JPH09123037A - 工作機械の切込み送り方法および切込み送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ねじの特性を利用して、ワーク加工面形
状の高精度化、生産能率の向上および加工工具寿命の延
長を図る工作機械の切込み送り技術を提供する。 【解決手段】 ワークＷに切込み送りを与える切込み送
り装置１を、磁気ねじ機構６とサーボモータ７で構成
し、切込み送り装置１により、ワークＷを所定の切込み
速度をもって前進させるとともに、磁気ねじ機構６の回
転角度から得られるワークＷを保持する送りテーブル５
の理論上の制御位置Ａとその実際位置Ｂとの差Ｃにより
得られる数値Ｆが設定値Ｆ₀ に達したとき、切込み送り
装置１により、ワークＷを一旦急速後退させてから、再
び前進させる。設定値Ｆ₀ は、磁気ねじ１３のスラスト
剛性を基準として、磁気ねじ１３が脱調する境界値より
も低くかつ加工条件に合った値に設定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は工作機械の切込み送
り方法および切込み送り装置に関し、さらに詳細には、
特に水晶、ガラス、セラミックス、フェライト等の脆性
材料に対する機械加工を、適正な加工負荷をもって実行
するための切込み送り技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】水晶、ガラス、セラミックス、フェライ
ト等の工作物（以下ワークと称する）を薄板状に切断加
工するスライシング工程においては、切断加工されたワ
ークの切断面自体が仕上面となることから、その切断面
形状の高精度化が課題となっている。

【０００３】この目的のため、切断工具としてできるだ
け薄い切断砥石を備える切断機が一般に使用されてお
り、具体的には、上記切断砥石が回転駆動されるととも
に、この切断砥石に対して上記ワークが切込み送りされ
て、ワーク材料から所定厚さのワークが順次切断される
ように構成されている。

【０００４】また、上記ワークを切込み送りするための
切込み送り装置は、一般に、その送り機構として、ボー
ルねじとこれを回転駆動するサーボモータとを基本構成
として備えており、この送り機構により上記ワークを一
定の切込み速度をもって送るように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな切込み送り装置を備える切断機においては、次のよ
うな問題があった。

【０００６】すなわち、水晶、ガラス、セラミックス、
フェライト等は高い硬度を有し非常に脆い性質を有する
脆材料であるところ、上記のように常時一定の切込み速
度をもって送る構成では、加工の進行に伴って、切断工
具に目づまりが発生するとともに、切削熱の発生等で加
工能率が低下するなど、加工条件が変化しやすい。

【０００７】また、これに関連して切断負荷も次第に増
大するため、切断状況がたとえ途中まで微小破砕の状態
で良好であっても、上記したような加工条件の微小な変
化によって、応力集中等が起こり、チッピング（ｃhipp
ing)を発生したり、あるいは切断面真直度の変化や切断
面のうねりを生じやすい。これらチッピングの発生等は
ワーク切断面形状の高精度化に障害となる。さらに、上
記切削熱の発生等により、ワーク切断面の表面付近に変
質層や残留歪を生成して、品質不良を生じやすいという
問題もあった。

【０００８】しかも、上記ワーク材質の高硬度と相まっ
て、切断工具の磨耗も比較的早く、上記切断面形状の高
精度化の障害に拍車をかけるとともに、切断能率の低下
等をさらに増長するなどの問題も生じていた。

【０００９】また、例えば特開平２−２０５４６４号公
報に開示されるように、シリコンウェハに対して、研削
抵抗がほぼ一定となるように切込み速度を制御する技術
も提案されているが、この従来技術においても、脆性材
料の切断加工におけるチッピングの発生を防止するには
まだ不十分であった。

【００１０】さらに、この制御技術においては、必然的
に、切断負荷が増大すると、その分だけ切込み速度を低
下させることになるため、その分だけ加工時間が長くな
ってしまい、やはり生産能率の低下を招くとともに、切
断工具の寿命も比較的短いという問題があった。

【００１１】このような問題は、硬度の高い脆性材料に
対する機械加工を行う各種の工作機械全般に共通するも
のであり、その改良が要望されていた。

【００１２】この発明はかかる従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、磁気ね
じの特性を利用することにより、ワーク加工面形状の高
精度化を実現するとともに、生産能率の向上および加工
工具寿命の延長を図ることができる工作機械の切込み送
り方法の提供にある。

【００１３】また本発明の他の目的は、上記切込み送り
方法を実施するための工作機械の切込み送り装置を提供
することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の工作機械の切込み送り方法は、ワークに機
械加工を施す工作機械において、ワークまたは加工工具
に切込み送りを与える切込み送り装置を、磁気ねじ機構
とこの磁気ねじ機構を回転駆動する駆動モータとで構成
し、前記切込み送り装置により、ワークまたは加工工具
を所定の切込み速度をもって前進させるとともに、前記
磁気ねじ機構の回転角度から得られるワークまたは加工
工具を保持する送りテーブルの理論上の制御位置とその
実際位置との差により得られる数値が設定値に達したと
き、前記切込み送り装置により、ワークまたは加工工具
を急速後退させるように構成したことを特徴とする。

【００１５】前記設定値は、前記磁気ねじのスラスト剛
性を基準として、磁気ねじが脱調する境界値よりも低く
かつ加工条件に合った値に設定されている。

【００１６】また、本発明の工作機械の切込み送り装置
は、上記切込み送り方法を実施するものであって、ワー
クまたは加工工具を保持する送りテーブルと、この送り
テーブルに接続された磁気ねじ機構と、この磁気ねじ機
構を回転駆動する駆動モータと、前記磁気ねじ機構の回
転量を検出する回転検出器と、前記ワークまたは加工工
具を保持する送りテーブルの実際位置を検出する位置検
出器と、これら回転検出器および位置検出器からの検出
信号に応じて、前記駆動モータを駆動制御する制御装置
とを備えてなり、この制御装置は、前記切込み送り方法
を実行するように構成されていることを特徴とする。

【００１７】本発明の切込み送り装置においては、磁気
ねじの特性を利用して送りテーブルの動作が制御され
る。

【００１８】すなわち、磁気ねじは、ねじ軸表面とナッ
ト体内径面に螺旋状の磁極がそれぞれ非接触で近接対向
して設けられてなり、ねじ軸の回転により、上記両磁極
間に作用する磁力で、ねじ軸とナット体が相対的に軸方
向へ移動する構成とされている。したがって、磁気ねじ
においては、軸方向の推進力は磁気ねじのスラスト剛性
に依存する一方、磁気ねじに作用するスラスト負荷の変
動に対応して、ねじ軸とナット体には軸方向の相対的な
位置変動が生ずるという特性がある。

【００１９】本発明においては、切込み送り装置の送り
ねじ機構として磁気ねじ機構が用いられており、この磁
気ねじ機構の回転角から算出するワークまたは加工工具
を保持する送りテーブルの理論上の制御位置とその実際
位置との差により得られる数値が設定値に達したとき、
ワークまたは加工工具を急速後退させるように構成し
た。

【００２０】この場合の前記設定値は、前記磁気ねじの
スラスト剛性を基準として、磁気ねじが脱調する境界値
よりも低い範囲において、加工対象となるワークと加工
工具等の加工条件に対応した適正値とする。

【００２１】以上の構成において、前記前進と急速後退
を、所定の切込み送り量が得られるまで順次繰り返すこ
とにより、脆性材料に対する機械加工を、常時適正な加
工負荷をもって、高精度かつ高能率で可能とする。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。

【００２３】本発明に係る工作機械の切込み送り装置を
図１に示し、この切込み送り装置１は、具体的には、ワ
ークとしての水晶Ｗを薄板状に切断する切断機におい
て、ワークＷを切断工具２に対して切込み送りするため
のものであって、送りテーブル５、磁気ねじ機構６、駆
動モータ７、回転検出器８、位置検出器９および制御装
置１０を主要部として構成されている。

【００２４】ワークＷを切断する加工工具２としては、
薄い切断砥石が使用されている。この切断砥石２は、図
示しない主軸ヘッドに回転可能に支持されるとともに、
伝達機構等を介して駆動源に連係されている。この駆動
源により、切断砥石２は所定の回転速度をもって回転駆
動される。

【００２５】送りテーブル５は、ワークＷを取外し可能
に固定保持するワーク支持台５ａを備えるとともに、図
示しないスライド装置により切込み送り方向Ｘへ直線的
に往復移動可能とされている。このスライド装置として
は、油膜による滑り接触構造を備える案内レールや、こ
ろがり接触構造を備えるリニアガイド等が採用される。
送りテーブル５には、スケール９ａとこのスケール９ａ
を読み取るセンサ９ｂからなるリニアスケール等の位置
検出器９が設けられており、その検出値が送りテーブル
５の実際位置Ｂとして制御装置１０へ送られる。

【００２６】磁気ねじ機構６は上記送りテーブル５を往
復移動させるもので、ねじ軸１１とナット体１２からな
る磁気ねじ１３を主要部として備える。ねじ軸１１は、
上記切込み送り方向Ｘに平行にかつ回転可能に軸支され
るとともに、その基端が駆動モータ７の出力軸７ａに接
続されている。また、ナット体１２は上記送りテーブル
５に固設されるとともに、上記ねじ軸１１に螺進退可能
に係合されている。

【００２７】ねじ軸１１の表面とナット体１２の内径面
には、図２に示すように、螺旋状の磁極１１ａ，１２ａ
がそれぞれ非接触状態で対向配置されてなり、ねじ軸１
１が回転すると、上記両磁極１１ａ，１２ａ間に作用す
る磁力により、ナット体１２がねじ軸１１に沿って移動
し、上記送りテーブル５が切込み送り方向Ｘへの前進動
作およびこれと逆方向への後退動作を行う。

【００２８】なお、磁気ねじ１３においては、軸方向の
推進力は上記磁極１１ａ，１２ａ間に作用する磁力によ
るスラスト剛性に依存し、また、磁気ねじ１３に作用す
るスラスト負荷の変動に対応して、ねじ軸１１とナット
体１２に軸方向の相対的な位置変動が生ずるという特性
がある。後述するように、本切込み送り装置１において
は、この磁気ねじ１３の特性が送りテーブル５の前進・
後退制御に利用される。

【００２９】駆動モータ７は具体的にはサーボモータか
らなり、制御装置１０に電気的に接続されるとともに、
その出力軸７ａが、カップリング１４により磁気ねじ機
構６のねじ軸１１に同軸状にかつ一体回転可能に接続さ
れている。また、上記出力軸７ａの回転量（回転角度）
は、ロータリエンコーダ等の回転検出器８により検出さ
れて、その検出値が磁気ねじ機構６の回転角度、つまり
送りテーブル５の理論上の制御位置Ａとして制御装置１
０へ送られる。

【００３０】制御装置１０は、切断砥石２の回転速度に
連動して送りテーブル５の切込み送りを自動制御するも
ので、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭおよびＩ／Ｏポートなど
からなるマイクロコンピュータで構成されている。この
制御装置１０には、上記切込み送りを実行させるための
制御プログラム等が組み込まれてなり、サーボモータ７
の駆動に必要な種々の情報が、ＮＣ（数値制御）データ
として予めまたは図示しない操作盤のキーボード等によ
り適宜入力設定されている。

【００３１】上記制御装置１０は、具体的には、図３に
示すように、スラスト負荷演算部２０、しきい値設定部
２１、比較部２２および駆動制御部２３を主要部として
備える。

【００３２】スラスト負荷演算部２０は、回転検出器８
からの理論制御位置Ａの情報と、位置検出器９からの実
際位置Ｂの情報を受け取って、これら両位置の差つまり
送りテーブル５の変位量Ｃ（＝Ａ−Ｂ）を算出するとと
もに、この値を磁気ねじ１３のスラスト剛性データを基
準として、送りテーブル５に負荷されるスラスト負荷Ｆ
（ワークＷの加工負荷に対応）を算出する。具体的に
は、以下の換算式によりワークＷの加工負荷Ｆが演算さ
れ、その結果が比較部２２へ送られる。

【００３３】Ｆ＝（Ａ−Ｂ）×ｋ （ただし、ｋ：
磁気ねじのスラスト剛性）

【００３４】すなわち、前述したように、磁気ねじ１３
においては、ここに作用するスラスト負荷の変動に対応
して、ねじ軸１１とナット体１２に軸方向の相対的な位
置変動が生ずるという特性があることから、上記両位置
の差Ｃと磁気ねじ１３のスラスト剛性ｋの積が上記送り
テーブル５のスラスト負荷Ｆ、つまりワークＷに実際に
作用している加工負荷に対応した値となるのである。

【００３５】一例として、軸径が２５ｍｍでリードが１
０ｍｍの、磁気ねじのスラスト剛性ｋに関する試験結果
が表１に示されており、これをグラフに表すと図４のよ
うになる。表１および図４から、この磁気ねじのスラス
ト剛性ｋはおよそ１７０Ｎ／ｍｍであることが分かる。
したがって、磁気ねじ１３として、この磁気ねじが用い
られる場合、例えば、理論制御位置Ａが１００ｍｍであ
るのに対して、実際位置Ｂが９９．６５ｍｍであったと
すると、このときのスラスト負荷Ｆは、上記換算式より
５９．５Ｎと算出される。

【００３６】

【表１】

【００３７】しきい値設定部２１は、サーボモータ７の
制御条件つまり制御タイミングを決めるしきい値Ｆ₀ を
設定するもので、このしきい値（設定値）Ｆ₀ は、加工
対象となるワークＷの材質、硬度等の特性や切断砥石２
の加工条件などを考慮して決められる適正値であり、磁
気ねじ１３が脱調する境界値よりも低い範囲において設
定される。

【００３８】一例として、磁気ねじ１３が上記の磁気ね
じ（軸径２５ｍｍ、リード１０ｍｍ）である場合、しき
い値Ｆ₀ を１００Ｎに設定すると、これに対応した送り
テーブル５の変位量Ｃ₀ （＝Ａ−Ｂ）は、０．５８３ｍ
ｍということになる。

【００３９】比較部２２においては、スラスト負荷演算
部２０から送られるスラスト負荷Ｆを上記しきい値Ｆ₀
と比較演算して、その比較結果が駆動制御部２３へ送ら
れる。

【００４０】そして、この駆動制御部２３においては、
予め設定された基本制御プログラムに従って、上記比較
部２３におけるスラスト負荷Ｆとしきい値Ｆ₀ との比較
結果に応じた制御信号をサーボモータ７に送り、スラス
ト負荷Ｆがしきい値Ｆ₀ に達したときには、サーボモー
タ７を急速逆転駆動する等して、所定の切込み送りを以
下のごとく実行させる。

【００４１】すなわち、切込み送り装置１による切込み
送り方法を具体的に説明すると、制御装置１０は、切断
砥石２によるワークＷに対するスライシング加工を、常
時適正な加工負荷をもって行うべく、サーボモータ７を
自動制御する。

【００４２】図５のフローチャートを参照して、スライ
シング工程の開始により、サーボモータ７により磁気ね
じ機構６が正回転駆動して、ワークＷを固定保持した送
りテーブル５を所定の送り速度をもって切込み送り方向
Ｘへ前進させた後、磁気ねじ機構６の特性を利用した切
込み送りを行いながら、所定の回転速度で回転駆動する
切断切断砥石２により、ワークＷに後述のスライシング
加工を行い、その後、サーボモータ７により磁気ねじ機
構６が逆回転駆動して、送りテーブル５を初期位置へ後
退復帰させて、一連のスライシング工程を終了する。

【００４３】上記スライシング加工においては、図６の
フローチャートを参照して、 送りテーブル５つまりワークＷが所定の切込み速度
をもって前進して、切断砥石２によるワークＷのスライ
シングが行われる。

【００４４】 この際、回転検出器８と位置検出器９
により、送りテーブル５の理論制御位置Ａと実際位置Ｂ
の情報が制御装置１０のスラスト負荷演算部２０へ送ら
れて、これら両位置Ａ，Ｂの差つまり送りテーブル５の
変位量Ｃから、送りテーブル５に負荷されているスラス
ト負荷Ｆ（ワークＷの加工負荷に対応）が算出される。

【００４５】 このスラスト負荷Ｆは比較部２２でし
きい値Ｆ₀ と比較されて、スラスト負荷Ｆがしきい値Ｆ
₀ に達すると、駆動制御部２３により、送りテーブル５
がまず所定距離だけ急速後退するとともに、続いて、こ
の後退距離よりも小さい距離だけ（例えば送りテーブル
５の上記実際位置Ｂの少し手前まで）急速前進した後、
再び所定の切込み速度をもって前進する。

【００４６】 以後、この前進と急速後退が順次繰り
返されて、所定の切込み送り量が得られた時点でスライ
シング加工が終了する。

【００４７】以上のスライシング工程をタイムチャート
で示すと図７のようになり、これら一連のスライシング
工程は、一つのワークＷに対して所定枚数の薄板が切断
されるまで自動的に連続して繰り返されることになる。

【００４８】しかして、以上のような切込み送り方法に
おいては、送りテーブル５のスラスト負荷Ｆがしきい値
Ｆ₀ に達したとき、この送りテーブル５を一旦急速後退
させることにより、加工の進行に伴って、切断砥石２に
目づまりや切削熱が生じても、この後退により生じたワ
ーク切断面部分にクーラントが入って、切粉が洗い流さ
れて、これにより、目づまりが解消されるとともに、こ
の部位（切断砥石２およびワーク切断面）が冷却され
る。この結果、加工能率の低下が有効に防止されるとと
もに、ワーク切断面の表面付近に変質層や残留歪も生成
し難く、品質不良も生じない。しかも、切断砥石２の磨
耗も少なくなり、寿命が延びる。

【００４９】また、この急速後退により、増大しつつあ
った切断負荷も減少して、応力集中等の発生が防止され
る。これにより、切断面におけるチッピングの発生、あ
るいは切断面真直度の変化や切断面のうねりの発生が抑
えられて、切断面形状の高精度化が可能となる。

【００５０】さらに、送りテーブル５が前進と急速後退
を、所定の切込み送り量が得られるまで順次繰り返すた
め、常時適正な加工負荷での切断加工を高能率で行うこ
とができる。

【００５１】なお、上述した実施形態はあくまでも本発
明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれ
に限定されることなく、その範囲内において種々設計変
更可能である。例えば、以下のような改変が可能であ
る。

【００５２】(1) 上述した切込み送り方法において、ス
ライシング加工の具体的工程（急速後退と急速前進の組
み合わせ等）やこのスライシング加工前後の具体的工程
（前進と後退等）、あるいはその他の具体的工程は、こ
れに限定されるものではなく、対象となる装置やワーク
の種類等に応じて適宜変更され得る。

【００５３】(2) また、上述の実施形態においては、上
記理論制御位置と実際位置との差（送りテーブルの変位
量）をスラスト負荷に換算してからしきい値と比較する
ように構成されているが、例えば、予めスラスト負荷を
テーブルの変位量に換算して、これをしきい値として設
定しておき、上記理論制御位置と実際位置との差をこの
しきい値と直接比較するように構成されてもよい。

【００５４】(3) 本発明は図示のようにワークＷが切込
み送りされる構成のほか、切断砥石２が切込み送りされ
る構成にも適用可能であり、また図示のような切断機の
ほか、切断砥石以外の加工工具を備える他の工作機械の
切込み送り装置にも適用可能である。

【００５５】(4) 切込み送り装置の具体的構成も、対象
となる工作機械の他の構成に対応して適宜変更可能であ
る。

【００５６】(5) ワークＷについても、上述の実施形態
における水晶のほか、ガラス、セラミックス、フェライ
ト等の他の同様な脆性材料からなるワークも対象とする
ことができる。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ワークまたは加工工具に切込み送りを与える切込み送り
装置を、磁気ねじ機構とこの磁気ねじ機構を回転駆動す
る駆動モータとで構成して、切込み送り装置により、ワ
ークまたは加工工具を所定の切込み速度をもって前進さ
せるとともに、磁気ねじ機構の回転角度から得られるワ
ークまたは加工工具を保持する送りテーブルの理論上の
制御位置とその実際位置との差により得られる数値が設
定値に達したときに、切込み送り装置により、ワークま
たは加工工具を急速後退させるように構成したから、以
下に列挙するような種々のすぐれた効果が発揮され得
る。

【００５８】(1) 磁気ねじの特性を利用することによ
り、ワークまたは加工工具を保持する送りテーブルの変
位量からワークまたは加工工具のスラスト負荷を検出し
て、ワークに対する加工負荷が過大となる前に急速後退
させるようにしたから、加工面における応力集中等の発
生が防止され、この結果、チッピングの発生、あるいは
加工面真直度の変化や加工面のうねりの発生が有効に抑
えられて、加工面形状の高精度化が図れる。

【００５９】(2) スラスト負荷が設定値に達したらワー
クまたは加工工具を急速後退させるため、加工部位への
クーラントのかかりが良く、加工工具およびワーク加工
部位の冷却効率が高く、また切粉も効率良く洗い流され
て加工工具の目づまりも解消される。この結果、加工能
率の低下が有効に防止されるとともに、ワーク加工面の
表面付近に変質層や残留歪も生成し難く、品質不良を生
じず、良品に仕上がる。しかも、加工工具の磨耗も少な
く、ツール寿命が延びる。

【００６０】(3) 送りテーブルの前進と急速後退を、所
定の切込み送り量が得られるまで順次繰り返すことによ
り、常時適正な加工負荷に対応した切込み速度をもって
の機械加工が高能率で可能となり、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施形態である切断機の切込み
送り装置を示す概略構成図である。

【図２】同切込み送り装置における磁気ねじの要部を一
部断面で示す拡大図である。

【図３】同切込み送り装置における制御系を示すブロッ
ク構成図である。

【図４】同切込み送り装置における磁気ねじのスラスト
剛性に関する試験結果の一例を示す線図である。

【図５】同切込み送り装置におけるスライシング工程の
一例を示すフローチャートである。

【図６】同スライシング工程におけるスライシング加工
の一例を示すフローチャートである。

【図７】同スライシング工程のタイムチャートである。

【符号の説明】

１ 切込み送り装置 ２ 切断砥石（加工工具） ５ 送りテーブル ６ 磁気ねじ機構 ７ サーボモータ（駆動モータ） ８ 回転検出器 ９ 位置検出器 １０ 制御装置 １１ ねじ軸 １２ ナット体 １３ 磁気ねじ ２０ スラスト負荷演算部 ２１ しきい値設定部 ２２ 比較部 ２３ 駆動制御部 Ｆ 送りテーブルのスラスト負荷 Ｆ₀ しきい値 Ｗ ワーク Ｘ 切込み送り方向

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工作物に機械加工を施す工作機械におい
   て、工作物または加工工具に切込み送りを与える切込み
   送り装置を、磁気ねじ機構とこの磁気ねじ機構を回転駆
   動する駆動モータとで構成し、 前記切込み送り装置により、工作物または加工工具を所
   定の切込み速度をもって前進させるとともに、 前記磁気ねじ機構の回転角度から得られる工作物または
   加工工具を保持する送りテーブルの理論上の制御位置と
   その実際位置との差により得られる数値が設定値に達し
   たとき、前記切込み送り装置により、工作物または加工
   工具を急速後退させるように構成したことを特徴とする
   工作機械の切込み送り方法。
2. 【請求項２】 前記設定値は、前記磁気ねじのスラスト
   剛性を基準として、磁気ねじが脱調する境界値よりも低
   くかつ加工条件に合った値に設定されていることを特徴
   とする請求項１に記載の工作機械の切込み送り方法。
3. 【請求項３】 所定の切込み送り量が得られるまで、前
   記前進と急速後退を順次繰り返すように構成したことを
   特徴とする請求項１に記載の工作機械の切込み送り方
   法。
4. 【請求項４】 所定距離だけ前記急速後退を行うととも
   に、この後退距離よりも小さい距離だけ急速前進した
   後、前記所定の切込み速度による前進を行うように構成
   したことを特徴とする請求項３に記載の工作機械の切込
   み送り方法。
5. 【請求項５】 工作物に機械加工を施す工作機械におい
   て、工作物または加工工具に切込み送りを与えるもので
   あって、 工作物または加工工具を保持する送りテーブルと、 この送りテーブルに接続された磁気ねじ機構と、 この磁気ねじ機構を回転駆動する駆動モータと、 前記磁気ねじ機構の回転量を検出する回転検出器と、 前記工作物または加工工具を保持する送りテーブルの実
   際位置を検出する位置検出器と、 これら回転検出器および位置検出器からの検出信号に応
   じて、前記駆動モータを駆動制御する制御装置とを備え
   てなり、 この制御装置は、請求項１から４のいずれか一つに記載
   の切込み送り方法を実行するように構成されていること
   を特徴とする工作機械の切込み送り装置。
6. 【請求項６】 前記回転検出器は、前記駆動モータの出
   力軸の回転量を検出するとともに、前記位置検出器は、
   前記送りテーブルの実際位置を検出するように構成され
   ていることを特徴とする請求項５に記載の工作機械の切
   込み送り装置。