JPH09115708A - Electromagnetic wave absorbers and packages - Google Patents
Electromagnetic wave absorbers and packagesInfo
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- JPH09115708A JPH09115708A JP7267269A JP26726995A JPH09115708A JP H09115708 A JPH09115708 A JP H09115708A JP 7267269 A JP7267269 A JP 7267269A JP 26726995 A JP26726995 A JP 26726995A JP H09115708 A JPH09115708 A JP H09115708A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】数十ＧＨｚの高周波でも電磁波吸収効果を示す
電磁波吸収材を得て、上記高周波においてキャビティ共
振が抑制できるパッケージを得る。
【解決手段】磁性体からなる粒子３が少なくとも１個以
上集り構成された集合体２であり、上記粒子３が１種類
以上の六方晶フェライトからなる電磁波吸収材１とし、
これをパッケージ６内壁の一部または全部に配す。
(57) [PROBLEMS] To obtain an electromagnetic wave absorber exhibiting an electromagnetic wave absorbing effect even at a high frequency of several tens GHz, and to obtain a package capable of suppressing cavity resonance at the high frequency. SOLUTION: This is an aggregate 2 composed of at least one or more particles 3 made of a magnetic material, and the particles 3 are electromagnetic wave absorbers 1 made of one or more types of hexagonal ferrite.
This is arranged on a part or all of the inner wall of the package 6.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体からなる電
磁波吸収材およびこれを装荷したパッケージに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic wave absorber made of magnetic material and a package loaded with the electromagnetic wave absorber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】マイクロ波ＩＣ素子等を搭載するパッケ
ージでは、パッケージ内のキャビティ寸法により定まる
基本および高次モードに対応する固有の周波数（共振周
波数）においてキャビティ共振が生じ、このキャビティ
共振は搭載回路のこれらの周波数における動作を阻害す
る。キャビティ共振を抑制する方法としては、パッケー
ジ内に磁性体からなる電磁波吸収材を装荷し、共振エネ
ルギを吸収する方法がとられている。将来の通信システ
ムの高速、高周波、広帯域化を考慮した場合には、上記
パッケージには数十ＧＨｚ以上の広帯域性が要求され
る。2. Description of the Related Art In a package on which a microwave IC device or the like is mounted, a cavity resonance occurs at a natural frequency (resonance frequency) corresponding to a fundamental mode and a higher order mode determined by a cavity size in the package. Inhibits operation at these frequencies. As a method of suppressing the cavity resonance, a method of loading an electromagnetic wave absorbing material made of a magnetic material into the package to absorb the resonance energy is used. Considering the high speed, high frequency and wide band of the communication system in the future, the above-mentioned package is required to have a wide band property of several tens GHz or more.
【０００３】磁性体の電磁波吸収効果は磁気損失に起因
し、比透磁率（μr＝μr′−ｊμr″）の虚部μr″によ
って特徴づけられる。すなわちμr″が大きいほど大き
な電磁波吸収効果が得られる。μr″は磁性体が磁気共
鳴を起こす周波数（磁気共鳴周波数）において最大値を
とる。図７に従来電磁波吸収材として使用されてきたＮ
ｉＺｎフェライト−ゴム複合材におけるμr″の周波数
特性を示す。μr″は３ＧＨｚ付近で磁気共鳴により最
大値を示し、１０ＧＨｚ付近でほぼ０となる。これによ
りＮｉＺｎフェライト−ゴム複合材が電磁波吸収材とし
て機能する上限周波数は１０ＧＨｚ付近となる。また、
この電磁波吸収材を装荷したパッケージでは、１０ＧＨ
ｚ以上のキャビティ共振が抑制されないため、搭載回路
の動作を阻害しないで使用できるパッケージの上限周波
数も１０ＧＨｚ付近となる。The electromagnetic wave absorption effect of a magnetic material is caused by magnetic loss and is characterized by the imaginary part μ r ″ of relative permeability (μ r = μ r ′ −j μ r ″). That is, the larger μ r ″ is, the greater the electromagnetic wave absorption effect is obtained. Μ r ″ has the maximum value at the frequency at which the magnetic substance causes magnetic resonance (magnetic resonance frequency). In FIG. 7, N which has been conventionally used as an electromagnetic wave absorber is used.
iZn ferrite - ".μ r showing a frequency characteristic of a" mu r in the rubber composite shows the maximum value by magnetic resonance at around 3 GHz, is substantially zero in the vicinity of 10 GHz. As a result, the upper limit frequency at which the NiZn ferrite-rubber composite material functions as an electromagnetic wave absorber is around 10 GHz. Also,
The package loaded with this electromagnetic wave absorbing material is 10 GH
Since the cavity resonance above z is not suppressed, the upper limit frequency of the package that can be used without hindering the operation of the mounted circuit is also around 10 GHz.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の電
磁波吸収材は、数十ＧＨｚの高周波においては電磁波吸
収効果を示さないという欠点があった。また、上記電磁
波吸収材を装荷した従来のパッケージは、数十ＧＨｚの
高周波においてキャビティ共振を抑制できないという欠
点があった。As described above, the conventional electromagnetic wave absorbing material has a drawback that it does not exhibit an electromagnetic wave absorbing effect at a high frequency of several tens GHz. In addition, the conventional package loaded with the electromagnetic wave absorbing material has a drawback that cavity resonance cannot be suppressed at a high frequency of several tens GHz.
【０００５】本発明は、数十ＧＨｚの高周波でも電磁波
吸収効果を示す電磁波吸収材を得ることを目的とし、ま
た、数十ＧＨｚの高周波において、キャビティ共振を抑
制できるパッケージを得ることを目的とする。An object of the present invention is to obtain an electromagnetic wave absorbing material exhibiting an electromagnetic wave absorbing effect even at a high frequency of several tens GHz, and to obtain a package capable of suppressing cavity resonance at a high frequency of several tens GHz. .
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的は、磁性体から
なる粒子が少なくとも１個以上集まって構成された集合
体であり、上記粒子がそれぞれ１種類以上の六方晶フェ
ライトからなる電磁波吸収材であることにより達成され
る。また、上記磁性体からなる粒子が、上記集合体の中
で、互いに非磁性絶縁体を介して分離しているか、また
は互いに接触した粒子群がそれぞれ非磁性絶縁体を介し
て分離しているか、あるいは互いに接触していることに
より、または、上記粒子は、上記集合体の中の結晶方位
が、等方的であるか、または一方向に配向しているか、
あるいは空間的に分布をもって配向していることにより
達成される。The above-mentioned object is an aggregate composed of at least one or more particles made of a magnetic material, each of which is an electromagnetic wave absorber made of one or more kinds of hexagonal ferrite. It is achieved by being. Further, the particles composed of the magnetic material, in the aggregate, are separated from each other via a non-magnetic insulator, or the particle groups in contact with each other are separated from each other via a non-magnetic insulator, Or by being in contact with each other, or, the particles, the crystal orientation in the aggregate is isotropic, or oriented in one direction,
Alternatively, it is achieved by orienting with a spatial distribution.
【０００７】さらに、他の目的は、上記それぞれに条件
のうちいずれかによる電磁波吸収材を、パッケージを構
成する内壁の一部または全部に配することによって達成
できる。Further, another object can be achieved by disposing the electromagnetic wave absorbing material according to any one of the above conditions on a part or all of the inner wall constituting the package.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明において、磁性体からなる
粒子が電磁波吸収材を構成する集合体の状態を図１に示
す。図１（ａ）は磁性体からなる粒子３が、互いに非磁
性絶縁体５を介して分離した状態で集合体を構成した
図、図１（ｂ）は上記粒子３が互いに接触して粒子群４
を形成し、これらの粒子群４が非磁性絶縁体５を介して
それぞれ分離した集合体を構成した図、図１（ｃ）は上
記粒子３が互いに接触して集合体を構成した図であっ
て、いずれも同様の効果を示す。上記（ａ）に示す電磁
波吸収材は、例えば磁性体からなる粒子を非磁性絶縁体
からなるバインダ中に分散させて作製できる。上記
（ｂ）の電磁波吸収材は、例えば磁性体からなる粒子を
焼結して粒子群を作製し、この粒子群を非磁性絶縁体か
らなるバインダ中に分散させて作製できる。また上記
（ｃ）の電磁波吸収材は、例えば磁性体からなる粒子を
焼結することによって作製できる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, a state of an aggregate in which particles made of a magnetic material constitute an electromagnetic wave absorber is shown in FIG. FIG. 1 (a) is a diagram in which particles 3 made of a magnetic material are separated from each other through a non-magnetic insulator 5 to form an aggregate, and FIG. 1 (b) is a particle group in which the particles 3 are in contact with each other. Four
And a group of particles 4 which are separated from each other through a non-magnetic insulator 5 to form an aggregate, and FIG. 1C is a view of the aggregate in which the particles 3 are in contact with each other. All show similar effects. The electromagnetic wave absorber shown in (a) above can be prepared by dispersing particles made of a magnetic material in a binder made of a non-magnetic insulator. The electromagnetic wave absorber (b) can be produced by, for example, sintering particles made of a magnetic material to produce a particle group, and dispersing the particle group in a binder made of a nonmagnetic insulator. The electromagnetic wave absorber (c) can be produced by, for example, sintering particles made of a magnetic material.
【０００９】つぎに、上記電磁波吸収材における周波数
制御、帯域幅制御、異方性制御等の諸特性について、そ
れぞれ説明する。Next, various characteristics of the electromagnetic wave absorbing material such as frequency control, bandwidth control, anisotropy control and the like will be described respectively.
【００１０】周波数制御 電磁波吸収効果を特徴づけるμr″は磁気共鳴周波数に
おいて最大になるため、電磁波吸収効果を示す周波数は
磁気共鳴周波数によって決まる。本発明による磁性体か
らなる粒子は、それぞれが少なくとも１種類以上の六方
晶フェライトからなる。六方晶フェライトの種類と磁気
共鳴周波数を表１に示す。Frequency control Since the frequency r r "characterizing the electromagnetic wave absorption effect is maximum at the magnetic resonance frequency, the frequency exhibiting the electromagnetic wave absorption effect is determined by the magnetic resonance frequency. Each of the particles made of the magnetic material according to the present invention is at least It is composed of one or more types of hexagonal ferrites, and the types and magnetic resonance frequencies of the hexagonal ferrites are shown in Table 1.
【００１１】[0011]
【表１】 [Table 1]
【００１２】六方晶フェライトは種類によって異なる磁
気共鳴周波数をもち、その分布は数ＧＨｚから約１００
ＧＨｚまでほぼ連続的である。磁性体からなる粒子とし
て数十ＧＨｚ以上の磁性共鳴周波数を示す六方晶フェラ
イトを選ぶことにより、数十ＧＨｚ以上で電磁波吸収効
果を示す電磁波吸収材が実現する。また、六方晶フェラ
イトの種類を変えることにより、磁気共鳴周波数を変化
させることができるため、電磁波吸収材の電磁波吸収効
果を示す周波数を制御することができる。Hexagonal ferrite has different magnetic resonance frequencies depending on the type, and its distribution is from several GHz to about 100.
It is almost continuous up to GHz. By selecting hexagonal ferrite having a magnetic resonance frequency of several tens GHz or higher as the particles made of a magnetic material, an electromagnetic wave absorber exhibiting an electromagnetic wave absorption effect at several tens GHz or higher is realized. Further, since the magnetic resonance frequency can be changed by changing the type of hexagonal ferrite, the frequency showing the electromagnetic wave absorbing effect of the electromagnetic wave absorbing material can be controlled.
【００１３】帯域幅制御 六方晶フェライトは上記のように種類によって異なる磁
気共鳴周波数をもち、その分布は数ＧＨｚから約１００
ＧＨｚまでほぼ連続的であるため、これらを混合させて
電磁波吸収材を構成することにより、電磁波吸収効果を
示す周波数帯域幅を制御することができる。Bandwidth Control Hexagonal ferrite has different magnetic resonance frequencies depending on the type as described above, and its distribution is from several GHz to about 100.
Since it is almost continuous up to GHz, the frequency bandwidth showing the electromagnetic wave absorbing effect can be controlled by mixing these to form the electromagnetic wave absorbing material.
【００１４】本発明の電磁波吸収材における磁性体から
なる粒子３の材料の種類に関する例を図２の（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）に示し六方晶フェライトの種類を模様で
区別し、図１（ａ）に示す形態に対する例のみ示した。
図２（ａ）では磁性体からなる粒子３は、それぞれ１種
類の六方晶フェライトからなり、しかも全粒子は同一種
類の六方晶フェライトからなる。図２（ｂ）では磁性体
からなる粒子３は、それぞれ１種類の六方晶フェライト
からなるが、六方晶フェライトの種類は必ずしも同一で
はない。また、図２（ｃ）では磁性体からなる粒子３
は、それぞれ１種類の六方晶フェライトからなるか、ま
たは複数の六方晶フェライトからなる。An example relating to the type of material of the particles 3 made of a magnetic material in the electromagnetic wave absorber of the present invention is shown in FIG.
Types of hexagonal ferrite shown in (b) and (c) are distinguished by patterns, and only examples for the form shown in FIG. 1 (a) are shown.
In FIG. 2A, each particle 3 made of a magnetic material is made of one type of hexagonal ferrite, and all particles are made of the same type of hexagonal ferrite. In FIG. 2B, each particle 3 made of a magnetic material is made of one type of hexagonal ferrite, but the types of hexagonal ferrite are not necessarily the same. Further, in FIG. 2C, the particles 3 made of a magnetic material are used.
Are each composed of one type of hexagonal ferrite or a plurality of hexagonal ferrites.
【００１５】図２（ａ）に示す電磁波吸収材は、同一種
類の六方晶フェライトからなるため、特定の周波数で電
磁波吸収効果を示す。キャビティ共振の各モードはそれ
ぞれ固有の共振周波数をもつため、これに適合した磁気
共鳴周波数をもつ六方晶フェライトを選ぶことにより、
特定のモードのキャビティ共振を強く抑制することがで
きる。Since the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 2 (a) is made of the same type of hexagonal ferrite, it exhibits an electromagnetic wave absorbing effect at a specific frequency. Since each mode of cavity resonance has its own resonance frequency, by selecting a hexagonal ferrite with a magnetic resonance frequency suitable for this,
Cavity resonance of a specific mode can be strongly suppressed.
【００１６】図２（ｂ）および（ｃ）に示す電磁波吸収
材は、複数種類の六方晶フェライトからなるため、複数
の周波数で電磁波吸収効果を示す。複数のモードのキャ
ビティ共振に適合した磁気共鳴周波数をもつ複数の六方
晶フェライトを選ぶことにより、上記複数モードのキャ
ビティ共振を抑制することができる。また、数種類の六
方晶フェライトから構成することにより、電磁波吸収効
果を示す帯域を切れ目なく広帯域に設定することができ
る。なお、この際、帯域幅を高周波側にのばすには、磁
性体として六方晶フェライトの存在は欠くことができな
いが、低周波側用としては六方晶フェライト以外の磁性
体、例えば従来電磁波吸収材として用いられたＮｉＺｎ
フェライト−ゴム複合体を混成させても、同様の効果を
得ることができる。すなわち、図２（ｂ）および（ｃ）
においては、磁性体の種類として六方晶フェライト以外
の磁性体が混成していてもかまわない。The electromagnetic wave absorbers shown in FIGS. 2 (b) and 2 (c) are composed of plural kinds of hexagonal ferrite and therefore exhibit electromagnetic wave absorption effect at plural frequencies. By selecting a plurality of hexagonal ferrites having magnetic resonance frequencies suitable for cavity resonances of a plurality of modes, the cavity resonances of a plurality of modes can be suppressed. Further, by using several kinds of hexagonal ferrite, the band exhibiting the electromagnetic wave absorption effect can be set to a wide band without interruption. At this time, in order to extend the bandwidth to the high frequency side, the presence of hexagonal ferrite as a magnetic material is indispensable, but for the low frequency side, a magnetic material other than hexagonal ferrite, for example, as a conventional electromagnetic wave absorber. NiZn used
Similar effects can be obtained by mixing the ferrite-rubber composite. That is, FIGS. 2B and 2C.
In the above, as the type of magnetic material, a magnetic material other than hexagonal ferrite may be mixed.
【００１７】図２（ａ）に示す電磁波吸収材は、１種類
の六方晶フェライトからなる粒子を原材料として、また
図２（ｂ）および（ｃ）に示す電磁波吸収材は、１種類
または複数の種類の六方晶フェライトからなる粒子を原
材料として、電磁波吸収材を作製することにより得られ
る。The electromagnetic wave absorber shown in FIG. 2 (a) uses particles of one type of hexagonal ferrite as a raw material, and the electromagnetic wave absorbers shown in FIGS. 2 (b) and 2 (c) have one type or a plurality of types. It can be obtained by producing an electromagnetic wave absorber using particles of hexagonal ferrite of a kind as a raw material.
【００１８】異方性制御 六方晶フェライトは結晶のｃ軸方向を容易軸とする一軸
磁気異方性をもち、ｃ軸方向に対し垂直方向の磁界成分
だけを吸収するため、電磁波の入射方向によって異なっ
た電磁波吸収効果を示す。Anisotropy control Hexagonal ferrite has uniaxial magnetic anisotropy with the c-axis direction of the crystal as the easy axis, and absorbs only the magnetic field component perpendicular to the c-axis direction. It exhibits different electromagnetic wave absorption effects.
【００１９】本発明の電磁波吸収材１における集合体中
の磁性体からなる粒子３の、結晶方位に関する実例を図
３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。図では結晶のｃ軸
方向を両矢印で示している。すなわち図３において、
（ａ）は結晶方位が等方的であり、（ｂ）は一方向に配
向し、（ｃ）は空間的に分布をもって配向している。Examples of the crystal orientation of the particles 3 made of a magnetic material in the aggregate of the electromagnetic wave absorber 1 of the present invention are shown in FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c). In the figure, the c-axis direction of the crystal is indicated by a double-headed arrow. That is, in FIG.
In (a), the crystal orientation is isotropic, (b) is oriented in one direction, and (c) is oriented with a spatial distribution.
【００２０】図３（ａ）のように結晶方位が等方的であ
る場合には、電磁波吸収材は全べての方向から入射する
電磁波に対して同等の電磁波吸収効果を示す。パッケー
ジでは、一般に複数モードのキャビティ共振が生じ、電
磁波の方向や空間分布が複雑になるため、これら全べて
に対応するにはこのように等方性であることが望まし
い。When the crystal orientation is isotropic as shown in FIG. 3 (a), the electromagnetic wave absorbing material exhibits the same electromagnetic wave absorbing effect with respect to electromagnetic waves incident from all directions. In a package, generally, multiple modes of cavity resonance occur, and the directions and spatial distributions of electromagnetic waves are complicated. Therefore, it is desirable that the package is isotropic in order to deal with all of these.
【００２１】図３（ｂ）のように結晶方位が一方向に配
向している場合には、電磁波吸収材は特定の方向から入
射する電磁波に対して電磁波吸収効果を示す。キャビテ
ィ共振の各モードはそれぞれ固有の電磁波の方向、空間
分布をもつため、これらに結晶方位を適合させて電磁波
吸収材を配置することにより、特定モードのキャビティ
共振を強く抑制することができる。また、図３（ｃ）の
ように結晶方位が空間的に分布をもって配向している場
合には、電磁波吸収材は空間的に分布をもった特定の方
向から入射する電磁波に対して電磁波吸収効果を示す。
キャビティ共振の各モードは、それぞれ固有の電磁波の
方向、空間分布をもつため、これらに適合させて結晶方
位の空間分布を持たせた電磁波吸収材を配置することに
より、特定モードのキャビティ共振を強く抑制すること
ができる。When the crystal orientation is oriented in one direction as shown in FIG. 3 (b), the electromagnetic wave absorbing material exhibits an electromagnetic wave absorbing effect with respect to an electromagnetic wave incident from a specific direction. Since each mode of cavity resonance has its own direction and spatial distribution of electromagnetic waves, it is possible to strongly suppress the cavity resonance of a specific mode by arranging the electromagnetic wave absorber with crystal orientations adapted to them. Further, when the crystal orientations are spatially distributed as shown in FIG. 3C, the electromagnetic wave absorber has an electromagnetic wave absorbing effect on electromagnetic waves incident from a specific spatially distributed direction. Indicates.
Since each mode of cavity resonance has its own direction and spatial distribution of electromagnetic waves, it is possible to enhance the cavity resonance of a specific mode by arranging an electromagnetic wave absorber that has a spatial distribution of crystal orientation in accordance with these directions. Can be suppressed.
【００２２】結晶方位を配向させる方法としては、例え
ば磁界中で材料作製を行い磁気異方性の容易軸を磁界方
向に揃える方法があげられる。したがって、この方法を
用いた場合は、図３（ａ）の電磁波吸収材は無磁界中で
作製することにより、図３（ｂ）の電磁波吸収材は配向
させたい方向に一様磁界を印加して作製することによ
り、また図３（ｃ）の電磁波吸収材は空間分布をもたせ
た磁界を印加して作製することにより、それぞれ得るこ
とができる。As a method of orienting the crystal orientation, for example, there is a method of preparing a material in a magnetic field and aligning the easy axis of magnetic anisotropy with the magnetic field direction. Therefore, when this method is used, the electromagnetic wave absorber of FIG. 3 (a) is manufactured in the absence of a magnetic field so that the electromagnetic wave absorber of FIG. 3 (b) applies a uniform magnetic field in the desired orientation. 3C, and the electromagnetic wave absorber of FIG. 3C can be obtained by applying a magnetic field having a spatial distribution.
【００２３】つぎに本発明によるパッケージを図４によ
り説明する。本発明の電磁波吸収材を装荷したパッケー
ジ６は、金属からなるキャビティ構造をなし、２つの入
出力ポート８をもち、内壁の一部または全部に上記の電
磁波吸収材１を配しているが、図では上蓋７の内側全面
に板状の電磁波吸収材１を配した場合について示してい
る。本発明のパッケージでは本発明の電磁波吸収材を適
当に選択することにより、１００ＧＨｚ程度までの特定
の電磁波の方向、空間分布、共振周波数をもつ特定モー
ドのキャビティ共振を強く抑制すること、あるいはあら
ゆる電磁波の方向、空間分布、複数の共振周波数をもつ
複数のモードのキャビティ共振を抑制することが可能で
ある。Next, the package according to the present invention will be described with reference to FIG. The package 6 loaded with the electromagnetic wave absorbing material of the present invention has a cavity structure made of metal, has two input / output ports 8 and has the electromagnetic wave absorbing material 1 arranged on a part or all of the inner wall. In the figure, the case where the plate-shaped electromagnetic wave absorber 1 is arranged on the entire inner surface of the upper lid 7 is shown. In the package of the present invention, by properly selecting the electromagnetic wave absorbing material of the present invention, the cavity resonance of a specific mode having a specific electromagnetic wave direction, spatial distribution, and resonance frequency up to about 100 GHz is strongly suppressed, or any electromagnetic wave. It is possible to suppress the cavity resonance of a plurality of modes having different directions, spatial distributions, and a plurality of resonance frequencies.
【００２４】なお、本発明による電磁波吸収材は、上記
パッケージに用いる以外にも汎用的な電磁波吸収材とし
て利用することができる。The electromagnetic wave absorber according to the present invention can be used as a general-purpose electromagnetic wave absorber other than the above-mentioned package.
【００２５】[0025]
【実施例】つぎに本発明の実施例を図面とともに説明す
る。図５は本発明の電磁波吸収材におけるμr″の周波
数特性を示す図、図６は本発明のパッケージにおけるキ
ャビティ共振の抑制効果を示す図である。磁性体からな
る粒子が集合体中で、互いに非磁性絶縁体を介して分離
している図１（ａ）のタイプとし、磁性体からなる粒子
の材料の種類を、図２（ｂ）の磁性体からなる粒子がそ
れぞれ１種類の六方晶フェライトからなるが、六方晶フ
ェライトの種類は必ずしも同一でないタイプとし、磁性
体からなる粒子の結晶方位を図３（ａ）の磁性体からな
る粒子が集合体の中で、その結晶方位が等方的であるタ
イプとし、表１に示すＮｏ．１からＮｏ．２０の六方晶
フェライトをそれぞれ５％づつ一様に混合した電磁波吸
収材におけるμr″の周波数特性を図５に示す。μr″は
数ＧＨｚから１００ＧＨｚ付近までほぼ一定の値を有
し、この帯域で電磁波吸収効果を示す。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a diagram showing the frequency characteristic of μ r ″ in the electromagnetic wave absorbing material of the present invention, and FIG. 6 is a diagram showing the effect of suppressing cavity resonance in the package of the present invention. 1 (a), which are separated from each other through a non-magnetic insulator, and the type of material of the particles made of magnetic material is the same as that of the particles made of magnetic material of FIG. 2 (b). Although it is made of ferrite, the types of hexagonal ferrite are not necessarily the same type, and the crystal orientation of the particles made of magnetic material is isotropic in the aggregate of the particles made of magnetic material of FIG. 3 (a). 5 shows the frequency characteristic of μ r ″ in the electromagnetic wave absorbing material in which 5% of the hexagonal ferrites of No. 1 to No. 20 shown in Table 1 are uniformly mixed. μ r ″ has a substantially constant value from several GHz to around 100 GHz, and exhibits an electromagnetic wave absorption effect in this band.
【００２６】上記電磁波吸収材を図４に示すパッケージ
と同様に上部蓋の内側全部に配したパッケージにおける
キャビティ共振抑制の状態を図６に示す。電磁波吸収材
は板状でサイズを１５ｍｍ×１５ｍｍ×１ｍｍとした。
パッケージの内寸法は１５ｍｍ×１５ｍｍ×６ｍｍであ
り、２つの入出力ポートはパッケージ内でマイクロスト
リップラインにより接続した。キャビティ共振の抑圧効
果は、一方の入出力ポートから他方のポートへの透過係
数の大きさ｜Ｓ21｜により評価した。図６に示す破線は
電磁波吸収材を装荷していない場合を示し、実線は装荷
した場合を示している。｜Ｓ21｜の急激な減少ピークは
キャビティ共振に対応する。電磁波吸収材を装荷した場
合は１００ＧＨｚ付近まで｜Ｓ21｜の減少ピーク、すな
わちキャビティ共振が抑制されていることがわかる。FIG. 6 shows a state in which the cavity resonance is suppressed in a package in which the electromagnetic wave absorbing material is arranged on the entire inside of the upper lid as in the package shown in FIG. The electromagnetic wave absorber was plate-shaped and had a size of 15 mm × 15 mm × 1 mm.
The internal dimensions of the package were 15 mm × 15 mm × 6 mm, and the two input / output ports were connected by a microstrip line within the package. The effect of suppressing cavity resonance was evaluated by the magnitude of the transmission coefficient | S 21 | from one input / output port to the other. The broken line shown in FIG. 6 shows the case where the electromagnetic wave absorber is not loaded, and the solid line shows the case where it is loaded. The sharp decrease peak of | S 21 | corresponds to the cavity resonance. It can be seen that when the electromagnetic wave absorber is loaded, the decrease peak of | S 21 |, that is, the cavity resonance is suppressed up to around 100 GHz.
【００２７】本発明の電磁波吸収材は数十ＧＨｚの高周
波まで電磁波吸収効果を有することが示され、上記電磁
波吸収材を装荷したパッケージでは数十ＧＨｚの高周波
までキャビティ共振を抑制することができた。It has been shown that the electromagnetic wave absorbing material of the present invention has an electromagnetic wave absorbing effect up to a high frequency of several tens GHz, and the package loaded with the above electromagnetic wave absorbing material can suppress cavity resonance up to a high frequency of several tens GHz. .
【００２８】[0028]
【発明の効果】上記のように本発明による電磁波吸収材
およびパッケージは、磁性体からなる粒子が少なくとも
１個以上集まって構成された集合体であり、上記粒子が
それぞれ１種類以上の六方晶フェライトからなる電磁波
吸収材であり、また上記電磁波吸収材を用いたパッケー
ジであることによって、数十ＧＨｚの高周波でも電磁波
吸収効果を示す電磁波吸収材が実現し、また、数十ＧＨ
ｚの高周波でもキャビティ共振を抑制するパッケージが
実現する。さらに、電磁波吸収効果を示す周波数を制御
した電磁波吸収材が実現し、キャビティ共振を抑制する
周波数を制御したパッケージが実現でき、また、特定の
周波数で強い電磁波吸収効果を示す電磁波吸収材が実現
し、特定モードのキャビティ共振を強く抑制するパッケ
ージが実現できる。As described above, the electromagnetic wave absorber and the package according to the present invention are aggregates composed of at least one or more particles made of a magnetic material, and each of the particles is one or more kinds of hexagonal ferrite. The electromagnetic wave absorber made of, and a package using the above electromagnetic wave absorber realizes an electromagnetic wave absorber exhibiting an electromagnetic wave absorbing effect even at a high frequency of several tens GHz, and several tens of GH.
A package that suppresses cavity resonance even at a high frequency of z is realized. Furthermore, an electromagnetic wave absorber that controls the frequency exhibiting the electromagnetic wave absorption effect has been realized, a package that controls the frequency that suppresses cavity resonance can be realized, and an electromagnetic wave absorber that exhibits a strong electromagnetic wave absorption effect at a specific frequency can be realized. A package that strongly suppresses cavity resonance of a specific mode can be realized.
【００２９】さらにまた、広帯域で電磁波吸収効果を示
す電磁波吸収材が実現し、広帯域でキャビティ共振を抑
制するパッケージを実現でき、また、等方性の電磁波吸
収材が実現し、全てのモードのキャビティ共振を抑制す
るパッケージが実現できた。あるいはまた、一方向の異
方性をもった電磁波吸収材を実現し、特定モードのキャ
ビティ共振を強く抑制するパッケージが実現できる。さ
らに、空間的に分布をもつ異方性の電磁波吸収材が得ら
れ、また、空間的に分布をもつ特定モードのキャビティ
共振を強く抑制するパッケージを実現することができる
という効果が得られる。Furthermore, an electromagnetic wave absorbing material exhibiting an electromagnetic wave absorbing effect in a wide band can be realized, a package for suppressing cavity resonance can be realized in a wide band, and an isotropic electromagnetic wave absorbing material can be realized, and a cavity for all modes can be realized. A package that suppresses resonance was realized. Alternatively, it is possible to realize an electromagnetic wave absorber having unidirectional anisotropy and realize a package that strongly suppresses cavity resonance of a specific mode. Furthermore, an anisotropic electromagnetic wave absorber having a spatial distribution can be obtained, and a package that strongly suppresses a cavity resonance of a specific mode having a spatial distribution can be realized.
【図１】本発明による電磁波吸収材の集合体の形態例を
示す図で、（ａ）は磁性体粒子が非磁性絶縁体を介して
分離した状態を示す図、（ｂ）は磁性体粒子が互いに接
触して粒子群を形成し、粒子群が非磁性絶縁体を介して
分離した状態を示す図、（ｃ）は磁性体粒子が互いに接
触して集合体を構成した状態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a form example of an aggregate of electromagnetic wave absorbing materials according to the present invention, (a) showing a state where magnetic particles are separated via a non-magnetic insulator, and (b) showing magnetic particles. Are in contact with each other to form a particle group, and the particle group is separated via a non-magnetic insulator. (C) is a view showing a state in which magnetic particles are in contact with each other to form an aggregate. is there.
【図２】磁性体粒子の材料の種類に関する例を示す図
で、（ａ）は磁性体粒子が１種類の六方晶フェライトか
らなり、全粒子が同一種類の六方晶フェライトである状
態を示す図、（ｂ）は磁性体粒子が１種類の六方晶フェ
ライトからなるが、六方晶フェライトの種類は必ずしも
同一でない状態を示す図、（ｃ）は磁性体粒子が、それ
ぞれ１種類の六方晶フェライトからなるか、または複数
種の六方晶フェライトからなる状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a material type of magnetic particles, and FIG. 2A is a diagram showing a state where the magnetic particles are made of one type of hexagonal ferrite and all particles are the same type of hexagonal ferrite. , (B) shows that the magnetic particles are composed of one type of hexagonal ferrite, but the type of hexagonal ferrite is not necessarily the same, and (c) shows that the magnetic particles are composed of one type of hexagonal ferrite. It is a figure which shows the state which consists or consists of multiple types of hexagonal ferrite.
【図３】磁性体粒子の結晶方位の例を示す図で、（ａ）
は結晶方位が等方的であり、（ｂ）は一方向に配向し、
（ｃ）は空間的に分布をもって配向している状態をそれ
ぞれ示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of crystal orientation of magnetic particles, (a)
Has an isotropic crystal orientation, (b) is oriented in one direction,
(C) is a figure which respectively shows the state which is oriented with spatial distribution.
【図４】本発明におけるパッケージの実施例を示す図で
ある。FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of a package according to the present invention.
【図５】本発明の電磁波吸収材におけるμr″の周波数
特性を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing frequency characteristics of μ r ″ in the electromagnetic wave absorber of the present invention.
【図６】本発明のパッケージにおけるキャビティ共振の
抑制効果（｜Ｓ21｜の周波数特性）を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an effect of suppressing cavity resonance (frequency characteristic of | S 21 |) in the package of the present invention.
【図７】従来のＮｉＺｎフェライト−ゴム複合体を用い
た電磁波吸収材におけるμr″の周波数特性を示す図で
ある。FIG. 7 is a diagram showing frequency characteristics of μ r ″ in an electromagnetic wave absorber using a conventional NiZn ferrite-rubber composite.
１ 電磁波吸収材 ２ 集合体 ３ 磁性体からなる粒子 ４ 粒子群 ５ 非磁性絶縁体 ６ パッケージ 1 Electromagnetic Wave Absorbing Material 2 Aggregate 3 Particles Made of Magnetic Material 4 Particle Group 5 Non-Magnetic Insulator 6 Package
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石塚 文則 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 岩崎 登 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 久々津 直哉 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Fuminori Ishizuka 1-6, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Noboru Iwasaki 1-6-1, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Naoya Kugitsu 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corporation
Claims (4)
集まって構成された集合体であり、上記粒子がそれぞれ
１種類以上の六方晶フェライトからなる電磁波吸収材。1. An electromagnetic wave absorber comprising at least one or more particles made of a magnetic material, each of which is made of one or more kinds of hexagonal ferrite.
で、互いに非磁性絶縁体を介して分離しているか、また
は互いに接触した粒子群が非磁性絶縁体を介してそれぞ
れ分離しているか、あるいは互いに接触していることを
特徴とする請求項１記載の電磁波吸収材。2. The particles made of the magnetic material are separated from each other in the aggregate through a non-magnetic insulator, or particles in contact with each other are separated from each other in the non-magnetic insulator. The electromagnetic wave absorbing materials according to claim 1, wherein the electromagnetic wave absorbing materials are in contact with each other.
における結晶方位が、等方的であるか、または一方向に
配向しているか、あるいは空間的に分布をもって配向し
ていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の
電磁波吸収材。3. The crystal grains of the magnetic material are isotropic, unidirectionally oriented, or spatially distributed in the aggregate. The electromagnetic wave absorbing material according to claim 1 or 2, which is characterized in that.
部に、上記請求項１から上記請求項３のいずれかに記載
した電磁波吸収材を配したパッケージ。4. A package in which the electromagnetic wave absorber according to any one of claims 1 to 3 is arranged on a part or all of an inner wall forming the package.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7267269A JPH09115708A (en) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | Electromagnetic wave absorbers and packages |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09115708A true JPH09115708A (en) | 1997-05-02 |
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ID=17442500
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| JP7267269A Pending JPH09115708A (en) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | Electromagnetic wave absorbers and packages |
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|---|---|
| JP (1) | JPH09115708A (en) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11112183A (en) * | 1992-04-22 | 1999-04-23 | Ten Kk | Electronic wave absorption structure and printed circuit board of various articles |
| WO2001073842A1 (en) * | 2000-03-29 | 2001-10-04 | Infineon Technologies Ag | Housing for an electronic component |
| JP2003078277A (en) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Kyocera Corp | Electromagnetic wave absorber |
| WO2004086837A1 (en) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, article with electromagnetic noise suppression function, and their manufacturing methods |
| WO2005081609A1 (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic wave noise suppressor, structural body with electromagnetic wave noise suppressing function, and process for producing them |
| JP2005268736A (en) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Kagawa Prefecture | Electromagnetic wave absorbing material for high frequency band using iron oxide content waste |
| JP2007250938A (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | IC chip mounting module and IC chip mounting method |
| CN100388873C (en) * | 2003-03-25 | 2008-05-14 | 信越聚合物株式会社 | Electromagnetic wave noise suppression body, article with electromagnetic wave noise suppression function, and manufacturing method thereof |
| JP2008546169A (en) * | 2005-05-14 | 2008-12-18 | フォルシュングスツェントルム カールスルーエ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Device for attenuating reflections of electromagnetic waves, method for manufacturing the device, and use of the device |
| JP2010077198A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Resin composition |
| JP2018056492A (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | マクセルホールディングス株式会社 | Radio wave absorption sheet |
| JP2019054059A (en) * | 2017-09-13 | 2019-04-04 | 株式会社東芝 | Semiconductor device |
| WO2019235539A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | マクセルホールディングス株式会社 | Electromagnetic wave absorber and electromagnetic wave absorber composition |
| JPWO2020230708A1 (en) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | ||
| JPWO2020230709A1 (en) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | ||
| JPWO2019065252A1 (en) * | 2017-09-29 | 2020-11-19 | マクセルホールディングス株式会社 | Composition for electromagnetic wave absorber and electromagnetic wave absorber |
| US12160984B2 (en) | 2019-05-14 | 2024-12-03 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber |
| US12260977B2 (en) | 2018-08-28 | 2025-03-25 | Fujifilm Corporation | Powder of magnetoplumbite-type hexagonal ferrite, method for producing the same, and radio wave absorber |
| US12274042B2 (en) | 2019-05-14 | 2025-04-08 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber and compound |
| US12426224B2 (en) | 2019-08-09 | 2025-09-23 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorbing composition and radio wave absorber |
-
1995
- 1995-10-16 JP JP7267269A patent/JPH09115708A/en active Pending
Cited By (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11112183A (en) * | 1992-04-22 | 1999-04-23 | Ten Kk | Electronic wave absorption structure and printed circuit board of various articles |
| WO2001073842A1 (en) * | 2000-03-29 | 2001-10-04 | Infineon Technologies Ag | Housing for an electronic component |
| JP2003078277A (en) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Kyocera Corp | Electromagnetic wave absorber |
| CN100388873C (en) * | 2003-03-25 | 2008-05-14 | 信越聚合物株式会社 | Electromagnetic wave noise suppression body, article with electromagnetic wave noise suppression function, and manufacturing method thereof |
| WO2004086837A1 (en) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, article with electromagnetic noise suppression function, and their manufacturing methods |
| US7887911B2 (en) | 2003-03-25 | 2011-02-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, article with electromagnetic noise suppressing function and their manufacturing methods |
| US7625633B2 (en) | 2003-03-25 | 2009-12-01 | Shin-Etsu Polymer., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, article with electromagnetic noise suppressing function, and their manufacturing methods |
| US8017255B2 (en) | 2004-02-24 | 2011-09-13 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, structure with electromagnetic noise suppressing function, and method of manufacturing the same |
| CN100455178C (en) * | 2004-02-24 | 2009-01-21 | 信越聚合物株式会社 | Electromagnetic wave noise suppression body, structure having electromagnetic wave noise suppression function, and manufacturing method thereof |
| US7625640B2 (en) | 2004-02-24 | 2009-12-01 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic noise suppressor, structure with electromagnetic noise suppressing function, and method of manufacturing the same |
| WO2005081609A1 (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Electromagnetic wave noise suppressor, structural body with electromagnetic wave noise suppressing function, and process for producing them |
| JP2005268736A (en) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Kagawa Prefecture | Electromagnetic wave absorbing material for high frequency band using iron oxide content waste |
| JP2008546169A (en) * | 2005-05-14 | 2008-12-18 | フォルシュングスツェントルム カールスルーエ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Device for attenuating reflections of electromagnetic waves, method for manufacturing the device, and use of the device |
| JP2007250938A (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | IC chip mounting module and IC chip mounting method |
| JP2010077198A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Resin composition |
| JP2018056492A (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | マクセルホールディングス株式会社 | Radio wave absorption sheet |
| JP2019054059A (en) * | 2017-09-13 | 2019-04-04 | 株式会社東芝 | Semiconductor device |
| JP2023067902A (en) * | 2017-09-29 | 2023-05-16 | マクセル株式会社 | Electromagnetic wave absorber composition and electromagnetic wave absorber |
| JPWO2019065252A1 (en) * | 2017-09-29 | 2020-11-19 | マクセルホールディングス株式会社 | Composition for electromagnetic wave absorber and electromagnetic wave absorber |
| US11587705B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-02-21 | Maxell, Ltd. | Electromagnetic wave absorbing composition and electromagnetic wave absorbing body |
| JPWO2019235539A1 (en) * | 2018-06-08 | 2021-07-08 | マクセルホールディングス株式会社 | Electromagnetic wave absorber and composition for electromagnetic wave absorber |
| WO2019235539A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | マクセルホールディングス株式会社 | Electromagnetic wave absorber and electromagnetic wave absorber composition |
| US12260977B2 (en) | 2018-08-28 | 2025-03-25 | Fujifilm Corporation | Powder of magnetoplumbite-type hexagonal ferrite, method for producing the same, and radio wave absorber |
| JPWO2020230708A1 (en) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | ||
| JPWO2020230709A1 (en) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | ||
| US12142834B2 (en) | 2019-05-14 | 2024-11-12 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber |
| US12160984B2 (en) | 2019-05-14 | 2024-12-03 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber |
| US12272875B2 (en) | 2019-05-14 | 2025-04-08 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber |
| US12274042B2 (en) | 2019-05-14 | 2025-04-08 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorber and compound |
| US12426224B2 (en) | 2019-08-09 | 2025-09-23 | Fujifilm Corporation | Radio wave absorbing composition and radio wave absorber |
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