JPH09113244A - 外形検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 目視検査を廃止し、安定して効率の良い外形
検査を行う。検査精度を高める。外形検査の処理速度を
高める。 【解決手段】 ステージ１１上に矩形のチップ１２を搭
載し、カメラ１３下方で停止させ、照明する。カメラ１
３でチップ１２を撮像し、コンピュータ１４にて画像信
号を処理する。座標値算出手段２１は、画像に基づき、
チップ１２の外形を示す所定間隔離れた２点の座標を得
る。階調画像を２値化し、画像の外形を得た後、外形線
上の点のＸＹ座標を算出する。判定手段２２は、これら
の２点間の座標値の差を順次算出し、この差値に基づき
チップ１２の良否を判定する。上記２点の座標値に基づ
いて演算を行い、その差値を得る。この差値を判定値と
比較し、チップ１２外形の良否を判定する。Ｘ方向の検
査は、｜基準Ｙ座標−比較Ｙ座標｜と判定値との比較で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、チップ抵抗器・
チップコンデンサ等の矩形製品の欠け・割れ等について
検査する外形検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の外形検査は、作業者によ
る目視検査が行われていた。しかし、非効率であるとい
う問題があった。そこで、検査対象物の外形を撮像し、
この画像データに基づいてその外形を検査する方法が考
案された。この外形検査は、撮像した検査対象物を２値
化処理し、２値画像の例えば黒く現れる領域の面積を算
出していた。そして、この面積を検査対象物の外形面積
（予め測定済み）と比較し、その良否を判定していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
検査にあっては、作業者による目視検査のため、安定し
た検査ができないという問題があった。また、後者の面
積検査にあっては、面積の演算・検出に時間がかかり、
検査処理を迅速に行うことができないという課題があっ
た。また、製品の良否を、測定・演算した結果の面積値
で判定するため、製品の大きさ、標印等のバラツキによ
り、検査精度が悪いという課題があった。

【０００４】

【発明の目的】そこで、この発明は、目視検査を廃止し
て、安定して効率の良い検査を行うことをその目的とし
ている。また、検査精度の向上を図ることを、その目的
としている。さらに、検査スピードの向上を、その目的
としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、検査対象物を撮像する撮像手段と、撮像した画像に
基づき、検査対象物の外形を示す点の座標を得る座標値
算出手段と、この外形を示す点で所定間隔離れた２点間
の座標値の差を算出し、この差値に基づき検査対象物の
良否を判定する判定手段と、を備えた外形検査装置であ
る。

【０００６】

【発明の作用】請求項１に記載の発明によれば、検査対
象物を撮像し、撮像した画像に基づき、所定間隔離れた
２点間の座標値の差を算出する。そして、この差値に基
づき外形の良否を判定する。例えば差値が一定値より大
きくなると検査対象物な外形に欠け・割れがあるものと
判定する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施例を図面
を参照して説明する。図１はこの発明の一実施例に係る
外形検査装置の概略構成を示している。図２は画像信号
の処理を行う部分の構成を模式的に示している。図３は
検査での演算例を説明するための模式図である。

【０００８】図１において、１１はステージまたは搬送
ベルトを示し、このステージ１１上に検査対象物である
矩形のチップ１２が搭載されている。チップ１２に対し
ては水平面内で３方向から斜光照明が与えられ、その直
上にはＣＣＤカメラ１３が配設されている。ＣＣＤカメ
ラ１３で撮像した画像はコンピュータ１４において信号
処理される。

【０００９】すなわち、コンピュータ１４は、図２に示
すように、ＣＰＵ１５、ＶＲＡＭ１６、ＲＯＭ１７、Ｉ
／Ｏ１８を有して構成されている。そして、コンピュー
タ１４には、これらのＣＰＵ１５等により、座標値算出
手段２１、判定手段２２が構成されている。座標値算出
手段２１は、撮像した画像に基づき、検査対象物である
チップ１２の外形を示す点であって、所定間隔離れて隣
り合う２点の座標を連続して得るものである。例えば、
入力された階調画像を所定のしきい値で２値化し、画像
の外形を得た後、この外形線上の点のＸＹ座標を算出す
る。判定手段２２は、これらの２点間の座標値の差を順
次算出し、この差値に基づきチップ１２の良否を判定す
るものである。例えば、上記座標値算出手段２１で得ら
れた、外形線上で所定間隔離れた２点についてその座標
値に基づいて演算を行い、その差値を得る。そして、こ
の差値を所定の判定値（予め設定しておく）と比較する
ことにより、チップ１２の良否を判定するものである。
なお、このコンピュータ１４で２値化された画像はモニ
タ１９に表示される。

【００１０】図３はモニタ１９に表示される２値画像か
ら外形の良否を判定する場合を示すための図である。こ
の図に示すように、２値化処理されたチップ１２の画像
を示す画素は、ある２次元平面上でＸＹ座標を与えられ
る。この画像の外形線を判断し（エッジを判定し）、外
形線上の各点（画素）Ａ，Ｂ，Ｃの座標を連続して得
る。Ａ点の座標は（Ｘ：１００，Ｙ：１００）、Ｂ点の
座標は（Ｘ：１１０，Ｙ：１０２）、Ｃ点の座標は
（Ｘ：１２０，Ｙ：１１７）である。各点の間隔は例え
ばＸ座標に基づいて等しく得るものとする。そして、こ
れらの点Ａ，Ｂ，Ｃにあって、隣り合う２点の各Ｙ座標
の値について差値を算出する。そして、算出した差値を
判定値と比較する。判定値よりも大きい場合はチップ１
２の外形に異常があるものと判断し、不良品であること
を例えばモニタ１９で表示する。計測した点での全ての
差値が判定値未満である場合は、良品と判定することと
なる。例えば、Ｘ方向の検査は、｜基準Ｙ座標−比較Ｙ
座標｜＞判定値の場合は不良を示す。同様にＹ方向の検
査では、｜基準Ｘ座標−比較Ｘ座標｜＞判定値の場合は
不良を示す。

【００１１】例えば、図示のように、Ａ点とＢ点との座
標の変化率（またＢ点とＣ点とのそれ）を計算する。Ｘ
座標で一定間隔毎に測定点を求めたため、Ｙ座標の値を
比較して、その差を算出する。この差値を判定値（例え
ば１０）と比較することで、チップ１２の良・不良を判
定するものである。すなわち、｜Ａ（１００）−Ｂ（１
０２）｜＝２＜１０（判定値）の場合はＯＫであり、｜
Ｂ（１０２）−Ｃ（１１７）｜＝１５＞１０の場合はＮ
Ｇとなる。このようにすれば、従来の面積計測に比べて
計測点が少なくなり、演算処理も簡易化され、高速で処
理することができる。なお、チップ１２がＸＹ平面で傾
いて載置された場合も、その傾きについて補正演算を行
うことで同様に良否の判定をなすことができる。さらに
は、外形が矩形ではない場合にも外形線上の各点を座標
として表し、その座標の値の変化率に基づいて良否を判
定することもできる。

【００１２】

【発明の効果】この発明によれば、目視検査を廃して、
安定して外形検査を行うことができる。また、その検査
精度を向上させることもできる。さらに、検査スピード
を高めることができる。よって、この装置を製品ライン
に組み込むことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係る外形検査装置を示す
模式図である。

【図２】この発明の一実施例に係る外形検査装置のコン
ピュータの概略構成を示すブロック図である。

【図３】この発明の一実施例に係る外形検査の演算方法
を説明する模式図である。

【符号の説明】

１２ チップ（検査対象物）、 １３ ＣＣＤカメラ（撮像手段）、 ２１ 座標値算出手段、 ２２ 判定手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物を撮像する撮像手段と、 撮像した画像に基づき、検査対象物の外形を示す点の座
   標を得る座標値算出手段と、 この外形を示す点で所定間隔離れた２点間の座標値の差
   を算出し、この差値に基づき検査対象物の良否を判定す
   る判定手段と、を備えた外形検査装置。