JPH09117775A

JPH09117775A - フッ素およびアンモニア態窒素を含有する廃液の処理方法

Info

Publication number: JPH09117775A
Application number: JP29731495A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Furuse; 正幸古瀬; Hideji Ochi; 秀治越智
Original assignee: SHINRIYOU KK
Current assignee: SHINRIYOU KK
Priority date: 1995-10-23
Filing date: 1995-10-23
Publication date: 1997-05-06

Abstract

(57)【要約】【課題】アンモニア態窒素を含有する廃液またはフッ素
およびアンモニア態窒素を含有する廃液を、常温付近で
操作が可能で、且つ、アンモニウム化合物またはフッ素
およびアンモニウム化合物を固形分として沈澱させ、処
理後の廃液の後処理が不要な処理方法。【解決手段】廃液に、ｐＨ７以下で、燐酸マグネシウム
および硫酸アルミニウムを添加混合する窒素処理工程お
よび得られる混合物に水酸化カルシウムを添加混合して
ｐＨ５以上とし、生成した固形物を分離除去する中和除
去工程を行うこと。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アンモニア態窒素
またはフッ素およびアンモニア態窒素を含有する廃液の
処理方法に関する。更に詳しくは、半導体製造工程から
の廃水の処理に適した、操作が簡単で有効な廃液の処理
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造の工程では、フッ化アンモニ
ウムとフッ化水素酸を主成分とするエッチング液（バッ
ファ−ドフッ酸）が使用されている。このエッチング液
は、使用後は、高濃度のフッ素とアンモニアを含有する
廃水となる。フッ素については、水酸化カルシウムなど
のカルシウム塩と反応させ、フッ化カルシウムとして除
去する方法が採られている。しかし、最も一般的に使用
される水酸化カルシウムでは、フッ化アンモニウム含有
廃液の場合、７０℃以上に加熱しないと反応が充分進行
せず、排出基準値以下まで除去するにはアルカリ性にす
る必要があるが、この場合アンモニアガスの発生を伴
い、作業環境上の問題あるいは吸収塔を設置する必要が
あった。

【０００３】また、フッ素除去を行った排水は、なおア
ンモニア分を多量に含有しており、窒素の排出規制値
（日間最大１２０ｍｇ／ｌ、日間平均６０ｍｇ／ｌ以
下）内に処理するためには、別途アンモニウム分の除去
を必要とする。一般にアンモニウムの除去は生物化学的
脱窒法、アンモニア放散法、塩素処理法などがある。

【０００４】生物化学的脱窒法は、硝化工程と脱窒工程
に分けられ、亜硝酸菌および硝酸菌によりアンモニアを
亜硝酸または硝酸態窒素に酸化した後、脱窒菌で窒素ガ
スへ還元する方法である。この方法は微生物反応であ
り、運転上の変動因子に対し不安定な面があるうえ、設
備的に広い用地面積を必要するなどの欠点がある。

【０００５】アンモニア放散法は、アルカリ性下大量の
空気を吹き込んで、アンモニアガスを放散させる方法で
あるが、アンモニア除去率が低く放散ガスの処理が必要
であるなどの問題点がある。

【０００６】塩素処理法は、アンモニアを塩素により分
解して窒素ガスとする方法であるが、分解にはアンモニ
ア分の１０倍程度の塩素量を必要とし、高濃度アンモニ
ア分の処理には不適当である。その他、窒素処理を目的
とはしていないが、分析化学上は、燐酸イオンの定量分
析において、燐酸を含む溶液に既知量の硫酸マグネシウ
ムとアンモニアを添加し、燐酸アンモニウムマグネシウ
ム塩として沈殿させる方法が知られている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる現状
に鑑み、アンモニア態窒素を含有する廃液またはフッ素
およびアンモニア態窒素を含有する廃液を、常温付近で
操作が可能で、且つ、アンモニウム化合物またはフッ素
およびアンモニウム化合物を固形分として沈澱させ、処
理後の廃液の後処理が不要な処理方法を提供することを
目的として鋭意検討した結果、廃液中のアンモニア態窒
素化合物および／またはフッ素化合物を、特定の手順で
処理することにより、それぞれ、水に難溶性のリン酸ア
ンモニウムマグネシウム塩（ＭｇＮＨ₄ＰＯ₄）および
／またはフッ化カルシウムに変換、固定して無害化で
き、煩瑣な廃液の後処理が不要であることを見出し、本
発明を完成するに到った。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
には、ａ）フッ素およびアンモニア態窒素を含有する廃液に、
ｐＨ７以下で、硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウム
および硫酸アルミニウムを添加混合するフッ素処理工程
および得られる混合物に水酸化カルシウムを添加混合し
てｐＨ５〜７とし、生成した固形物を分離除去する中和
除去工程を行った後、得られる廃液に酸を加えてｐＨ３
以下とし、燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミニウムを
添加混合する窒素処理工程および得られる混合物に水酸
化カルシウムを添加混合してｐＨ８以上とし、生成した
固形物を分離除去する中和除去工程を行うことを特徴と
するフッ素およびアンモニア態窒素を含有する廃液の処
理方法、ｂ）アンモニア態窒素を含有する廃液またはフッ素およ
びアンモニア態窒素を含有する廃液に、ｐＨ７以下で、
燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミニウムを添加混合す
る窒素処理工程および得られる混合物に水酸化カルシウ
ムを添加混合してｐＨ５〜７とし、生成した固形物を分
離除去する中和除去工程を行った後、得られる廃液に酸
を加えてｐＨ３以下とし、燐酸マグネシウムおよび硫酸
アルミニウムを添加混合する窒素処理工程および得られ
る混合物に水酸化カルシウムを添加混合してｐＨ８以上
とし、生成した固形物を分離除去する中和除去工程を行
うことを特徴とするフッ素およびアンモニア態窒素を含
有する廃液の処理方法、またはｃ）アンモニア態窒素を含有する廃液に、ｐＨ３以下
で、燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミニウムを添加混
合する窒素処理工程および得られる混合物に水酸化カル
シウムを添加混合してｐＨ８以上とし、生成した固形物
を分離除去する中和除去工程を行うことを特徴とするア
ンモニア態窒素を含有する廃液の処理方法によることが
できる。

【０００９】

【発明の実施の態様】以下、本発明の実施の態様を詳細
に説明する。本発明方法は、水に可溶性のアンモニア態
窒素化合物を含む廃液または水に可溶性のフッ素化合物
および水に可溶性のアンモニア態窒素化合物を含む廃液
を、処理の対象とする。具体的には、前者の例として
は、化学工場等で製造あるいは副製されるアンモニア
水、硫酸アンモニウムなどを含む廃液が、また、後者の
例としては、半導体製造工程で使用されたバッファ−ド
フッ酸などが挙げられるが、これら例示したもののみに
限定されるものではない。

【００１０】本発明方法を構成する単位工程には、窒素
処理工程、フッ素処理工程および中和除去工程がある。
しかして、窒素処理工程またはフッ素処理工程を行った
後には、中和除去工程を行い、廃液からのアンモニア態
窒素化合物またはフッ素化合物の除去が完結する。もち
ろん、アンモニア態窒素および／またはフッ素を高濃度
で含有する廃液（以下、高濃度廃液という。）を処理す
る際は、これらの工程の組み合わせを、１次処理、２次
処理あるいはさらに高次の処理として、繰り返し行うこ
ともできる。高濃度廃液の場合は、１次処理としてフッ
素処理工程と中和除去工程を実施し、２次処理として、
窒素処理工程と中和除去工程を実施する方が、沈殿物の
生成量が少なくなり工業的に好ましい。

【００１１】本発明の窒素処理工程では、処理液中に溶
存する可溶性のアンモニア態窒素化合物を、難溶性のリ
ン酸アンモニウムマグネシウム塩（ＭｇＮＨ₄ＰＯ₄）
に変換する処理を行う。また、この変換には、燐酸マグ
ネシウムの添加混合および所定の処理条件の選択が必要
である。この変換の際の反応は、化学式で表わすと、例
えばアンモニア態窒素化合物がフッ化アンモニウムの場
合には、次に示す通りである。２ＮＨ₄Ｆ＋Ｍｇ₃（ＰＯ₄）₂＝２ＭｇＮＨ₄ＰＯ₄＋ＭｇＦ₂ ２ＮＨ₄Ｆ＋３ＭｇＨＰＯ₄＝２ＭｇＮＨ₄ＰＯ₄＋ＭｇＦ₂＋Ｈ₃ＰＯ₄

【００１２】すなわち、処理液中のアンモニア態窒素化
合物がフッ化アンモニウムの場合には、燐酸マグネシウ
ム中の３原子のマグネシウムのうち１原子が、フッ素と
結合して難溶性のフッ化マグネシウムを生成するので、
窒素処理と同時にフッ素処理を行うのに有効である。処
理剤の燐酸マグネシウムは、その一部または全部を、燐
酸および燐酸塩以外のマグネシウム化合物、例えば水酸
化マグネシウム、硫酸マグネシウム、またはその他のマ
グネシウム塩の形で添加し、この窒素処理工程で燐酸マ
グネシウムを生成しつつ処理することも可能である。む
しろ、この燐酸マグネシウムを生成しながら処理する態
様の方が、発熱を伴い反応性も良く、且つコスト的にも
有利である。

【００１３】この工程の処理条件の選択で重要なこと
は、処理時にｐＨ７以下、好ましくはｐＨ３以下の酸性
に保つことである。これによって処理効果を確保するこ
とができる。また、処理剤の添加量は、上記反応式から
も明らかなように、化学量論的には、アンモニア態窒素
１原子に対して燐酸マグネシウム１／２モルであるが、
反応率を考慮すると当量以上、１．０〜１．２当量の使
用が好ましい。添加量が少なすぎると排水規制値の達成
が困難になり、多すぎると残渣量が増加し、それに伴う
残渣処理費用を含めたコスト高となるので、好ましくな
い。

【００１４】上記処理剤の添加は、処理液を撹拌しつつ
粉末を直接添加してもよく、水との懸濁状態で添加して
も良い。添加する方式は、一度に全量添加する方式、分
割して逐次添加する方式、連続的に添加する方式などい
ずれの方式であってもよい。添加する際の温度条件は、
常温でも若干加温した状態のいずれであってもよい。添
加する際の圧力は、常圧とするのがよい。

【００１５】窒素処理工程では、生成する難溶性塩の凝
集効果を向上させる目的で、硫酸アルミニウムを添加混
合する。硫酸アルミニウムは粉末を直接添加してもよ
く、これを水に溶解した水溶液として添加してもよい。
添加時は撹拌しつつ添加するのがよい。添加する硫酸ア
ルミニウムの量は、処理水に対し０．５％以上、好まし
くは１〜３％が好ましい。硫酸アルミニウムを添加する
際の温度は、常温でも、若干加温した状態のいづれであ
ってもよい。圧力は常圧が好ましい。

【００１６】窒素処理工程に続く中和除去工程は、窒素
処理によって生成した難溶性塩を、十分凝集した後、処
理液に水酸化カルシウムを添加してｐＨ８以上、好まし
くはｐＨ８〜１０、さらに好ましくはｐＨ８〜９で十分
混合し、固形物を分離除去することによって行われる。
混合時のｐＨが低すぎると、処理効率が悪くなり、また
高すぎると、排水規制値を達成できなくなる。しかし、
窒素処理および中和除去を繰り返して行う場合は、最初
の中和除去においては、混合時のｐＨは５以上とする。
好ましくはｐＨは５〜７とするのがよい。それは、アン
モニア臭の発生を防止することが容易だからである。な
お、１次処理で十分窒素除去されている場合は、ｐＨ８
以上とすることも可能である。水酸化カルシウムは、上
記窒素処理後の酸性の廃液を、中性または弱アルカリ性
になるように中和する機能を果す。廃液を中和すること
により、固液分離装置の腐食の問題、処理終了後の処理
水を廃棄する際の排水基準の問題を解消することができ
る。

【００１７】本発明のフッ素処理工程では、処理液中に
溶存する可溶性のフッ素化合物を、難溶性のフッ化カル
シウムまたはフッ化マグネシウム塩に変換する処理を行
う。また、この変換には、硫酸カルシウムまたは硫酸マ
グネシウムの添加混合および所定の処理条件の選択が必
要である。この変換の際の反応は、化学式で表すと、例
えばフッ素化合物がフッ化アンモニウムの場合には、次
に示す通りである。２ＮＨ₄Ｆ＋ＣａＳＯ₄＝ＣａＦ₂＋（ＮＨ₄）₂ＳＯ₄ ２ＮＨ₄Ｆ＋ＭｇＳＯ₄＝ＭｇＦ₂＋（ＮＨ₄）₂ＳＯ₄

【００１８】すなわち、硫酸カルシウムまたは硫酸マグ
ネシウムはフッ化アンモニウムと反応して、難溶性のフ
ッ化カルシウムまたはフッ化マグネシウムを生成させ
る。アンモニウムはこの場合硫酸アンモニウムとして溶
解して存在する。アンモニウム化合物のみの場合は、硫
酸カルシウムまたは硫酸マグネシウムの添加は不要であ
る。また、処理剤の硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシ
ウムは、その一部または全部を、硫酸および硫酸塩以外
のカルシウムまたはマグネシウムの化合物、例えば水酸
化カルシウムまたは水酸化マグネシウムの形で添加し、
このフッ素処理工程で硫酸カルシウムまたは硫酸マグネ
シウムを生成しつつ、処理することも可能である。

【００１９】この工程の処理条件の選択で重要なこと
は、処理時にｐＨ７以下、好ましくはｐＨ３以下の酸性
に保つことである。これによって処理効果を確保するこ
とができる。また、処理剤の添加量は、上記反応式から
も明らかなように、化学量論的には、フッ素１原子に対
して硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウム１／２モル
であるが、反応率を考慮すると当量以上、１．０〜１．
２当量の使用が好ましい。添加量が少なすぎると排水規
制値の達成が困難になり、多すぎると残渣量が増加し、
それに伴う残渣処理費用を含めたコスト高となるので、
好ましくない。

【００２０】上記処理剤の添加は、処理液を撹拌しつつ
粉末を直接添加してもよく、水との懸濁状態で添加して
も良い。添加する方式は、一度に全量添加する方式、分
割して逐次添加する方式、連続的に添加する方式などい
ずれの方式であってもよい。添加する際の温度条件は、
常温でも若干加温した状態のいずれであってもよい。添
加する際の圧力は、常圧とするのがよい。

【００２１】フッ素処理工程では、生成する難溶性塩の
凝集効果を向上させる目的で、硫酸アルミニウムを添加
混合する。硫酸アルミニウムは粉末を直接添加してもよ
く、これを水に溶解した水溶液として添加してもよい。
添加時は撹拌しつつ添加するのがよい。添加する硫酸ア
ルミニウムの量は、処理水に対し０．５％以上、好まし
くは１〜３％が好ましい。硫酸アルミニウムを添加する
際の温度は、常温でも、若干加温した状態のいづれであ
ってもよい。圧力は常圧が好ましい。

【００２２】フッ素処理工程に続く中和除去工程は、フ
ッ素処理によって生成した難溶性塩を、十分凝集した
後、処理液に水酸化カルシウムを添加してｐＨ５〜７、
好ましくはｐＨ６〜７で十分混合し、固形物を分離除去
することによって行われる。混合時のｐＨが低すぎる
と、処理効率が悪くなり、また高すぎると、アンモニア
臭を発生させることとなる。水酸化カルシウムは、上記
フッ素処理後の酸性の廃液を、中性または弱アルカリ性
になるように中和する機能を果す。廃液を中和すること
により、固液分離装置の腐食の問題、処理終了後の処理
水を廃棄する際の排水基準の問題を解消することができ
る。

【００２３】処理水を２次処理またはさらに高次の処理
に付す場合には、２次処理などの窒素処理工程またはフ
ッ素処理工程を実施する前に、１次処理など直前の中和
除去工程で固形物を分離して得られる廃液に、酸を加え
てｐＨ３以下、好ましくはｐＨ１〜２とする。添加する
酸としては、燐酸、硫酸、塩酸が挙げられるが、処理効
果上からは燐酸が好ましい。酸性化を行わずに２次処理
を実施すると、沈澱発生量が少なく、処理効果が思わし
くない。この酸性化によって、水酸化カルシウムの中和
量の増大をはかるものである。

【００２４】また、上記酸性化に燐酸を使用した場合
は、引続いて行われる２次処理などの窒素処理工程で
は、燐酸マグネシウムの代わりに、水酸化マグネシウ
ム、硫酸マグネシウムなどのマグネシウム化合物を使用
するのが、経済的に好ましい。窒素処理工程での、難溶
性のリン酸アンモニウムマグネシウム塩への変換反応
は、化学式で表わすと、例えばマグネシウム化合物が水
酸化マグネシウムの場合には、次に示す通りである。ＮＨ₃＋Ｍｇ（ＯＨ）₂＋Ｈ₃ＰＯ₄＝ＭｇＮＨ₄ＰＯ₄＋２Ｈ₂Ｏ

【００２５】また、処理剤の添加量は、上記反応式から
も明らかなように、化学量論的には、アンモニア態窒素
１原子に対してマグネシウム化合物も燐酸も１モルであ
るが、反応率を考慮すると当量以上、１．０〜１．２当
量の使用が好ましい。添加量が少なすぎると排水規制値
の達成が困難になり、多すぎると残渣量が増加し、それ
に伴う残渣処理費用を含めたコスト高となるので、好ま
しくない。

【００２６】

【発明の効果】本発明方法は、次の様な特別に顕著な効
果を奏し、その産業上の利用価値は極めて大である。１．本発明方法による時は、バッファ−ドフッ酸化合物
を含有する廃液を、常温付近で処理することができる。２．本発明方法による時は、アンモニア態窒素を含有す
る廃液を短時間で無害な固形分として沈殿させ回収する
ことができる。

【００２７】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の記載
例に限られるものではない。

【００２８】なお、以下の例において、廃液、処理液の
分析は、次の手法に従った。すなわち、フッ素について
は、試料をＪＩＳＫ０１０２によって蒸留したあと、
フッ素イオンメ−タ（東亜電波社製）によって測定し
た。また、アンモニアについては、陽イオンクロマトカ
ラム（ＣＳ１２）を使用し、イオンクロマト（ＤＩＯＮ
ＥＸ社製）によって測定した。

【００２９】［実施例１］硫酸アンモニウム廃液（硫酸
アンモニウム１１．９重量％）５０ｍｌに、水２５ｍｌ
を加え混合後、燐酸マグネシウム３６ｇを加え、次に硫
酸アルミニウム３ｇを添加し（ｐＨ３．９）、３０分撹
拌混合後、水酸化カルシウムを加えＰＨを９に調節し
た。引続き１時間撹拌を継続したあと、濾過し固液分離
して得られた処理水につきアンモニア分析を行ったとこ
ろ、１１４ｐｐｍであった。（窒素として８９ｐｐｍ）

【００３０】［実施例２］（１次処理）半導体工場で使用されたアンモニア化合物
を含む廃液（フッ酸５．１重量％、フッ化アンモニウム
２３．２重量％）１００ｍｌに水２００ｍｌを加え混合
後、で硫酸カルシウム９１．１ｇを添加し、次に硫酸ア
ルミニウム３ｇを加え（ｐＨ１．５）３０分撹拌混合
後、水酸化カルシウムを加えＰＨを７に調節した。引続
き１時間撹拌を継続したあと、濾過し固液分離して得ら
れた処理水のフッ素およびアンモニアの分析を行ったと
ころ、それぞれ４５ｐｐｍおよび３．７９重量％であっ
た。

【００３１】（２次処理）１次処理水５０ｍｌに水５０
ｍｌを加え、４８％硫酸を添加しこの液のＰＨを１に調
節したあと、燐酸マグネシウム２５．８ｇを添加し、次
に硫酸アルミニウム３ｇを加え、３０分撹拌後、水酸化
カルシウムを加えＰＨを９に調節した。引続き１時間撹
拌を継続したあと、濾過し固液分離して得られた処理水
のフッ素およびアンモニア分析を行ったところ、それぞ
れ５ｐｐｍおよび２５７ｐｐｍであった。

【００３２】［実施例３］（１次処理）実施例２に記載の例に同じ。

【００３３】（２次処理）実施例２の１次処理水５０ｍ
ｌに水５０ｍｌを加え、燐酸を添加しこの液のＰＨを１
に調節したあと、燐酸マグネシウム２５．８ｇを添加
し、次に硫酸アルミニウム３ｇを加え、３０分撹拌後、
水酸化カルシウムを加えＰＨを９に調節した。引続き１
時間撹拌を継続したあと、濾過し固液分離して得られた
処理水のアンモニア濃度は１０７ｐｐｍであった。ま
た、この処理水のフッ素濃度は３．５ｐｐｍでリン濃度
は７．３ｐｐｍであった。

【００３４】［実施例４］（１次処理）実施例２に記載の例に同じ。

【００３５】（２次処理）実施例２の１次処理水５０ｍ
ｌに、水５０ｍｌを加え、燐酸１４．５ｇと水酸化マグ
ネシウム１１ｇを添加し、硫酸アルミニウム３ｇを加え
（ｐＨ５．０）、３０分撹拌後、水酸化カルシウムを加
えＰＨを９に調節した。引続き１時間撹拌を継続したあ
と、濾過し固液分離して得られた処理水のアンモニア濃
度１０３ｐｐｍであった。この処理水のフッ素濃度は
３．５ｐｐｍでリン濃度は６．５ｐｐｍであった。

【００３６】［実施例５］（１次処理）実施例２で使用したのと同じ廃液１００ｍ
ｌに、水３５０ｍｌを加え混合後、硫酸カルシウム９
１．１ｇ、燐酸マグネシウム１５３ｇ、および硫酸アル
ミニウム１３．５ｇをそれぞれ添加し（ｐＨ５．１）３
０分撹拌後、水酸化カルシウムを加えＰＨを９に調節し
た。１時間撹拌後濾過して固液分離して得られた処理水
の、フッ素濃度およびアンモニア濃度はそれぞれ２０ｐ
ｐｍ、１７９０ｐｐｍであった。

【００３７】（２次処理）１次処理水１００ｍｌに、水
１００ｍｌを加え混合後、燐酸を添加しこの液のＰＨを
１に調節したあと、燐酸マグネシウム２．４ｇおよび硫
酸アルミニウム６ｇを添加し３０分撹拌後、水酸化カル
シウム加えＰＨを９に調節した。１時間撹拌後濾過して
固液分離して得られた処理水のアンモニア濃度は９０ｐ
ｐｍであった。この処理水のフッ素濃度およびリンの濃
度はそれぞれ３ｐｐｍ、５．５ｐｐｍであった。

【００３８】［実施例６］（１次処理）実施例２で使用したのと同じ廃液１００ｍ
ｌに、水２５０ｍｌを加え混合後、燐酸８２．２ｇと水
酸化マグネシウム６２．４ｇおよび硫酸アルミニウム３
ｇを添加し（ｐＨ５．０）３０分撹拌後、水酸化カルシ
ウム加えＰＨを７に調節した。１時間撹拌後濾過して固
液分離して得られた処理水の、フッ素濃度およびアンモ
ニア濃度はそれぞれ２５ｐｐｍ、１．１％であった。

【００３９】（２次処理）１次処理水５０ｍｌに、水５
０ｍｌを加え混合後、燐酸を添加しこの液のＰＨを１に
調節した後、硫酸マグネシウム１１．９ｇ、燐酸マグネ
シウム６．３ｇおよび硫酸アルミニウム３ｇを添加し３
０分撹拌後、水酸化カルシウム加えＰＨを９に調節し
た。１時間撹拌後濾過して得られた処理水のアンモニア
濃度は６０ｐｐｍであった。この処理水のフッ素濃度お
よびリンの濃度はそれぞれ３ｐｐｍおよび７ｐｐｍであ
った。

【００４０】［実施例７］（１次処理）半導体工場で使用されたアンモニア化合物
を含む廃液（フッ酸５．１重量％、フッ化アンモニウム
２３．２重量％）１００ｍｌに、水２５０ｍｌを加え混
合後、燐酸８２．２ｇと水酸化マグネシウム６２．４ｇ
および硫酸アルミニウム３ｇを添加し（ｐＨ５．０）３
０分撹拌後、水酸化カルシウムを加えｐＨ７に調節し
た。１時間撹拌後濾過して固液分離して得られた処理水
の、フッ素濃度は２５ｐｐｍ、アンモニア濃度は１．１
％であった。

【００４１】（２次処理）１次処理水に同容量の水を加
え混合後、燐酸を添加しこの液のｐＨを１に調節した
後、硫酸マグネシウムと硫酸アルミニウムを、混合液１
００ｍｌあたりそれぞれ１１．９ｇと３ｇの割合で、添
加し３０分撹拌後、水酸化カルシウム加えｐＨを９に調
節し、引続き１時間撹拌後濾過して得られた処理水のア
ンモニア濃度は７０ｐｐｍであった。この処理水のフッ
素濃度は３．２ｐｐｍ、リン濃度は６．５ｐｐｍであっ
た。

【００４２】［実施例８］（１次処理）半導体工場で使用されたアンモニア化合物
を含む廃液（フッ酸５．１重量％、フッ化アンモニウム
２４．８重量％）１００ｍｌに、水２５０ｍｌを加え混
合後、燐酸８７．２ｇと水酸化マグネシウムを先に添加
した燐酸と当量添加し、硫酸アルミニウム３．５ｇを加
え（ｐＨ５．０）３０分撹拌後、水酸化カルシウム加え
ＰＨを７に調節し、引続き１時間撹拌後濾過して得られ
た処理水のフッ素濃度は３２ｐｐｍ、アンモニア濃度は
０．８４％であった。

【００４３】（２次処理）１次処理水に同容量の水を加
え混合後、燐酸を添加しこの液のＰＨを１に調節した
後、水酸化マグネシウムを先に添加した燐酸と当量添加
し、硫酸アルミニウムを、混合液１００ｍｌあたり３．
５ｇの割合で、加え３０分撹拌後、水酸化カルシウムを
加えＰＨを９に調節し、引続き１時間撹拌後濾過して得
られた処理水のアンモニア濃度は１１０ｐｐｍであっ
た。この処理水のフッ素濃度は４ｐｐｍ、リン濃度は
３．５ｐｐｍであった。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フッ素およびアンモニア態窒素を含有する
廃液に、ｐＨ７以下で、硫酸カルシウムまたは硫酸マグ
ネシウムおよび硫酸アルミニウムを添加混合するフッ素
処理工程および得られる混合物に水酸化カルシウムを添
加混合してｐＨ５以上とし、生成した固形物を分離除去
する中和除去工程を行った後、得られる廃液に酸を加え
てｐＨ３以下とし、燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミ
ニウムを添加混合する窒素処理工程および得られる混合
物に水酸化カルシウムを添加混合してｐＨ８以上とし、
生成した固形物を分離除去する中和除去工程を行うこと
を特徴とするフッ素およびアンモニア態窒素を含有する
廃液の処理方法。
【請求項２】アンモニア態窒素を含有する廃液またはフ
ッ素およびアンモニア態窒素を含有する廃液に、ｐＨ７
以下で、燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミニウムを添
加混合する窒素処理工程および得られる混合物に水酸化
カルシウムを添加混合してｐＨ５以上とし、生成した固
形物を分離除去する中和除去工程を行った後、得られる
廃液に酸を加えてｐＨ３以下とし、燐酸マグネシウムお
よび硫酸アルミニウムを添加混合する窒素処理工程およ
び得られる混合物に水酸化カルシウムを添加混合してｐ
Ｈ８以上とし、生成した固形物を分離除去する中和除去
工程を行うことを特徴とするフッ素およびアンモニア態
窒素を含有する廃液の処理方法。
【請求項３】上記２回の窒素処理工程の少なくとも一方
において、硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウムも同
時に添加混合することを特徴とする請求項２記載の廃液
の処理方法。
【請求項４】アンモニア態窒素を含有する廃液に、ｐＨ
７以下で、燐酸マグネシウムおよび硫酸アルミニウムを
添加混合する窒素処理工程および得られる混合物に水酸
化カルシウムを添加混合してｐＨ５以上とし、生成した
固形物を分離除去する中和除去工程を行うことを特徴と
するアンモニア態窒素を含有する廃液の処理方法。
【請求項５】上記窒素処理工程における、燐酸マグネシ
ウムの添加量が、廃液中のアンモニア態窒素に対し当量
以上であることを特徴とする請求項１〜４記載の廃液の
処理方法。
【請求項６】上記フッ素処理工程または窒素処理工程に
おける、硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウムの添加
量が、廃液中のフッ素に対し当量以上であることを特徴
とする請求項１または３記載の廃液の処理方法。
【請求項７】上記窒素処理工程において、燐酸マグネシ
ウムの一部または全部が、燐酸および燐酸塩以外のマグ
ネシウム化合物の形で添加されることを特徴とする請求
項１〜４記載の廃液の処理方法。
【請求項８】上記燐酸およびマグネシウム化合物の添加
量は、燐酸マグネシウムがあればその量と合わせると、
廃液中のアンモニア態窒素に対し当量以上であることを
特徴とする請求項７記載の廃液の処理方法。
【請求項９】上記フッ素処理工程または窒素処理工程に
おいて、硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウムの一部
または全部が、硫酸および硫酸塩以外のカルシウムまた
はマグネシウムの化合物の形で添加されることを特徴と
する請求項１または３記載の廃液の処理方法。
【請求項１０】上記カルシウムまたはマグネシウムの化
合物の添加量は、硫酸カルシウムまたは硫酸マグネシウ
ムがあればその量と合わせると、廃液中のフッ素に対し
当量以上であることを特徴とする請求項９記載の廃液の
処理方法。
【請求項１１】上記マグネシウム化合物またはカルシウ
ム化合物が、水酸化マグネシウムまたは水酸化カルシウ
ムであることを特徴とする請求項７〜１０記載の廃液の
処理方法。