
るため常に円滑かつ高効率による基板受け渡しが可能な
効率となる。

【００４５】請求項２記載の発明によれば、第１の処理
装置と上記第２の処理装置との間であって、四角形の各
頂点位置に配設され、それぞれ対角位置に、第１、第２
の受け渡し手段を、及び第１、第２のカセットを配置し
た構成としたので、第１、第２の受け渡し手段は、略そ
の位置で旋回動作によって基板の受け渡しが可能となる
ので、その分、受け渡しのタクトタイムが短縮し得る。

【００４６】請求項３記載の発明によれば、第１、第２
の受け渡し手段の少なくとも一方を、対向配置されてい
る上記第１の処理装置、あるいは第２の処理装置に対し
て接離方向に移動可能に構成したので、第１、第２の処
理装置の構成、配置、種類による構造上の差異を基板受
け渡し装置側で吸収でき、処理装置に対し、その配設位
置に変更を強いることが回避できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板受け渡し装置の第１実施形態を説明するた
めの略平面図である。

【図２】基板受け渡し装置の第１実施形態を説明するた
めの略正面図である。

【図３】第１、第２カセットの一実施形態を示す構成図
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は上部枠体を除いた状態の
平面図である。

【図４】（ａ）は図３（ａ）の正面図、（ｂ）は図３
（ａ）の側面図である。

【図５】第１、第２カセットの一実施形態を示す全体斜
視図である。

【図６】第１、第２カセットの一部拡大斜視図である。

【図７】基板の給排動作を制御するブロック図である。

【図８】基板受け渡し装置の第２実施形態を説明するた
めの略平面図である。

【図９】基板受け渡し装置の第３実施形態を説明するた
めの略平面図である。

【図１０】基板受け渡し装置の第４実施形態を説明する
ための略平面図である。

【図１１】基板受け渡し装置の第４実施形態を説明する
ための略正面図である。

【図１２】従来の基板受け渡し装置の略平面図である。

【符号の説明】

１基板受け渡し装置１０架台１１第１ロボット１２第２ロボット１１３，１２３第１アーム１１４，１２４第２アーム１１５，１２５ハンド２１第１カセット２２第２カセット２１７，２２７支持部材２１８，２２８基板受けピン３，３ａ，３ｂ受け渡し棚３１回動軸４基板受け台Ｂ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の処理装置と第２の処理装置との間
で基板の受け渡しを仲介する基板受け渡し装置であっ
て、基板をそれぞれ複数枚ずつ積層載置可能に保持する
とともに、水平面上で、第１の方向から搬入され、かつ
この搬入方向と交差する第２の方向から搬出可能にされ
た第１、第２のカセットと、上記第１の処理装置に対向
配置されるとともに、上記第１のカセットの上記第１の
方向、かつ上記第２のカセットの上記第２の方向に対向
配設され、上記第１の処理装置から上記第１のカセット
へ、及び上記第２のカセットから上記第１の処理装置
へ、それぞれ１枚ずつ基板を受け渡しする第１の受け渡
し手段と、上記第２の処理装置に対向配置されるととも
に、上記第１のカセットの上記第２の方向、かつ第２の
カセットの上記第１の方向に対向配設され、上記第１の
カセットから上記第２の処理装置へ、及び上記第２の処
理装置から上記第２のカセットへ、それぞれ１枚ずつ基
板を受け渡しする第２の受け渡し手段とを備えてなるこ
とを特徴とする基板受け渡し装置。
【請求項２】上記第１の処理装置と上記第２の処理装
置との間であって、四角形の各頂点位置に配設され、そ
れぞれ対角位置に、第１、第２の受け渡し手段が、及び
第１、第２のカセットが位置するように設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の基板受け渡し装置。
【請求項３】上記第１、第２の受け渡し手段の少なく
とも一方は、対向配置されている上記第１の処理装置、
あるいは第２の処理装置に対して接離方向に移動可能に
なされていることを特徴とする請求項１又は２記載の基
板受け渡し装置。