JPH09129982A - 外部共振器型ｌｄ光源 - Google Patents
外部共振器型ｌｄ光源Info
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- JPH09129982A JPH09129982A JP30692595A JP30692595A JPH09129982A JP H09129982 A JPH09129982 A JP H09129982A JP 30692595 A JP30692595 A JP 30692595A JP 30692595 A JP30692595 A JP 30692595A JP H09129982 A JPH09129982 A JP H09129982A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
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- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＲＯＲ共振のための光学部品の角度調整箇所
を少なくし、調整を容易にして調整時間の短縮と光源の
再現性・安定性を向上させる外部共振器型ＬＤ光源を提
供すること。 【解決手段】 一方の端面に無反射膜を施し、半導体レ
ーザ駆動回路により駆動されるＬＤ２４と、無反射端面
からの出射光を平行光に変換するレンズ２２と、平行光
に変換された出射光を波長選択し反射する外部反射器を
備え、他の一方の端面からの出射光を出力光とする外部
共振器型ＬＤ光源は、ＬＤ２４の無反射膜側からの出射
光を反射分岐し、回折格子１６とコーナーキューブプリ
ズム１２からの反射光を透過分岐するビームスプリッタ
１４と、ビームスプリッタ１４と回折格子１６からの反
射光を平行に光路変換するコーナーキューブプリズム１
２と、コーナーキューブプリズム１２からの反射光を波
長選択して反射する回折格子１６とを有し、ビームスプ
リッタ１４、コーナーキューブプリズム１２および回折
格子１６により光共鳴反射器構造の外部反射器が形成さ
れる。
を少なくし、調整を容易にして調整時間の短縮と光源の
再現性・安定性を向上させる外部共振器型ＬＤ光源を提
供すること。 【解決手段】 一方の端面に無反射膜を施し、半導体レ
ーザ駆動回路により駆動されるＬＤ２４と、無反射端面
からの出射光を平行光に変換するレンズ２２と、平行光
に変換された出射光を波長選択し反射する外部反射器を
備え、他の一方の端面からの出射光を出力光とする外部
共振器型ＬＤ光源は、ＬＤ２４の無反射膜側からの出射
光を反射分岐し、回折格子１６とコーナーキューブプリ
ズム１２からの反射光を透過分岐するビームスプリッタ
１４と、ビームスプリッタ１４と回折格子１６からの反
射光を平行に光路変換するコーナーキューブプリズム１
２と、コーナーキューブプリズム１２からの反射光を波
長選択して反射する回折格子１６とを有し、ビームスプ
リッタ１４、コーナーキューブプリズム１２および回折
格子１６により光共鳴反射器構造の外部反射器が形成さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＬＤ光源に関するもの
であり、より具体的には光計測技術分野に適用される外
部共振器型ＬＤ光源についてのものである。
であり、より具体的には光計測技術分野に適用される外
部共振器型ＬＤ光源についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザなどのＬＤ光源を光計測技
術で使用するためには、波長可変が可能で狭スペクトル
線幅でかつ波長安定度の良い単一モード発振ＬＤ光源が
必要である。単一モード発振ＬＤ光源の構造は、ＬＤ素
子内部の導波路に回折格子を形成したモノリシック型Ｌ
Ｄ構造と、ＬＤ素子の外部に回折格子等の反射器を配置
した外部共振器型ＬＤ構造とに大別できる。
術で使用するためには、波長可変が可能で狭スペクトル
線幅でかつ波長安定度の良い単一モード発振ＬＤ光源が
必要である。単一モード発振ＬＤ光源の構造は、ＬＤ素
子内部の導波路に回折格子を形成したモノリシック型Ｌ
Ｄ構造と、ＬＤ素子の外部に回折格子等の反射器を配置
した外部共振器型ＬＤ構造とに大別できる。
【０００３】図４はこのような従来技術における外部共
振器型ＬＤ光源の構造を示したものであり、ここでは片
端面に無反射膜を施したＬＤ２４の外部に回折格子４６
を配置した外部共振器型ＬＤ光源の側面から見た時の構
造を示している。この構造で、回折格子４６はＬＤ２４
の出射光に対してリトロー配置で配設されている。回折
格子４６で選択され、ＬＤ２４に反射される波長はブラ
ッグ波長と呼ばれ、回折格子４６を回転させることによ
りブラッグ波長が変化するため、回折格子４６の回転で
波長可変が可能である。
振器型ＬＤ光源の構造を示したものであり、ここでは片
端面に無反射膜を施したＬＤ２４の外部に回折格子４６
を配置した外部共振器型ＬＤ光源の側面から見た時の構
造を示している。この構造で、回折格子４６はＬＤ２４
の出射光に対してリトロー配置で配設されている。回折
格子４６で選択され、ＬＤ２４に反射される波長はブラ
ッグ波長と呼ばれ、回折格子４６を回転させることによ
りブラッグ波長が変化するため、回折格子４６の回転で
波長可変が可能である。
【０００４】しかし、広範囲に波長可変させるには、図
４に示した回折格子４６の回転軸に対しての回折格子４
６の平行度（θ１）とＬＤ出射光の回折格子回転軸への
入射角度（θ２）の２箇所の角度調整が重要である。そ
の調整精度としては、０．０１度程度有ればよく、光軸
調整は容易である。
４に示した回折格子４６の回転軸に対しての回折格子４
６の平行度（θ１）とＬＤ出射光の回折格子回転軸への
入射角度（θ２）の２箇所の角度調整が重要である。そ
の調整精度としては、０．０１度程度有ればよく、光軸
調整は容易である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの種の
回折格子４６のみの外部共振器型ＬＤ光源では、スペク
トル線幅や波長安定度で十分な性能を得ることができな
かった。このため、このような要求を満たす高性能のＬ
Ｄ光源として、たとえば特開平６−１１２５８３号公報
には光共鳴反射器（ＲＯＲ：Resonant Optical Refrect
or）構造を取り入れたＬＤ光源が開示されている。具体
的には、回折格子４６、ビームスプリッタ１４および全
反射ミラー３８からＲＯＲ構造が形成され、片端面に無
反射膜を施したＬＤ２４の外部反射器として配置された
外部共振器型ＬＤ光源がある。外部共振器型ＬＤ光源に
ＲＯＲ構造を取り入れると、光の共振特性を用いて波長
依存性のある急峻な反射特性から、外部共振器を長くせ
ずに狭スペクトル線幅が得られる。
回折格子４６のみの外部共振器型ＬＤ光源では、スペク
トル線幅や波長安定度で十分な性能を得ることができな
かった。このため、このような要求を満たす高性能のＬ
Ｄ光源として、たとえば特開平６−１１２５８３号公報
には光共鳴反射器（ＲＯＲ：Resonant Optical Refrect
or）構造を取り入れたＬＤ光源が開示されている。具体
的には、回折格子４６、ビームスプリッタ１４および全
反射ミラー３８からＲＯＲ構造が形成され、片端面に無
反射膜を施したＬＤ２４の外部反射器として配置された
外部共振器型ＬＤ光源がある。外部共振器型ＬＤ光源に
ＲＯＲ構造を取り入れると、光の共振特性を用いて波長
依存性のある急峻な反射特性から、外部共振器を長くせ
ずに狭スペクトル線幅が得られる。
【０００６】しかし、ＲＯＲ構造を、回折格子４６、ビ
ームスプリッタ１４および全反射ミラー３８の光学部品
から形成するには、空間光で共振特性を作る必要がある
ため、光軸調整が非常に難しい。すなわち、回折格子４
６、ビームスプリッタ１４および全反射ミラー３８から
形成するＲＯＲ構造をＬＤ光源に使用するには、ＬＤ部
２４を含んだ光学部品の角度調整箇所として最低５箇所
必要となる。その調整精度も０．００１度程度と、回折
格子４６のみを使用した時の１０倍程度の精度を必要と
するため、光軸調整が非常に難しくなっている。また、
温度変化等で光軸に角度調整の変化が生じるとＲＯＲ共
振特性が変化し、再現性や安定性が悪くなるという問題
がある。そのため、ＲＯＲ構造の外部共振器型ＬＤ光源
を製造しようとしても、光軸調整に多大な時間がかか
り、再現性・安定度の問題もあり、製品化は非常に困難
であった。
ームスプリッタ１４および全反射ミラー３８の光学部品
から形成するには、空間光で共振特性を作る必要がある
ため、光軸調整が非常に難しい。すなわち、回折格子４
６、ビームスプリッタ１４および全反射ミラー３８から
形成するＲＯＲ構造をＬＤ光源に使用するには、ＬＤ部
２４を含んだ光学部品の角度調整箇所として最低５箇所
必要となる。その調整精度も０．００１度程度と、回折
格子４６のみを使用した時の１０倍程度の精度を必要と
するため、光軸調整が非常に難しくなっている。また、
温度変化等で光軸に角度調整の変化が生じるとＲＯＲ共
振特性が変化し、再現性や安定性が悪くなるという問題
がある。そのため、ＲＯＲ構造の外部共振器型ＬＤ光源
を製造しようとしても、光軸調整に多大な時間がかか
り、再現性・安定度の問題もあり、製品化は非常に困難
であった。
【０００７】また、従来のＲＯＲ構造で図３に示される
ＬＤ２４からの平行光をビームスプリッタ１４で全反射
ミラー側に反射させる構造では、ＲＯＲ共振特性が弱い
場合、全反射ミラーとＬＤの無反射膜が施されていない
端面でできるファブリ・ペロ（ＦＰ）共振器で、ＦＰモ
ード発振してしまう問題も生じた。
ＬＤ２４からの平行光をビームスプリッタ１４で全反射
ミラー側に反射させる構造では、ＲＯＲ共振特性が弱い
場合、全反射ミラーとＬＤの無反射膜が施されていない
端面でできるファブリ・ペロ（ＦＰ）共振器で、ＦＰモ
ード発振してしまう問題も生じた。
【０００８】この発明は、ＲＯＲ共振のための光学部品
の角度調整箇所を少なくし、調整を容易にして調整時間
の短縮と外部共振器型ＬＤ光源の再現性・安定性を向上
させる外部共振器型ＬＤ光源を提供することを目的とす
る。
の角度調整箇所を少なくし、調整を容易にして調整時間
の短縮と外部共振器型ＬＤ光源の再現性・安定性を向上
させる外部共振器型ＬＤ光源を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、一方の端面に無反射膜を施し、半導体
レーザ駆動回路により駆動されるＬＤ２４と、無反射端
面からの出射光を平行光に変換するレンズ２２と、平行
光に変換された出射光を波長選択し反射する外部反射器
を備え、他の一方の端面からの出射光を出力光とする外
部共振器型ＬＤ光源は、ＬＤ２４の無反射膜側からの出
射光を反射分岐し、回折格子１６とコーナーキューブプ
リズム１２からの反射光を透過分岐するビームスプリッ
タ１４と、ビームスプリッタ１４と回折格子１６からの
反射光を平行に光路変換するコーナーキューブプリズム
１２と、コーナーキューブプリズム１２からの反射光を
波長選択して反射する回折格子１６とを有し、ビームス
プリッタ１４、コーナーキューブプリズム１２および回
折格子１６により光共鳴反射器構造の外部反射器が形成
される。
め、この発明は、一方の端面に無反射膜を施し、半導体
レーザ駆動回路により駆動されるＬＤ２４と、無反射端
面からの出射光を平行光に変換するレンズ２２と、平行
光に変換された出射光を波長選択し反射する外部反射器
を備え、他の一方の端面からの出射光を出力光とする外
部共振器型ＬＤ光源は、ＬＤ２４の無反射膜側からの出
射光を反射分岐し、回折格子１６とコーナーキューブプ
リズム１２からの反射光を透過分岐するビームスプリッ
タ１４と、ビームスプリッタ１４と回折格子１６からの
反射光を平行に光路変換するコーナーキューブプリズム
１２と、コーナーキューブプリズム１２からの反射光を
波長選択して反射する回折格子１６とを有し、ビームス
プリッタ１４、コーナーキューブプリズム１２および回
折格子１６により光共鳴反射器構造の外部反射器が形成
される。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、この発明による外部共振器
型ＬＤ光源の実施の形態を図１と図２を参照して説明す
る。図１は、外部共振器型ＬＤ光源の光源上面から見た
構造を示しており、また、図２はＬＤ側から見た側面図
を示している。図１・図２において、１０は位相調整駆
動回路、１２はコーナーキューブプリズム、１３は並行
移動機構、１４は反射率の低いビームスプリッタ、１６
は回折格子、１８は波長可変駆動回路、２０は回転調整
機構、２２，２８，３２はレンズ、２４は片端面に無反
射膜が施された半導体レーザであるＬＤ素子、２６はＬ
Ｄ駆動回路、３０は光アイソレータ、３４は出力ファイ
バである。
型ＬＤ光源の実施の形態を図１と図２を参照して説明す
る。図１は、外部共振器型ＬＤ光源の光源上面から見た
構造を示しており、また、図２はＬＤ側から見た側面図
を示している。図１・図２において、１０は位相調整駆
動回路、１２はコーナーキューブプリズム、１３は並行
移動機構、１４は反射率の低いビームスプリッタ、１６
は回折格子、１８は波長可変駆動回路、２０は回転調整
機構、２２，２８，３２はレンズ、２４は片端面に無反
射膜が施された半導体レーザであるＬＤ素子、２６はＬ
Ｄ駆動回路、３０は光アイソレータ、３４は出力ファイ
バである。
【００１１】図１において、外部共振器型ＬＤ光源に使
用されるＬＤ素子２４は、一方の端面には無反射膜が施
されており、他方の端面には無反射膜が施されていない
ＬＤ素子である。ＬＤ素子２４はＬＤ駆動回路２６によ
って電流注入されることで光が出射される。すなわち、
ＬＤ駆動回路２６によってＬＤ素子２４に電流注入され
ると、無反射膜が施されていない端面からの出射光はレ
ンズ２８、光アイソレータ３０およびレンズ３０を通過
して光ファイバ３４に入射され、出力光となる。一方、
無反射膜端面からの出射光はレンズ２２によって平行光
に変換され、回折格子１６とビームスプリッタ１４とコ
ーナーキューブプリズム１２から形成されるＲＯＲ構造
の外部反射器に入力される。
用されるＬＤ素子２４は、一方の端面には無反射膜が施
されており、他方の端面には無反射膜が施されていない
ＬＤ素子である。ＬＤ素子２４はＬＤ駆動回路２６によ
って電流注入されることで光が出射される。すなわち、
ＬＤ駆動回路２６によってＬＤ素子２４に電流注入され
ると、無反射膜が施されていない端面からの出射光はレ
ンズ２８、光アイソレータ３０およびレンズ３０を通過
して光ファイバ３４に入射され、出力光となる。一方、
無反射膜端面からの出射光はレンズ２２によって平行光
に変換され、回折格子１６とビームスプリッタ１４とコ
ーナーキューブプリズム１２から形成されるＲＯＲ構造
の外部反射器に入力される。
【００１２】ビームスプリッタ１４は反射率が１０％か
ら３０％のビームスプリッタであり、レンズ２２からの
平行光はこれによりコーナーキューブプリズム１２に光
路変換される。コーナーキューブプリズム１２は、入射
光が角度を持って入射されても、その反射光は入射光自
身に平行で逆向きに反射される機能を持っている。その
ため、コーナーキューブプリズム１２に入射した平行光
は、コーナーキューブプリズム１２の入射位置から１８
０度の軸回転対象の位置から出射され、その出射光路は
入射光路と平行となって回折格子１６に入射される。し
たがって、角度調整が必要でなく、回折格子１６のみを
使用した外部共振器型ＬＤ光源ように、回折格子１６の
回転軸との平行度調整と回折格子回転軸への平行光の入
射角度調整の２箇所を精度良く角度調整すれば良い。
ら３０％のビームスプリッタであり、レンズ２２からの
平行光はこれによりコーナーキューブプリズム１２に光
路変換される。コーナーキューブプリズム１２は、入射
光が角度を持って入射されても、その反射光は入射光自
身に平行で逆向きに反射される機能を持っている。その
ため、コーナーキューブプリズム１２に入射した平行光
は、コーナーキューブプリズム１２の入射位置から１８
０度の軸回転対象の位置から出射され、その出射光路は
入射光路と平行となって回折格子１６に入射される。し
たがって、角度調整が必要でなく、回折格子１６のみを
使用した外部共振器型ＬＤ光源ように、回折格子１６の
回転軸との平行度調整と回折格子回転軸への平行光の入
射角度調整の２箇所を精度良く角度調整すれば良い。
【００１３】回折格子１６には回転調整機構２０が設け
られ、コーナーキューブプリズム１２には平行移動機構
１３が設けられている。また、回転調整機構２０にはこ
れを駆動する波長可変駆動回路１８が、平行移動機構１
３には位相調整駆動回路１０が備えられている。波長可
変駆動回路１８からの制御信号によって回折格子１６の
回転調整が行われ、これにより外部共振器型ＬＤ光源の
波長可変が行われる。また、位相調整駆動回路１０から
の制御信号によって平行移動機構１３の移動調整が行わ
れ、これにより外部共振器型ＬＤ光源の位相調整が行わ
れる。これら位相調整駆動回路１０と波長可変駆動回路
１８により、レーザ発振したときの位相整合条件を保っ
たまま回折格子１６の回転とコーナーキューブプリズム
１２の平行移動を同時に行えば、モードホップのない連
続した波長可変も行える。
られ、コーナーキューブプリズム１２には平行移動機構
１３が設けられている。また、回転調整機構２０にはこ
れを駆動する波長可変駆動回路１８が、平行移動機構１
３には位相調整駆動回路１０が備えられている。波長可
変駆動回路１８からの制御信号によって回折格子１６の
回転調整が行われ、これにより外部共振器型ＬＤ光源の
波長可変が行われる。また、位相調整駆動回路１０から
の制御信号によって平行移動機構１３の移動調整が行わ
れ、これにより外部共振器型ＬＤ光源の位相調整が行わ
れる。これら位相調整駆動回路１０と波長可変駆動回路
１８により、レーザ発振したときの位相整合条件を保っ
たまま回折格子１６の回転とコーナーキューブプリズム
１２の平行移動を同時に行えば、モードホップのない連
続した波長可変も行える。
【００１４】回折格子１６に入射した光は、回折格子１
６で波長選択されたブラッグ波長のみが再度コーナーキ
ューブプリズム１２側へ反射され、同一光路を通りコー
ナーキューブプリズム１２の出射位置に入射される。コ
ーナーキューブプリズム１２を再度通過した平行光は、
再度ビームスプリッタ１４に入射され、反射率分の光が
ＬＤ２４側に戻る。しかし、入射光の大半（９０％〜７
０％）がビームスプリッタ１４を透過し、図２に示され
るように上記と異なった回折格子１６の位置に入射され
る。そして、再度回折格子１６で波長選択されるが、回
折格子１６への入射角度は上記と同一であるため、入射
光がそのまま反射光となり、ビームスプリッタ１４側に
反射される。
６で波長選択されたブラッグ波長のみが再度コーナーキ
ューブプリズム１２側へ反射され、同一光路を通りコー
ナーキューブプリズム１２の出射位置に入射される。コ
ーナーキューブプリズム１２を再度通過した平行光は、
再度ビームスプリッタ１４に入射され、反射率分の光が
ＬＤ２４側に戻る。しかし、入射光の大半（９０％〜７
０％）がビームスプリッタ１４を透過し、図２に示され
るように上記と異なった回折格子１６の位置に入射され
る。そして、再度回折格子１６で波長選択されるが、回
折格子１６への入射角度は上記と同一であるため、入射
光がそのまま反射光となり、ビームスプリッタ１４側に
反射される。
【００１５】これらが繰り返されるために共振特性が得
られ、コーナーキューブプリズム１２を用いているため
両端面が回折格子であるＲＯＲ型共振器が形成され、Ｌ
Ｄ２４の無反射膜側の外部反射器として機能する。
られ、コーナーキューブプリズム１２を用いているため
両端面が回折格子であるＲＯＲ型共振器が形成され、Ｌ
Ｄ２４の無反射膜側の外部反射器として機能する。
【００１６】このコーナーキューブプリズム１２を用い
たＲＯＲ構造の外部共振器型ＬＤ光源での光学部品の角
度調整は、図４に示した回折格子１６のみを使用した外
部共振器型ＬＤ光源の角度調整箇所と同一となり、回折
格子１６の回転軸に対しての回折格子１６の平行度とＬ
Ｄ出射光の回折格子回転軸への入射角度の２箇所とな
る。ただし、コーナーキューブプリズム１２を使用して
も共振特性であるため、調整精度は１０倍程度厳しいの
は、従来のＲＯＲ構造と同じである。コーナーキューブ
プリズム１２の角度調整は必要ないが、入射光と反射光
の光路を回折格子１６の回転軸上に合わせるために、位
置調整は必要であるが、角度調整のような厳しい精度は
必要ない。
たＲＯＲ構造の外部共振器型ＬＤ光源での光学部品の角
度調整は、図４に示した回折格子１６のみを使用した外
部共振器型ＬＤ光源の角度調整箇所と同一となり、回折
格子１６の回転軸に対しての回折格子１６の平行度とＬ
Ｄ出射光の回折格子回転軸への入射角度の２箇所とな
る。ただし、コーナーキューブプリズム１２を使用して
も共振特性であるため、調整精度は１０倍程度厳しいの
は、従来のＲＯＲ構造と同じである。コーナーキューブ
プリズム１２の角度調整は必要ないが、入射光と反射光
の光路を回折格子１６の回転軸上に合わせるために、位
置調整は必要であるが、角度調整のような厳しい精度は
必要ない。
【００１７】これらの結果、角度調整箇所が少なく光軸
調整が容易になり、調整時間の短縮とＬＤ光源の再現性
と安定度の向上が図れる。
調整が容易になり、調整時間の短縮とＬＤ光源の再現性
と安定度の向上が図れる。
【００１８】また、従来のＲＯＲ構造でＬＤからの平行
光をビームスプリッタ１４で全反射ミラー側に反射させ
る構造では、ＲＯＲ共振特性が弱い場合に、全反射ミラ
ーとＬＤ２４の無反射膜が施されていない端面でできる
ファブリ・ペロ（ＦＰ）共振器で、ＦＰモード発振して
しまう問題もあったが、本実施の形態のＲＯＲ構造で
は、回折格子１６が両端面の構造となるので、回折格子
１６で選択された波長のみが発振することになり、ＲＯ
Ｒ共振特性が弱くなった場合でも安定した単一モード発
振が得られる。
光をビームスプリッタ１４で全反射ミラー側に反射させ
る構造では、ＲＯＲ共振特性が弱い場合に、全反射ミラ
ーとＬＤ２４の無反射膜が施されていない端面でできる
ファブリ・ペロ（ＦＰ）共振器で、ＦＰモード発振して
しまう問題もあったが、本実施の形態のＲＯＲ構造で
は、回折格子１６が両端面の構造となるので、回折格子
１６で選択された波長のみが発振することになり、ＲＯ
Ｒ共振特性が弱くなった場合でも安定した単一モード発
振が得られる。
【００１９】以上のように、ＲＯＲ構造を形成するため
の光学部品に、波長選択性のある回折格子と反射率１０
％〜３０％・透過率９０％〜７０％のビームスプリッタ
のほかに光学部品の角度に依存せず、入射光と反射光と
が何時も平行になる機能を持つコーナーキューブプリズ
ムを用い、形成されたＲＯＲ構造をＬＤの無反射膜側の
外部反射器として使用する。このため、高精度で調整す
る光学部品の角度調整箇所は、回折格子の回転軸に対し
ての回折格子の平行度と、回折格子回転軸への平行光の
入射角度の２箇所の角度調整だけとなる。コーナーキュ
ーブプリズムの位置調整は必要であるが、光学部品の角
度調整のような調整精度は必要ではなく、かつ回折格子
の回転軸に対して水平方向の位置調整だけで良い。
の光学部品に、波長選択性のある回折格子と反射率１０
％〜３０％・透過率９０％〜７０％のビームスプリッタ
のほかに光学部品の角度に依存せず、入射光と反射光と
が何時も平行になる機能を持つコーナーキューブプリズ
ムを用い、形成されたＲＯＲ構造をＬＤの無反射膜側の
外部反射器として使用する。このため、高精度で調整す
る光学部品の角度調整箇所は、回折格子の回転軸に対し
ての回折格子の平行度と、回折格子回転軸への平行光の
入射角度の２箇所の角度調整だけとなる。コーナーキュ
ーブプリズムの位置調整は必要であるが、光学部品の角
度調整のような調整精度は必要ではなく、かつ回折格子
の回転軸に対して水平方向の位置調整だけで良い。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、ＲＯＲ共振のための
光学部品の角度調整箇所が少なくて済むため、光軸調整
が大幅に簡素化され、調整時間の短縮と製造の再現性向
上が図れる。また、従来のＲＯＲ構造でＬＤからの出射
光を全反射ミラー側に反射させた時でＲＯＲ特性が弱い
場合に発生するＦＰモード発振も無くなり、安定した単
一モード発振が得られ、ＬＤ光源としての再現性・安定
性が向上する。
光学部品の角度調整箇所が少なくて済むため、光軸調整
が大幅に簡素化され、調整時間の短縮と製造の再現性向
上が図れる。また、従来のＲＯＲ構造でＬＤからの出射
光を全反射ミラー側に反射させた時でＲＯＲ特性が弱い
場合に発生するＦＰモード発振も無くなり、安定した単
一モード発振が得られ、ＬＤ光源としての再現性・安定
性が向上する。
【図１】この発明による外部共振器型ＬＤ光源の実施の
形態の構成図である。
形態の構成図である。
【図２】図１に示した外部共振器型ＬＤ光源をＬＤ側か
ら見たときの側面図である。
ら見たときの側面図である。
【図３】従来のＲＯＲ構造の外部共振器型ＬＤ光源の概
略図である。
略図である。
【図４】従来の回折格子のみの外部共振器型ＬＤ光源の
側面概略図である。
側面概略図である。
１０ 位相調整駆動回路 １２ コーナーキューブプリズム １３ 平行移動機構 １４ ビームスプリッタ １６ 回折格子 １８ 波長可変駆動回路 ２０ 回転調整機構 ２２・２８・３２ レンズ ２４ 半導体レーザ（ＬＤ） ３０ 光アイソレータ ３４ 出力ファイバ
Claims (1)
- 【請求項１】 一方の端面に無反射膜を施し、半導体レ
ーザ駆動回路により駆動される半導体レーザ(24)と、無
反射端面からの出射光を平行光に変換するレンズ(22)
と、平行光に変換された出射光を波長選択し反射する外
部反射器を備え、他の一方の端面からの出射光を出力光
とする外部共振器型ＬＤ光源において、 半導体レーザ(24)の無反射膜側からの出射光を反射分岐
し、回折格子(16)とコーナーキューブプリズム(12)から
の反射光を透過分岐するビームスプリッタ(14)と、 ビームスプリッタ(14)と回折格子(16)からの反射光を平
行に光路変換するコーナーキューブプリズム(12)と、 コーナーキューブプリズム(12)からの反射光を波長選択
して反射する回折格子(16)とを有し、 ビームスプリッタ(14)、コーナーキューブプリズム(12)
および回折格子(16)により光共鳴反射器構造の外部反射
器が形成されることを特徴とする外部共振器型ＬＤ光
源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30692595A JPH09129982A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 外部共振器型ｌｄ光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30692595A JPH09129982A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 外部共振器型ｌｄ光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129982A true JPH09129982A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17962932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30692595A Pending JPH09129982A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 外部共振器型ｌｄ光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09129982A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0907229A3 (en) * | 1997-09-26 | 1999-05-06 | Ando Electric Co., Ltd. | External resonator light source |
| JP2000174368A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Photonetics Sa | 多数波長レ―ザ源 |
| JP2001057457A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-02-27 | Photonetics Sa | 部分反射型の光学的構成要素及びかかる構成要素を内蔵するレーザ源 |
| US7936803B2 (en) | 2005-03-25 | 2011-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | External cavity semiconductor laser |
| JP2020109856A (ja) * | 2014-06-05 | 2020-07-16 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | レーザデバイス |
| CN113615017A (zh) * | 2019-03-25 | 2021-11-05 | 浜松光子学株式会社 | 光学套件及光学装置 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP30692595A patent/JPH09129982A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0907229A3 (en) * | 1997-09-26 | 1999-05-06 | Ando Electric Co., Ltd. | External resonator light source |
| US6343091B1 (en) | 1997-09-26 | 2002-01-29 | Ando Electric Co., Ltd. | External resonator light source |
| JP2000174368A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Photonetics Sa | 多数波長レ―ザ源 |
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| JP2012033956A (ja) * | 1999-06-30 | 2012-02-16 | Yenista Optics | 部分反射型の光学的構成要素及びかかる構成要素を内蔵するレーザ源 |
| US7936803B2 (en) | 2005-03-25 | 2011-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | External cavity semiconductor laser |
| JP2020109856A (ja) * | 2014-06-05 | 2020-07-16 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | レーザデバイス |
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| US12176681B2 (en) | 2019-03-25 | 2024-12-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical kit and optical device |
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