JPH09113213A - 高調波信号成分を濾波する装置 - Google Patents
高調波信号成分を濾波する装置Info
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- JPH09113213A JPH09113213A JP8230638A JP23063896A JPH09113213A JP H09113213 A JPH09113213 A JP H09113213A JP 8230638 A JP8230638 A JP 8230638A JP 23063896 A JP23063896 A JP 23063896A JP H09113213 A JPH09113213 A JP H09113213A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 特定の高調波信号成分を指定通りに抑制でき
る、特に干渉により動作する位置測定装置に対して高調
波成分を濾波する装置を提供する。 【解決手段】 少なくとも一つの測定目盛２１あるいは
走査目盛２８.1，２８.2の目盛マークが等しい距離間隔
に対して特定のずれδ1(x), δ2(x); δ(x) を有し、少
なくとも一つの走査目盛２８.1，２８.2により測定目盛
２１を走査して発生する、高調波信号成分を濾波する装
置にあって、位相のずれが生じるため偶数のｎ次の高調
波（ｎ＝ 2, 4, 6,...）の信号成分が除去されるよう
に、ずれδ1(x), δ2(x); δ(x) が選択されているが、
基本波の信号成分の位相角が一定で、走査位置ｘに無関
係になっている。
る、特に干渉により動作する位置測定装置に対して高調
波成分を濾波する装置を提供する。 【解決手段】 少なくとも一つの測定目盛２１あるいは
走査目盛２８.1，２８.2の目盛マークが等しい距離間隔
に対して特定のずれδ1(x), δ2(x); δ(x) を有し、少
なくとも一つの走査目盛２８.1，２８.2により測定目盛
２１を走査して発生する、高調波信号成分を濾波する装
置にあって、位相のずれが生じるため偶数のｎ次の高調
波（ｎ＝ 2, 4, 6,...）の信号成分が除去されるよう
に、ずれδ1(x), δ2(x); δ(x) が選択されているが、
基本波の信号成分の位相角が一定で、走査位置ｘに無関
係になっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、相対運動する二
つの物体の位置変化を測定するための位置測定装置に使
用されるような、高調波信号成分を濾波する装置に関す
る。この発明による装置は、干渉性の測定系内で使用す
るのに特に適している。
つの物体の位置変化を測定するための位置測定装置に使
用されるような、高調波信号成分を濾波する装置に関す
る。この発明による装置は、干渉性の測定系内で使用す
るのに特に適している。
【０００２】
【従来の技術】周知の位置測定装置では、信号を求める
ため種々の物理原理が採用されている。光電的、光学
的、磁気的、電磁誘導的および容量的な走査原理が区別
されている。しかし、全て方法に共通することは、目盛
板の周期的な目盛を走査目盛で走査し、得られた走査信
号を測定信号として評価する点にある。
ため種々の物理原理が採用されている。光電的、光学
的、磁気的、電磁誘導的および容量的な走査原理が区別
されている。しかし、全て方法に共通することは、目盛
板の周期的な目盛を走査目盛で走査し、得られた走査信
号を測定信号として評価する点にある。
【０００３】この場合、走査信号の周期性は使用する目
盛ホルダーの測定目盛の目盛周期あるいは増分により決
まる。光学測定装置では、この増分は例えば振幅格子と
して形成された測定目盛の透光性ウェブと非透光性ウェ
ブの幅によって予め指定される。走査目盛と測定目盛を
相対運動させると、増分を走査する毎に計数パルスが得
られる。この計数パルスは個々のパルスを符号通りに加
算し、その和を長さあるいは角度の情報を得るため測定
値として処理される。
盛ホルダーの測定目盛の目盛周期あるいは増分により決
まる。光学測定装置では、この増分は例えば振幅格子と
して形成された測定目盛の透光性ウェブと非透光性ウェ
ブの幅によって予め指定される。走査目盛と測定目盛を
相対運動させると、増分を走査する毎に計数パルスが得
られる。この計数パルスは個々のパルスを符号通りに加
算し、その和を長さあるいは角度の情報を得るため測定
値として処理される。
【０００４】使用する目盛ホルダーの測定目盛、つまり
例えば振幅格子の対応するウェブと溝の比は、一般に理
想的な目盛比の変化とはずれている。更に、目盛板の目
盛ウェブのエッジのだれ（不鮮明さ）が製造公差により
生じる。それ故、このような不整のために、得られた周
期的な出力信号は一般に望ましい理想的な波形を有して
いない。つまり、純粋な正弦波でなく、通常高調波ある
いは高調波振動成分を含む。しかし、位置測定を高精度
で行うには、測定目盛から得られた走査信号ができる限
り高調波を含まないことにある。
例えば振幅格子の対応するウェブと溝の比は、一般に理
想的な目盛比の変化とはずれている。更に、目盛板の目
盛ウェブのエッジのだれ（不鮮明さ）が製造公差により
生じる。それ故、このような不整のために、得られた周
期的な出力信号は一般に望ましい理想的な波形を有して
いない。つまり、純粋な正弦波でなく、通常高調波ある
いは高調波振動成分を含む。しかし、位置測定を高精度
で行うには、測定目盛から得られた走査信号ができる限
り高調波を含まないことにある。
【０００５】周知の位置測定装置内で高調波を濾波する
には一連の可能性がある。代表的なものとして、ドイツ
特許第 34 12 128 C1 号明細書を参照されたい。この明
細書では所謂アークサイン走査としても知られている濾
波方法が提案されている。この濾波原理は特別な走査目
盛に基づくもので、走査格子のウェブの位置が規則正し
い等間隔の正規位置に対して小さな値ｄほどずれてい
る。ウェブに一定のずれがあるため、付属する信号成分
の位相の局部ずれが生じる。これは奇数次の高調波成分
を消去する。全体として、位相のずれは基本波にも、ま
た存在する高調波成分にも生じる。
には一連の可能性がある。代表的なものとして、ドイツ
特許第 34 12 128 C1 号明細書を参照されたい。この明
細書では所謂アークサイン走査としても知られている濾
波方法が提案されている。この濾波原理は特別な走査目
盛に基づくもので、走査格子のウェブの位置が規則正し
い等間隔の正規位置に対して小さな値ｄほどずれてい
る。ウェブに一定のずれがあるため、付属する信号成分
の位相の局部ずれが生じる。これは奇数次の高調波成分
を消去する。全体として、位相のずれは基本波にも、ま
た存在する高調波成分にも生じる。
【０００６】更に、高調波を濾波する基本的に同じ状況
は欧州特許第 0 541 827 B1 号明細書により周知であ
る。この明細書でも走査目盛のウェブを適当に選んで基
本波や高調波の位相に一定のずれを与えている。しか
し、高調波信号成分を濾波するために提案された装置あ
るいは方法には全て特定の難点がある。つまり、干渉性
の部分ビーム束の位相のずれが走査位置に依存するの
で、得られる全信号の変調度が減少する。これは更なる
信号処理に悪影響を与える。
は欧州特許第 0 541 827 B1 号明細書により周知であ
る。この明細書でも走査目盛のウェブを適当に選んで基
本波や高調波の位相に一定のずれを与えている。しか
し、高調波信号成分を濾波するために提案された装置あ
るいは方法には全て特定の難点がある。つまり、干渉性
の部分ビーム束の位相のずれが走査位置に依存するの
で、得られる全信号の変調度が減少する。これは更なる
信号処理に悪影響を与える。
【０００７】その場合、選んだ濾波方法により、変調度
の減少が変化する。例えば、バーニヤ・アークサイン濾
波として欧州特許第 0 541 827 B1 号明細書により知ら
れている方法で全ての高調波を濾波する場合、0.5 の低
減係数になる。ドイツ特許第34 12 128 C1 号明細書に
よる奇数次の高調波のアークサイン濾波では、0.785の
低減係数になる。この場合、低減係数は濾波なしの変調
度に対する高調波濾波を伴う信号変調度の比として定義
される。
の減少が変化する。例えば、バーニヤ・アークサイン濾
波として欧州特許第 0 541 827 B1 号明細書により知ら
れている方法で全ての高調波を濾波する場合、0.5 の低
減係数になる。ドイツ特許第34 12 128 C1 号明細書に
よる奇数次の高調波のアークサイン濾波では、0.785の
低減係数になる。この場合、低減係数は濾波なしの変調
度に対する高調波濾波を伴う信号変調度の比として定義
される。
【０００８】例えば、欧州特許第 0 163 362 B1 号明細
書により周知のような、所謂干渉性の位置測定装置で
は、特に二次の高調波の振幅が信号の乱れに寄与する
が、残りの高調波成分はこれに対して比較的無視でき
る。この場合でも、使用する測定目盛に沿って理想的な
分布から外れたウェブの幅と溝の幅が望ましくない高調
波信号成分を発生させる原因となる。
書により周知のような、所謂干渉性の位置測定装置で
は、特に二次の高調波の振幅が信号の乱れに寄与する
が、残りの高調波成分はこれに対して比較的無視でき
る。この場合でも、使用する測定目盛に沿って理想的な
分布から外れたウェブの幅と溝の幅が望ましくない高調
波信号成分を発生させる原因となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、特
定の高調波信号成分を指定通りに抑制できる、特に干渉
により動作する位置測定装置に対して高調波成分を濾波
する装置を提供することにある。その場合、基本波の変
調度が濾波によりできる限り低減しないことが要求され
る。
定の高調波信号成分を指定通りに抑制できる、特に干渉
により動作する位置測定装置に対して高調波成分を濾波
する装置を提供することにある。その場合、基本波の変
調度が濾波によりできる限り低減しないことが要求され
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、少なくとも一つの測定目盛１；２１あるいは走
査目盛８；２８.1，２８.2；３８；３８′の目盛マーク
が等しい距離間隔に対して特定のずれδ1(x), δ2(x);
δ(x) を有し、少なくとも一つの走査目盛８；２８.1，
２８.2；３８；３８′により測定目盛１；２１を走査し
て発生する、高調波信号成分を濾波する装置にあって、
位相のずれが生じるため偶数のｎ次の高調波（ｎ＝ 2,
4, 6,...）の信号成分が除去されるように、ずれδ1
(x), δ2(x); δ(x) が選択されているが、基本波の信
号成分の位相角が一定で、走査位置ｘに無関係になって
いることによって解決されている。
により、少なくとも一つの測定目盛１；２１あるいは走
査目盛８；２８.1，２８.2；３８；３８′の目盛マーク
が等しい距離間隔に対して特定のずれδ1(x), δ2(x);
δ(x) を有し、少なくとも一つの走査目盛８；２８.1，
２８.2；３８；３８′により測定目盛１；２１を走査し
て発生する、高調波信号成分を濾波する装置にあって、
位相のずれが生じるため偶数のｎ次の高調波（ｎ＝ 2,
4, 6,...）の信号成分が除去されるように、ずれδ1
(x), δ2(x); δ(x) が選択されているが、基本波の信
号成分の位相角が一定で、走査位置ｘに無関係になって
いることによって解決されている。
【００１１】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下では、添付図面に基づき、以
下の実施例の説明から、この発明による装置の利点と詳
細を説明する。図１は、この発明による装置を組み込ん
だ干渉性位置測定装置の基本構造を示す。位置測定装置
の図示する実施例は、この場合、測長系の反射配置とし
て構成されている。この代わりに、当然、この発明によ
る装置を測角系として構成するかおよび／または透過光
で動作する位置測定装置にも使用できる。
下の実施例の説明から、この発明による装置の利点と詳
細を説明する。図１は、この発明による装置を組み込ん
だ干渉性位置測定装置の基本構造を示す。位置測定装置
の図示する実施例は、この場合、測長系の反射配置とし
て構成されている。この代わりに、当然、この発明によ
る装置を測角系として構成するかおよび／または透過光
で動作する位置測定装置にも使用できる。
【００１３】図１の実施例として示す位置測定装置は、
鋼鉄本体から成る目盛板１を有する。この本体の表面に
は反射位相格子の形の測定目盛が付けてある。使用する
位相格子は 4 mm の目盛周期を有し、2 mmの幅で長方形
のほぼ 0.2 mm の高さの金製のステップで構成されてい
る。これ等のステップは、4 mmの目盛周期の間隔で金を
被覆した目盛板１の鋼鉄本体の反射性表面の上に付けて
ある。目盛板１はホルダー部分２の上に配置され、この
ホルダー部分２はネジ３とそれに合ったネジ山の形の脱
着可能な連結部を介して工作機械の一部４に連結してい
る。
鋼鉄本体から成る目盛板１を有する。この本体の表面に
は反射位相格子の形の測定目盛が付けてある。使用する
位相格子は 4 mm の目盛周期を有し、2 mmの幅で長方形
のほぼ 0.2 mm の高さの金製のステップで構成されてい
る。これ等のステップは、4 mmの目盛周期の間隔で金を
被覆した目盛板１の鋼鉄本体の反射性表面の上に付けて
ある。目盛板１はホルダー部分２の上に配置され、この
ホルダー部分２はネジ３とそれに合ったネジ山の形の脱
着可能な連結部を介して工作機械の一部４に連結してい
る。
【００１４】目盛板１は、直線状の、つまり紙面に垂直
に移動できる走査ユニット５により走査される。走査ユ
ニット５の中には、ＬＥＤから成る光源６がある。この
光源６の前にはコンデンサ光学系７が配置されている。
目盛板１に対向して走査ユニット５の内には走査目盛８
が配置されている。走査目盛８は、図示する実施例の場
合、透過光位相格子としてされている。検出器側には、
更に反射ビーム束を検出するため３つの検出素子９a が
配置されている。その内のだた一つを図１の図面に示し
てある。適当な検出素子９a としては光電素子を使用す
る。
に移動できる走査ユニット５により走査される。走査ユ
ニット５の中には、ＬＥＤから成る光源６がある。この
光源６の前にはコンデンサ光学系７が配置されている。
目盛板１に対向して走査ユニット５の内には走査目盛８
が配置されている。走査目盛８は、図示する実施例の場
合、透過光位相格子としてされている。検出器側には、
更に反射ビーム束を検出するため３つの検出素子９a が
配置されている。その内のだた一つを図１の図面に示し
てある。適当な検出素子９a としては光電素子を使用す
る。
【００１５】ネジ連結部により走査ユニット５は部分的
に示す移動台１０に連結している。この移動台１０は走
査ユニット５を目盛板１に沿って指定通りに直線移動さ
せるために使用される。光源６からコンデンサ光学系７
を経由して生じる照明平面波は、走査目盛８の位相格子
を通過して今度は主に３つの異なった方向に回折する。
測定目盛１の反射位相格子では、新たな回折と回折した
部分ビーク束の反射が行われる。反射部分ビーム束は新
たに走査目盛８の位相格子を通過し、他の次数の回折が
生じる。コリメータ光学系として機能するレンズ７の焦
点面で、そこに配設されている検出素子９a の干渉性の
部分ビーム束が信号流に変換される。検出素子９a に
は、図示してない周知の演算処理電子回路が後置されて
いる。この電子回路は、測定目盛１と走査目盛７が相対
移動すると生じる信号を内挿し、走査された測定目盛１
の増分を適当に積算する。
に示す移動台１０に連結している。この移動台１０は走
査ユニット５を目盛板１に沿って指定通りに直線移動さ
せるために使用される。光源６からコンデンサ光学系７
を経由して生じる照明平面波は、走査目盛８の位相格子
を通過して今度は主に３つの異なった方向に回折する。
測定目盛１の反射位相格子では、新たな回折と回折した
部分ビーク束の反射が行われる。反射部分ビーム束は新
たに走査目盛８の位相格子を通過し、他の次数の回折が
生じる。コリメータ光学系として機能するレンズ７の焦
点面で、そこに配設されている検出素子９a の干渉性の
部分ビーム束が信号流に変換される。検出素子９a に
は、図示してない周知の演算処理電子回路が後置されて
いる。この電子回路は、測定目盛１と走査目盛７が相対
移動すると生じる信号を内挿し、走査された測定目盛１
の増分を適当に積算する。
【００１６】走査目盛と測定目盛を位相格子として構成
する代わりに、周知の振幅格子として構成することも原
理的に考えられる。この発明による装置の内部で発明の
原理を更に説明するため、図２を参照しよう。この図は
図１の位置測定装置の展開ビーム通路、あるいは機能的
に等価な透過光ビーム通路を示す。
する代わりに、周知の振幅格子として構成することも原
理的に考えられる。この発明による装置の内部で発明の
原理を更に説明するため、図２を参照しよう。この図は
図１の位置測定装置の展開ビーム通路、あるいは機能的
に等価な透過光ビーム通路を示す。
【００１７】この場合、光源２６からビーム伝播方向に
出たコンデンサ光学系２７，つまり第一走査目盛２８.
1，目盛板２１および第二走査目盛２８.2を示す。目盛
板２１も二つの走査目盛２８.1，２８.2も、先に説明し
たように、位相格子として形成されている。第一走査目
盛２８.1の位相格子では、先ず入射した平面波を多数の
方向に発生した部分ビーム束に回折させる。見通しを良
くするため、以下では、発生した平面波の中央の部分ビ
ーム束のビーム経過のみを示す。
出たコンデンサ光学系２７，つまり第一走査目盛２８.
1，目盛板２１および第二走査目盛２８.2を示す。目盛
板２１も二つの走査目盛２８.1，２８.2も、先に説明し
たように、位相格子として形成されている。第一走査目
盛２８.1の位相格子では、先ず入射した平面波を多数の
方向に発生した部分ビーム束に回折させる。見通しを良
くするため、以下では、発生した平面波の中央の部分ビ
ーム束のビーム経過のみを示す。
【００１８】測定目盛２１の位相格子では、入射した部
分ビーム束の発生した成分が再び異なった方向に回折す
る。図１の図面では、目盛板２１以降で、第一走査目盛
２８.1と第二走査目盛２８.2の間のビーム通路が平行四
辺形を形成し、それにより第二走査目盛２８.2により同
じように戻る光学通路のため干渉性を有する対の部分ビ
ーム束他の経過のみ記入してある。
分ビーム束の発生した成分が再び異なった方向に回折す
る。図１の図面では、目盛板２１以降で、第一走査目盛
２８.1と第二走査目盛２８.2の間のビーム通路が平行四
辺形を形成し、それにより第二走査目盛２８.2により同
じように戻る光学通路のため干渉性を有する対の部分ビ
ーム束他の経過のみ記入してある。
【００１９】第二走査目盛２８.2の上で干渉性の部分ビ
ーム束の発生位置Ａm (m＝0,±1,±2,... ）はそこで走
査方向Ｘに延びるほぼ等間隔の網目を形成する。ずれて
いない部分ビームの発生位置Ａ0 とずれた部分ビーム束
の発生位置Ａm と の間の間隔Ｘm は近似的に、 Ｘm ＝ m * b (1) によって与えられる。
ーム束の発生位置Ａm (m＝0,±1,±2,... ）はそこで走
査方向Ｘに延びるほぼ等間隔の網目を形成する。ずれて
いない部分ビームの発生位置Ａ0 とずれた部分ビーム束
の発生位置Ａm と の間の間隔Ｘm は近似的に、 Ｘm ＝ m * b (1) によって与えられる。
【００２０】この場合、網目間隔ｂは近似的に ｂ≒Ｄ *λ/d (2) となる。ここで、Ｄは目盛板２１から走査目盛２８.1，
２８.2までの間隔であり、λは光源２６の波長であり、
ｄは目盛板２１の目盛周期である。Ｄ＝ 1 mm, λ＝ 8
60 nm およびｄ＝ 4 mm の典型的な値では、ｂ＝ 215 m
mの網目間隔あるいは網目周期となる。
２８.2までの間隔であり、λは光源２６の波長であり、
ｄは目盛板２１の目盛周期である。Ｄ＝ 1 mm, λ＝ 8
60 nm およびｄ＝ 4 mm の典型的な値では、ｂ＝ 215 m
mの網目間隔あるいは網目周期となる。
【００２１】この発明には、信号の基本波および全ての
奇数次の高調波を発生させる対の部分ビーム束の発生位
置Ａm は奇数の添字ｍを有する。これに応じて、偶数次
の高調波には偶数の添字の適当な部分ビーム束の発生位
置が対応する。つまり、ｍ＝2, 4, 6,...である。二次
の高調波（ｍ＝ 2）を濾波するには、この発明によりこ
の高調波の信号成分が完全に消滅するように、二次の高
調波の干渉性部分ビーム束の位相をずらす。二次の高調
波を発生する部分ビーム束の発生位置は基本波を発生す
る部分ビーム束の発生位置とは空間的に分離されている
ので、目盛マークあるいは走査目盛周期のずらしを適当
に選べば、望ましくない偶数次、特に二次の高調波を規
定通りに消去できる。
奇数次の高調波を発生させる対の部分ビーム束の発生位
置Ａm は奇数の添字ｍを有する。これに応じて、偶数次
の高調波には偶数の添字の適当な部分ビーム束の発生位
置が対応する。つまり、ｍ＝2, 4, 6,...である。二次
の高調波（ｍ＝ 2）を濾波するには、この発明によりこ
の高調波の信号成分が完全に消滅するように、二次の高
調波の干渉性部分ビーム束の位相をずらす。二次の高調
波を発生する部分ビーム束の発生位置は基本波を発生す
る部分ビーム束の発生位置とは空間的に分離されている
ので、目盛マークあるいは走査目盛周期のずらしを適当
に選べば、望ましくない偶数次、特に二次の高調波を規
定通りに消去できる。
【００２２】二次の高調波のこのような位相のずれに必
要な、等間隔に対する二つの走査目盛２８.1，２８.2の
目盛マークの特定なずれδ1(x)あるいはδ2(x)は、それ
故、それぞれ周期 2ｂの周期関数である。つまり、 δ1(x)＝δ1(x＋2*ｂ） （３.1） および、 δ2(x)＝δ2(x＋2*ｂ） （３.2） となる。
要な、等間隔に対する二つの走査目盛２８.1，２８.2の
目盛マークの特定なずれδ1(x)あるいはδ2(x)は、それ
故、それぞれ周期 2ｂの周期関数である。つまり、 δ1(x)＝δ1(x＋2*ｂ） （３.1） および、 δ2(x)＝δ2(x＋2*ｂ） （３.2） となる。
【００２３】二つの条件は、上に説明したように、基本
波が第二走査目盛２８.2の二つの発生位置Ａ1 あるいは
Ａ2 に入射するから生じる。これ等の二つの発生位置で
は基本波の変調度を低減させないため、二つの基本波の
部分ビーム束が位相の相互のずれを受けない、あるい
は、同じ位相のずれを受ける必要がある。第二の走査目
盛２８.2に対して、この考察により、目盛マークのずれ
に対する式（３.2）で指定される周期条件が生じる。同
様なことは、第一走査目盛２８.1の入射位置に係わる式
（３.1）の周期条件に対しても当てはまる。
波が第二走査目盛２８.2の二つの発生位置Ａ1 あるいは
Ａ2 に入射するから生じる。これ等の二つの発生位置で
は基本波の変調度を低減させないため、二つの基本波の
部分ビーム束が位相の相互のずれを受けない、あるい
は、同じ位相のずれを受ける必要がある。第二の走査目
盛２８.2に対して、この考察により、目盛マークのずれ
に対する式（３.2）で指定される周期条件が生じる。同
様なことは、第一走査目盛２８.1の入射位置に係わる式
（３.1）の周期条件に対しても当てはまる。
【００２４】二つの走査目盛２８.1，２８.2内で必要な
ずれの変化に対するこれ等の条件は、垂直入射の配置で
ただ一つの走査目盛を設け、図１で説明したようにこの
走査目盛を二回通過する場合、次の条件（３′）に変換
される。 δ(x) ＝δ(x＋2*ｂ） （３′） 同時に注意すべきことは、基本波の部分ビーム束が二つ
の走査目盛２８.1，２８.2で、あるいは二回通過した走
査目盛で経験する位相のずれができる限り相互に補償さ
れ、走査位置に無関係に必ず一定の位相のずれとなるよ
うに目盛マークの各ずれを選ぶことにある。これには、
目盛マークのずれに関して、 δ1(x)＝−δ2(x＋ｂ） （４） となる必要がある。
ずれの変化に対するこれ等の条件は、垂直入射の配置で
ただ一つの走査目盛を設け、図１で説明したようにこの
走査目盛を二回通過する場合、次の条件（３′）に変換
される。 δ(x) ＝δ(x＋2*ｂ） （３′） 同時に注意すべきことは、基本波の部分ビーム束が二つ
の走査目盛２８.1，２８.2で、あるいは二回通過した走
査目盛で経験する位相のずれができる限り相互に補償さ
れ、走査位置に無関係に必ず一定の位相のずれとなるよ
うに目盛マークの各ずれを選ぶことにある。これには、
目盛マークのずれに関して、 δ1(x)＝−δ2(x＋ｂ） （４） となる必要がある。
【００２５】二回通過する走査目盛の垂直入射では、こ
れは δ(x) ＝−δ2(x＋ｂ） （４′） に似ていることを意味する。こうして、得られた信号の
基本波成分に対して、変調度を望ましい方法で不変に保
つ。つまり、減少係数１あるいはほぼ１となる。目盛マ
ークの選択された周期的なずれのため、第二高調波の干
渉部分ビーム束は付属する信号成分の対応する位相のず
れ 2*2* π*(δ1(x)＋δ2(x)) となる位置に依存する相
互の位相のずれを経験する。
れは δ(x) ＝−δ2(x＋ｂ） （４′） に似ていることを意味する。こうして、得られた信号の
基本波成分に対して、変調度を望ましい方法で不変に保
つ。つまり、減少係数１あるいはほぼ１となる。目盛マ
ークの選択された周期的なずれのため、第二高調波の干
渉部分ビーム束は付属する信号成分の対応する位相のず
れ 2*2* π*(δ1(x)＋δ2(x)) となる位置に依存する相
互の位相のずれを経験する。
【００２６】走査位置ｘに対する平均化によるｎ次の高
調波（例えばｎ＝２）を消去する条件として、二回通過
する走査目盛の場合に必要なずれδ1(x)あるいはδ2(x)
に関して、
調波（例えばｎ＝２）を消去する条件として、二回通過
する走査目盛の場合に必要なずれδ1(x)あるいはδ2(x)
に関して、
【００２７】
【外４】 とできる。垂直入射配置で二回通過する、つまりδ(x):
＝δ1(x)＝δ2(x)ただ一つの走査目盛の場合には、ｎ次
の高調波（例えばｎ＝２）に対する条件は、以下のよう
に
＝δ1(x)＝δ2(x)ただ一つの走査目盛の場合には、ｎ次
の高調波（例えばｎ＝２）に対する条件は、以下のよう
に
【００２８】
【外５】 と変換できる。以下に提示する実施例では、だた一つの
走査目盛を二回通過する、つまり二つの同一走査目盛の
ある垂直入射配置を前提とする。前記の条件を満たす対
応するずれの関数δ(x) は、図３a の下部に示してあ
る。この場合、ずれの変化は
走査目盛を二回通過する、つまり二つの同一走査目盛の
ある垂直入射配置を前提とする。前記の条件を満たす対
応するずれの関数δ(x) は、図３a の下部に示してあ
る。この場合、ずれの変化は
【００２９】
【外６】 となる。つまり、周期 2b の等間隔の正規位置の周りに
±d/16の目盛マークのずれとなる。この種のずれの変化
では、第二高調波の±π/2の位相のずれとなり、この高
調波信号成分を濾波できる。
±d/16の目盛マークのずれとなる。この種のずれの変化
では、第二高調波の±π/2の位相のずれとなり、この高
調波信号成分を濾波できる。
【００３０】更に、図３a はこの発明によりずらした目
盛マークを有する同じように構成された走査目盛３８の
平面図を示す。二回通過する走査目盛のずれの変化δ
(x) に対して上で議論した条件式の代わりの解決策は図
３b の下半分に示してある。目盛マークの正規位置の周
りのずれの変化δ(x) はこの実施例では、式 δ(x) ＝ d* sin(π*x/b) （７） により正弦波状に選択される。d の値は決定式 J0(8*π
*δ/d) ＝ 0から与えられる。ここで、 J0 は０次のベ
ッセル関数である。δの可能な解はδ＝ d/10.451;δ＝
d/4.553;.... である。
盛マークを有する同じように構成された走査目盛３８の
平面図を示す。二回通過する走査目盛のずれの変化δ
(x) に対して上で議論した条件式の代わりの解決策は図
３b の下半分に示してある。目盛マークの正規位置の周
りのずれの変化δ(x) はこの実施例では、式 δ(x) ＝ d* sin(π*x/b) （７） により正弦波状に選択される。d の値は決定式 J0(8*π
*δ/d) ＝ 0から与えられる。ここで、 J0 は０次のベ
ッセル関数である。δの可能な解はδ＝ d/10.451;δ＝
d/4.553;.... である。
【００３１】図３b の上部には、再び目盛マークのずれ
の正弦波状変化を有する同じように構成された走査目盛
３８′が示してある。第二高調波を濾波する説明した例
と同じように、δ1(x)あるいはδ2(x)を適当に選んで偶
数次の高調波や第二高調波も全信号から濾波できる。ｎ
次の高調波（ｎ＝ 2, 4, 6,...）を望ましく濾波する場
合には、上に説明した式（５）も同じように有効であ
る。
の正弦波状変化を有する同じように構成された走査目盛
３８′が示してある。第二高調波を濾波する説明した例
と同じように、δ1(x)あるいはδ2(x)を適当に選んで偶
数次の高調波や第二高調波も全信号から濾波できる。ｎ
次の高調波（ｎ＝ 2, 4, 6,...）を望ましく濾波する場
合には、上に説明した式（５）も同じように有効であ
る。
【００３２】測定系に応じてずれの変化を適当に選ぶ
と、一定の高調波成分を濾波でき、基本波の変調度が濾
波によりできる限り少なく影響されることが確認され
る。図２の二つの走査目盛２８.1，２８.2を固定測定目
盛と見なし、この測定目盛に対して中間に配置され、今
度は走査目盛として機能する目盛２１が光源２６，コン
デンサ光学系２７および図示していない検出素子と共に
相対移動することも可能である。ただ相違することは、
上の条件に応じて選択されたずれの変化が二回通過する
目盛の上にある点にある。最後の場合には、ずれの変化
が二つの測定目盛にあることになる。
と、一定の高調波成分を濾波でき、基本波の変調度が濾
波によりできる限り少なく影響されることが確認され
る。図２の二つの走査目盛２８.1，２８.2を固定測定目
盛と見なし、この測定目盛に対して中間に配置され、今
度は走査目盛として機能する目盛２１が光源２６，コン
デンサ光学系２７および図示していない検出素子と共に
相対移動することも可能である。ただ相違することは、
上の条件に応じて選択されたずれの変化が二回通過する
目盛の上にある点にある。最後の場合には、ずれの変化
が二つの測定目盛にあることになる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による装
置を用いれば、所望の偶数次の高調波成分のみが全走査
信号から指定通りに除去される。その場合、基本波は不
変である。つまり、基本波の変調度に対して低減係数が
１あるいは１近くになるので、偶数次の高調波成分によ
り乱されない所望の走査信号が生じる。
置を用いれば、所望の偶数次の高調波成分のみが全走査
信号から指定通りに除去される。その場合、基本波は不
変である。つまり、基本波の変調度に対して低減係数が
１あるいは１近くになるので、偶数次の高調波成分によ
り乱されない所望の走査信号が生じる。
【００３４】干渉性の位置測定装置を三重あるいは多重
格子変換器として構成することにより、この発明による
原理を適当に移し換えて所望の偶数次の高調波信号成分
を濾波できる。上記の実施例では第二次の高調波が濾波
される。この発明による装置は、干渉性の位置測定装置
内で、透光実施態様としても、また反射実施態様として
も使用できる。
格子変換器として構成することにより、この発明による
原理を適当に移し換えて所望の偶数次の高調波信号成分
を濾波できる。上記の実施例では第二次の高調波が濾波
される。この発明による装置は、干渉性の位置測定装置
内で、透光実施態様としても、また反射実施態様として
も使用できる。
【００３５】更に、この発明による装置は原理的に位相
格子でも、振幅格子でも、走査目盛あるいは測定目盛と
して実現できる。
格子でも、振幅格子でも、走査目盛あるいは測定目盛と
して実現できる。
【図１】 この発明による装置を組み込んだ干渉性の位
置測定装置の可能な実施例の基本構造、
置測定装置の可能な実施例の基本構造、
【図２】 この発明の原理を説明するため図１の位置測
定装置の展開ビーム通路図、
定装置の展開ビーム通路図、
【図３】 この発明による装置の走査目盛の可能な第一
実施例（ａ）と第二実施例（ｂ）。
実施例（ａ）と第二実施例（ｂ）。
１，２１ 目盛板 ２ ホルダー部分 ３ ネジ ４ 工作機械の一部 ５ 走査ユニット ６，２６ 光源 ７，２７ コンデンサ光学系 ８，２８.1，２８.2 走査目盛 ９a 検出素子 １０ 移動台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴオルフガング・ホルツアプフエル ドイツ連邦共和国、83119 オビング、グ ロッテンヴエーク、２
Claims (10)
- 【請求項１】 少なくとも一つの測定目盛（１；２１）
あるいは走査目盛（８；２８.1，２８.2；３８；３
８′）の目盛マークが等しい、距離間隔に対して特定の
ずれ（δ1(x), δ2(x); δ(x) ）を有し、少なくとも一
つの走査目盛（８；２８.1，２８.2；３８；３８′）に
より測定目盛（１；２１）を走査して発生する、高調波
信号成分を濾波する装置において、位相のずれが生じる
ため偶数のｎ次の高調波（ｎ＝ 2, 4, 6,...）の信号成
分が除去されるように、ずれ（δ1(x), δ2(x); δ(x)
）が選択されているが、基本波の信号成分の位相角が
一定で、走査位置（ｘ）に無関係になっていることを特
徴とする装置。 - 【請求項２】 貫通する二つの走査目盛あるいは測定目
盛の場合に必要なずれの変化は、条件 δ1(x)＝δ1(x＋2*b), δ2(x)＝δ2(x＋2*b) および δ1(x)＝δ2(x＋b) を満たし、ここで b＝ D*λ/dで、D は測定目盛（２
１）と走査目盛（２８.1，２８.2）の間の間隔で、λは
光源（２６）の波長で、d が測定目盛の目盛周期である
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 二回通過する走査目盛あるいは測定目盛
の場合に必要なずれの変化（δ(x) ）は条件 δ(x) ＝δ(x＋2*b) および δ(x) ＝−δ(x＋b) を満たし、ここで b＝ D*λ/dで、D は測定目盛と走査
目盛の間の間隔で、λは光源の波長で、d が測定目盛の
目盛周期であることを特徴とする請求項１に記載の装
置。 - 【請求項４】 ｎ次の高調波を除去するためのずれの変
化（δ1(x), δ2(x)）は条件、 【外１】 を満たすことを特徴とする請求項２に記載の装置。 - 【請求項５】 ｎ次の高調波を除去するためのずれの変
化（δ(x) ）は条件、 【外２】 を満たすことを特徴とする請求項３に記載の装置。 - 【請求項６】 二次の高調波を除去するため、ずれの変
化（δ(x) ） 【外３】 を使用することを特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項７】 二次の高調波を除去するため、ずれの変
化、 δ(x) ＝ δ* sin(π*x/b) が付帯条件 J0(8*π*δ/d) ＝ 0と共に使用されること
を特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項８】 測定目盛（１；２１）や少なくとも一つ
の走査目盛（８；２８.1，２８.2）が位相格子として形
成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項９】 位置測定装置は測長系として構成されて
いることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載
の装置。 - 【請求項１０】 位置測定装置は測角系として構成され
ていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記
載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19532246:0 | 1995-09-01 | ||
| DE19532246A DE19532246A1 (de) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113213A true JPH09113213A (ja) | 1997-05-02 |
| JP2888482B2 JP2888482B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=7770976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8230638A Expired - Fee Related JP2888482B2 (ja) | 1995-09-01 | 1996-08-30 | 高調波信号成分を濾波する装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5814812A (ja) |
| EP (1) | EP0763715B1 (ja) |
| JP (1) | JP2888482B2 (ja) |
| AT (1) | ATE212434T1 (ja) |
| DE (2) | DE19532246A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11320457A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-11-24 | Jc Bamford Excavators Ltd | 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法 |
| EP1795873A2 (en) | 2005-12-06 | 2007-06-13 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric Encoder |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6611854B1 (en) * | 1999-09-24 | 2003-08-26 | David Amels | System and method for distorting a signal |
| DE10333772A1 (de) * | 2002-08-07 | 2004-02-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Interferenzielle Positionsmesseinrichtung |
| US6915224B2 (en) * | 2002-10-25 | 2005-07-05 | Jung-Ching Wu | Method for optimum spectrum analysis |
| DE10338991A1 (de) * | 2003-08-18 | 2005-03-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| DE10347604A1 (de) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmesseinrichtung |
| US20070024865A1 (en) * | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Mitchell Donald K | Optical encoder having slanted optical detector elements for harmonic suppression |
| DE102007046318A1 (de) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Abtastverfahren |
| US8384570B2 (en) * | 2009-05-27 | 2013-02-26 | Active Precision, Inc. | Encoder interpolator with enhanced precision |
| GB201301186D0 (en) | 2012-12-20 | 2013-03-06 | Renishaw Plc | Optical element |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3412128C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
| GB8413955D0 (en) * | 1984-05-31 | 1984-07-04 | Pa Consulting Services | Displacement measuring apparatus |
| US4618214A (en) * | 1984-10-26 | 1986-10-21 | Itek Corporation | Method of fabricating a controlled harmonic binary grating |
| JP2539269B2 (ja) * | 1989-07-17 | 1996-10-02 | オークマ株式会社 | 光学式エンコ―ダ |
| JP2575935B2 (ja) * | 1990-07-30 | 1997-01-29 | オークマ株式会社 | 位置検出装置 |
| DE59104512D1 (de) * | 1991-11-04 | 1995-03-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale. |
| EP0541827B1 (de) * | 1991-11-04 | 1995-04-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
| DE59306689D1 (de) * | 1993-08-07 | 1997-07-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
-
1995
- 1995-09-01 DE DE19532246A patent/DE19532246A1/de not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-07-20 AT AT96111723T patent/ATE212434T1/de not_active IP Right Cessation
- 1996-07-20 DE DE59608637T patent/DE59608637D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-20 EP EP96111723A patent/EP0763715B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-28 US US08/704,832 patent/US5814812A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-30 JP JP8230638A patent/JP2888482B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11320457A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-11-24 | Jc Bamford Excavators Ltd | 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法 |
| EP1795873A2 (en) | 2005-12-06 | 2007-06-13 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric Encoder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| DE59608637D1 (de) | 2002-03-14 |
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| EP0763715A2 (de) | 1997-03-19 |
| ATE212434T1 (de) | 2002-02-15 |
| EP0763715B1 (de) | 2002-01-23 |
| EP0763715A3 (de) | 1998-11-18 |
| DE19532246A1 (de) | 1997-03-06 |
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