JPH09131044A - モジュラ式平面走行体とその製造法 - Google Patents
モジュラ式平面走行体とその製造法Info
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- JPH09131044A JPH09131044A JP7268873A JP26887395A JPH09131044A JP H09131044 A JPH09131044 A JP H09131044A JP 7268873 A JP7268873 A JP 7268873A JP 26887395 A JP26887395 A JP 26887395A JP H09131044 A JPH09131044 A JP H09131044A
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
-
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- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
- H02K1/12—Stationary parts of the magnetic circuit
- H02K1/18—Means for mounting or fastening magnetic stationary parts on to, or to, the stator structures
- H02K1/182—Means for mounting or fastening magnetic stationary parts on to, or to, the stator structures to stators axially facing the rotor, i.e. with axial or conical air gap
-
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- H02K15/02—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines of stator or rotor bodies
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が単純で、それ自体公知の高価かつ複雑
でリスクの大きいフィリグリー組織を簡単で処理しやす
い組織に変えて、走行体の寸法を任意に拡大することが
できるモジュラ式平面走行体とその製造法を提供する。 【解決手段】 モジュラ式平面走行体において、全体構
成（１）が基板（２）と複数のモジュール（３）とから
構成されており、基板（２）がキャップ（４）と、モジ
ュール（３）を収容するための複数の板貫通部（５）と
を有しており、モジュール（３）がフランジ（１３）を
付けたケーシング（１２）を有しており、ケーシング
（１２）の外面（４４）およびフランジ（１３）の表面
（４５）と、板貫通部の内面（４６）および基板（２）
の下側面（４７）との間には、整合・接着用ギャップ
（２２）が設けられていて、これに接着剤（４８）が充
填されている。
でリスクの大きいフィリグリー組織を簡単で処理しやす
い組織に変えて、走行体の寸法を任意に拡大することが
できるモジュラ式平面走行体とその製造法を提供する。 【解決手段】 モジュラ式平面走行体において、全体構
成（１）が基板（２）と複数のモジュール（３）とから
構成されており、基板（２）がキャップ（４）と、モジ
ュール（３）を収容するための複数の板貫通部（５）と
を有しており、モジュール（３）がフランジ（１３）を
付けたケーシング（１２）を有しており、ケーシング
（１２）の外面（４４）およびフランジ（１３）の表面
（４５）と、板貫通部の内面（４６）および基板（２）
の下側面（４７）との間には、整合・接着用ギャップ
（２２）が設けられていて、これに接着剤（４８）が充
填されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に精密位置決め
用のハイブリッド方式ステップモータ型プレーナユニッ
トに応用するモジュラ式平面走行体（プレーナランナ
ー、或いはプレーナロータ）とその製造法に関するもの
である。
用のハイブリッド方式ステップモータ型プレーナユニッ
トに応用するモジュラ式平面走行体（プレーナランナ
ー、或いはプレーナロータ）とその製造法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術において、大型平面走行体を
１体的に形成することが知られている。この場合におい
て、ｘ方向に対する２個以上の駆動素子およびｙ方向に
対する２個以上の駆動素子が設けられている。その際、
大型平面走行体ユニットも全体として製造されている。
ｘ方向に対する駆動素子とｙ方向に対する駆動素子は並
置されている。たとえば、ドイツ特許公開公報第２３４
５４５６号では、ｘ方向とｙ方向に対して２個ずつ設け
た駆動体を１平面上に配置することが提案された。この
場合、個々の駆動体はそれぞれ２列に配置されたコイル
体を有している。ドイツ特許公開公報第１６２２３８３
２号およびドイツ特許公開公報第１７８８１５４号によ
り、平面走行体の別の構成が知られている。これによれ
ば、やはりｘ方向とｙ方向に対して２個ずつ設けられた
駆動素子が１平面上に統合されている。
１体的に形成することが知られている。この場合におい
て、ｘ方向に対する２個以上の駆動素子およびｙ方向に
対する２個以上の駆動素子が設けられている。その際、
大型平面走行体ユニットも全体として製造されている。
ｘ方向に対する駆動素子とｙ方向に対する駆動素子は並
置されている。たとえば、ドイツ特許公開公報第２３４
５４５６号では、ｘ方向とｙ方向に対して２個ずつ設け
た駆動体を１平面上に配置することが提案された。この
場合、個々の駆動体はそれぞれ２列に配置されたコイル
体を有している。ドイツ特許公開公報第１６２２３８３
２号およびドイツ特許公開公報第１７８８１５４号によ
り、平面走行体の別の構成が知られている。これによれ
ば、やはりｘ方向とｙ方向に対して２個ずつ設けられた
駆動素子が１平面上に統合されている。
【０００３】合衆国特許第３８５１１９６号にも、ｘ方
向に対する１個の駆動素子とｙ方向に対する２個の駆動
素子を走行体内で統合したプレーナユニットが記載され
ている。この場合の短所は、広範な加工に伴う著しいリ
スクが全製造過程にわたって存在することである。特に
平行に配置された細溝と、これに対して直角に配置され
た細溝を取り付けることは、精度および精密さに関して
非常に大きいコストを必要とする。なぜならば、さもな
いと機能素子の不正確な配置や構成が原因で、所望の精
度で機能を実現することができなくなるからである。
向に対する１個の駆動素子とｙ方向に対する２個の駆動
素子を走行体内で統合したプレーナユニットが記載され
ている。この場合の短所は、広範な加工に伴う著しいリ
スクが全製造過程にわたって存在することである。特に
平行に配置された細溝と、これに対して直角に配置され
た細溝を取り付けることは、精度および精密さに関して
非常に大きいコストを必要とする。なぜならば、さもな
いと機能素子の不正確な配置や構成が原因で、所望の精
度で機能を実現することができなくなるからである。
【０００４】大型プレーナユニットにおいて、大型走行
体の加工と組織形成の端部区域でエラーが発生するリス
クは、走行体の大きさに連れて増大する。したがって、
非常に大きい工業的および技術的コストが必要である。
体の加工と組織形成の端部区域でエラーが発生するリス
クは、走行体の大きさに連れて増大する。したがって、
非常に大きい工業的および技術的コストが必要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
の技術の短所を低減および除去して、大型平面走行体に
おけるフィリグリー組織の製造に対するリスクを著しく
小さくしたモジュラ式平面走行体とその製造法を提供す
ることである。
の技術の短所を低減および除去して、大型平面走行体に
おけるフィリグリー組織の製造に対するリスクを著しく
小さくしたモジュラ式平面走行体とその製造法を提供す
ることである。
【０００６】本発明の課題は、構造が単純で、それ自体
公知の高価かつ複雑でリスクの大きいフィリグリー組織
を簡単で処理しやすい組織に変え、走行体の寸法を任意
に拡大でき、リスクを増大させることなくほぼ一定に維
持することができるモジュラ式平面走行体とその製造法
を提供することである。
公知の高価かつ複雑でリスクの大きいフィリグリー組織
を簡単で処理しやすい組織に変え、走行体の寸法を任意
に拡大でき、リスクを増大させることなくほぼ一定に維
持することができるモジュラ式平面走行体とその製造法
を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明のモジュラ式平面走行体は、全体構成が基
板と複数のモジュールとから構成されており、キャップ
と、モジュールを収容するための複数の板貫通部とを有
しており、モジュールがフランジを付けたケーシングを
有しており、ケーシングの外面およびフランジの表面
と、板貫通部の内面および基板の下面との間には、整合
・接着用ギャップが設けられていて、これに接着剤が充
填されている。
めに、本発明のモジュラ式平面走行体は、全体構成が基
板と複数のモジュールとから構成されており、キャップ
と、モジュールを収容するための複数の板貫通部とを有
しており、モジュールがフランジを付けたケーシングを
有しており、ケーシングの外面およびフランジの表面
と、板貫通部の内面および基板の下面との間には、整合
・接着用ギャップが設けられていて、これに接着剤が充
填されている。
【０００８】整合・接着用ギャップ内の接着剤が、充填
された硬化性エポキシ樹脂であることが好都合である。
さらに、本発明は、全体構成が４体型モジュラ式平面走
行体をなしていて、ｘ方向に運転するための２個のモジ
ュールと、ｙ方向に運転するための２個のモジュールと
を有することを特徴とする。また、本発明の特別の構成
は、全体構成が８体型モジュラ式平面走行体をなしてい
て、ｘ方向に運転するための４個のモジュールと、ｙ方
向に運転するための４個のモジュールとを有し、中央区
域には中央開口部を有している。走行体は、たとえばｘ
方向に対する８個のモジュールまたはｙ方向に対する８
個のモジュールからなることもできる。
された硬化性エポキシ樹脂であることが好都合である。
さらに、本発明は、全体構成が４体型モジュラ式平面走
行体をなしていて、ｘ方向に運転するための２個のモジ
ュールと、ｙ方向に運転するための２個のモジュールと
を有することを特徴とする。また、本発明の特別の構成
は、全体構成が８体型モジュラ式平面走行体をなしてい
て、ｘ方向に運転するための４個のモジュールと、ｙ方
向に運転するための４個のモジュールとを有し、中央区
域には中央開口部を有している。走行体は、たとえばｘ
方向に対する８個のモジュールまたはｙ方向に対する８
個のモジュールからなることもできる。
【０００９】さらに、本発明の特別の構成は、全体構成
が接続アダプタを有し、ステータ上に配置されており、
ステータがステータ組織を有していて、このステータ組
織が格子組織をなしており、ステータが周縁部とジャン
クションボックスとを有しており、ジャンクションボッ
クスと接続アダプタとの間には電気・空気圧供給フラッ
トダクトまたは別の種類の電気・空気圧供給管路が設け
られている。本発明の特徴は、格子組織が多数のステー
タ歯を有しており、これらのステータ歯が塔状およびピ
ッケル状に形成されていて、ネット状に構成されてステ
ータ歯を包囲しているステータ歯溝によって囲まれてい
ることである。
が接続アダプタを有し、ステータ上に配置されており、
ステータがステータ組織を有していて、このステータ組
織が格子組織をなしており、ステータが周縁部とジャン
クションボックスとを有しており、ジャンクションボッ
クスと接続アダプタとの間には電気・空気圧供給フラッ
トダクトまたは別の種類の電気・空気圧供給管路が設け
られている。本発明の特徴は、格子組織が多数のステー
タ歯を有しており、これらのステータ歯が塔状およびピ
ッケル状に形成されていて、ネット状に構成されてステ
ータ歯を包囲しているステータ歯溝によって囲まれてい
ることである。
【００１０】本発明に従って、次の方法工程が実現され
るようになっていることが好適である。 １．基板の板貫通部に、モジュールを挿入する。 ２．モジュールの鉄心の走行体歯と走行体歯溝とがステ
ータ組織のステータ歯とステータ歯溝との上方に配置さ
れるように、方法工程１に従って実装された基板を格子
組織の上に載せる。 ３．方法工程２に従って実装された基板を、図１２に従
ってモジュールの整合が行われるように位置合わせす
る。次に、エアギャップを遮断する。 ４．方法工程３に従ってステータ組織上に保持されたモ
ジュールを、整合・接着用ギャップ内に接着剤で埋設す
る。 ５．方法工程４に従って基板内に埋設されたモジュール
を、整合・接着用ギャップ内の接着剤の硬化によって互
いに固定する。 ６．方法工程５に従ってすでに硬化した全体構成を、エ
アギャップを接続することによってステータから持ち上
げた後、取り外す。 ７．方法工程５および６に従って得られた全体構成を、
運転のために同じ組織を有するステータに載せる。
るようになっていることが好適である。 １．基板の板貫通部に、モジュールを挿入する。 ２．モジュールの鉄心の走行体歯と走行体歯溝とがステ
ータ組織のステータ歯とステータ歯溝との上方に配置さ
れるように、方法工程１に従って実装された基板を格子
組織の上に載せる。 ３．方法工程２に従って実装された基板を、図１２に従
ってモジュールの整合が行われるように位置合わせす
る。次に、エアギャップを遮断する。 ４．方法工程３に従ってステータ組織上に保持されたモ
ジュールを、整合・接着用ギャップ内に接着剤で埋設す
る。 ５．方法工程４に従って基板内に埋設されたモジュール
を、整合・接着用ギャップ内の接着剤の硬化によって互
いに固定する。 ６．方法工程５に従ってすでに硬化した全体構成を、エ
アギャップを接続することによってステータから持ち上
げた後、取り外す。 ７．方法工程５および６に従って得られた全体構成を、
運転のために同じ組織を有するステータに載せる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１に、本発明のモジュラ式
平面走行体を上から見た概念的な説明図を示す。全体構
成１は基板２を包含しており、その板貫通部５にモジュ
ール３が収容されている。基板２上にはキャップ４が載
せられており、側部区域には接続アダプタ６が連結され
ている。接続アダプタ６から電気・空気圧供給フラット
ダクト７がジャンクションボックス８につながってい
る。その際、ジャンクションボックス８はステータ９に
連結されている。ステータ９は表面にステータ組織１０
を有しており、ここでは格子組織４９である。図１に従
い、ステータ組織１０は周縁部１１に囲まれている。全
体構成１の下側は、ここには詳細に図示されないエアギ
ャップによって上側の格子組織４９と接している。
基づいて詳細に説明する。図１に、本発明のモジュラ式
平面走行体を上から見た概念的な説明図を示す。全体構
成１は基板２を包含しており、その板貫通部５にモジュ
ール３が収容されている。基板２上にはキャップ４が載
せられており、側部区域には接続アダプタ６が連結され
ている。接続アダプタ６から電気・空気圧供給フラット
ダクト７がジャンクションボックス８につながってい
る。その際、ジャンクションボックス８はステータ９に
連結されている。ステータ９は表面にステータ組織１０
を有しており、ここでは格子組織４９である。図１に従
い、ステータ組織１０は周縁部１１に囲まれている。全
体構成１の下側は、ここには詳細に図示されないエアギ
ャップによって上側の格子組織４９と接している。
【００１２】図２に、図１に従う本発明のモジュラ式平
面走行体を正面から見た概念的な断面図を示す。全体構
成１は、エアギャップ５０を介してステータ９上に載っ
ている。ステータ９はステータ組織１０を有しており、
ここでは格子組織４９である。ステータ９は周縁部１１
で囲まれており、周縁部１１にはジャンクションボック
ス８が連結している。ジャンクションボックス８から電
気・空気圧供給フラットダクト７が接続アダプタ６につ
ながっている。その際、接続アダプタ６は全体構成１に
連結されている。全体構成１は、板貫通部５にモジュー
ル３を収容する基板２からなる。基板２上にはキャップ
４が固定されており、これに接続アダプタ６が連結して
いる。
面走行体を正面から見た概念的な断面図を示す。全体構
成１は、エアギャップ５０を介してステータ９上に載っ
ている。ステータ９はステータ組織１０を有しており、
ここでは格子組織４９である。ステータ９は周縁部１１
で囲まれており、周縁部１１にはジャンクションボック
ス８が連結している。ジャンクションボックス８から電
気・空気圧供給フラットダクト７が接続アダプタ６につ
ながっている。その際、接続アダプタ６は全体構成１に
連結されている。全体構成１は、板貫通部５にモジュー
ル３を収容する基板２からなる。基板２上にはキャップ
４が固定されており、これに接続アダプタ６が連結して
いる。
【００１３】図３に、本発明のモジュールを正面から見
た概念的な完全断面図を示す。モジュール３はフランジ
１３を付けたケーシング１２を有し、コイル体１５を収
容した４個のコイル体収容部１４を包含している。コイ
ル体１５の間には、ケーシング１２の詳細に図示しない
ウェブが設けられていて、左側のエアダクト１９を包含
している。コイル体１５を有する左側区域には中央区
域、すなわちケーシングの幅の広いウェブが続いてい
る。その際、右側区域には、コイル体が左側区域に対し
てほぼ鏡像状に配置されている。右側区域では、２個の
コイル体収容部１４にやはりコイル体１５を挿入した。
右側の２個のコイル体１５の間には、ケーシング１２の
詳細に図示しないウェブが配置されていて、右側エアダ
クト２０を包含している。
た概念的な完全断面図を示す。モジュール３はフランジ
１３を付けたケーシング１２を有し、コイル体１５を収
容した４個のコイル体収容部１４を包含している。コイ
ル体１５の間には、ケーシング１２の詳細に図示しない
ウェブが設けられていて、左側のエアダクト１９を包含
している。コイル体１５を有する左側区域には中央区
域、すなわちケーシングの幅の広いウェブが続いてい
る。その際、右側区域には、コイル体が左側区域に対し
てほぼ鏡像状に配置されている。右側区域では、２個の
コイル体収容部１４にやはりコイル体１５を挿入した。
右側の２個のコイル体１５の間には、ケーシング１２の
詳細に図示しないウェブが配置されていて、右側エアダ
クト２０を包含している。
【００１４】図４に、図３に従う本発明のモジュールを
上から見た概念的な部分断面図を示す。モジュール３
は、フランジ１３を付けたケーシング１２からなる。ケ
ーシング１２内には、コイル体収容部１４が設けられて
おり、その中にコイル体１５が挿入され、充填材３３に
よって埋設されている。図面の上側区域では、空気供給
管１６が設けられていて、左側エアダクト１９と右側エ
アダクト２０に通じている。左側区域４０に設けられた
左側エアダクト１９は、１個の封止用プラグ２１と２個
の左側空気ノズル１８を有する。右側区域４１に設けら
れた右側エアダクト２０は、１個の封止用プラグ２１と
２個の右側空気ノズル１７を有する。
上から見た概念的な部分断面図を示す。モジュール３
は、フランジ１３を付けたケーシング１２からなる。ケ
ーシング１２内には、コイル体収容部１４が設けられて
おり、その中にコイル体１５が挿入され、充填材３３に
よって埋設されている。図面の上側区域では、空気供給
管１６が設けられていて、左側エアダクト１９と右側エ
アダクト２０に通じている。左側区域４０に設けられた
左側エアダクト１９は、１個の封止用プラグ２１と２個
の左側空気ノズル１８を有する。右側区域４１に設けら
れた右側エアダクト２０は、１個の封止用プラグ２１と
２個の右側空気ノズル１７を有する。
【００１５】図５に、図３のＢ−Ｂに従って切断した、
本発明のモジュールの概念的な側面図を示す。モジュー
ル３はフランジ１３、コイル体収容部１４、および空気
供給管１６を有する。コイル体収容部１４には、コイル
体１５が固く挿入されており、充填材３３によって埋設
されている。
本発明のモジュールの概念的な側面図を示す。モジュー
ル３はフランジ１３、コイル体収容部１４、および空気
供給管１６を有する。コイル体収容部１４には、コイル
体１５が固く挿入されており、充填材３３によって埋設
されている。
【００１６】図６に、図３のＡ−Ａに従って切断した、
本発明のモジュールの概念的な側面図を示す。モジュー
ル３はケーシング１２、フランジ１３、空気供給管１
６、およびこれに接続して、封止用プラグ２１によって
閉じられた左側エアダクト１９からなる。ケーシング１
２の下側区域では、左側エアダクト１９と連通している
左側空気ノズル１８が２個埋め込まれている。左側空気
ノズル１８は、ねじ込み式に取り付けられている。
本発明のモジュールの概念的な側面図を示す。モジュー
ル３はケーシング１２、フランジ１３、空気供給管１
６、およびこれに接続して、封止用プラグ２１によって
閉じられた左側エアダクト１９からなる。ケーシング１
２の下側区域では、左側エアダクト１９と連通している
左側空気ノズル１８が２個埋め込まれている。左側空気
ノズル１８は、ねじ込み式に取り付けられている。
【００１７】図７に、４個のモジュールを有する本発明
のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的な側面図を示
す。ここでは、全体構成１は４体型モジュラ式平面走行
体２３をなしている。基板２は板貫通部５にそれぞれ１
個のモジュール３を有している。モジュール３と板貫通
部５の間には、整合・接着用ギャップ２２が設けられて
いる。整合・接着用ギャップ２２自体には、やや弾力性
のある充填材３３が充填されている。
のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的な側面図を示
す。ここでは、全体構成１は４体型モジュラ式平面走行
体２３をなしている。基板２は板貫通部５にそれぞれ１
個のモジュール３を有している。モジュール３と板貫通
部５の間には、整合・接着用ギャップ２２が設けられて
いる。整合・接着用ギャップ２２自体には、やや弾力性
のある充填材３３が充填されている。
【００１８】図８に、８個のモジュールと中央開口部を
有する本発明のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的
な側面図を示す。ここでは、全体構成１は８体型モジュ
ラ式平面走行体２４をなしており、板貫通部５と中央開
口部２５を有する基板２、および板貫通部５に収容され
たモジュール３からなる。
有する本発明のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的
な側面図を示す。ここでは、全体構成１は８体型モジュ
ラ式平面走行体２４をなしており、板貫通部５と中央開
口部２５を有する基板２、および板貫通部５に収容され
たモジュール３からなる。
【００１９】図９に、２個のモジュールを相前後して配
置した本発明のモジュラ式平面走行体の概念的な部分断
面図を示す。全体構成１は、ステータ組織１０を有する
ステータ９上に載っている。ここでは全体構成１は基板
２とモジュール３から構成されている。基板２は、モジ
ュール３を収容した板貫通部５を有する。モジュール３
と板貫通部５との間には、整合・接着用ギャップが設け
られており、充填材３３が充填されている。モジュール
３はケーシング１２を有し、その中にコイル３１を巻い
た鉄心３２が挿入されている。左側鉄心３２と右側鉄心
３２との間にはスペーサ３８が設けられている。左側鉄
心上に左側磁石３４が取り付けられ、右側鉄心上には右
側磁石３６が取り付けられている。ヨーク３５を取り付
けた後、左側磁石３４はＳ極を形成する。ケーシング１
２の中央には、中央ウェブ３７がある。中央ウェブ３７
の右側には、図９について上述したのと同じ配置構成が
ある。
置した本発明のモジュラ式平面走行体の概念的な部分断
面図を示す。全体構成１は、ステータ組織１０を有する
ステータ９上に載っている。ここでは全体構成１は基板
２とモジュール３から構成されている。基板２は、モジ
ュール３を収容した板貫通部５を有する。モジュール３
と板貫通部５との間には、整合・接着用ギャップが設け
られており、充填材３３が充填されている。モジュール
３はケーシング１２を有し、その中にコイル３１を巻い
た鉄心３２が挿入されている。左側鉄心３２と右側鉄心
３２との間にはスペーサ３８が設けられている。左側鉄
心上に左側磁石３４が取り付けられ、右側鉄心上には右
側磁石３６が取り付けられている。ヨーク３５を取り付
けた後、左側磁石３４はＳ極を形成する。ケーシング１
２の中央には、中央ウェブ３７がある。中央ウェブ３７
の右側には、図９について上述したのと同じ配置構成が
ある。
【００２０】図１０に、本発明のモジュラ式平面走行体
の非通電状態における図９の細部Ｄの部分断面図を示
す。磁束線が鉄心３２を貫いている。鉄心３２は左側で
はストッパ３９およびスペーサ３８に接して、充填材３
３によって埋設されている。鉄心３２の中心部にはコイ
ル３１がある。ステータ９内では、表面にステータ歯２
９とステータ歯溝３０がに配置されており、ステータ歯
溝も充填材３３が充填されている。鉄心３２内では、下
側にそれぞれ走行体歯２７と走行体歯溝２８とがに配置
されている。鉄心３２内には、走行体歯２７と走行体歯
溝２８がそれぞれに配置されており、走行体歯溝２８に
も充填材３３が充填されている。
の非通電状態における図９の細部Ｄの部分断面図を示
す。磁束線が鉄心３２を貫いている。鉄心３２は左側で
はストッパ３９およびスペーサ３８に接して、充填材３
３によって埋設されている。鉄心３２の中心部にはコイ
ル３１がある。ステータ９内では、表面にステータ歯２
９とステータ歯溝３０がに配置されており、ステータ歯
溝も充填材３３が充填されている。鉄心３２内では、下
側にそれぞれ走行体歯２７と走行体歯溝２８とがに配置
されている。鉄心３２内には、走行体歯２７と走行体歯
溝２８がそれぞれに配置されており、走行体歯溝２８に
も充填材３３が充填されている。
【００２１】図１１に、２個のモジュールを通電状態で
相前後して配置した、本発明のモジュラ式平面走行体の
概念的な部分断面図を示す。左側区域の細部Ｅは図１２
で拡大して示されており、細部Ｆは図１３に拡大して示
されている。ステータ９上には、２個のモジュール３を
付けた基板２を有する全体構成１が載っている。各々の
モジュール３には、それぞれ２個のコイル体１５が挿入
されている。コイル体１５はそれぞれコイル３１を取り
付けた２個の鉄心３２からなる。その際、鉄心３２上に
は、それぞれ１個の左側磁石３４と右側磁石３６が配置
されている。これらの磁石はヨーク３５を介して結合さ
れているので、２個の永久磁石がいわゆる左側磁石３４
および右側磁石３６として働く。モジュール３には、そ
れぞれカバープレート２６が付いている。
相前後して配置した、本発明のモジュラ式平面走行体の
概念的な部分断面図を示す。左側区域の細部Ｅは図１２
で拡大して示されており、細部Ｆは図１３に拡大して示
されている。ステータ９上には、２個のモジュール３を
付けた基板２を有する全体構成１が載っている。各々の
モジュール３には、それぞれ２個のコイル体１５が挿入
されている。コイル体１５はそれぞれコイル３１を取り
付けた２個の鉄心３２からなる。その際、鉄心３２上に
は、それぞれ１個の左側磁石３４と右側磁石３６が配置
されている。これらの磁石はヨーク３５を介して結合さ
れているので、２個の永久磁石がいわゆる左側磁石３４
および右側磁石３６として働く。モジュール３には、そ
れぞれカバープレート２６が付いている。
【００２２】図１２に、通電状態における図１１の細部
Ｅを拡大して示す。ステータ９は、交互に配置されたス
テータ歯２９とステータ歯溝３０を有する。２個のスト
ッパ３９とスペーサ３８によって保持されたコイル３１
付き鉄心３２は、上側区域に左側磁石３４と、したがっ
て右側磁石３６を有する。これらの磁石はヨーク３５に
よって短絡されている。ここには通電状態が示されてい
るので、磁束線は左側区域４０を通って誘導される。右
側区域４１には、磁束線は延びていない。その後ろに
は、コイル体１５の走行体歯２７はステータ９のステー
タ歯２９の上にあり、走行体歯溝２８はステータ歯溝３
０の上にある。
Ｅを拡大して示す。ステータ９は、交互に配置されたス
テータ歯２９とステータ歯溝３０を有する。２個のスト
ッパ３９とスペーサ３８によって保持されたコイル３１
付き鉄心３２は、上側区域に左側磁石３４と、したがっ
て右側磁石３６を有する。これらの磁石はヨーク３５に
よって短絡されている。ここには通電状態が示されてい
るので、磁束線は左側区域４０を通って誘導される。右
側区域４１には、磁束線は延びていない。その後ろに
は、コイル体１５の走行体歯２７はステータ９のステー
タ歯２９の上にあり、走行体歯溝２８はステータ歯溝３
０の上にある。
【００２３】図１３は、充填溝を拡大した図１１の細部
Ｆを示す図である。ステータ歯２９とステータ歯溝３０
を有するステータ９上には、基板２とモジュール３を包
含する全体構成１がエアギャップ５０を介して載ってい
る。基板２内では、板貫通部５にモジュール３が収容さ
れている。モジュール３と基板２との間には、整合・接
着用ギャップ２２がある。整合・接着用ギャップ２２に
は、ある程度の弾力性を有する接着剤４８が注入されて
いる。整合・接着用ギャップ２２は、モジュール３の外
面４４と基板２の板貫通部５の内面４６によって、さら
にモジュール３の表面４５と基板２の下面４７との間に
形成されている。モジュール３は、外面４４を具備した
ケーシンング１２と鉄心３２を有する。鉄心３２はスト
ッパ３９に接し、コイル３１を収容し、充填材３３によ
って埋設されている。鉄心３２は交互に配置された走行
体歯２７と走行体歯溝２８を有する。これらは交互に配
置されたステータ歯２９とステータ歯溝３０と向き合っ
ている。エアギャップの高さ５１は、約１０ないし１５
μｍである。
Ｆを示す図である。ステータ歯２９とステータ歯溝３０
を有するステータ９上には、基板２とモジュール３を包
含する全体構成１がエアギャップ５０を介して載ってい
る。基板２内では、板貫通部５にモジュール３が収容さ
れている。モジュール３と基板２との間には、整合・接
着用ギャップ２２がある。整合・接着用ギャップ２２に
は、ある程度の弾力性を有する接着剤４８が注入されて
いる。整合・接着用ギャップ２２は、モジュール３の外
面４４と基板２の板貫通部５の内面４６によって、さら
にモジュール３の表面４５と基板２の下面４７との間に
形成されている。モジュール３は、外面４４を具備した
ケーシンング１２と鉄心３２を有する。鉄心３２はスト
ッパ３９に接し、コイル３１を収容し、充填材３３によ
って埋設されている。鉄心３２は交互に配置された走行
体歯２７と走行体歯溝２８を有する。これらは交互に配
置されたステータ歯２９とステータ歯溝３０と向き合っ
ている。エアギャップの高さ５１は、約１０ないし１５
μｍである。
【００２４】図１４に、本発明のモジュールの下面図を
示す。鉄心３２は２つの走行体歯２７と走行体歯溝２８
を有する。同時に左側空気ノズル１７と右側空気ノズル
１９が設けられている。周縁部１１はフランジ１３を付
けている。
示す。鉄心３２は２つの走行体歯２７と走行体歯溝２８
を有する。同時に左側空気ノズル１７と右側空気ノズル
１９が設けられている。周縁部１１はフランジ１３を付
けている。
【００２５】図１５に、図１４に従う本発明のモジュー
ルを正面から見た断面図を示す。全体構成１の構成部分
としてのモジュール３は周縁部１１にフランジ１３を有
し、鉄心３２は交互に配置された走行体歯２７と走行体
歯溝２８を有する。
ルを正面から見た断面図を示す。全体構成１の構成部分
としてのモジュール３は周縁部１１にフランジ１３を有
し、鉄心３２は交互に配置された走行体歯２７と走行体
歯溝２８を有する。
【００２６】図１６に、図１４に従う本発明のモジュー
ルを側面から見た断面図を示す。周縁部１１は、走行体
歯２７と走行体歯溝２８を付けたフランジ１３と、幾何
学的構造を与えた鉄心３２を有する。
ルを側面から見た断面図を示す。周縁部１１は、走行体
歯２７と走行体歯溝２８を付けたフランジ１３と、幾何
学的構造を与えた鉄心３２を有する。
【図１】本発明のモジュラ式平面走行体を上から見た概
念的な説明図である。
念的な説明図である。
【図２】図１に従う本発明のモジュラ式平面走行体を正
面から見た概念的な断面図である。
面から見た概念的な断面図である。
【図３】本発明のモジュールを正面から見た概念的な完
全断面図である。
全断面図である。
【図４】図１に従う本発明のモジュラ式平面走行体を上
から見た概念的な部分断面図である。
から見た概念的な部分断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂに従って切断した本発明のモジュ
ールの概念的な側面図である。
ールの概念的な側面図である。
【図６】図３のＡ−Ａに従って切断した本発明のモジュ
ールの概念的な側面図である。
ールの概念的な側面図である。
【図７】４個のモジュールを有する本発明のモジュラ式
平面走行体の変形例の概念的な側面図である。
平面走行体の変形例の概念的な側面図である。
【図８】８個のモジュールと中央開口部を有する本発明
のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的な側面図であ
る。
のモジュラ式平面走行体の変形例の概念的な側面図であ
る。
【図９】２個のモジュールを相前後して配置した本発明
のモジュラ式平面走行体の概念的な部分断面図である。
のモジュラ式平面走行体の概念的な部分断面図である。
【図１０】非通電状態における図９の細部Ｄを示す図で
ある。
ある。
【図１１】２個のモジュールを通電状態で相前後して配
置した、本発明のモジュラ式平面走行体の概念的な部分
断面図である。
置した、本発明のモジュラ式平面走行体の概念的な部分
断面図である。
【図１２】通電状態における図１１の細部Ｅを示す図で
ある。
ある。
【図１３】充填溝を拡大した図１１の細部Ｆを示す図で
ある。
ある。
【図１４】本発明のモジュールの下面図である。
【図１５】図１４に従う本発明のモジュールを正面から
見た断面図である。
見た断面図である。
【図１６】図１４に従う本発明のモジュールを側面から
見た断面図である。
見た断面図である。
１…全体構成 ２…基板 ３…モジュール ４…キャップ ５…板貫通部 ６…接続アダプタ ７…フラットダクト ８…ジャンクションボックス ９…ステータ １０…ステータ組織 １１…周縁部 １２…ケーシング １３…フランジ １４…コイル体収容部 １５…コイル体 １６…空気供給管 １７…右側空気ノズル １８…左側空気ノズル １９…左側エアダクト ２０…右側エアダクト ２１…封止用プラグ ２２…整合・接着用ギャップ ２３…４体型モジュラ式平面走行体 ２４…８体型モジュラ式平面走行体 ２５…中央開口部 ２６…カバープレート ２７…走行体歯 ２８…走行体歯溝 ２９…ステータ歯 ３０…ステータ歯溝 ３１…コイル ３２…鉄心 ３３…充填材 ３４…左側磁石 ３５…ヨーク ３６…右側磁石 ３７…中央ウェブ ３８…スペーサ ３９…ストッパ ４０…左側区域 ４１…右側区域 ４２…空気ノズル間隔 ４３…組織幅 ４４…外面 ４５…表面 ４６…内面 ４７…下面 ４８…接着剤 ４９…格子組織 ５０…エアギャップ ５１…エアギャップの高さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ニコ コレンス ドイツ連邦共和国，99425 バイマール, マレルスティーク ２ (72)発明者 ユルゲン レーベル ドイツ連邦共和国，07747 イェナ，ベル ナー−シーレンビンダー−シュトラーセ 29 (72)発明者 エックハルト ベンドルフ ドイツ連邦共和国，98528 シュール，リ ングベルグシュトラーセ 113 (72)発明者 ギュンター ドライフケ ドイツ連邦共和国，98529 スール，フリ ーセンシュトラーセ 17 (72)発明者 クラウス マルティン ドイツ連邦共和国，98528 シュール，ア ム ドンベルク 20ベー
Claims (7)
- 【請求項１】 モジュラ式平面走行体において、 全体構成（１）が基板（２）と複数のモジュール（３）
とから構成されており、 基板（２）がキャップ（４）と、モジュール（３）を収
容するための複数の板貫通部（５）とを有しており、 モジュール（３）がフランジ（１３）を付けたケーシン
グ（１２）を有しており、 ケーシング（１２）の外面
（４４）およびフランジ（１３）の表面（４５）と、板
貫通部の内面（４６）および基板（２）の下側面（４
７）との間には、整合・接着用ギャップ（２２）が設け
られていて、これに接着剤（４８）が充填されているこ
とを特徴とするモジュラ式平面走行体。 - 【請求項２】 整合・接着用ギャップ（２２）内の接着
剤（４８）が、充填された硬化性エポキシ樹脂である、
請求項１に記載のモジュラ式平面走行体。 - 【請求項３】 全体構成（１）が４体型モジュラ式平面
走行体（２３）をなしていて、ｘ方向に運転するための
２個のモジュール（３）と、ｙ方向に運転するための２
個のモジュール（３）とを有する、請求項１または２に
記載のモジュラ式平面走行体。 - 【請求項４】 全体構成（１）が８体型モジュラ式平面
走行体（２４）をなしていて、ｘ方向に運転するための
４個のモジュール（３）と、ｙ方向に運転するための４
個のモジュール（３）とを有し、中央区域に中央開口部
（２５）を有する、請求項１または２に記載のモジュラ
式平面走行体。 - 【請求項５】 全体構成（１）が接続アダプタ（６）を
具備してステータ（９）上に配置されており、 ステータ（９）がステータ組織（１０）を有していて、
このステータ組織（１０）が格子組織（４９）をなして
おり、 ステータ（９）が周縁部（１１）とジャンクションボッ
クス（８）とを有しており、ジャンクションボックス
（８）と接続アダプタ（６）との間には電気・空気圧供
給フラットダクト（７）が設けられている、請求項１か
ら４のいずれか１項に記載のモジュラ式平面走行体。 - 【請求項６】 格子組織（４９）が多数のステータ歯
（２９）を有しており、これらのステータ歯（２９）が
塔状およびピッケル状に形成されていて、ネット状に構
成されてステータ歯（２９）を包囲しているステータ歯
溝（３０）によって囲まれている、請求項１から５のい
ずれか１項に記載のモジュラ式平面走行体。 - 【請求項７】 次の方法工程が実現されることを特徴と
する、請求項１から６のいずれか１項に記載のモジュラ
式平面走行体の製造法。７．１ 基板（２）の板貫通部
（５）に、モジュール（３）を挿入する。７．２ モジ
ュール（３）の鉄心（３２）の走行体歯（２７）と走行
体歯溝（２８）とがステータ組織（１０）のステータ歯
（２９）とステータ歯溝（３０）との上方に配置される
ように、方法工程７．１に従って実装された基板を格子
組織（４９）の上に載せる。７．３ 方法工程７．２お
よび７．２に従って実装された基板を、モジュールの整
合が行われるように位置合わせする。次に、エアギャッ
プ（５０）を遮断する。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4436865A DE4436865A1 (de) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Modularer Planarläufer und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US08/543,596 US5841207A (en) | 1994-10-17 | 1995-10-16 | Modular two-coordinate planar motor |
| JP7268873A JPH09131044A (ja) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | モジュラ式平面走行体とその製造法 |
| FR9512164A FR2739989B3 (fr) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | Induit plan modulaire et procede pour sa fabrication |
| GB9521228A GB2297435B (en) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | A modular planar rotor and method of producing the same |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4436865A DE4436865A1 (de) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Modularer Planarläufer und Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP94436865 | 1994-10-17 | ||
| JP7268873A JPH09131044A (ja) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | モジュラ式平面走行体とその製造法 |
| FR9512164A FR2739989B3 (fr) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | Induit plan modulaire et procede pour sa fabrication |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09131044A true JPH09131044A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=27436068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7268873A Pending JPH09131044A (ja) | 1994-10-17 | 1995-10-17 | モジュラ式平面走行体とその製造法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5841207A (ja) |
| JP (1) | JPH09131044A (ja) |
| DE (1) | DE4436865A1 (ja) |
| FR (1) | FR2739989B3 (ja) |
| GB (1) | GB2297435B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| DE102017131326A1 (de) * | 2017-12-27 | 2019-06-27 | Beckhoff Automation Gmbh | Statormodul |
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