JPH0912306A - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents
過酸化水素水の精製方法Info
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- JPH0912306A JPH0912306A JP15795795A JP15795795A JPH0912306A JP H0912306 A JPH0912306 A JP H0912306A JP 15795795 A JP15795795 A JP 15795795A JP 15795795 A JP15795795 A JP 15795795A JP H0912306 A JPH0912306 A JP H0912306A
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- Japan
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- hydrogen peroxide
- peroxide solution
- exchange resin
- cation exchange
- strongly acidic
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- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 不純物としての金属分を含有する粗過酸化水
素水を強酸性カチオン交換樹脂との接触処理に付すこと
により高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法
であって、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である
過酸化水素水と接触させることにより前処理した強酸性
カチオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法。 【効果】 不純物である金属分の濃度が極めて低く、よ
って半導体の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の
過酸化水素水を得ることができる過酸化水素水の精製方
法を提供することができる。
素水を強酸性カチオン交換樹脂との接触処理に付すこと
により高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法
であって、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である
過酸化水素水と接触させることにより前処理した強酸性
カチオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法。 【効果】 不純物である金属分の濃度が極めて低く、よ
って半導体の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の
過酸化水素水を得ることができる過酸化水素水の精製方
法を提供することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、過酸化水素水の精製方
法に関するものでである。更に詳しくは、本発明は、不
純物である金属分の濃度が極めて低く、よって半導体の
製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水
を得ることができる過酸化水素水の精製方法に関するも
のである。
法に関するものでである。更に詳しくは、本発明は、不
純物である金属分の濃度が極めて低く、よって半導体の
製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水
を得ることができる過酸化水素水の精製方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造プロセスにおいて、ウエハ
ーの洗浄液の一成分として過酸化水素水が用いられる。
ここで用いられる過酸化水素水は、高度に清浄で純粋で
あることが要求される。特に、過酸化水素水に鉄、アル
ミニウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなど
の金属分が存在すると、得られる半導体の信頼性を著し
く低下させる。一方、半導体の信頼性に対する要求水準
は、近年一層高度なものとなりつつあり、そのためには
各金属成分の濃度が一層低い水準に制御された高純度の
過酸化水素水が必要とされている。
ーの洗浄液の一成分として過酸化水素水が用いられる。
ここで用いられる過酸化水素水は、高度に清浄で純粋で
あることが要求される。特に、過酸化水素水に鉄、アル
ミニウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなど
の金属分が存在すると、得られる半導体の信頼性を著し
く低下させる。一方、半導体の信頼性に対する要求水準
は、近年一層高度なものとなりつつあり、そのためには
各金属成分の濃度が一層低い水準に制御された高純度の
過酸化水素水が必要とされている。
【０００３】ところで、過酸化水素水の精製方法とし
て、過酸化水素水をイオン交換樹脂と接触させ、不純物
を吸着除去する方法が知られている。しかしながら、従
来の方法により得られる過酸化水素水は、上記の高度な
要求水準に照らすとき、必ずしも満足し得るものとはい
い難いものであった。
て、過酸化水素水をイオン交換樹脂と接触させ、不純物
を吸着除去する方法が知られている。しかしながら、従
来の方法により得られる過酸化水素水は、上記の高度な
要求水準に照らすとき、必ずしも満足し得るものとはい
い難いものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状において、
本発明が解決しようとする課題は、不純物である金属分
の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに最
適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることができ
る過酸化水素水の精製方法を提供する点に存する。
本発明が解決しようとする課題は、不純物である金属分
の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに最
適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることができ
る過酸化水素水の精製方法を提供する点に存する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、不
純物としての金属分を含有する粗過酸化水素水を強酸性
カチオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度
過酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各
金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である過酸化水素水
と接触させることにより前処理した強酸性カチオン交換
樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法に係るものであ
る。
純物としての金属分を含有する粗過酸化水素水を強酸性
カチオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度
過酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各
金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である過酸化水素水
と接触させることにより前処理した強酸性カチオン交換
樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法に係るものであ
る。
【０００６】以下、詳細に説明する。
【０００７】本発明で精製に付される粗過酸化水素水と
しては、工業的に製造されているアントラキノン法など
により製造される過酸化水素水を用いることができる。
また、いわゆる電子工業用といわれる純度の高い過酸化
水素を用いてもよい。過酸化水素水の濃度については、
特に制限はないが、通常は１〜６５重量％、好ましくは
１〜４０重量％である。
しては、工業的に製造されているアントラキノン法など
により製造される過酸化水素水を用いることができる。
また、いわゆる電子工業用といわれる純度の高い過酸化
水素を用いてもよい。過酸化水素水の濃度については、
特に制限はないが、通常は１〜６５重量％、好ましくは
１〜４０重量％である。
【０００８】本発明で用いられる強酸性カチオン交換樹
脂としては、通常スチレン系強酸性型のものが用いら
れ、最終的にはＨ型に再生して使用するので、購入時に
はＨ型又はＮａ型のどちらでもよい。
脂としては、通常スチレン系強酸性型のものが用いら
れ、最終的にはＨ型に再生して使用するので、購入時に
はＨ型又はＮａ型のどちらでもよい。
【０００９】本発明は、不純物としての金属分を含有す
る粗過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂との接触処
理に付すことにより高純度過酸化水素を得る過酸化水素
水の精製方法であり、いわゆる吸着法に属するものであ
るが、該接触処理に先立ち、用いる強酸性カチオン交換
樹脂について、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下で
ある過酸化水素水と接触させることにより前処理した強
酸性カチオン交換樹脂を用いる必要がある。かかる特徴
的な前処理を施した強酸性カチオン交換樹脂を用いるこ
とにより、不純物である金属分の含有量が極めて低い高
純度の過酸化水素水を得ることができるのである。
る粗過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂との接触処
理に付すことにより高純度過酸化水素を得る過酸化水素
水の精製方法であり、いわゆる吸着法に属するものであ
るが、該接触処理に先立ち、用いる強酸性カチオン交換
樹脂について、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下で
ある過酸化水素水と接触させることにより前処理した強
酸性カチオン交換樹脂を用いる必要がある。かかる特徴
的な前処理を施した強酸性カチオン交換樹脂を用いるこ
とにより、不純物である金属分の含有量が極めて低い高
純度の過酸化水素水を得ることができるのである。
【００１０】前処理で用いる過酸化水素水は、そのなか
に含有される各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下のも
のである。金属成分としては、通常、鉄、アルミニウ
ム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなどがあげ
られる。ここで用いられる過酸化水素水としては、たと
えば不純物としての金属分を含有する粗過酸化水素水を
イオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度過
酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金
属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である高純度鉱酸水溶
液と接触させ、更に各金属成分濃度が１０重量ｐｐｔ以
下である超純水と接触させることにより前処理したイオ
ン交換樹脂を用いて金属分を高度に吸着除去して得られ
る過酸化水素水をあげることができる。また、本発明に
より得られる高純度の過酸化水素水を用いてもよい。
に含有される各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下のも
のである。金属成分としては、通常、鉄、アルミニウ
ム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウムなどがあげ
られる。ここで用いられる過酸化水素水としては、たと
えば不純物としての金属分を含有する粗過酸化水素水を
イオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度過
酸化水素を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金
属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である高純度鉱酸水溶
液と接触させ、更に各金属成分濃度が１０重量ｐｐｔ以
下である超純水と接触させることにより前処理したイオ
ン交換樹脂を用いて金属分を高度に吸着除去して得られ
る過酸化水素水をあげることができる。また、本発明に
より得られる高純度の過酸化水素水を用いてもよい。
【００１１】前処理時の強酸性イオン交換樹脂と各金属
成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である過酸化水素水との
接触は、次のとおり行われる。接触はバッチ法又はカラ
ム通液法のいずれでもよいが、作業効率の観点からカラ
ム通液法が好ましい。カラム通液法をとる場合、前処理
に使用する過酸化水素水の通液速度は、空間速度（以
下、「ＳＶ」と記す。）で通常０．１〜５０ｈｒ-1であ
るが、より好ましくは１〜１０ｈｒ-1である。前処理に
用いられる過酸化水素水の量は、通液倍率（ＢＶ：Ｂｅ
ｄ Ｖｏｌｕｍｅ）で５倍以上、好ましくは１０倍以上
である。なお、前処理に用いられる過酸化水素水の濃度
としては、通常１〜６５重量％、より好ましくは１０〜
４０重量％である。また、過酸化水素水の純度は各金属
成分の濃度が２０重量ｐｐｔ以下であればよいが、不純
物量ができるだけ少ないものの方が好ましい。過酸化水
素水と強酸性カチオン交換樹脂の接触温度に特に制限は
ないが、カチオン交換樹脂の分解をおさえるため、好ま
しくは３０℃以下、より好ましくは１０℃以下で行うの
がよい。
成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である過酸化水素水との
接触は、次のとおり行われる。接触はバッチ法又はカラ
ム通液法のいずれでもよいが、作業効率の観点からカラ
ム通液法が好ましい。カラム通液法をとる場合、前処理
に使用する過酸化水素水の通液速度は、空間速度（以
下、「ＳＶ」と記す。）で通常０．１〜５０ｈｒ-1であ
るが、より好ましくは１〜１０ｈｒ-1である。前処理に
用いられる過酸化水素水の量は、通液倍率（ＢＶ：Ｂｅ
ｄ Ｖｏｌｕｍｅ）で５倍以上、好ましくは１０倍以上
である。なお、前処理に用いられる過酸化水素水の濃度
としては、通常１〜６５重量％、より好ましくは１０〜
４０重量％である。また、過酸化水素水の純度は各金属
成分の濃度が２０重量ｐｐｔ以下であればよいが、不純
物量ができるだけ少ないものの方が好ましい。過酸化水
素水と強酸性カチオン交換樹脂の接触温度に特に制限は
ないが、カチオン交換樹脂の分解をおさえるため、好ま
しくは３０℃以下、より好ましくは１０℃以下で行うの
がよい。
【００１２】金属の除去効率を高める観点から、粗過酸
化水素水の通液は、下降流とすることが好ましい。
化水素水の通液は、下降流とすることが好ましい。
【００１３】不純物としての金属分を含有する粗過酸化
水素水と前処理が施された強酸性イオン交換樹脂との接
触処理は次のとおり行われる。接触はバッチ法及びカラ
ム通液法いずれでもよいが、作業効率の観点からカラム
通液法が好ましい。カラム通液法をとる場合の通液速度
は、通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは
１〜１０ｈｒ-1である。接触温度は、通常３０℃以下で
あり、好ましくは１０℃以下である。
水素水と前処理が施された強酸性イオン交換樹脂との接
触処理は次のとおり行われる。接触はバッチ法及びカラ
ム通液法いずれでもよいが、作業効率の観点からカラム
通液法が好ましい。カラム通液法をとる場合の通液速度
は、通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましくは
１〜１０ｈｒ-1である。接触温度は、通常３０℃以下で
あり、好ましくは１０℃以下である。
【００１４】次に、本発明を実施する具体的実施方法の
例について説明する。まず、強酸性カチオン交換樹脂を
塩酸などの高純度鉱酸の水溶液との接触処理に付し、次
に超純水との接触処理に付す。ここで、鉱酸の水溶液と
しては、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である高
純度鉱酸水溶液が好ましい。また、超純水としては、各
金属成分濃度が１０重量ｐｐｔ以下である超純水が好ま
しい。接触はバッチ法又はカラム通液法のいずれでもよ
いが、作業効率の観点からカラム通液法が好ましい。カ
ラム通液法をとる場合、高純度鉱酸又は超純水の通液速
度は、通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましく
は１〜１０ｈｒ-1である。なお、後記の粗過酸化水素水
の接触処理をカラムの下降流で実施する場合は、高純度
鉱酸を用いる各処理は下降流で開始し、その最終段階で
は上昇流で行うのがよい。処理に用いられる高純度鉱酸
の量は、イオン交換樹脂の量の５０倍以上が好ましく、
更に好ましくは１００倍以上である。また、処理に用い
られる超純水の量は、イオン交換樹脂の量の１０倍以上
が好ましく、更に好ましくは５０倍以上である。以上の
処理の後、前記の本発明の前処理に付し、更に本発明の
接触処理を実施する。なお、接触処理の進行に伴い、樹
脂の金属吸着能力が低下するので、その都度上記の一連
の処理を繰り返せばよい。
例について説明する。まず、強酸性カチオン交換樹脂を
塩酸などの高純度鉱酸の水溶液との接触処理に付し、次
に超純水との接触処理に付す。ここで、鉱酸の水溶液と
しては、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下である高
純度鉱酸水溶液が好ましい。また、超純水としては、各
金属成分濃度が１０重量ｐｐｔ以下である超純水が好ま
しい。接触はバッチ法又はカラム通液法のいずれでもよ
いが、作業効率の観点からカラム通液法が好ましい。カ
ラム通液法をとる場合、高純度鉱酸又は超純水の通液速
度は、通常０．１〜５０ｈｒ-1であるが、より好ましく
は１〜１０ｈｒ-1である。なお、後記の粗過酸化水素水
の接触処理をカラムの下降流で実施する場合は、高純度
鉱酸を用いる各処理は下降流で開始し、その最終段階で
は上昇流で行うのがよい。処理に用いられる高純度鉱酸
の量は、イオン交換樹脂の量の５０倍以上が好ましく、
更に好ましくは１００倍以上である。また、処理に用い
られる超純水の量は、イオン交換樹脂の量の１０倍以上
が好ましく、更に好ましくは５０倍以上である。以上の
処理の後、前記の本発明の前処理に付し、更に本発明の
接触処理を実施する。なお、接触処理の進行に伴い、樹
脂の金属吸着能力が低下するので、その都度上記の一連
の処理を繰り返せばよい。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例により説明
する。なお金属の分析はＩＣＰ−ＭＳ法及びフレームレ
ス原子吸光法で行った。
する。なお金属の分析はＩＣＰ−ＭＳ法及びフレームレ
ス原子吸光法で行った。
【００１６】実施例１ 強酸性カチオン交換樹脂であるＩＲ１２０Ｂ（オルガノ
社製、Ｎａ型）１２０ｍｌを内径４０ｍｍ、長さ２５０
ｍｍのテフロン製カラムに充填し、まず超純水でＳＶ＝
１０ｈｒ-1で１時間、上昇流で水洗し、次に６重量％の
塩酸水溶液を下降流ＳＶ＝５ｈｒ-1で２０時間通液し、
つづいて上昇流ＳＶ＝５ｈｒ-1で１０時間通液した。超
純水で置換した後、このカラムをクリーンルーム（クラ
ス１０００）内で下降流で超純水を用いて十分に水洗を
行い、次に不純物としてナトリウム１０重量ｐｐｔ、カ
ルシウム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔ
を含む３１重量％の高純度過酸化水素水を下降流でＳＶ
＝５ｈｒ-1で４時間通液することにより前処理を行っ
た。引き続き、不純物量としてナトリウム２重量ｐｐ
ｂ、カルシウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６重量ｐ
ｐｂを含む粗過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈｒ-1で
通液することにより接触処理を行った。処理後の過酸化
水素水中の各金属の濃度はナトリウム２重量ｐｐｔ、カ
ルシウム２重量ｐｐｔ及びマグネシウム１重量ｐｐｔ以
下であった。
社製、Ｎａ型）１２０ｍｌを内径４０ｍｍ、長さ２５０
ｍｍのテフロン製カラムに充填し、まず超純水でＳＶ＝
１０ｈｒ-1で１時間、上昇流で水洗し、次に６重量％の
塩酸水溶液を下降流ＳＶ＝５ｈｒ-1で２０時間通液し、
つづいて上昇流ＳＶ＝５ｈｒ-1で１０時間通液した。超
純水で置換した後、このカラムをクリーンルーム（クラ
ス１０００）内で下降流で超純水を用いて十分に水洗を
行い、次に不純物としてナトリウム１０重量ｐｐｔ、カ
ルシウム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔ
を含む３１重量％の高純度過酸化水素水を下降流でＳＶ
＝５ｈｒ-1で４時間通液することにより前処理を行っ
た。引き続き、不純物量としてナトリウム２重量ｐｐ
ｂ、カルシウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６重量ｐ
ｐｂを含む粗過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈｒ-1で
通液することにより接触処理を行った。処理後の過酸化
水素水中の各金属の濃度はナトリウム２重量ｐｐｔ、カ
ルシウム２重量ｐｐｔ及びマグネシウム１重量ｐｐｔ以
下であった。
【００１７】実施例２ 強酸性カチオン交換樹脂であるＳＫＴ１０（三菱化学社
製、Ｈ型）１２０ｍｌを内径４０ｍｍ、長さ２５０ｍｍ
のテフロン製カラムに充填し、まずＳＶ＝１０ｈｒ-1で
１時間、超純水で水洗し、次に６重量％の塩酸水溶液を
ＳＶ＝５ｈｒ-1で１５時間、上昇流で通液し、超純水で
置換した。このカラムをクリーンルーム（クラス１００
０）内で下降流で超純水を用いて十分に水洗を行った
後、不純物としてナトリウム１０重量ｐｐｔ、カルシウ
ム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔを含む
３１重量％の高純度過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈ
ｒ-1で２０時間通液することにより前処理を行った。引
き続き、不純物量としてナトリウム２重量ｐｐｂ、カル
シウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６重量ｐｐｂを含
む原料過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈｒ-1で通液
し、接触処理を行った。処理後の過酸化水素水中の各金
属の濃度はナトリウム１．５重量ｐｐｔ、カルシウム
１．５重量ｐｐｔ及びマグネシウム１重量ｐｐｔ以下で
あった。
製、Ｈ型）１２０ｍｌを内径４０ｍｍ、長さ２５０ｍｍ
のテフロン製カラムに充填し、まずＳＶ＝１０ｈｒ-1で
１時間、超純水で水洗し、次に６重量％の塩酸水溶液を
ＳＶ＝５ｈｒ-1で１５時間、上昇流で通液し、超純水で
置換した。このカラムをクリーンルーム（クラス１００
０）内で下降流で超純水を用いて十分に水洗を行った
後、不純物としてナトリウム１０重量ｐｐｔ、カルシウ
ム１０重量ｐｐｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔを含む
３１重量％の高純度過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈ
ｒ-1で２０時間通液することにより前処理を行った。引
き続き、不純物量としてナトリウム２重量ｐｐｂ、カル
シウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６重量ｐｐｂを含
む原料過酸化水素水を下降流でＳＶ＝５ｈｒ-1で通液
し、接触処理を行った。処理後の過酸化水素水中の各金
属の濃度はナトリウム１．５重量ｐｐｔ、カルシウム
１．５重量ｐｐｔ及びマグネシウム１重量ｐｐｔ以下で
あった。
【００１８】比較例１ 高純度過酸化水素水で洗浄する前処理を行わなかったこ
と以外は実施例１と同じ方法を用いて、ナトリウム２重
量ｐｐｂ、カルシウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６
重量ｐｐｂを含む原料過酸化水素水を精製したところ、
ナトリウム９．５重量ｐｐｔ、カルシウム１０重量ｐｐ
ｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔを含む過酸化水素水が
得られた。
と以外は実施例１と同じ方法を用いて、ナトリウム２重
量ｐｐｂ、カルシウム３重量ｐｐｂ及びマグネシウム６
重量ｐｐｂを含む原料過酸化水素水を精製したところ、
ナトリウム９．５重量ｐｐｔ、カルシウム１０重量ｐｐ
ｔ及びマグネシウム３重量ｐｐｔを含む過酸化水素水が
得られた。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、不
純物である金属分の濃度が極めて低く、よって半導体の
製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水
を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供する
ことができた。
純物である金属分の濃度が極めて低く、よって半導体の
製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水
を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供する
ことができた。
Claims (1)
- 【請求項１】 不純物としての金属分を含有する粗過酸
化水素水を強酸性カチオン交換樹脂との接触処理に付す
ことにより高純度過酸化水素を得る過酸化水素水の精製
方法であって、各金属成分濃度が２０重量ｐｐｔ以下で
ある過酸化水素水と接触させることにより前処理した強
酸性カチオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795795A JPH0912306A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 過酸化水素水の精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795795A JPH0912306A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 過酸化水素水の精製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0912306A true JPH0912306A (ja) | 1997-01-14 |
Family
ID=15661158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15795795A Pending JPH0912306A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 過酸化水素水の精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0912306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1166872A3 (en) * | 2000-06-21 | 2002-04-17 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Method of regenerating ion exchange resin |
| US6896867B2 (en) | 2000-06-21 | 2005-05-24 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Process for producing a purified aqueous hydrogen peroxide solution |
-
1995
- 1995-06-23 JP JP15795795A patent/JPH0912306A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1166872A3 (en) * | 2000-06-21 | 2002-04-17 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Method of regenerating ion exchange resin |
| SG95648A1 (en) * | 2000-06-21 | 2003-04-23 | Santoku Chemical Ind Co Ltd | Method of regenerating ion exchange resin |
| US6896867B2 (en) | 2000-06-21 | 2005-05-24 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Process for producing a purified aqueous hydrogen peroxide solution |
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