JPH09110562A - 金属−セラミックス複合部材の製造装置 - Google Patents
金属−セラミックス複合部材の製造装置Info
- Publication number
- JPH09110562A JPH09110562A JP28435395A JP28435395A JPH09110562A JP H09110562 A JPH09110562 A JP H09110562A JP 28435395 A JP28435395 A JP 28435395A JP 28435395 A JP28435395 A JP 28435395A JP H09110562 A JPH09110562 A JP H09110562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- ceramic
- cooling
- ceramic member
- molten metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 55
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- -1 high strength Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、ダイス離れが容易な金属−
セラミックス複合部材の製造装置を供給するにある。 【解決手段】 セラミックス部材が坩堝の入口側ガイド
を通して連続的に供給され、坩堝内の金属溶湯を通過せ
しめて、セラミックス部材の表面に金属体を接合した状
態で、上記金属体を冷却ロールで冷却凝固せしめるよう
にした金属−セラミックス複合部材の製造装置。
セラミックス複合部材の製造装置を供給するにある。 【解決手段】 セラミックス部材が坩堝の入口側ガイド
を通して連続的に供給され、坩堝内の金属溶湯を通過せ
しめて、セラミックス部材の表面に金属体を接合した状
態で、上記金属体を冷却ロールで冷却凝固せしめるよう
にした金属−セラミックス複合部材の製造装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属−セラミック
ス複合部材の製造装置に関するものであり、特に自動車
部品、電子部品などに好適な、酸化物、窒化物、炭化物
セラミックスと金属との強固な複合部材を製造する製造
装置に関するものである。
ス複合部材の製造装置に関するものであり、特に自動車
部品、電子部品などに好適な、酸化物、窒化物、炭化物
セラミックスと金属との強固な複合部材を製造する製造
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミックスの化学安定性、高融点、絶
縁性、高硬度などの特性と、金属の高強度、高靱性、易
加工性、導電性などの特性を生かした金属−セラミック
ス複合部材は、自動車、電子装置などに広く用いられ、
その代表的な例として、自動車ターボチャージャー用の
ローター、大電力電子素子実装用の基板およびパッケー
ジが挙げられる。
縁性、高硬度などの特性と、金属の高強度、高靱性、易
加工性、導電性などの特性を生かした金属−セラミック
ス複合部材は、自動車、電子装置などに広く用いられ、
その代表的な例として、自動車ターボチャージャー用の
ローター、大電力電子素子実装用の基板およびパッケー
ジが挙げられる。
【０００３】上記、金属−セラミックス複合部材の主な
製造方法としては、接着、めっき、メタライズ、溶射、
焼き嵌め、鋳ぐるみ、ろう接やＤＢＣ法が公知である
が、近年はコスト上の問題からアルミナ基板を用いるＤ
ＢＣ法、窒化アルミニウム基板を用いるろう接により大
部分の金属−セラミックス複合部材が製造されている。
製造方法としては、接着、めっき、メタライズ、溶射、
焼き嵌め、鋳ぐるみ、ろう接やＤＢＣ法が公知である
が、近年はコスト上の問題からアルミナ基板を用いるＤ
ＢＣ法、窒化アルミニウム基板を用いるろう接により大
部分の金属−セラミックス複合部材が製造されている。
【０００４】本出願人は先にセラミックス部材に直接、
金属板としてのアルミニウムを接合する連続装置とし
て、特願平７−２６０６８号「金属−セラミックス複合
部材の製造装置」に示すものを提案した。
金属板としてのアルミニウムを接合する連続装置とし
て、特願平７−２６０６８号「金属−セラミックス複合
部材の製造装置」に示すものを提案した。
【０００５】この装置は、セラミックス部材を連続的に
供給するための搬送手段と、搬送されたセラミックス部
材を予熱する予熱部と、予熱されたセラミックス部材を
坩堝内の金属溶湯中を通過させてセラミックス部材の周
囲面の少なくとも一部分に金属を接合する接合部と、該
接合されたセラミックス部材を徐冷して金属−セラミッ
クス複合部材となす冷却部とを主要部と成すものであ
る。
供給するための搬送手段と、搬送されたセラミックス部
材を予熱する予熱部と、予熱されたセラミックス部材を
坩堝内の金属溶湯中を通過させてセラミックス部材の周
囲面の少なくとも一部分に金属を接合する接合部と、該
接合されたセラミックス部材を徐冷して金属−セラミッ
クス複合部材となす冷却部とを主要部と成すものであ
る。
【０００６】この装置によって大量のセラミックス複合
部材を得ることが可能となり相当の効果を得ているが、
接合されたセラミックス部材を徐冷する場合に、内面が
テーパ形状を有する一体型ダイスを用いていたため、若
干ダイス離れの点で問題があった。
部材を得ることが可能となり相当の効果を得ているが、
接合されたセラミックス部材を徐冷する場合に、内面が
テーパ形状を有する一体型ダイスを用いていたため、若
干ダイス離れの点で問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来法に
おいては、アルミナ基板に直接接合する方法としては、
銅板を直接接合するＤＢＣ法が公知であるが、アルミニ
ウムを直接接合する方法は今まで知られていなかった。
おいては、アルミナ基板に直接接合する方法としては、
銅板を直接接合するＤＢＣ法が公知であるが、アルミニ
ウムを直接接合する方法は今まで知られていなかった。
【０００８】本発明は、上述のように本出願人が先に出
願した装置の改良を目的として、特に坩堝内で接合され
たセラミックス部材を徐冷する際に、冷却効率を高め、
ダイス離れがスムーズにできる装置を提供することを目
的とするものである。
願した装置の改良を目的として、特に坩堝内で接合され
たセラミックス部材を徐冷する際に、冷却効率を高め、
ダイス離れがスムーズにできる装置を提供することを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者等は斯かる課題
を解決するために鋭意研究したところ、坩堝内で接合さ
れたセラミックス部材を徐冷する手段として、従来の一
体型ダイスの接合部に変えて双ロールによって冷却効率
を高めることができることを見出し本発明法を提供する
ことができた。
を解決するために鋭意研究したところ、坩堝内で接合さ
れたセラミックス部材を徐冷する手段として、従来の一
体型ダイスの接合部に変えて双ロールによって冷却効率
を高めることができることを見出し本発明法を提供する
ことができた。
【００１０】即ち、本発明の第１は、セラミックス部材
の少なくとも一部分に金属が接着された金属−セラミッ
クス複合部材の製造装置において、セラミックス部材を
連続的に供給するための搬送手段と、搬送されたセラミ
ックス部材を予熱する予熱部と、予熱されたセラミック
ス部材を坩堝内の金属溶湯中を通過させてセラミックス
部材の周囲面の少なくとも一部分に金属を接合するため
の冷却ロールを有する冷却部とを主要と成す。
の少なくとも一部分に金属が接着された金属−セラミッ
クス複合部材の製造装置において、セラミックス部材を
連続的に供給するための搬送手段と、搬送されたセラミ
ックス部材を予熱する予熱部と、予熱されたセラミック
ス部材を坩堝内の金属溶湯中を通過させてセラミックス
部材の周囲面の少なくとも一部分に金属を接合するため
の冷却ロールを有する冷却部とを主要と成す。
【００１１】上記ロールは、回転するロールである。
【００１２】本発明装置において、金属−セラミックス
複合部材を連続的に製造するために、金属溶湯を連続的
に供給し、且つ溶湯の温度を一定の温度に保たなければ
ならない。この場合、金属溶湯の供給方法としては、別
の溶解炉で溶解した金属溶湯を本発明装置内の坩堝に供
給し、必要に応じて所定の接合温度に加熱・保持する方
法や、あるいは金属原料を安定に本発明装置内の坩堝に
供給し、該坩堝内で溶かし、一定の温度に加熱・保持す
る方法とがあるが、これらは何れにしても、溶湯を保持
するための坩堝と加熱ヒーターとが必要である。
複合部材を連続的に製造するために、金属溶湯を連続的
に供給し、且つ溶湯の温度を一定の温度に保たなければ
ならない。この場合、金属溶湯の供給方法としては、別
の溶解炉で溶解した金属溶湯を本発明装置内の坩堝に供
給し、必要に応じて所定の接合温度に加熱・保持する方
法や、あるいは金属原料を安定に本発明装置内の坩堝に
供給し、該坩堝内で溶かし、一定の温度に加熱・保持す
る方法とがあるが、これらは何れにしても、溶湯を保持
するための坩堝と加熱ヒーターとが必要である。
【００１３】室温状態のセラミックス部材を直接に金属
溶湯に挿入すると、熱衝撃でセラミックス部材が割れる
可能性があり、これを防止するためにセラミックス部材
を予熱する必要がある。この場合、セラミックス部材を
別途加熱装置において予熱し、予熱された部材を本発明
装置の搬送手段を用いて供給することも可能であるが、
加熱された部材を運ぶ時の安全上の不便さ、運搬時の熱
衝撃の問題もあることから、本発明装置の場合、ガイド
一体型ダイスを使用し金属溶湯を加熱するためのヒータ
ーの余熱を利用するとともにガイド一体型ダイスにヒー
ターを設けてセラミックス部材を予熱している。
溶湯に挿入すると、熱衝撃でセラミックス部材が割れる
可能性があり、これを防止するためにセラミックス部材
を予熱する必要がある。この場合、セラミックス部材を
別途加熱装置において予熱し、予熱された部材を本発明
装置の搬送手段を用いて供給することも可能であるが、
加熱された部材を運ぶ時の安全上の不便さ、運搬時の熱
衝撃の問題もあることから、本発明装置の場合、ガイド
一体型ダイスを使用し金属溶湯を加熱するためのヒータ
ーの余熱を利用するとともにガイド一体型ダイスにヒー
ターを設けてセラミックス部材を予熱している。
【００１４】本発明装置の特徴の一つは、如何にして金
属溶湯表面の酸化物等の汚れ層の影響を除去し、セラミ
ックス部材と清浄な金属溶湯とを接触させるかというこ
とにあり、本発明においては、セラミックス部材を金属
溶湯の内部に挿入し、且つ、溶湯の内部に入る時にセラ
ミックス部材の表面に付着した汚れを取るためにセラミ
ックス部材を溶湯の中で移動させる方法を採用した。
属溶湯表面の酸化物等の汚れ層の影響を除去し、セラミ
ックス部材と清浄な金属溶湯とを接触させるかというこ
とにあり、本発明においては、セラミックス部材を金属
溶湯の内部に挿入し、且つ、溶湯の内部に入る時にセラ
ミックス部材の表面に付着した汚れを取るためにセラミ
ックス部材を溶湯の中で移動させる方法を採用した。
【００１５】この溶湯中を移動させる手段は色々と考え
られるが、本発明では後述の実施例に示されるようにガ
イドを設け、ガイドを通ってセラミックス部材を溶湯の
中に挿入しながら移動させることとした。
られるが、本発明では後述の実施例に示されるようにガ
イドを設け、ガイドを通ってセラミックス部材を溶湯の
中に挿入しながら移動させることとした。
【００１６】セラミックス部材の表裏面の所定位置に金
属体を形成する方法として、本発明では金属溶湯で濡ら
したセラミックス部材をダイス内を通過させ、所定位置
に設けてある冷却双ロールと接触させることによって金
属溶湯を凝固させて所定形状の金属体を形成する。
属体を形成する方法として、本発明では金属溶湯で濡ら
したセラミックス部材をダイス内を通過させ、所定位置
に設けてある冷却双ロールと接触させることによって金
属溶湯を凝固させて所定形状の金属体を形成する。
【００１７】この場合、双ロールは、常時水あるいは不
活性ガス等での冷却と、ヒーターによる加熱で金属の凝
固温度に制御されていることがセラミックス部材表面の
溶湯を凝固する上で好ましい。
活性ガス等での冷却と、ヒーターによる加熱で金属の凝
固温度に制御されていることがセラミックス部材表面の
溶湯を凝固する上で好ましい。
【００１８】本発明で使用する金属−ガイド一体型ダイ
スの各材料の高温酸化を防ぐために必要に応じて装置の
内部をある特定の雰囲気にする必要がある。後述する実
施例においては窒素ガス雰囲気において実施したが、同
じような効果はアルゴン、水素ガス等のような不活性ガ
ス、あるいは還元性のガス、またはこれらのガスの混合
物を使っても得られる。
スの各材料の高温酸化を防ぐために必要に応じて装置の
内部をある特定の雰囲気にする必要がある。後述する実
施例においては窒素ガス雰囲気において実施したが、同
じような効果はアルゴン、水素ガス等のような不活性ガ
ス、あるいは還元性のガス、またはこれらのガスの混合
物を使っても得られる。
【００１９】なお、本発明で使用する金属としては、ア
ルミニウム、銅、鉄、ニッケル、銀もしくは金、または
これらの金属を主成分とする合金であり、一方、セラミ
ックス部材としてはアルミニウム、硅素等の酸化物、窒
化物、炭化物等である。
ルミニウム、銅、鉄、ニッケル、銀もしくは金、または
これらの金属を主成分とする合金であり、一方、セラミ
ックス部材としてはアルミニウム、硅素等の酸化物、窒
化物、炭化物等である。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１に本発明装置の概略図を示
す。本発明装置は、左側からピンチローラー６を使って
一個一個のセラミックス部材２０を連続的に供給する搬
送手段１と、ガイド一体型ダイス９を予熱ヒーター８，
８′で加熱し、ダイス中のセラミックス部材２０を予熱
する予熱部２と、坩堝１２内の金属を融解する溶湯ヒー
ター１１，１１′で金属を溶湯１３とし、その溶湯１３
中をセラミックス部材２０が通過することによってセラ
ミックス部材２０の表・裏面に金属溶湯１３を接触さ
せ、得られたセラミックス部材２０を溶湯ヒーター１
１，１１′の横で双ロール２１，２１′近傍に配置させ
た接合ヒーター１４，１４′と、双ロール２１，２１′
に組み込まれた冷却管２３，２３′内の冷却水２２，２
２′と、水冷ジャケット１７，１７′で温度制御を行な
い、接触させた金属溶湯１３を凝固させる接合部３と、
セラミックス部材２０の割れを防ぐための該金属が接合
されたセラミックス部材を徐冷する冷却手段１８を有す
る冷却部４とを主要構成部とし、後工程として得られた
金属−セラミックス複合部材をセラミックス部材のつな
ぎ部分で剪断するカッター１９を有する剪断部５とから
構成されるものである。
す。本発明装置は、左側からピンチローラー６を使って
一個一個のセラミックス部材２０を連続的に供給する搬
送手段１と、ガイド一体型ダイス９を予熱ヒーター８，
８′で加熱し、ダイス中のセラミックス部材２０を予熱
する予熱部２と、坩堝１２内の金属を融解する溶湯ヒー
ター１１，１１′で金属を溶湯１３とし、その溶湯１３
中をセラミックス部材２０が通過することによってセラ
ミックス部材２０の表・裏面に金属溶湯１３を接触さ
せ、得られたセラミックス部材２０を溶湯ヒーター１
１，１１′の横で双ロール２１，２１′近傍に配置させ
た接合ヒーター１４，１４′と、双ロール２１，２１′
に組み込まれた冷却管２３，２３′内の冷却水２２，２
２′と、水冷ジャケット１７，１７′で温度制御を行な
い、接触させた金属溶湯１３を凝固させる接合部３と、
セラミックス部材２０の割れを防ぐための該金属が接合
されたセラミックス部材を徐冷する冷却手段１８を有す
る冷却部４とを主要構成部とし、後工程として得られた
金属−セラミックス複合部材をセラミックス部材のつな
ぎ部分で剪断するカッター１９を有する剪断部５とから
構成されるものである。
【００２１】上記装置を用い先ず３６ｍｍ×１１２ｍｍ
×０．６３５ｍｍのアルミナセラミックス部材を連続的
に搬送手段１を用いて予熱部２に搬送した。この場合、
予熱部２は予熱ヒーター８，８′によりガイド部１５全
体に熱が伝わることから、該ガイド部の入口に水冷ジャ
ケット７，７′を設けて温度を１００℃以下に保つよう
にしている。
×０．６３５ｍｍのアルミナセラミックス部材を連続的
に搬送手段１を用いて予熱部２に搬送した。この場合、
予熱部２は予熱ヒーター８，８′によりガイド部１５全
体に熱が伝わることから、該ガイド部の入口に水冷ジャ
ケット７，７′を設けて温度を１００℃以下に保つよう
にしている。
【００２２】次いで、予熱されたセラミックス部材は、
接合部３内のアルミニウム溶湯内を通過させてセラミッ
クス部材２０の表・裏面にアルミニウムを接着させた。
この場合、一体型ダイスのガイド部１５の内径はセラミ
ックス部材２０が通過可能な形状とし、一方、出口側の
一体型ダイス１６の断面形状と、双ロール２１，２１′
のそれぞれの外周の最小隙間は図２に示すように上下方
向にセラミックス部材の厚さより幅広くなる構造として
いる。
接合部３内のアルミニウム溶湯内を通過させてセラミッ
クス部材２０の表・裏面にアルミニウムを接着させた。
この場合、一体型ダイスのガイド部１５の内径はセラミ
ックス部材２０が通過可能な形状とし、一方、出口側の
一体型ダイス１６の断面形状と、双ロール２１，２１′
のそれぞれの外周の最小隙間は図２に示すように上下方
向にセラミックス部材の厚さより幅広くなる構造として
いる。
【００２３】この場合、金属としてのアルミニウムを坩
堝１２の中にセットし、セラミックス部材２０を一体型
ダイスのガイド部１５の入口から入れて、その先端がガ
イド一体型ダイス１６を通り、双ロール２１，２１′の
間の接合部に到達するようにセットしてから、窒素ガス
（Ｎ2 ）雰囲気において坩堝１２を加熱し、アルミニウ
ムを溶解する。アルミニウム溶湯１３は出口側の一体型
ダイス１６を通り、双ロール２１，２１′の間の接合部
に入るが、この中を流れる間に先端部分の温度が融点以
下に下がり、その部分が凝固して出口を塞ぎ、溶湯の流
出を防いでいる。
堝１２の中にセットし、セラミックス部材２０を一体型
ダイスのガイド部１５の入口から入れて、その先端がガ
イド一体型ダイス１６を通り、双ロール２１，２１′の
間の接合部に到達するようにセットしてから、窒素ガス
（Ｎ2 ）雰囲気において坩堝１２を加熱し、アルミニウ
ムを溶解する。アルミニウム溶湯１３は出口側の一体型
ダイス１６を通り、双ロール２１，２１′の間の接合部
に入るが、この中を流れる間に先端部分の温度が融点以
下に下がり、その部分が凝固して出口を塞ぎ、溶湯の流
出を防いでいる。
【００２４】また、入口側の一体型ダイスのガイド部１
５と坩堝１２あるいはセラミックス部材２０との間の隙
間の中に溶湯が入らないようにするため、そのクリアラ
ンスを０．２ｍｍ以下とした。アルミニウム溶湯が７５
０℃に加熱された後、入口側からセラミックス部材を連
続的に供給したところセラミックス部材は順番に該溶湯
１３中に入り、溶湯１３に濡れてから出口側の一体型ダ
イス１６に入り、双ロール２１，２１′の間の接合部を
経て、出口から連続的に押し出された。
５と坩堝１２あるいはセラミックス部材２０との間の隙
間の中に溶湯が入らないようにするため、そのクリアラ
ンスを０．２ｍｍ以下とした。アルミニウム溶湯が７５
０℃に加熱された後、入口側からセラミックス部材を連
続的に供給したところセラミックス部材は順番に該溶湯
１３中に入り、溶湯１３に濡れてから出口側の一体型ダ
イス１６に入り、双ロール２１，２１′の間の接合部を
経て、出口から連続的に押し出された。
【００２５】この場合、水２２，２２′の通る冷却管２
３，２３′で予め冷却された双ロール２１，２１′と接
触することによってセラミックス部材の表・裏面にアル
ミニウムは完全に凝固体となり、厚みが共に０．５ｍｍ
のアルミニウム体として接合強度の高い複合基板を得る
ことができた。
３，２３′で予め冷却された双ロール２１，２１′と接
触することによってセラミックス部材の表・裏面にアル
ミニウムは完全に凝固体となり、厚みが共に０．５ｍｍ
のアルミニウム体として接合強度の高い複合基板を得る
ことができた。
【００２６】以下本発明の他の実施例を説明する。
【００２７】予めセラミックス部材として３６ｍｍ×５
２ｍｍ×０．６３５ｍｍのＡｌＮ製基板を複数個用意し
て実施例１と同様な手段でアルミニウム溶湯中を通過さ
せてアルミニウム−ＡｌＮ部材からなる金属−セラミッ
クス複合部材を得た。
２ｍｍ×０．６３５ｍｍのＡｌＮ製基板を複数個用意し
て実施例１と同様な手段でアルミニウム溶湯中を通過さ
せてアルミニウム−ＡｌＮ部材からなる金属−セラミッ
クス複合部材を得た。
【００２８】冷却部４で得た金属−セラミックス複合部
材を剪断部５に導き、カッター１９でセラミックス複合
部材のつなぎ目部分のアルミニウムを切断し、所定形状
の複合部材を得た。
材を剪断部５に導き、カッター１９でセラミックス複合
部材のつなぎ目部分のアルミニウムを切断し、所定形状
の複合部材を得た。
【００２９】
【発明の効果】上述のように本発明装置を用いることに
よって種々のセラミックス部材に溶湯金属を連続的に接
合できるようになり、所定の金属−セラミックス複合部
材を安価に、且つ、大量可能に製造できる優れた連続製
造装置である。
よって種々のセラミックス部材に溶湯金属を連続的に接
合できるようになり、所定の金属−セラミックス複合部
材を安価に、且つ、大量可能に製造できる優れた連続製
造装置である。
【図１】本発明の金属−セラミックス複合部材の製造装
置の概略断面図である
置の概略断面図である
【図２】本発明装置内の接合凝固手段を示す平面図であ
る。
る。
１ 搬送手段 ２ 予熱部 ３ 接合部 ４ 冷却部 ５ 剪断部 ６ ピンチローラー ７ 水冷ジャケット ７′ 水冷ジャケット ８ 予熱ヒーター ８′ 予熱ヒーター ９ ガイド一体型ダイス １１ 溶湯ヒーター １１′ 溶湯ヒーター １２ 坩堝 １３ 溶湯 １４ 接合ヒーター １４′ 接合ヒーター １５ 一体型ダイスのガイド部 １６ 一体型ダイス １７ 水冷ジャケット １７′ 水冷ジャケット １８ 冷却手段 １９ カッター ２０ セラミックス部材 ２１ 双ロール ２１′ 双ロール ２２ 冷却水 ２２′ 冷却水 ２３ 冷却管 ２３′ 冷却管
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックス部材の少なくとも一部分に
金属が接着された金属−セラミックス複合部材の製造装
置において、セラミックス部材を連続的に供給するため
の搬送手段と、搬送されたセラミックス部材を予熱する
予熱部と、予熱されたセラミックス部材を坩堝内の金属
溶湯中を通過させてセラミックス部材の周囲面の少なく
とも一部分に金属を接合するための冷却ロールを有する
冷却部とを主要と成すことを特徴とする金属−セラミッ
クス複合部材の製造装置。 - 【請求項２】 上記ロールは、回転するロールであるこ
とを特徴とする請求項１記載の金属−セラミックス複合
部材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28435395A JPH09110562A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28435395A JPH09110562A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09110562A true JPH09110562A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17677497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28435395A Pending JPH09110562A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09110562A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150139850A (ko) * | 2013-03-29 | 2015-12-14 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 금속-세라믹스판 적층체의 제조 장치 및 제조 방법, 파워 모듈용 기판의 제조 장치 및 제조 방법 |
-
1995
- 1995-10-06 JP JP28435395A patent/JPH09110562A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150139850A (ko) * | 2013-03-29 | 2015-12-14 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 금속-세라믹스판 적층체의 제조 장치 및 제조 방법, 파워 모듈용 기판의 제조 장치 및 제조 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4483810A (en) | Method for directly joining metal pieces to oxide-ceramic substrates | |
| JP2918191B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造方法 | |
| JP2021527569A (ja) | 短い工程で金属複合板を製造する生産装置及び方法 | |
| CN102089101A (zh) | 复合锭的铸造方法 | |
| JPH0350613B2 (ja) | ||
| WO2002000364A1 (fr) | Procede et dispositif permettant le laminage mixte de metaux en phase liquide-solide | |
| CN1067613C (zh) | 铜包钢双金属复合材终形铸轧方法 | |
| CN108015284B (zh) | 一种采用预加热方式的复合板带喷射制备装置及制备方法 | |
| JP3849092B2 (ja) | アルミニウム合金クラッド材の製造方法 | |
| WO1991009147A2 (en) | Rapid solidification melt-coat process | |
| KR101200578B1 (ko) | 복합 소재 | |
| JPH09110562A (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 | |
| JP3689828B2 (ja) | 金属−セラミックス複合基板の製造方法及びその製造装置 | |
| JP3095417B2 (ja) | 金属複合材料製造方法及び装置 | |
| JP3700151B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 | |
| JP3185010B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 | |
| JP3314272B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造装置 | |
| JP4237284B2 (ja) | 金属ーセラミックス複合部材の製造方法、製造装置、及び製造用鋳型 | |
| CN104525564B (zh) | 一种三层金属复合板的短流程轧制成形装置及方法 | |
| JP4328891B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材製造用鋳型及び製造方法 | |
| JP3814044B2 (ja) | 金属ーセラミックス複合部材の製造方法及びその装置 | |
| JP3452822B2 (ja) | アルミニウム−セラミックス複合部材の製造方法 | |
| JP4446093B2 (ja) | 金属−セラミックス複合部材の製造用鋳型および製造装置 | |
| JP3813822B2 (ja) | ろう付け性良好なクラッド材の製造方法 | |
| JPH05123831A (ja) | 複合鋳片の連続鋳造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050425 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050614 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |