JPH09129576A - ダイサーシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイサーシートの主面がワークに一気に貼付
されることを防止でき、ダイサーシートとワークとの間
に気泡が入り込みにくいダイサーシート貼付方法を提供
する。 【解決手段】 第１のステップで容器内にワーク１が吸
引保持される。第２のステップで、ワーク１を吸引保持
しながら容器１２内に密閉空間１６が形成される。第３
のステップで、ワーク１を吸引保持することにより減圧
される密閉空間１６の気圧が測定される。第４のステッ
プで、密閉空間１６内外の気圧を平衡させるため、密閉
空間１６内へ送り込むエア量が決定される。第５のステ
ップで、エアを密閉空間１６内へ送り込みながら、ダイ
サーシート２が容器１２にセットされる。第６のステッ
プで、ワーク１とダイサーシート２との間の密閉空間１
６がゆっくりと減圧される。第７のステップで、密閉空
間１６が急激に減圧され、ダイサーシート２がワーク１
に完全に貼付される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はダイサーシート貼
付方法に関し、特にたとえば、ダイサーカットを行うべ
きセラミックスなどの割れやすいワークに、伸縮性を有
するダイサーシートを気圧差により貼付するためのダイ
サーシート貼付方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、この発明の背景となる従来のダ
イサーシート貼付方法の一例を示す図解図である。ワー
ク１は、たとえば圧電素子などに用いられるセラミック
スなどからなる薄い板状のものである。このワーク１の
一方主面には、ワーク１を所定の形状にダイサーによっ
て切断（以下、ダイサーカットという）する際の前工程
として、ダイサーシート２が貼付される。ダイサーシー
ト２は、ダイサーによってワーク１を切断する時に、切
断刃がワーク１を載置したテーブルを傷付けるのを防止
し、切断したワーク１が飛散しないようにするためのも
のである。このワーク１とダイサーシート２との間に気
泡が入り込むと、ダイサーカット時にワーク１がダイサ
ーシート２から剥がれて、ワーク１にクラックや割れが
生じたり飛散してしまう原因となる。

【０００３】そこで、ワーク１とダイサーシート２との
間に気泡が生じるのを防止するため、図４に示すような
ダイサーシート貼付装置を用いてダイサーシート２を貼
付する方法がある。このダイサーシート貼付装置１０
は、断面略Ｕ字形状のベース部材１２を含む。ベース部
材１２の底面には、ワーク１を吸引保持するための吸引
孔１４が形成される。また、ベース部材１２の底面に
は、第１の気圧調整孔１６が形成される。ベース部材１
２の上には、ダイサーシートを保持するための平面矩形
の枠状の保持部材１８が配置される。保持部材１８は、
ダイサーシート２を貼着して保持するためのものであ
る。ダイサーシート２の貼着面には、たとえば感圧型の
粘着剤層２ａが設けられている。保持部材１８は、ダイ
サーシート２の粘着剤層２ａをワーク１の一方主面に向
けて、ベース部材１２の上に載置され、ベース部材１
２、保持部材１８、およびダイサーシート２に囲まれ密
閉された第１の空間２０が形成される。

【０００４】また、保持部材１８の上には、断面略Ｕ字
形状のフード部材２２がダイサーシート２の上を覆うよ
うにして載置され、フード部材２２およびダイサーシー
ト２に囲まれ密閉された第２の空間２４が形成される。
さらに、フード部材２２の略中央部には、第２の気圧調
整孔２６が形成される。第２の気圧調整孔２６は、第２
の空間２４内のエアを吸引または送出し、気圧を調整す
るための気圧調整装置に接続される。

【０００５】この装置１０を用いる従来のダイサーシー
ト貼付方法では、まず、図４（Ａ）に示すように、ワー
ク１を吸引孔１４から吸引してベース部材１２に保持す
る。次に、ダイサーシート２を保持部材１８に保持させ
る。そして、ダイサーシート２を保持した保持部材１８
をベース部材１２に載置して、密閉された第１の空間２
０を形成する。次に、ダイサーシート２を覆うようにし
てフード部材２２を取り付けて、密閉された第２の空間
２４を形成する。

【０００６】次に、第２の空間２４および第１の空間２
０をそれぞれ減圧する。その後、第２の空間２４を開放
して大気圧をかけると、図４（Ｂ）に示すように、ダイ
サーシート２が第１の空間２０へと撓み入る。さらに、
図４（Ｃ）に示すように、第２の空間２４と第１の空間
２０との圧力差により、ダイサーシート２の粘着剤層２
ａがワーク１へと押圧され貼付される。その後、第１の
空間２０の減圧を解除して、第２の空間２４の気圧と第
１の空間２０の気圧とが等しくなると、図４（Ｄ）に示
すように、ダイサーシート２の張力によりワーク１が持
ち上がる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の貼付方法では、ワーク１の主面が凹凸してい
る場合に、ワーク１を吸引孔１４から吸引してベース部
材１２に保持する際に、ワーク１とベース部材１２とが
密着せず隙間が生じる。そして、ワーク１とベース部材
１２との隙間から第１の空間２０内のエアが漏れて、第
１の空間２０が減圧されてしまう。すると、第１の空間
２０と第２の空間２４との気圧のバランスが崩れるた
め、ダイサーシート２がベース部材１２の上にセットさ
れると、すぐにダイサーシート２が第１の空間２０へ撓
み入ってワーク１に一気に貼り付いてしまう。そのた
め、ダイサーシート２とワーク１との間に気泡が入り込
みやすい。従来の方法でこのような不都合を避けるため
には、ワークを吸引保持ではなく機械的に保持しなけれ
ばならない。しかし、ワークを機械的に保持する場合に
は、メカが複雑になり、高コストになるとともに、ワー
クにストレスがかかり、割れや欠けの原因となる。

【０００８】また、従来の貼付方法では、ダイサーシー
ト２の貼付時に、第１の空間２０の気圧と第２の空間２
４の気圧との圧力差が急激に大きくなるため、ダイサー
シート２の主面がワーク１に一気に貼り付いてしまう。
そのため、ダイサーシート２とワーク１との間に気泡が
入り込みやすい。

【０００９】それゆえに、この発明の主たる目的は、ダ
イサーシートの主面がワークに一気に貼付されることを
防止でき、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り
込みにくいダイサーシート貼付方法を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のダイサ
ーシート貼付方法は、ダイサーカットされるワークへの
ダイサーシートの貼付方法であって、密閉空間内でワー
クを吸引して保持するステップと、ワークの一方主面に
貼付すべきダイサーシートがワークに対して急激に貼付
しないようにするため、ワークを吸引して保持すること
により減圧される密閉空間内へエアを送りこんで密閉空
間内外の気圧の平衡をとるステップを含む、ダイサーシ
ート貼付方法である。

【００１１】請求項２に記載のダイサーシート貼付方法
は、ダイサーカットされるワークへのダイサーシートの
貼付方法であって、ワークを吸引保持するステップと、
ワークとその一方主面に貼付すべきダイサーシートとの
間に、密閉空間を形成し、密閉空間内外の気圧が平衡に
なるようにその密閉空間内の気圧を調整しながら、ダイ
サーシートをワークの一方主面に対向させつつ保持する
ステップと、ダイサーシートを撓ませてワークに貼付す
る際に、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り込
まないように、ダイサーシートの撓みの頂点から徐々に
ワークの主面に貼付するため、ワークとダイサーシート
との間の密閉空間をゆっくりと減圧するステップと、撓
みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサーシートの
残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に一気に貼付
するステップとを含む、ダイサーシート貼付方法であ
る。

【００１２】請求項３に記載のダイサーシート貼付方法
は、ダイサーカットされるワークへのダイサーシートの
貼付方法であって、容器内にワークを吸引して保持する
第１のステップと、ワークを吸引保持しながら、蓋で容
器を密閉して容器内に密閉空間を形成する第２のステッ
プと、ワークを吸引保持することにより減圧される密閉
空間の気圧を測定する第３のステップと、第３のステッ
プにおいて測定された密閉空間内の気圧を密閉空間外の
気圧と平衡させるため、密閉空間内へ送り込むエア量を
決定する第４のステップと、ワークの一方主面に貼付す
べきダイサーシートとワークとの間に密閉空間を形成す
るため容器から蓋を取り外し、第４のステップで決定さ
れた量のエアを密閉空間内へ送り込みながら、ダイサー
シートで容器を再度密閉して密閉空間を形成する第５の
ステップと、ダイサーシートを撓ませてワークに貼付す
る際に、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り込
まないように、ダイサーシートの撓みの頂点から徐々に
ワークの主面に貼付するため、ダイサーシートとワーク
との間の密閉空間をゆっくりと減圧する第６のステップ
と、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサーシ
ートの残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に一気
に貼付するため、ワークとダイサーシートとの間の密閉
空間を急激に減圧する第７のステップとを含む、ダイサ
ーシート貼付方法である。

【００１３】

【作用】請求項１に記載のダイサーシート貼付方法で
は、密閉空間内でワークが吸引されて保持されるため、
密閉空間が減圧される。そして、減圧された密閉空間内
へエアを送り込むことにより、密閉空間内外の気圧が平
衡にされる。したがって、ダイサーシートがワークに対
して急激に貼付されることがなく、ダイサーシートとワ
ークとの間に気泡が入り込まない。

【００１４】請求項２に記載のダイサーシート貼付方法
では、まず、ワークが吸引保持される。次に、吸引保持
されるワークと、そのワークの一方主面に貼付すべきダ
イサーシートとの間に密閉空間が形成される。そして、
その密閉空間内外の気圧が平衡になるように気圧を調整
しながら、ダイサーシートがワークの一方主面に対向さ
れつつ保持される。このとき、密閉空間内外の気圧の平
衡がとられているため、保持されたダイサーシートがワ
ークに対して急激に貼付されることがない。次に、ワー
クとダイサーシートとの間の密閉空間をゆっくりと減圧
する。すると、ダイサーシートは、密閉空間内のワーク
へ向かって撓み込む。そして、ダイサーシートは、その
撓みの頂点から徐々にワークの主面に貼り付いていく。
次に、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサー
シートの残りの部分が、ワークの主面の残りの部分に一
気に貼付される。したがって、ダイサーシートとワーク
との間のエアが撓みの頂点から外側へ押し出されなが
ら、ダイサーシートがワークに貼付されることとなる。
そのため、このダイサーシート貼付方法によれば、ダイ
サーシートとワークとの間に気泡が入り込みにくい。

【００１５】請求項３に記載のダイサーシート貼付方法
では、第１のステップにおいて、容器内にワークが吸引
されて保持される。次に、第２のステップにおいて、ワ
ークが吸引保持されながら、蓋で容器が密閉され密閉空
間が形成される。次に、第３のステップにおいて、ワー
クを吸引保持することにより減圧される密閉空間内の気
圧が測定される。次に、第４のステップにおいて、密閉
空間内の気圧と密閉空間外の気圧とを平衡させるため、
密閉空間内へ送り込むエア量が決定される。次に、第５
のステップにおいて、ワークの一方主面に貼付すべきダ
イサーシートとワークとの間に密閉空間を形成するた
め、容器の蓋が取り外される。そして、第４のステップ
で決定された量のエアを容器内へ送り込みながら、ダイ
サーシートで容器が密閉される。こうすることにより、
密閉した瞬間のダイサーシートとワークとの間の密閉空
間内外の気圧の平衡がとられるため、ダイサーシートが
ワークに対して急激に貼付されることがない。次に、第
６のステップにおいて、ワークとダイサーシートとの間
の密閉空間がゆっくりと減圧される。すると、ダイサー
シートは、密閉空間内のワークへ向かって撓み込む。そ
して、ダイサーシートは、その撓みの頂点から徐々にワ
ークの主面に貼り付いていく。次に、第７のステップに
おいて、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサ
ーシートの残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に
一気に貼付するため、ワークとダイサーシートとの間の
密閉空間が急激に減圧される。したがって、ダイサーシ
ートとワークとの間のエアが、ダイサーシートの撓みの
頂点から外側へ押し出されながら、ダイサーシートがワ
ークに貼付されることとなる。そのため、このダイサー
シート貼付方法によれば、ダイサーシートとワークとの
間に気泡が入り込みにくい。

【００１６】

【発明の効果】この発明にかかるダイサーシート貼付方
法によれば、ダイサーシートの主面がワークに一気に貼
付されることを防止できるので、ダイサーシートとワー
クとの間に気泡が入り込みにくい。また、気圧差により
ダイサーシートをワークに押圧するので、貼付すべきダ
イサーシート全面を均等に押圧することができる。さら
に、気圧差によりダイサーシートをワークに押圧するの
で、ワークに過大なストレスがかからず、クラックや割
れが生じにくい。また、この発明によれば、凹凸のある
ワークであっても、貼付精度を高めることが低コストで
実現できる。

【００１７】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の実施形態の一
例の前半工程を示す工程図である。図２は、この発明の
実施形態の一例の後半工程を示す工程図である。まず、
この発明に用いられるダイサーシート貼付装置について
説明する。この発明のダイサーシート貼付装置１０は、
図１（Ａ）に示すように、断面略Ｕ字形状の容器１２を
含む。容器１２は、板状の蓋１４で密閉されて、図１
（Ｃ）に示すように容器１２の内部に密閉空間１６が形
成される。容器１２の底面のたとえば略中央部には、ワ
ーク１を載置するための載置台１２ａが突き出るように
して形成される。載置台１２ａのワーク１と接触する面
の面積は、ワーク１よりもやや小さくなるよう形成され
る。また、容器１２の底面の略中央部には、載置台１２
ａの略中央部を貫通するようにして、ワーク保持手段と
しての吸引孔１８が形成される。吸引孔１８は、ワーク
１を吸引保持するためのものである。吸引孔１８は、吸
引装置（図示せず）に接続される。なお、この実施例に
適用されるワーク１は、たとえば薄い板状のセラミック
材料などであり、たとえば圧電素子などに用いられるも
のである。

【００１９】また、容器１２の一方側壁には、第１の気
圧調整孔２０が形成される。第１の気圧調整孔２０は、
第１のバルブ２２を介して、エアを送り込むための第１
の気圧調整装置（図示せず）に接続される。第１のバル
ブ２２と第１の気圧調整装置との間には、密閉空間１６
へ送り込むエアの圧力を測定するための第１の気圧計２
４が設けられる。この実施形態では、第１の気圧計２４
は、図示するように、第１のバルブ２２とともに同一の
ケース内に収納される。

【００２０】また、容器１２の他方側壁には、第２の気
圧調整孔２６が形成される。第２の気圧調整孔２６は、
第２のバルブ２８を介して、エアを吸引するための第２
の気圧調整装置（図示せず）に接続される。第２の気圧
調整孔２６と第２のバルブ２８との間には、密閉空間１
６内の気圧を測定するための第２の気圧計３０が設けら
れる。この実施形態では、第２の気圧計３０は、図示す
るように、第２のバルブ２８とともに同一のケース内に
収納される。なお、密閉空間１６の気圧を測定するため
の気圧計は、エアの吸引経路と別個に設けてもよい。

【００２１】さらに、第１のバルブ２２，第２のバルブ
２８，第１の気圧計２４および第２の気圧計３０は、そ
れぞれ制御装置３２に電気的に接続される。制御装置３
２は、第１の気圧計２４および第２の気圧計３０による
測定結果に基づいて、第１のバルブ２２および第２のバ
ルブ２８の開閉度を調整し、密閉空間１６内の気圧が密
閉空間１６外の気圧と一致するようにフィードバック制
御するためのものである。制御装置３２としては、たと
えばパーソナルコンピュータを用いることができる。

【００２２】次に、この実施形態のダイサーシート貼付
方法を説明する。まず、図１（Ｂ）に示すように、第１
のステップとして、ワーク１が、容器１２の載置台１２
ａの上に載置され、吸引装置により吸引孔１８から吸引
されることにより吸引保持される。このワーク１は、必
ずしも平滑なものではなく、反っていたり表面が凸凹し
ていたりする。また、載置台１２ａの表面も必ずしも平
滑ではない。そのため、ワーク１を載置台１２ａ上に吸
引保持した場合、気密状態を保つことができず、ワーク
１と載置台１２ａの隙間からエアが漏れ出ることにな
る。

【００２３】次に、第２のステップとして、図１（Ｃ）
に示すように、容器１２が蓋１４で密閉され、容器１２
の内部に密閉空間１６が形成される。この時、第１のバ
ルブ２２および第２のバルブ２８は、いずれも閉じられ
ている。そして、密閉空間１６内部では、ワーク１が引
き続き吸引保持され、ワーク１と載置台１２ａとの隙間
からエアが漏れ出し続ける。そのため、ワーク１の吸引
保持を原因として、密閉空間１６内部が減圧される。

【００２４】次に、第３のステップとして、図１（Ｃ）
に示す状態において、減圧された密閉空間１６内部の気
圧が、第２の気圧計３０によって測定される。第２の気
圧計３０によって測定された密閉空間１６内部の気圧
は、制御装置３２にフィードバックされる。次に、第４
のステップとして、第２の気圧計３０によって測定され
た密閉空間１６内部の気圧を、密閉空間１６外の気圧
（大気圧）と平衡させるために、容器１２内へ送り込む
エア量が決定される。そのため、まず、制御装置３２に
よって、第２の気圧計３０による測定結果に基づき、密
閉空間１６内へ送り込むエア量が仮に設定される。そし
て、制御装置３２によって第１のバルブ２２の開き具合
が調整され、第１の気圧調整装置によって、第１のバル
ブ２２および第１の気圧調整孔２０を介して、エアが密
閉空間１６内へ送り込まれる。送り込まれるエアの圧力
は、第１の気圧計２４によって測定することができる。
こうして、密閉空間１６内の気圧が密閉空間１６外の気
圧（大気圧）と平衡になるまで、上述の第３のステップ
および第４のステップの動作が繰り返されてフィードバ
ック制御される。そして、平衡状態になったときに送り
込まれているエア量が、この第４のステップで決定され
るエア量となる。

【００２５】次に、第５のステップとして、第４のステ
ップで決定された量のエアを密閉空間１６内へ送り込み
ながら、蓋１４が取り外され、引き続き、図２（Ａ）に
示すように、ダイサーシート２で容器１２が密閉され
る。ダイサーシート２の容器１２へのセットは、ダイサ
ーシート２の周囲を容器１２の開口部端面に粘着剤層２
ａで貼付することにより行われる。なお、粘着剤層２ａ
は、たとえば感圧型の粘着剤がダイサーシート２の一方
面にコーティングされて設けられる。このように、この
実施形態では、第４のステップで決定された量のエアを
密閉空間１６内へ送り込みながらダイサーシート２をセ
ットするので、密閉した瞬間のダイサーシート２とワー
ク１との間の密閉空間１６内外の気圧の平衡がとられ、
密閉した瞬間にダイサーシート２がワーク１に対して急
激に貼付されるということがない。

【００２６】次に、第６のステップとして、制御装置３
２によって、第２のバルブ２８が少しだけ開かれ、第２
の気圧調整装置によって、密閉空間１６内の気圧がゆっ
くりと減圧されていく。この際、第４のステップで決定
された量のエアは、引き続き密閉空間１６内へ送り込ま
れるが、平衡をとるためのフィードバック制御動作は停
止されている。こうすることにより、ダイサーシート２
は、密閉空間１６内にワーク１へ向かって徐々に撓み込
む。そして、ダイサーシート２は、その撓みの頂点から
徐々にワーク１の主面に貼り付いていく。

【００２７】次に、第７のステップとして、制御装置３
２によって、第２のバルブ２８が全開にされ、第２の気
圧調整装置によって、密閉空間１６内の気圧が急激に減
圧されていく。この際、減圧を促進するために、第４の
ステップで決定された量のエアの送り込みも停止され
る。こうすることにより、撓みの頂点がワーク１の主面
に貼付されたダイサーシート２の残りの部分が、ワーク
１の主面の残りの部分に一気に貼付されることとなる。
こうして、ダイサーシート２がワーク１に完全に貼付さ
れる。したがって、ダイサーシート２とワーク１との間
のエアが、ダイサーシート２の撓みの頂点から外側へ押
し出されながら、ダイサーシート２がワーク１に完全に
貼付されることとなる。そのため、このダイサーシート
貼付方法によれば、ダイサーシート２とワーク１との間
に気泡が入り込みにくい。

【００２８】図３は、この発明の実施形態の一例の密閉
空間の減圧状況の経時的変化を示すグラフである。図３
に示すグラフにおいて、原点は、上述の第５のステップ
が終了した時点である。そして、時間軸上のｔ₁ 時は、
上述の第６のステップが終了した時点である。さらに、
時間軸上のｔ₂ 時は、上述の第７のステップが終了した
時点である。図３に示すように、第６のステップが終了
するまでは、緩やかな傾きでゆっくりと減圧され、第６
のステップが終了した後、急な傾きで急激に減圧され
る。

【００２９】このように、この実施形態のダイサーシー
ト貼付方法によれば、ダイサーシート２の主面がワーク
１に一気に貼付されることを防止できるので、ダイサー
シート２とワーク１との間に気泡が入り込みにくい。ま
た、この実施形態のダイサーシート貼付方法によれば、
撓んだダイサーシート２が、撓みの頂点近傍から外周部
へと徐々に貼付されていくので、ワーク１との間に気泡
が入り込みにくい。また、気圧差で押圧するので、ダイ
サーシート２は、ワーク１に対して全面均等な圧力で押
圧される。さらに、気圧差により押圧するので、気圧の
調整を行うことにより押圧力の調整が行いやすい。ま
た、気圧差により押圧するので、ワーク１に対して過大
なストレスがかかりにくく、クラックや割れが発生しに
くい。さらに、この実施形態によれば、凹凸のあるワー
ク１であっても、貼付精度を高めることが低コストで実
現できる。また、ダイサーシート２を貼付するための圧
力や時間を制御できるので、ダイサーシート２の特性に
合った貼付条件が設定でき、仕上がりのばらつきが少な
くなる。

【００３０】なお、第７のステップにおいて、上述の方
法に限らず、たとえば、ダイサーシート２のワーク１と
反対側に別の密閉空間を形成し、その空間を加圧するこ
とにより、撓みの頂点がワーク１の主面に貼付されたダ
イサーシート２の残りの部分を、ワーク１の主面の残り
の部分に一気に貼付するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態の一例の前半工程を示す工
程図である。

【図２】この発明の実施形態の一例の後半工程を示す工
程図である。

【図３】この発明の実施形態の一例の密閉空間の減圧状
況の経時的変化を示すグラフである。

【図４】従来のダイサーシート貼付方法の一例を示す工
程図である。

【符号の説明】

１ ワーク ２ ダイサーシート １０ ダイサーシート貼付装置 １２ 容器 １２ａ 載置台 １４ 蓋 １６ 密閉空間 １８ 吸引孔 ２０ 第１の気圧調整孔 ２２ 第１のバルブ ２４ 第１の気圧計 ２６ 第２の気圧調整孔 ２８ 第２のバルブ ３０ 第２の気圧計 ３２ 制御装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイサーカットされるワークへのダイサ
   ーシートの貼付方法であって、 密閉空間内でワークを吸引して保持するステップ、およ
   び前記ワークの一方主面に貼付すべきダイサーシートが
   前記ワークに対して急激に貼付しないようにするため、
   前記ワークを吸引して保持することにより減圧される前
   記密閉空間内へエアを送りこんで前記密閉空間内外の気
   圧の平衡をとるステップを含む、ダイサーシート貼付方
   法。
2. 【請求項２】 ダイサーカットされるワークへのダイサ
   ーシートの貼付方法であって、 前記ワークを吸引保持するステップ、 前記ワークとその一方主面に貼付すべきダイサーシート
   との間に、密閉空間を形成し、前記密閉空間内外の気圧
   が平衡になるように前記密閉空間内の気圧を調整しなが
   ら、前記ダイサーシートを前記ワークの一方主面に対向
   させつつ保持するステップ、 前記ダイサーシートを撓ませて前記ワークに貼付する際
   に、前記ダイサーシートと前記ワークとの間に気泡が入
   り込まないように、前記ダイサーシートの撓みの頂点か
   ら徐々に前記ワークの主面に貼付するため、前記ワーク
   と前記ダイサーシートとの間の密閉空間をゆっくりと減
   圧するステップ、および撓みの頂点が前記ワークの主面
   に貼付された前記ダイサーシートの残りの部分を、前記
   ワークの主面の残りの部分に一気に貼付するステップを
   含む、ダイサーシート貼付方法。
3. 【請求項３】 ダイサーカットされるワークへのダイサ
   ーシートの貼付方法であって、 容器内にワークを吸引して保持する第１のステップ、 前記ワークを吸引保持しながら、蓋で前記容器を密閉し
   て前記容器内に密閉空間を形成する第２のステップ、 前記ワークを吸引保持することにより減圧される前記密
   閉空間の気圧を測定する第３のステップ、 前記第３のステップにおいて測定された前記密閉空間内
   の気圧を前記密閉空間外の気圧と平衡させるため、前記
   密閉空間内へ送り込むエア量を決定する第４のステッ
   プ、 前記ワークの一方主面に貼付すべきダイサーシートと前
   記ワークとの間に密閉空間を形成するため前記容器から
   前記蓋を取り外し、前記第４のステップで決定された量
   のエアを前記密閉空間内へ送り込みながら、前記ダイサ
   ーシートで前記容器を再度密閉して密閉空間を形成する
   第５のステップ、 前記ダイサーシートを撓ませて前記ワークに貼付する際
   に、前記ダイサーシートと前記ワークとの間に気泡が入
   り込まないように、前記ダイサーシートの撓みの頂点か
   ら徐々に前記ワークの主面に貼付するため、前記ダイサ
   ーシートと前記ワークとの間の前記密閉空間をゆっくり
   と減圧する第６のステップ、および撓みの頂点が前記ワ
   ークの主面に貼付された前記ダイサーシートの残りの部
   分を、前記ワークの主面の残りの部分に一気に貼付する
   ため、前記ワークと前記ダイサーシートとの間の密閉空
   間を急激に減圧する第７のステップを含む、ダイサーシ
   ート貼付方法。