JPH09120592A - 成膜装置用マスク及びそれを利用する成膜基板 - Google Patents
成膜装置用マスク及びそれを利用する成膜基板Info
- Publication number
- JPH09120592A JPH09120592A JP27403495A JP27403495A JPH09120592A JP H09120592 A JPH09120592 A JP H09120592A JP 27403495 A JP27403495 A JP 27403495A JP 27403495 A JP27403495 A JP 27403495A JP H09120592 A JPH09120592 A JP H09120592A
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- forming substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光カードを構成する成膜基板の所定領域に成
膜装置により記録膜を形成する際に使用するマスクに関
して、短時間に成膜基板を脱着でき、しかも精度よく高
品質な成膜を行えるようにする。 【解決手段】 マスク板２０に３本のテーパ付きピン２
１を立設し、これに対応するピン孔のある薄型マスク２
２を配置し、その上から同様なピン孔を設けた成膜基板
をセットする。そして、３本のテーパ付きピン２１を立
設したマスク板２０を閉じ、板バネ３２により成膜基板
を背後から押圧する。成膜基板をマスクに取り付けるの
が簡単であり、しかも成膜基板が通常いくらかの反りを
有するために起こる密着不良による記録膜のシャープネ
スの悪化がなくなる。
膜装置により記録膜を形成する際に使用するマスクに関
して、短時間に成膜基板を脱着でき、しかも精度よく高
品質な成膜を行えるようにする。 【解決手段】 マスク板２０に３本のテーパ付きピン２
１を立設し、これに対応するピン孔のある薄型マスク２
２を配置し、その上から同様なピン孔を設けた成膜基板
をセットする。そして、３本のテーパ付きピン２１を立
設したマスク板２０を閉じ、板バネ３２により成膜基板
を背後から押圧する。成膜基板をマスクに取り付けるの
が簡単であり、しかも成膜基板が通常いくらかの反りを
有するために起こる密着不良による記録膜のシャープネ
スの悪化がなくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光カードを構成す
る成膜基板の所定領域に成膜装置により記録膜を形成す
る際に使用するマスクに関する。
る成膜基板の所定領域に成膜装置により記録膜を形成す
る際に使用するマスクに関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】この種の成膜装置とし
てよく知られているものの一つに、コンパクトディスク
の反射膜形成用スパッタリング装置がある。図１にこの
装置で行われている成膜基板の保持方法を示す。同図に
示すように、コンパクトディスクの場合には成膜基板１
そのものに精度の高いセンター孔１ａが開いており、こ
の孔１ａを成膜装置へのセッティング部として利用する
ことが通常行われている。すなわち、成膜装置の回転軸
２に成膜基板１の孔１ａを嵌め込んだ後、一般に磁力で
固定される保持チャック３が回転軸２に取り付けられ
る。これら３者の位置決め精度は高く、保持チャック３
の脱着力も弱くて構わないため、非常に簡単な機構で高
い品質を確保することができる。これに対し、光カード
においてもやはり真空成膜装置を用いて成膜基板に記録
膜を形成するが、コンパクトディスクのような孔が存在
しないため、成膜装置への取付けには工夫が必要であ
る。
てよく知られているものの一つに、コンパクトディスク
の反射膜形成用スパッタリング装置がある。図１にこの
装置で行われている成膜基板の保持方法を示す。同図に
示すように、コンパクトディスクの場合には成膜基板１
そのものに精度の高いセンター孔１ａが開いており、こ
の孔１ａを成膜装置へのセッティング部として利用する
ことが通常行われている。すなわち、成膜装置の回転軸
２に成膜基板１の孔１ａを嵌め込んだ後、一般に磁力で
固定される保持チャック３が回転軸２に取り付けられ
る。これら３者の位置決め精度は高く、保持チャック３
の脱着力も弱くて構わないため、非常に簡単な機構で高
い品質を確保することができる。これに対し、光カード
においてもやはり真空成膜装置を用いて成膜基板に記録
膜を形成するが、コンパクトディスクのような孔が存在
しないため、成膜装置への取付けには工夫が必要であ
る。
【０００３】光カードはその基板として、成形法などに
よりパターン部が複製された樹脂基板を用いており、記
録膜はパターン部を覆うようにして基板上にアイランド
状に形成されるので、図２に示すような開口部１１ａを
有するマスク１１が用意される。このマスク１１の材質
は、ガラス板、フィルムなど特にその目的を果たせば制
約はないが、一般的には汚れを落として再利用するため
金属板が好適に用いられる。このマスク１１に位置合わ
せ用ケガキ線１２を施し、このケガキ線に対応して成膜
基板１３のパターン部１３ａの外にアライメントマーク
１４を付与しておく。そして、成膜基板１３をマスク１
１に位置合わせをして取り付けるが、成膜基板１３は軽
くて薄いため、固定にはスパッタリング時のグロー放電
による温度上昇に耐えうるとともに放出ガスの少ないフ
ィルム状テープで固定している。このように準備したマ
スク付きの成膜基板１３を図３に示すように基板ホルダ
ー１５へ固定ピン１６により取り付けて成膜装置にかけ
る。
よりパターン部が複製された樹脂基板を用いており、記
録膜はパターン部を覆うようにして基板上にアイランド
状に形成されるので、図２に示すような開口部１１ａを
有するマスク１１が用意される。このマスク１１の材質
は、ガラス板、フィルムなど特にその目的を果たせば制
約はないが、一般的には汚れを落として再利用するため
金属板が好適に用いられる。このマスク１１に位置合わ
せ用ケガキ線１２を施し、このケガキ線に対応して成膜
基板１３のパターン部１３ａの外にアライメントマーク
１４を付与しておく。そして、成膜基板１３をマスク１
１に位置合わせをして取り付けるが、成膜基板１３は軽
くて薄いため、固定にはスパッタリング時のグロー放電
による温度上昇に耐えうるとともに放出ガスの少ないフ
ィルム状テープで固定している。このように準備したマ
スク付きの成膜基板１３を図３に示すように基板ホルダ
ー１５へ固定ピン１６により取り付けて成膜装置にかけ
る。
【０００４】上記のような取付け方法は、成膜装置がバ
ッチ型の場合、生産能力も低くバッチ毎に一定の排気時
間を要するため、作業員によるハンドリングであっても
十分に対応が可能であった。しかしながら、生産能力の
拡大のためインライン型の成膜装置を導入する場合、基
板ホルダーに相当する台車が非常に短い時間で連続的に
送られるため、上記のような取付け方法では対応が不可
能である。
ッチ型の場合、生産能力も低くバッチ毎に一定の排気時
間を要するため、作業員によるハンドリングであっても
十分に対応が可能であった。しかしながら、生産能力の
拡大のためインライン型の成膜装置を導入する場合、基
板ホルダーに相当する台車が非常に短い時間で連続的に
送られるため、上記のような取付け方法では対応が不可
能である。
【０００５】本発明は、上記のような実情を鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、短時間に成
膜基板を脱着する必要のあるインライン型の成膜装置に
対応して精度良く高品質な成膜を行える成膜装置用マス
ク及びそれを利用する成膜基板を提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、短時間に成
膜基板を脱着する必要のあるインライン型の成膜装置に
対応して精度良く高品質な成膜を行える成膜装置用マス
ク及びそれを利用する成膜基板を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の成膜装置用マスクは、光カードを構成する
成膜基板の所定領域に成膜装置により記録膜を形成する
際に使用するマスクであって、前記成膜基板を位置決め
するためにＬ字型に配置された３本のテーパ付きピンを
開口の周囲に有するマスク板と、前記開口と同じかそれ
より小さな記録膜形成用開口を有し、前記３本のピンに
それぞれ合致するようにＬ字型に配置された３つのピン
孔を前記記録膜形成用開口の周囲に有する薄型マスク
と、前記マスク板の一辺に回転可能に連結され、前記マ
スク板のピンを受けるためのピン孔と前記薄型マスク上
にセットした成膜基板を背後から押圧する板バネとを有
する背板を備えたことを特徴としており、前記薄型マス
クにおける３つのピン孔のうち、Ｌ字型の角に当たるも
のを丸孔とし、他の２つを長孔に形成しておくことが好
ましいものである。
め、本発明の成膜装置用マスクは、光カードを構成する
成膜基板の所定領域に成膜装置により記録膜を形成する
際に使用するマスクであって、前記成膜基板を位置決め
するためにＬ字型に配置された３本のテーパ付きピンを
開口の周囲に有するマスク板と、前記開口と同じかそれ
より小さな記録膜形成用開口を有し、前記３本のピンに
それぞれ合致するようにＬ字型に配置された３つのピン
孔を前記記録膜形成用開口の周囲に有する薄型マスク
と、前記マスク板の一辺に回転可能に連結され、前記マ
スク板のピンを受けるためのピン孔と前記薄型マスク上
にセットした成膜基板を背後から押圧する板バネとを有
する背板を備えたことを特徴としており、前記薄型マス
クにおける３つのピン孔のうち、Ｌ字型の角に当たるも
のを丸孔とし、他の２つを長孔に形成しておくことが好
ましいものである。
【０００７】そして、上記の成膜装置用マスクを利用す
る場合、前記マスク板の３本のピンにそれぞれ合致する
ようにＬ字型に配置された３つのピン孔を設けた成膜基
板が使用される。また、これら３つのピン孔のうちＬ字
型の角に当たるものを丸孔とし他の２つを長孔に形成し
ておくのが好ましい。
る場合、前記マスク板の３本のピンにそれぞれ合致する
ようにＬ字型に配置された３つのピン孔を設けた成膜基
板が使用される。また、これら３つのピン孔のうちＬ字
型の角に当たるものを丸孔とし他の２つを長孔に形成し
ておくのが好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。
施形態を説明する。
【０００９】図４は本発明の一実施形態としての成膜装
置用マスクを示す斜視図である。なお、この装置は図の
矢印Ａの方向に移動するが、そのための搬送用の台車は
省略してある。
置用マスクを示す斜視図である。なお、この装置は図の
矢印Ａの方向に移動するが、そのための搬送用の台車は
省略してある。
【００１０】同図では蝶番で連結されているマスク板２
０と背板３０が開かれた状態を示している。マスク板２
０の内側にはセットする成膜基板ごとに位置決め用の３
本のテーパ付きピン２１がＬ字型に配置された状態で立
設されており、これを利用して厚さが０．２〜０．４ｍ
ｍで記録膜形成用開口２３を有する薄型マスク２２がマ
スク板２０の上に６枚配置されている。この薄型マスク
２２は、その開口２３の形状を適宜設定しておくことで
任意の光記録部のレイアウトに対応できる。なお、図で
は見えないが、マスク板２０には３本のピン２１の内側
に薄型マスク２２の記録膜形成用開口２３と同じかそれ
より大きな開口がそれぞれ設けられている。マスク板２
０は強度確保のために２〜３ｍｍの厚さで作製されるの
が望ましいが、この場合、開口での薄膜物質の回り込み
の悪さから開口付近で記録層が薄くなることがあるた
め、マスク板２０の開口の周囲は厚さ１．５ｍｍ程度に
なるようにテーパ加工を施すとよい。そして、薄型マス
ク２２の上にそれぞれ成膜基板がセットされる。この成
膜基板としては、マスク板２０の３本のピン２１にそれ
ぞれ合致するようにＬ字型に配置された３つのピン孔を
加工したものが使用される。
０と背板３０が開かれた状態を示している。マスク板２
０の内側にはセットする成膜基板ごとに位置決め用の３
本のテーパ付きピン２１がＬ字型に配置された状態で立
設されており、これを利用して厚さが０．２〜０．４ｍ
ｍで記録膜形成用開口２３を有する薄型マスク２２がマ
スク板２０の上に６枚配置されている。この薄型マスク
２２は、その開口２３の形状を適宜設定しておくことで
任意の光記録部のレイアウトに対応できる。なお、図で
は見えないが、マスク板２０には３本のピン２１の内側
に薄型マスク２２の記録膜形成用開口２３と同じかそれ
より大きな開口がそれぞれ設けられている。マスク板２
０は強度確保のために２〜３ｍｍの厚さで作製されるの
が望ましいが、この場合、開口での薄膜物質の回り込み
の悪さから開口付近で記録層が薄くなることがあるた
め、マスク板２０の開口の周囲は厚さ１．５ｍｍ程度に
なるようにテーパ加工を施すとよい。そして、薄型マス
ク２２の上にそれぞれ成膜基板がセットされる。この成
膜基板としては、マスク板２０の３本のピン２１にそれ
ぞれ合致するようにＬ字型に配置された３つのピン孔を
加工したものが使用される。
【００１１】ここで、マスク板２０に立設するピンは２
本でも良さそうなものではあるが、光カードを構成する
成膜基板はプラスチックで出来ているので、反りやねじ
れが生じている場合があり、このような状態のものを含
めてマスク板２０を開閉した場合に成膜基板が脱落しな
いよう成膜基板を正確に固定するために本発明ではピン
を３本設けている。また、上記の如くマスク板２０にテ
ーパ付きのピン２１を３本設ける場合、薄型マスク及び
成形基板としてそれぞれ図５と図６に示すものを使用す
るのがよい。図５の薄型マスク２２は、記録膜形成用開
口２３の回りにＬ字型に配置した３つの孔のうちＬ字型
の角に当たる孔２２ａを丸孔とし他の２つの孔２２ｂ，
２２ｃを長孔としたものであり、図６の成形基板４０も
この薄型マスク２２と同様に、Ｌ字型に配置された３つ
の孔のうちＬ字型の角に当たる孔４０ａを丸孔とし他の
２つの孔４０ｂ，４０ｃを長孔としたものである。な
お、図６は成形基板４０をパターン部４１のある面から
見た図である。このようにピン孔に工夫をした薄型マス
ク２２と成形基板４０を使用すると、マスク板２０に対
する脱着がスムースに行える。
本でも良さそうなものではあるが、光カードを構成する
成膜基板はプラスチックで出来ているので、反りやねじ
れが生じている場合があり、このような状態のものを含
めてマスク板２０を開閉した場合に成膜基板が脱落しな
いよう成膜基板を正確に固定するために本発明ではピン
を３本設けている。また、上記の如くマスク板２０にテ
ーパ付きのピン２１を３本設ける場合、薄型マスク及び
成形基板としてそれぞれ図５と図６に示すものを使用す
るのがよい。図５の薄型マスク２２は、記録膜形成用開
口２３の回りにＬ字型に配置した３つの孔のうちＬ字型
の角に当たる孔２２ａを丸孔とし他の２つの孔２２ｂ，
２２ｃを長孔としたものであり、図６の成形基板４０も
この薄型マスク２２と同様に、Ｌ字型に配置された３つ
の孔のうちＬ字型の角に当たる孔４０ａを丸孔とし他の
２つの孔４０ｂ，４０ｃを長孔としたものである。な
お、図６は成形基板４０をパターン部４１のある面から
見た図である。このようにピン孔に工夫をした薄型マス
ク２２と成形基板４０を使用すると、マスク板２０に対
する脱着がスムースに行える。
【００１２】マスク板２０に成膜基板をセットした後、
マスク板２０を図の矢印Ｂの方向に回転してマスクを閉
じ、スライドラッチ５０等によりマスク板２０と背板３
０を保持した状態でしっかりと固定する。背板３０には
マスク板２０のピン２１を受けるためのピン孔３１が設
けられているとともに、成膜基板を背後から押圧するた
めの板バネ３２が最適な位置に配置されている。したが
って、マスク板２０のピン２１が邪魔になることがな
く、しかも成膜基板はマスク板２０側に押し付けられた
状態になる。これにより、アイランド状に形成される記
録膜のエッジのシャープネスが良好となり、外観不良品
の発生が無くなる。
マスク板２０を図の矢印Ｂの方向に回転してマスクを閉
じ、スライドラッチ５０等によりマスク板２０と背板３
０を保持した状態でしっかりと固定する。背板３０には
マスク板２０のピン２１を受けるためのピン孔３１が設
けられているとともに、成膜基板を背後から押圧するた
めの板バネ３２が最適な位置に配置されている。したが
って、マスク板２０のピン２１が邪魔になることがな
く、しかも成膜基板はマスク板２０側に押し付けられた
状態になる。これにより、アイランド状に形成される記
録膜のエッジのシャープネスが良好となり、外観不良品
の発生が無くなる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の成膜装置
用マスクは、マスク板に立設したピンに薄型マスクと成
膜基板をセットし、その後でマスク板を閉じるという簡
単な手順で成膜基板をマスクに取り付けることができ、
また逆の手順で取り外すことができるので、高い位置決
め精度を保ちながら短時間で成膜基板とマスクの脱着が
可能となる。しかも、安価に作製可能な薄型マスクを採
用することにより、多様な光記録部のレイアウトに対す
る得意先からの要求にも経済的に対応することができ
る。また、成膜基板を押圧する板バネを背板に設けたこ
とにより、成膜基板が通常いくらかの反りを有するため
に起こる密着不良による記録膜のシャープネスの悪化、
すなわち意匠的な不良を無くすことができる。
用マスクは、マスク板に立設したピンに薄型マスクと成
膜基板をセットし、その後でマスク板を閉じるという簡
単な手順で成膜基板をマスクに取り付けることができ、
また逆の手順で取り外すことができるので、高い位置決
め精度を保ちながら短時間で成膜基板とマスクの脱着が
可能となる。しかも、安価に作製可能な薄型マスクを採
用することにより、多様な光記録部のレイアウトに対す
る得意先からの要求にも経済的に対応することができ
る。また、成膜基板を押圧する板バネを背板に設けたこ
とにより、成膜基板が通常いくらかの反りを有するため
に起こる密着不良による記録膜のシャープネスの悪化、
すなわち意匠的な不良を無くすことができる。
【図１】コンパクトディスクの反射膜を形成する成膜装
置で行われている基板の保持方法を示す斜視図である。
置で行われている基板の保持方法を示す斜視図である。
【図２】従来のマスクとそれに用いる成膜基板を示す説
明図である。
明図である。
【図３】図２に示すマスクを基板ホルダーに取り付ける
様子を示す説明図である。
様子を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施形態としての成膜装置用マスク
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】薄型マスクの好適例を示す平面図である。
【図６】本発明の成膜装置用マスクを利用する成膜基板
の好適例をパターン部のある面から見た平面図である。
の好適例をパターン部のある面から見た平面図である。
２０ マスク板 ２１ ピン ２２ 薄型マスク ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ ピン孔 ２３ 記録膜形成用開口 ３０ 背板 ３１ ピン孔 ３２ 板バネ ４０ 成膜基板 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ ピン孔
Claims (4)
- 【請求項１】 光カードを構成する成膜基板の所定領域
に成膜装置により記録膜を形成する際に使用するマスク
であって、前記成膜基板を位置決めするためにＬ字型に
配置された３本のテーパ付きピンを開口の周囲に有する
マスク板と、前記開口と同じかそれより小さな記録膜形
成用開口を有し、前記３本のピンにそれぞれ合致するよ
うにＬ字型に配置された３つのピン孔を前記記録膜形成
用開口の周囲に有する薄型マスクと、前記マスク板の一
辺に回転可能に連結され、前記マスク板のピンを受ける
ためのピン孔と前記薄型マスク上にセットした成膜基板
を背後から押圧する板バネとを有する背板を備えたこと
を特徴とする成膜装置用マスク。 - 【請求項２】 前記薄型マスクにおける３つのピン孔の
うちＬ字型の角に当たるものを丸孔とし他の２つを長孔
にしたことを特徴とする請求項１に記載の成膜装置用マ
スク。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の成膜装置用マス
クを利用する成膜基板であって、前記マスク板の３本の
ピンにそれぞれ合致するようにＬ字型に配置された３つ
のピン孔を設けたことを特徴とする成膜基板。 - 【請求項４】 前記３つのピン孔のうちＬ字型の角に当
たるものを丸孔とし他の２つを長孔にした請求項３に記
載の成膜基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27403495A JPH09120592A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 成膜装置用マスク及びそれを利用する成膜基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27403495A JPH09120592A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 成膜装置用マスク及びそれを利用する成膜基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09120592A true JPH09120592A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=17536049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27403495A Pending JPH09120592A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 成膜装置用マスク及びそれを利用する成膜基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09120592A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1209522A2 (en) | 2000-11-28 | 2002-05-29 | Lg Electronics Inc. | Mask for fabricating display panel |
| JP2019504927A (ja) * | 2016-01-28 | 2019-02-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板をマスキングするためのマスク構成、及び、マスクと基板との位置を合わせるための方法 |
-
1995
- 1995-10-23 JP JP27403495A patent/JPH09120592A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1209522A2 (en) | 2000-11-28 | 2002-05-29 | Lg Electronics Inc. | Mask for fabricating display panel |
| JP2019504927A (ja) * | 2016-01-28 | 2019-02-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板をマスキングするためのマスク構成、及び、マスクと基板との位置を合わせるための方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040401 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040615 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041013 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |