JPH09130678A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH09130678A JPH09130678A JP7280191A JP28019195A JPH09130678A JP H09130678 A JPH09130678 A JP H09130678A JP 7280191 A JP7280191 A JP 7280191A JP 28019195 A JP28019195 A JP 28019195A JP H09130678 A JPH09130678 A JP H09130678A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 赤外線画像及び可視光線画像を、同時かつ正
確に検出する。 【解決手段】 赤外線及び可視光線を透過する部材から
なるレンズ１の後段に、赤外線を透過し、可視光線を遮
光する部材からなり、その中央部に開口部２Ａを備える
絞り２が配置されている。レンズ１によって角度φA に
集光された赤外線は、絞り２、窓３を透過し、スターリ
ングクーラ１０によって冷却されているコールドシール
ド４の内部に設けられているイメージセンサ８で結像す
る。レンズ１を透過した可視光線は、絞り２の開口部２
Ａによって角度φB に集光され、窓３を透過してイメー
ジセンサ８で結像する。イメージセンサ８は、赤外線画
像と可視光線画像を合成した電気信号を出力する。
確に検出する。 【解決手段】 赤外線及び可視光線を透過する部材から
なるレンズ１の後段に、赤外線を透過し、可視光線を遮
光する部材からなり、その中央部に開口部２Ａを備える
絞り２が配置されている。レンズ１によって角度φA に
集光された赤外線は、絞り２、窓３を透過し、スターリ
ングクーラ１０によって冷却されているコールドシール
ド４の内部に設けられているイメージセンサ８で結像す
る。レンズ１を透過した可視光線は、絞り２の開口部２
Ａによって角度φB に集光され、窓３を透過してイメー
ジセンサ８で結像する。イメージセンサ８は、赤外線画
像と可視光線画像を合成した電気信号を出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置に関
し、特に、赤外線画像と可視光線画像の両方を同時に得
ることができるようにした固体撮像装置に関する。
し、特に、赤外線画像と可視光線画像の両方を同時に得
ることができるようにした固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置の一種に、赤外線を検出す
る赤外線イメージセンサを用いた固体撮像装置（赤外線
撮像装置）がある。また、赤外線イメージセンサの一種
として、光起電力効果または光導電効果を利用する量子
型の赤外線イメージセンサがある。
る赤外線イメージセンサを用いた固体撮像装置（赤外線
撮像装置）がある。また、赤外線イメージセンサの一種
として、光起電力効果または光導電効果を利用する量子
型の赤外線イメージセンサがある。
【０００３】量子型の赤外線イメージセンサは、感度が
良好で、かつ反応速度が速い（応答特性の良好な）セン
サであるが、検出感度に波長依存性があり、長波長の赤
外線を検出するためには、受光部を冷却する必要があ
る。
良好で、かつ反応速度が速い（応答特性の良好な）セン
サであるが、検出感度に波長依存性があり、長波長の赤
外線を検出するためには、受光部を冷却する必要があ
る。
【０００４】従来、波長が約３μｍ乃至約５μｍの赤外
線（中赤外線）の検出を目的として、７７Ｋに冷却した
PtSiショットキーバリアダイオードを受光部（センサ
部）とする赤外線イメージセンサが開発されている。
線（中赤外線）の検出を目的として、７７Ｋに冷却した
PtSiショットキーバリアダイオードを受光部（センサ
部）とする赤外線イメージセンサが開発されている。
【０００５】図６は、従来の、赤外線イメージセンサを
用いた固体撮像装置の一構成例を示す断面図である。こ
の固体撮像装置は、図中左側から入射する光線１２のう
ち赤外線を主に透過して所定の角度φA に集光する、シ
リコンまたはゲルマニウム等からなる赤外線レンズ２０
と、赤外線レンズ２０によって集光された赤外線を受光
する受光装置７と、受光装置７の内部に設けられている
イメージセンサ８を冷却するスターリングクーラー１０
からなる。
用いた固体撮像装置の一構成例を示す断面図である。こ
の固体撮像装置は、図中左側から入射する光線１２のう
ち赤外線を主に透過して所定の角度φA に集光する、シ
リコンまたはゲルマニウム等からなる赤外線レンズ２０
と、赤外線レンズ２０によって集光された赤外線を受光
する受光装置７と、受光装置７の内部に設けられている
イメージセンサ８を冷却するスターリングクーラー１０
からなる。
【０００６】受光装置７の周囲はデュワ５によって囲ま
れている。デュワ５の、図中、左側（赤外線レンズ２０
の配置されている側）には、赤外線レンズ２０を透過し
た赤外線を受光装置７の内部に取り込むための開口部５
Ａが設けられており、少なくとも赤外線を透過する部材
（例えば、ZnS ）からなる窓３が、開口部５Ａの全面を
覆うように、デュワ５に密着して取り付けられている。
また、デュワ５の開口部５Ａに対向する側（図中、右
側）には、開口部５Ｂが設けられており、熱伝導性の良
好な部材からなるコールドステージ９が、開口部５Ｂの
全面を覆うように、デュワ５に密着して取り付けられて
いる。すなわち、受光装置７は、デュワ５、窓３及びコ
ールドステージ９によって密閉されている。
れている。デュワ５の、図中、左側（赤外線レンズ２０
の配置されている側）には、赤外線レンズ２０を透過し
た赤外線を受光装置７の内部に取り込むための開口部５
Ａが設けられており、少なくとも赤外線を透過する部材
（例えば、ZnS ）からなる窓３が、開口部５Ａの全面を
覆うように、デュワ５に密着して取り付けられている。
また、デュワ５の開口部５Ａに対向する側（図中、右
側）には、開口部５Ｂが設けられており、熱伝導性の良
好な部材からなるコールドステージ９が、開口部５Ｂの
全面を覆うように、デュワ５に密着して取り付けられて
いる。すなわち、受光装置７は、デュワ５、窓３及びコ
ールドステージ９によって密閉されている。
【０００７】デュワ５の内部のコールドステージ９上に
は、受光部がPtSiショットキーバリアダイオードからな
るイメージセンサ８が取り付けられており、赤外線レン
ズ２０によって集光された赤外線（赤外線画像）がイメ
ージセンサ８上に結像するようになされている。また、
赤外線及び可視光線を遮光する部材（例えば、アルミニ
ウム）からなり、所定の大きさの開口部４Ａを赤外線光
路上に有するコールドシールド４がコールドステージ９
上に取り付けられており、イメージセンサ８の周囲を囲
んでいる。上記開口部４Ａの大きさは、赤外線レンズ２
０によって角度φA に集光され、受光装置７の内部に入
射した赤外線以外の赤外線の、コールドシール度４の内
部への入射（イメージセンサ８への入射）を制限する大
きさとされている（すなわち、コールドシールド４は、
絞りの役割を果たしている）。
は、受光部がPtSiショットキーバリアダイオードからな
るイメージセンサ８が取り付けられており、赤外線レン
ズ２０によって集光された赤外線（赤外線画像）がイメ
ージセンサ８上に結像するようになされている。また、
赤外線及び可視光線を遮光する部材（例えば、アルミニ
ウム）からなり、所定の大きさの開口部４Ａを赤外線光
路上に有するコールドシールド４がコールドステージ９
上に取り付けられており、イメージセンサ８の周囲を囲
んでいる。上記開口部４Ａの大きさは、赤外線レンズ２
０によって角度φA に集光され、受光装置７の内部に入
射した赤外線以外の赤外線の、コールドシール度４の内
部への入射（イメージセンサ８への入射）を制限する大
きさとされている（すなわち、コールドシールド４は、
絞りの役割を果たしている）。
【０００８】また、上述したスターリングクーラ１０
は、デュワ５の開口部５Ｂの全面に取り付けられている
コールドステージ９と接続されている。従って、コール
ドステージ９に取り付けられているイメージセンサ８及
びコールドシールド４は、スターリングクーラ１０によ
って所定の温度（約７７Ｋ）に冷却される。
は、デュワ５の開口部５Ｂの全面に取り付けられている
コールドステージ９と接続されている。従って、コール
ドステージ９に取り付けられているイメージセンサ８及
びコールドシールド４は、スターリングクーラ１０によ
って所定の温度（約７７Ｋ）に冷却される。
【０００９】なお、イメージセンサ８の結露を抑制する
ために、デュワ５、窓３及びコールドステージ９で囲ま
れた空間１１は、排気処理によって真空状態とされてい
る。
ために、デュワ５、窓３及びコールドステージ９で囲ま
れた空間１１は、排気処理によって真空状態とされてい
る。
【００１０】次に、図６に示す固体撮像装置の動作につ
いて説明する。赤外線レンズ２０は、図中、左側から入
射された光線１２のうち、主に赤外線Ｘを透過して角度
φAに集光する。赤外線レンズ２０によって集光された
赤外線Ｘは、窓３を透過して受光装置７の内部に入射
し、さらに、コールドシールド４の開口部４Ａを通過し
てイメージセンサ８で結像する。
いて説明する。赤外線レンズ２０は、図中、左側から入
射された光線１２のうち、主に赤外線Ｘを透過して角度
φAに集光する。赤外線レンズ２０によって集光された
赤外線Ｘは、窓３を透過して受光装置７の内部に入射
し、さらに、コールドシールド４の開口部４Ａを通過し
てイメージセンサ８で結像する。
【００１１】ところで、コールドシールド４は、赤外線
レンズ２０によって角度φA に集光された赤外線Ｘ以外
の赤外線の、イメージセンサ８への入射を制限してい
る。すなわち、物質は、その物質の温度に対応して赤外
線を放射する（温度が高いほど多量の赤外線を放射す
る）ので、例えば、デュワ５等も赤外線を放射してい
る。この不所望な赤外線が、イメージセンサ８に入射し
てしまうと、所望の赤外線画像を得ることができなくな
ってしまう。そこで、この固体撮像装置においては、コ
ールドシールド４がイメージセンサ８の周囲を囲むよう
に設けられており、また、開口部４Ａの大きさが、赤外
線レンズ２０によって集光された赤外線Ｘ以外の赤外線
（デュワ５等から放射される不所望な赤外線）のコール
ドシールド４の内部への入射を制限する大きさとされて
いる。
レンズ２０によって角度φA に集光された赤外線Ｘ以外
の赤外線の、イメージセンサ８への入射を制限してい
る。すなわち、物質は、その物質の温度に対応して赤外
線を放射する（温度が高いほど多量の赤外線を放射す
る）ので、例えば、デュワ５等も赤外線を放射してい
る。この不所望な赤外線が、イメージセンサ８に入射し
てしまうと、所望の赤外線画像を得ることができなくな
ってしまう。そこで、この固体撮像装置においては、コ
ールドシールド４がイメージセンサ８の周囲を囲むよう
に設けられており、また、開口部４Ａの大きさが、赤外
線レンズ２０によって集光された赤外線Ｘ以外の赤外線
（デュワ５等から放射される不所望な赤外線）のコール
ドシールド４の内部への入射を制限する大きさとされて
いる。
【００１２】なお、コールドシールド４は、コールドス
テージ９に直接取り付けられているので、スターリング
クーラ１０によって冷却されており、赤外線をほとんど
放射していない。
テージ９に直接取り付けられているので、スターリング
クーラ１０によって冷却されており、赤外線をほとんど
放射していない。
【００１３】イメージセンサ８は、スターリングクーラ
１０によって、７７Ｋに冷却されているので、結像した
赤外線画像を良好に検出して光電変換し、図示せぬ出力
端子から、電気信号として出力する。
１０によって、７７Ｋに冷却されているので、結像した
赤外線画像を良好に検出して光電変換し、図示せぬ出力
端子から、電気信号として出力する。
【００１４】ところで、上述したように、図６に示す固
体撮像装置のイメージセンサ８は、PtSiショットキーバ
リアダイオードからなる受光部を有している。このPtSi
ショットキーバリアダイオードは、波長が約３μｍ乃至
約５μｍの赤外線の他に、波長が約０．２μｍ乃至約
０．４μｍの紫外線、波長が約０．４μｍ乃至約０．７
μｍの可視光線、波長が約０．７μｍ乃至約３μｍの近
赤外線のそれぞれにも、それぞれ分光感度特性を有して
いることが、IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES.
VOL.38.NO.5.MAY 1991 "Ultraviolet,Visible,and Inf
ared Response ofPtSi Schottky-Barrier Detectors Op
erated in the Front-Illuminated Mode;Chenson K. Ch
en, Bettina Nechay, and Bor-Yeu Tsaurに開示されて
いる。
体撮像装置のイメージセンサ８は、PtSiショットキーバ
リアダイオードからなる受光部を有している。このPtSi
ショットキーバリアダイオードは、波長が約３μｍ乃至
約５μｍの赤外線の他に、波長が約０．２μｍ乃至約
０．４μｍの紫外線、波長が約０．４μｍ乃至約０．７
μｍの可視光線、波長が約０．７μｍ乃至約３μｍの近
赤外線のそれぞれにも、それぞれ分光感度特性を有して
いることが、IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES.
VOL.38.NO.5.MAY 1991 "Ultraviolet,Visible,and Inf
ared Response ofPtSi Schottky-Barrier Detectors Op
erated in the Front-Illuminated Mode;Chenson K. Ch
en, Bettina Nechay, and Bor-Yeu Tsaurに開示されて
いる。
【００１５】また、United States Patent[19] Patent
Number:5,122,669においても、PtSiショットキーバリア
ダイオードを用いたワイドバンド（波長帯域の広いバン
ド）の赤外線イメージセンサの例が開示されている。
Number:5,122,669においても、PtSiショットキーバリア
ダイオードを用いたワイドバンド（波長帯域の広いバン
ド）の赤外線イメージセンサの例が開示されている。
【００１６】以上に示す、PtSiショットキーバリアダイ
オードの特性を利用して、図６に示す固体撮像装置を用
いて可視光線画像を撮像することも可能である。
オードの特性を利用して、図６に示す固体撮像装置を用
いて可視光線画像を撮像することも可能である。
【００１７】例えば、図６の赤外線レンズ１０の代わり
に、可視光線を透過する部材からなる光学系（集光レン
ズ）を配置する。このようにすることによって、可視光
線をイメージセンサ８に結像させることができ、可視光
線に対して検出感度を有しているイメージセンサ８は、
結像した可視光線を電気信号に光電変換して、外部に出
力する。
に、可視光線を透過する部材からなる光学系（集光レン
ズ）を配置する。このようにすることによって、可視光
線をイメージセンサ８に結像させることができ、可視光
線に対して検出感度を有しているイメージセンサ８は、
結像した可視光線を電気信号に光電変換して、外部に出
力する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示す、従来の固体撮像装置を用いて、赤外線画像及び可
視光線画像の両者を得る場合、以下に示す課題が生じ
る。
示す、従来の固体撮像装置を用いて、赤外線画像及び可
視光線画像の両者を得る場合、以下に示す課題が生じ
る。
【００１９】すなわち、図６に示す固体撮像装置におい
ては、上述したように、赤外線画像を得る場合と、可視
光線画像を得る場合とで、受光装置７の前段に配置され
ているレンズを取り替える必要があり（赤外線画像を得
る場合、赤外線を透過する部材からなる赤外線レンズ２
０を用い、可視光線画像を得る場合、可視光線を透過す
る部材からなるレンズを用いる）、取扱いが煩雑になっ
ていしまうという課題がある。
ては、上述したように、赤外線画像を得る場合と、可視
光線画像を得る場合とで、受光装置７の前段に配置され
ているレンズを取り替える必要があり（赤外線画像を得
る場合、赤外線を透過する部材からなる赤外線レンズ２
０を用い、可視光線画像を得る場合、可視光線を透過す
る部材からなるレンズを用いる）、取扱いが煩雑になっ
ていしまうという課題がある。
【００２０】また、可視光線画像を得る場合の光学系
（集光レンズ）と赤外線画像を得る場合の赤外線レンズ
とが異なっているので、可視光線画像と赤外線画像とを
同時に得ることができないという課題もある。
（集光レンズ）と赤外線画像を得る場合の赤外線レンズ
とが異なっているので、可視光線画像と赤外線画像とを
同時に得ることができないという課題もある。
【００２１】さらに、可視光線画像を検出する場合に用
いられる光学系（集光レンズ）には、通常、周囲の状況
（例えば、日中の屋外と室内）に対応して変化する可視
光線の明るさを調節するため（可視光線成分によるイメ
ージセンサ８の飽和を抑制するため）（すなわち、適正
露光で撮像を行うため）の絞りが取り付けられている。
この絞りは、通常、アルミニウム等の金属を黒く塗装し
たもの（可視光線を遮光する部材）からなる。従って、
この絞りは、周囲から熱エネルギを吸収し易く、その温
度が上昇しやすい。また、この絞りには、冷却処理（例
えば、図６に示すスターリングクーラー１０による冷却
処理）が施されていない。従って、この絞り自身が比較
的多量の赤外線を放射してしまい、可視光線画像を、正
確に得ることが困難になってしまうという課題もある。
いられる光学系（集光レンズ）には、通常、周囲の状況
（例えば、日中の屋外と室内）に対応して変化する可視
光線の明るさを調節するため（可視光線成分によるイメ
ージセンサ８の飽和を抑制するため）（すなわち、適正
露光で撮像を行うため）の絞りが取り付けられている。
この絞りは、通常、アルミニウム等の金属を黒く塗装し
たもの（可視光線を遮光する部材）からなる。従って、
この絞りは、周囲から熱エネルギを吸収し易く、その温
度が上昇しやすい。また、この絞りには、冷却処理（例
えば、図６に示すスターリングクーラー１０による冷却
処理）が施されていない。従って、この絞り自身が比較
的多量の赤外線を放射してしまい、可視光線画像を、正
確に得ることが困難になってしまうという課題もある。
【００２２】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、赤外線画像と可視光線画像の両者を、同時
かつ正確に得ることを目的とする。
ものであり、赤外線画像と可視光線画像の両者を、同時
かつ正確に得ることを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、光の第１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い
第２の波長領域とに検出感度を有する検出手段と、検出
手段の前段に配置され、第２の波長領域の光の検出手段
への入射強度を調節する調節手段と、第１の調節手段と
検出手段の間に配置され、第１の波長領域の光の検出手
段への入射を制限する開口制限手段とを備えることを特
徴とする。
は、光の第１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い
第２の波長領域とに検出感度を有する検出手段と、検出
手段の前段に配置され、第２の波長領域の光の検出手段
への入射強度を調節する調節手段と、第１の調節手段と
検出手段の間に配置され、第１の波長領域の光の検出手
段への入射を制限する開口制限手段とを備えることを特
徴とする。
【００２４】本発明の固体撮像装置においては、検出手
段は、第１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い第
２の波長領域の光を検出し、調節手段は、第１の波長領
域の光を透過し、第２の波長領域の光を遮光する部材か
らなり、第２の波長領域の光の検出手段への入射強度を
調節する。開口制限手段は、第１及び第２の波長領域の
光をともに遮光する部材からなり、第１の波長領域の光
の検出手段への入射を制限する。
段は、第１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い第
２の波長領域の光を検出し、調節手段は、第１の波長領
域の光を透過し、第２の波長領域の光を遮光する部材か
らなり、第２の波長領域の光の検出手段への入射強度を
調節する。開口制限手段は、第１及び第２の波長領域の
光をともに遮光する部材からなり、第１の波長領域の光
の検出手段への入射を制限する。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照して説明する（なお、従来の場合と対応する部分には
同一の符号を付してあり、適宜説明を省略する）が、そ
の前に、特許請求の範囲に記載の発明の各手段と以下の
実施例との対応関係を明らかにするために、各手段の後
の括弧内に対応する実施例（但し、一例）を付加して、
本発明の特徴を記述すると、次のようになる。
照して説明する（なお、従来の場合と対応する部分には
同一の符号を付してあり、適宜説明を省略する）が、そ
の前に、特許請求の範囲に記載の発明の各手段と以下の
実施例との対応関係を明らかにするために、各手段の後
の括弧内に対応する実施例（但し、一例）を付加して、
本発明の特徴を記述すると、次のようになる。
【００２６】請求項１に記載の固体撮像装置は、光の第
１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い第２の波長
領域とに検出感度を有する検出手段（例えば、図１のイ
メージセンサ８）と、検出手段の前段に配置され、第２
の波長領域の光の検出手段への入射強度を調節する調節
手段（例えば、図１の絞り２）と、調節手段と検出手段
の間に配置され、第１の波長領域の光の検出手段への入
射を制限する開口制限手段（例えば、図１のコールドシ
ールド４）とを備えることを特徴とする。
１の波長領域と、第１の波長領域よりも短い第２の波長
領域とに検出感度を有する検出手段（例えば、図１のイ
メージセンサ８）と、検出手段の前段に配置され、第２
の波長領域の光の検出手段への入射強度を調節する調節
手段（例えば、図１の絞り２）と、調節手段と検出手段
の間に配置され、第１の波長領域の光の検出手段への入
射を制限する開口制限手段（例えば、図１のコールドシ
ールド４）とを備えることを特徴とする。
【００２７】請求項２に記載の固体撮像装置は、第１及
び第２の波長領域の光を所定の角度に集光する集光手段
（例えば、図１のレンズ１）をさらに備えることを特徴
とする。
び第２の波長領域の光を所定の角度に集光する集光手段
（例えば、図１のレンズ１）をさらに備えることを特徴
とする。
【００２８】請求項３に記載の固体撮像装置は、集光手
段（例えば、図１のレンズ１）が、調節手段の前段に配
置され、第１及び第２の波長領域の光を透過するレンズ
であることを特徴とする。
段（例えば、図１のレンズ１）が、調節手段の前段に配
置され、第１及び第２の波長領域の光を透過するレンズ
であることを特徴とする。
【００２９】請求項４に記載の固体撮像装置は、集光手
段（例えば、図４のミラー１３，１４）が、調節手段と
開口制限手段の間に配置され、第１及び第２の波長領域
の光を反射するミラーであることを特徴とする。
段（例えば、図４のミラー１３，１４）が、調節手段と
開口制限手段の間に配置され、第１及び第２の波長領域
の光を反射するミラーであることを特徴とする。
【００３０】請求項５に記載の固体撮像装置は、開口制
限手段の前段に配置され、第１の波長領域のうちの所定
の波長領域の光と、第２の波長領域のうちの少なくとも
一部の波長領域の光を透過する波長制限手段（例えば、
図５のバンドパスフィルタ１５）をさらに備えることを
特徴とする。
限手段の前段に配置され、第１の波長領域のうちの所定
の波長領域の光と、第２の波長領域のうちの少なくとも
一部の波長領域の光を透過する波長制限手段（例えば、
図５のバンドパスフィルタ１５）をさらに備えることを
特徴とする。
【００３１】なお、勿論この記載は、各手段を上記した
ものに限定することを意味するものではない。
ものに限定することを意味するものではない。
【００３２】図１は、本発明を適用した固体撮像装置の
一実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固体
撮像装置の構成は、図６に示す従来の固体撮像装置の構
成と基本的に同様であり、受光装置７の前段に配置され
るレンズ１及び絞り２の構成が異なっている。
一実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固体
撮像装置の構成は、図６に示す従来の固体撮像装置の構
成と基本的に同様であり、受光装置７の前段に配置され
るレンズ１及び絞り２の構成が異なっている。
【００３３】すなわち、本実施例の固体撮像装置におい
ては、赤外線（第１の波長領域の光）及び可視光線（第
２の波長領域の光）の両者を透過するZnS 等の部材から
なるレンズ１が、図６に示す赤外線レンズ２０の配置位
置に配置されている。また、レンズ１と、受光装置７の
窓３（赤外線及び可視光線の両方を透過するZnS 等の部
材からなる）との間には、赤外線を透過し、可視光線を
遮光するSi等の部材からなる絞り２が配置されている。
この絞り２の中央部には、その大きさが調節可能とされ
ている開口部２Ａが設けられており、レンズ１を透過し
た可視光線のイメージセンサ８への入射強度を調節する
ようになされている。その他の構成は、図６に示す従来
の固体撮像装置の構成と同様である。
ては、赤外線（第１の波長領域の光）及び可視光線（第
２の波長領域の光）の両者を透過するZnS 等の部材から
なるレンズ１が、図６に示す赤外線レンズ２０の配置位
置に配置されている。また、レンズ１と、受光装置７の
窓３（赤外線及び可視光線の両方を透過するZnS 等の部
材からなる）との間には、赤外線を透過し、可視光線を
遮光するSi等の部材からなる絞り２が配置されている。
この絞り２の中央部には、その大きさが調節可能とされ
ている開口部２Ａが設けられており、レンズ１を透過し
た可視光線のイメージセンサ８への入射強度を調節する
ようになされている。その他の構成は、図６に示す従来
の固体撮像装置の構成と同様である。
【００３４】図２及び図３は、光学材料の透明領域を説
明する表（赤外線光学（赤外線技術研究会編；オーム
社）より抜粋）である。本実施例においては、レンズ１
及び窓３の部材として、波長が約３μｍ乃至５μｍの赤
外線、及び波長が約０．４μｍ乃至０．７μｍの可視光
線を透過するZnS （図３（ａ））を用いるようにしてい
るが、その他に、図２（ａ）に示すアルカリハライド系
の各光学材料、図２（ｂ）に示すアルカリ土類フロライ
ドの各光学材料、図３（ａ）に示すダイヤモンド及びZn
Se（いずれの部材も、赤外線及び可視光線を透過する）
を用いるようにしてもよい。
明する表（赤外線光学（赤外線技術研究会編；オーム
社）より抜粋）である。本実施例においては、レンズ１
及び窓３の部材として、波長が約３μｍ乃至５μｍの赤
外線、及び波長が約０．４μｍ乃至０．７μｍの可視光
線を透過するZnS （図３（ａ））を用いるようにしてい
るが、その他に、図２（ａ）に示すアルカリハライド系
の各光学材料、図２（ｂ）に示すアルカリ土類フロライ
ドの各光学材料、図３（ａ）に示すダイヤモンド及びZn
Se（いずれの部材も、赤外線及び可視光線を透過する）
を用いるようにしてもよい。
【００３５】さらに、本実施例においては、絞り２の部
材として、波長が約３μｍ乃至５μｍの赤外線を透過
し、波長が約０．４μｍ乃至０．７μｍの可視光線を遮
光するSi（図３（ａ））を用いているが、その他に、図
３（ａ）に示すGe，GaAs，CdTe及び図３（ｂ）に示すカ
ルコゲナイドガラスの各光学材料（いずれの部材も、赤
外線を透過し、可視光線を遮光する）を用いるようにし
てもよい。
材として、波長が約３μｍ乃至５μｍの赤外線を透過
し、波長が約０．４μｍ乃至０．７μｍの可視光線を遮
光するSi（図３（ａ））を用いているが、その他に、図
３（ａ）に示すGe，GaAs，CdTe及び図３（ｂ）に示すカ
ルコゲナイドガラスの各光学材料（いずれの部材も、赤
外線を透過し、可視光線を遮光する）を用いるようにし
てもよい。
【００３６】次に、本実施例の固体撮像装置の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００３７】レンズ１は、図中、左側から入射した光線
１２に含まれる赤外線及び可視光線を透過して集光す
る。レンズ１によって角度φA に集光された赤外線Ｘ
は、絞り２を透過する。また、可視光線は絞り２の開口
部２Ａを通過するが、開口部２Ａ以外の位置では遮光さ
れる。すなわち、可視光線は、レンズ１及び絞り２によ
って角度φB に集光される（角度φB に集光された可視
光線を可視光線Ｙとする）（角度φA＞角度φB）。な
お、この開口部２Ａの大きさは、周囲の明るさ（イメー
ジセンサ８に入射する可視光線の強度）に対応して、イ
メージセンサ８の受光部が可視光線成分によって飽和し
ないように（適正露光の画像を得ることができるよう
に）調節される。
１２に含まれる赤外線及び可視光線を透過して集光す
る。レンズ１によって角度φA に集光された赤外線Ｘ
は、絞り２を透過する。また、可視光線は絞り２の開口
部２Ａを通過するが、開口部２Ａ以外の位置では遮光さ
れる。すなわち、可視光線は、レンズ１及び絞り２によ
って角度φB に集光される（角度φB に集光された可視
光線を可視光線Ｙとする）（角度φA＞角度φB）。な
お、この開口部２Ａの大きさは、周囲の明るさ（イメー
ジセンサ８に入射する可視光線の強度）に対応して、イ
メージセンサ８の受光部が可視光線成分によって飽和し
ないように（適正露光の画像を得ることができるよう
に）調節される。
【００３８】レンズ１及び絞り２によって、それぞれ、
角度φA及び角度φBに集光された赤外線Ｘ及び可視光線
Ｙは、赤外線及び可視光線を透過する部材からなる窓３
を透過して、受光装置７の内部に入射する。また、Si等
からなる絞り２は、それ自体が赤外線を放射することが
ないので、不所望な赤外線の受光装置７の内部への入射
はない。コールドシールド４は、レンズ１によって角度
φA に集光された赤外線Ｘ以外の赤外線（例えば、デュ
ワ５から放射された赤外線）の、イメージセンサ８への
入射を制限する開口部４Ａを有しており、受光装置７の
内部に入射した赤外線Ｘ及び可視光線Ｙは、この開口部
４Ａを通過してイメージセンサ８で結像する。
角度φA及び角度φBに集光された赤外線Ｘ及び可視光線
Ｙは、赤外線及び可視光線を透過する部材からなる窓３
を透過して、受光装置７の内部に入射する。また、Si等
からなる絞り２は、それ自体が赤外線を放射することが
ないので、不所望な赤外線の受光装置７の内部への入射
はない。コールドシールド４は、レンズ１によって角度
φA に集光された赤外線Ｘ以外の赤外線（例えば、デュ
ワ５から放射された赤外線）の、イメージセンサ８への
入射を制限する開口部４Ａを有しており、受光装置７の
内部に入射した赤外線Ｘ及び可視光線Ｙは、この開口部
４Ａを通過してイメージセンサ８で結像する。
【００３９】イメージセンサ８は、結像した赤外線Ｘの
画像及び可視光線Ｙの画像を光電変換し、赤外線画像と
可視光線画像を合成した電気信号を、図示せぬ出力端子
から外部に出力する。
画像及び可視光線Ｙの画像を光電変換し、赤外線画像と
可視光線画像を合成した電気信号を、図示せぬ出力端子
から外部に出力する。
【００４０】本実施例においては、赤外線及び可視光線
を透過する部材によってレンズ１を形成し、さらに、赤
外線を透過し、可視光線を遮光する部材（例えば、Si）
からなる、可視光線の強度を調節する絞り２を設けるよ
うにしたので、赤外線画像及び可視光線画像の両方を、
同時かつ正確に得ることができる。
を透過する部材によってレンズ１を形成し、さらに、赤
外線を透過し、可視光線を遮光する部材（例えば、Si）
からなる、可視光線の強度を調節する絞り２を設けるよ
うにしたので、赤外線画像及び可視光線画像の両方を、
同時かつ正確に得ることができる。
【００４１】図４は、本発明を適用した固体撮像装置の
他の実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固
体撮像装置の構成は、図１に示す固体撮像装置の構成と
基本的に同様であり、受光装置７の前段に配置されるミ
ラー１３，１４の構成が異なっている。
他の実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固
体撮像装置の構成は、図１に示す固体撮像装置の構成と
基本的に同様であり、受光装置７の前段に配置されるミ
ラー１３，１４の構成が異なっている。
【００４２】すなわち、本実施例の固体撮像装置におい
ては、赤外線を透過し、可視光線を遮光する部材（例え
ば、図３（ａ）に示すSi）からなる絞り２と受光装置７
の間に、赤外線及び可視光線を反射するミラー１３及び
１４が配置されている。凹型のミラー１３は、絞り２を
通過した赤外線及び可視光線の光路上に配置されており
（像の欠落を防ぐため）、上記赤外線及び可視光線を凸
型のミラー１４に集光して反射するようになされてい
る。なお、凹型のミラー１３は、その中央部に開口部１
３Ａを備えている。凸型のミラー１４は、ミラー１３で
反射、集光された光（赤外線及び可視光線）を、ミラー
１３の中央部に形成されている開口部１３Ａを介して、
受光装置７の内部に入射するように反射する。
ては、赤外線を透過し、可視光線を遮光する部材（例え
ば、図３（ａ）に示すSi）からなる絞り２と受光装置７
の間に、赤外線及び可視光線を反射するミラー１３及び
１４が配置されている。凹型のミラー１３は、絞り２を
通過した赤外線及び可視光線の光路上に配置されており
（像の欠落を防ぐため）、上記赤外線及び可視光線を凸
型のミラー１４に集光して反射するようになされてい
る。なお、凹型のミラー１３は、その中央部に開口部１
３Ａを備えている。凸型のミラー１４は、ミラー１３で
反射、集光された光（赤外線及び可視光線）を、ミラー
１３の中央部に形成されている開口部１３Ａを介して、
受光装置７の内部に入射するように反射する。
【００４３】なお、受光装置７の内部の構成は、図１に
示す実施例の場合と同様であり、コールドシールド４に
設けられている開口部４Ａは、ミラー１３で集光された
赤外線以外の赤外線（例えば、デュワ５が放射する赤外
線）のイメージセンサ８への入射を制限している。
示す実施例の場合と同様であり、コールドシールド４に
設けられている開口部４Ａは、ミラー１３で集光された
赤外線以外の赤外線（例えば、デュワ５が放射する赤外
線）のイメージセンサ８への入射を制限している。
【００４４】次に、本実施例の固体撮像装置の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００４５】光線１２に含まれている赤外線Ｘは、絞り
２を透過し（開口部２Ａの部分においては通過し）、可
視光線は、絞り２の中央部に形成されている開口部２Ａ
を通過する（開口部２Ａ以外の部分では遮光される）
（開口部２Ａを通過した可視光線を可視光線Ｙとす
る）。
２を透過し（開口部２Ａの部分においては通過し）、可
視光線は、絞り２の中央部に形成されている開口部２Ａ
を通過する（開口部２Ａ以外の部分では遮光される）
（開口部２Ａを通過した可視光線を可視光線Ｙとす
る）。
【００４６】上述したように絞り２を透過または通過し
た赤外線Ｘと可視光線Ｙは、凹型のミラー１３で反射し
て、ミラー１４に進む（すなわち、凹型のミラー１３
は、赤外線及び可視光線をミラー１４に集光する）。凸
型のミラー１４は、ミラー１３で反射されて集光された
赤外線Ｘ及び可視光線Ｙを、ミラー１３の中央部に形成
されている開口部１３Ａを通過するように反射する。
た赤外線Ｘと可視光線Ｙは、凹型のミラー１３で反射し
て、ミラー１４に進む（すなわち、凹型のミラー１３
は、赤外線及び可視光線をミラー１４に集光する）。凸
型のミラー１４は、ミラー１３で反射されて集光された
赤外線Ｘ及び可視光線Ｙを、ミラー１３の中央部に形成
されている開口部１３Ａを通過するように反射する。
【００４７】上述したように、ミラー１３の開口部１３
Ａは、絞り２を通過してミラー１３で反射した赤外線Ｘ
のすべてを通過させるような大きさとされているので、
ミラー１４で反射した赤外線Ｘはもとより、絞り２によ
って入射範囲が絞られている可視光線Ｙも、この開口部
１３Ａを通過する。
Ａは、絞り２を通過してミラー１３で反射した赤外線Ｘ
のすべてを通過させるような大きさとされているので、
ミラー１４で反射した赤外線Ｘはもとより、絞り２によ
って入射範囲が絞られている可視光線Ｙも、この開口部
１３Ａを通過する。
【００４８】ミラー１３の開口部１３Ａを通過した赤外
線Ｘ及び可視光線Ｙは、窓３（赤外線及び可視光線を透
過する部材からなる）を透過して、受光装置７の内部に
入射し、コールドシールド４の開口部４Ａをさらに通過
して、イメージセンサ８で結像する。
線Ｘ及び可視光線Ｙは、窓３（赤外線及び可視光線を透
過する部材からなる）を透過して、受光装置７の内部に
入射し、コールドシールド４の開口部４Ａをさらに通過
して、イメージセンサ８で結像する。
【００４９】イメージセンサ８は、結像した赤外線Ｘの
画像及び可視光線Ｙの画像を光電変換して、赤外線画像
と可視光線画像の合成画像の電気信号を外部に出力す
る。
画像及び可視光線Ｙの画像を光電変換して、赤外線画像
と可視光線画像の合成画像の電気信号を外部に出力す
る。
【００５０】本実施例においては、上述した絞り２が赤
外線を透過し、可視光線を遮光する部材を用いて構成さ
れているので、絞り２の中央部に形成されている開口部
２Ａの大きさを調節することによって、赤外線の光量に
影響を与えずに、可視光線の光量を調節することがで
き、赤外線画像と可視光線画像を、同時かつ正確に得る
ことができる。
外線を透過し、可視光線を遮光する部材を用いて構成さ
れているので、絞り２の中央部に形成されている開口部
２Ａの大きさを調節することによって、赤外線の光量に
影響を与えずに、可視光線の光量を調節することがで
き、赤外線画像と可視光線画像を、同時かつ正確に得る
ことができる。
【００５１】図５は、本発明を適用した固体撮像装置の
他の実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固
体撮像装置の構成は、図１に示す固体撮像装置の構成と
基本的に同様であり、受光装置７の内部の構成が異なっ
ている。
他の実施例の構成を示す側断面図である。本実施例の固
体撮像装置の構成は、図１に示す固体撮像装置の構成と
基本的に同様であり、受光装置７の内部の構成が異なっ
ている。
【００５２】すなわち、本実施例の固体撮像装置におい
ては、所望の波長領域の赤外線と、少なくとも一部の波
長領域の可視光線を透過するバンドパスフィルタ１５
が、コールドシールド４の開口部４Ａの全面に形成され
ている。その他の構成は、図１に示す固体撮像装置の構
成と同様である。
ては、所望の波長領域の赤外線と、少なくとも一部の波
長領域の可視光線を透過するバンドパスフィルタ１５
が、コールドシールド４の開口部４Ａの全面に形成され
ている。その他の構成は、図１に示す固体撮像装置の構
成と同様である。
【００５３】以下、可視光線を透過し、主に２μｍ付近
の赤外線と可視光線の少なくとも一部を透過するような
分光特性を有するバンドパスフィルタ１５を用いた場合
の動作を説明する。
の赤外線と可視光線の少なくとも一部を透過するような
分光特性を有するバンドパスフィルタ１５を用いた場合
の動作を説明する。
【００５４】例えば、十分な量の水が入っている水槽を
レンズ１の左側（すなわち、光線１２の入射側）に配置
した場合（図示せず）、水は、２μｍ付近の波長の光
（赤外線）を吸収するので、水槽の前段に配置される光
源（図示せず）から照射され、水槽を介してレンズ１に
到達する光線１２は、２μｍ付近の波長を含まないもの
となる。従って、レンズ１によって角度φA に集光さ
れ、絞り２及び窓３を透過して、受光装置７の内部に入
射する赤外線は、２μｍ付近の波長領域の欠如したもの
とになる。
レンズ１の左側（すなわち、光線１２の入射側）に配置
した場合（図示せず）、水は、２μｍ付近の波長の光
（赤外線）を吸収するので、水槽の前段に配置される光
源（図示せず）から照射され、水槽を介してレンズ１に
到達する光線１２は、２μｍ付近の波長を含まないもの
となる。従って、レンズ１によって角度φA に集光さ
れ、絞り２及び窓３を透過して、受光装置７の内部に入
射する赤外線は、２μｍ付近の波長領域の欠如したもの
とになる。
【００５５】また、本実施例においては、少なくとも一
部の可視光線及び２μｍ付近の波長の赤外線を透過する
バンドパスフィルタ１５が、コールドシールド４の開口
部４Ａの全面に形成されている。従って、受光装置７の
内部に入射した可視光線は、バンドパスフィルタ１５を
透過して、イメージセンサ８で結像するが、受光装置７
の内部に入射した赤外線は、２μｍ付近の波長領域以外
の波長領域からなるので、バンドパスフィルタ１５を透
過することができない。従って、イメージセンサ８は、
結像した可視光線の画像を光電変換して、可視光線画像
に対応する電気信号を外部に出力する。
部の可視光線及び２μｍ付近の波長の赤外線を透過する
バンドパスフィルタ１５が、コールドシールド４の開口
部４Ａの全面に形成されている。従って、受光装置７の
内部に入射した可視光線は、バンドパスフィルタ１５を
透過して、イメージセンサ８で結像するが、受光装置７
の内部に入射した赤外線は、２μｍ付近の波長領域以外
の波長領域からなるので、バンドパスフィルタ１５を透
過することができない。従って、イメージセンサ８は、
結像した可視光線の画像を光電変換して、可視光線画像
に対応する電気信号を外部に出力する。
【００５６】本実施例の固体撮像装置を用いることによ
って、例えば、地上から雲の厚さ及び雲の形状を同時に
検出することができる。
って、例えば、地上から雲の厚さ及び雲の形状を同時に
検出することができる。
【００５７】すなわち、上述した図示せぬ光源を太陽と
して、水の入った水槽を雲とする。太陽（光源）から照
射された光が雲（水）に入射すると、雲の厚さ（水の
量）に対応した量の、２μｍ付近の波長の赤外線が吸収
される。また、可視光線は雲によって遮光される。従っ
て、雲以外の位置を通って受光装置７の内部に入射した
可視光線と、雲によって吸収されなかった２μｍ付近の
波長領域の赤外線がバンドパスフィルタ１５を透過し
て、イメージセンサ８で結像する（２μｍ付近以外の赤
外線は、雲に吸収されないが、バンドパスフィルタ１５
に吸収される）。
して、水の入った水槽を雲とする。太陽（光源）から照
射された光が雲（水）に入射すると、雲の厚さ（水の
量）に対応した量の、２μｍ付近の波長の赤外線が吸収
される。また、可視光線は雲によって遮光される。従っ
て、雲以外の位置を通って受光装置７の内部に入射した
可視光線と、雲によって吸収されなかった２μｍ付近の
波長領域の赤外線がバンドパスフィルタ１５を透過し
て、イメージセンサ８で結像する（２μｍ付近以外の赤
外線は、雲に吸収されないが、バンドパスフィルタ１５
に吸収される）。
【００５８】イメージセンサ８は、この可視光線画像及
び赤外線画像を合成した電気信号を出力する。すなわ
ち、この可視光線画像から雲の形状を検出することがで
き、さらに赤外線画像から雲の厚さを検出することがで
きる。
び赤外線画像を合成した電気信号を出力する。すなわ
ち、この可視光線画像から雲の形状を検出することがで
き、さらに赤外線画像から雲の厚さを検出することがで
きる。
【００５９】
【発明の効果】以上のように、本発明の固体撮像装置に
よれば、光の第１の波長領域と、第２の波長領域に検出
感度を有する検出手段の前段に、第２の波長領域の光の
検出手段への入射強度を調節する調節手段を設けるよう
にしたので、第１及び第２の波長領域の光を、同時かつ
正確に検出することができる。
よれば、光の第１の波長領域と、第２の波長領域に検出
感度を有する検出手段の前段に、第２の波長領域の光の
検出手段への入射強度を調節する調節手段を設けるよう
にしたので、第１及び第２の波長領域の光を、同時かつ
正確に検出することができる。
【図１】本発明を適用した固体撮像装置の一実施例の構
成を示す側断面図である。
成を示す側断面図である。
【図２】光学材料の透明領域を説明する表である。
【図３】光学材料の透明領域を説明する表である。
【図４】本発明を適用した固体撮像装置の他の実施例の
構成を示す側断面図である。
構成を示す側断面図である。
【図５】本発明を適用した固体撮像装置の他の実施例の
構成を示す側断面図である。
構成を示す側断面図である。
【図６】従来の固体撮像装置の一構成例を示す側断面図
である。
である。
１ レンズ ２ 絞り ２Ａ 開口部 ３ 窓 ４ コールドシールド ４Ａ 開口部 ５ デュワ ５Ａ 開口部 ７ 受光装置 ８ イメージセンサ ９ コールドステージ １０ スターリングクーラ １１ 空間 １２ 光線 １３，１４ ミラー １５ バンドパスフィルタ ２０ 赤外線レンズ
Claims (6)
- 【請求項１】 光の第１の波長領域と、前記第１の波長
領域よりも短い第２の波長領域とに検出感度を有する検
出手段と、 前記検出手段の前段に配置され、前記第２の波長領域の
光の前記検出手段への入射強度を調節する調節手段と、 前記調節手段と前記検出手段の間に配置され、前記第１
の波長領域の光の前記検出手段への入射を制限する開口
制限手段とを備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】 前記第１及び第２の波長領域の光を集光
する集光手段をさらに備えることを特徴とする請求項１
に記載の固体撮像装置。 - 【請求項３】 前記集光手段は、前記調節手段の前段に
配置され、前記第１及び第２の波長領域の光を透過する
レンズであることを特徴とする請求項２に記載の固体撮
像装置。 - 【請求項４】 前記集光手段は、前記調節手段と前記開
口制限手段の間に配置され、前記第１及び第２の波長領
域の光を反射するミラーであることを特徴とする請求項
２に記載の固体撮像装置。 - 【請求項５】 前記開口制限手段の前段に配置され、前
記第１の波長領域のうちの所定の波長領域の光と、前記
第２の波長領域のうちの少なくとも一部の波長領域の光
を透過する波長制限手段をさらに備えることを特徴とす
る請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 【請求項６】 前記第１の波長領域の光は赤外線であ
り、 前記第２の波長領域の光は可視光線であることを特徴と
する請求項１乃至５のいずれかに記載の固体撮像装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28019195A JP3674012B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 固体撮像装置 |
| US08/738,108 US5804827A (en) | 1995-10-27 | 1996-10-25 | Infrared ray detection device and solid-state imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28019195A JP3674012B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09130678A true JPH09130678A (ja) | 1997-05-16 |
| JP3674012B2 JP3674012B2 (ja) | 2005-07-20 |
Family
ID=17621576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28019195A Expired - Fee Related JP3674012B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3674012B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006235139A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | ２波長結像光学系 |
| US7531781B2 (en) | 2005-02-25 | 2009-05-12 | Sony Corporation | Imager with image-taking portions optimized to detect separated wavelength components |
| US7755016B2 (en) | 2005-07-21 | 2010-07-13 | Sony Corporation | Physical information acquisition method, physical information acquisition device, and semiconductor device |
| JPWO2011007461A1 (ja) * | 2009-07-16 | 2012-12-20 | 株式会社山野光学 | 開口絞り |
| JP2013172967A (ja) * | 2009-07-16 | 2013-09-05 | Yamano Kogaku:Kk | 開口絞り |
| JP2014048130A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Toshiba Corp | 画像処理装置、方法、及びプログラム |
| US8711461B2 (en) | 2009-07-16 | 2014-04-29 | Yamano Optical Co., Ltd. | Aperture stop |
| CN105988215A (zh) * | 2015-02-15 | 2016-10-05 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种多光谱模组成像系统及其制造方法和应用 |
| CN111238659A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-06-05 | 武汉高芯科技有限公司 | 一种具有抑制杂散光功能的冷屏及制冷型红外探测器 |
| JP2020535424A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | レイセオン カンパニー | 熱画像化装置のための凸状ウォームシールド |
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1995
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