JPH09137900A - 高純度薬品用配管 - Google Patents
高純度薬品用配管Info
- Publication number
- JPH09137900A JPH09137900A JP7318598A JP31859895A JPH09137900A JP H09137900 A JPH09137900 A JP H09137900A JP 7318598 A JP7318598 A JP 7318598A JP 31859895 A JP31859895 A JP 31859895A JP H09137900 A JPH09137900 A JP H09137900A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- synthetic resin
- chemical resistance
- tube
- inner pipe
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐薬品性及び耐薬液透過性に優れ、しかも安
価、構造簡単で、占有面積の小さい高純度薬品用配管を
提供することである。 【解決手段】 内管２０は耐薬品性を有する第１の合成
樹脂から成り、高純度の薬品を流通させるために使用さ
れる。内管２０の外周に密着するように外管２１が形成
されている。外管２１は耐薬液透過性を有する第２の合
成樹脂から成る。
価、構造簡単で、占有面積の小さい高純度薬品用配管を
提供することである。 【解決手段】 内管２０は耐薬品性を有する第１の合成
樹脂から成り、高純度の薬品を流通させるために使用さ
れる。内管２０の外周に密着するように外管２１が形成
されている。外管２１は耐薬液透過性を有する第２の合
成樹脂から成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高純度の液状薬品を
使用箇所に供給するための配管として好適な耐薬品性で
かつ耐薬液透過性を有する配管に関する。
使用箇所に供給するための配管として好適な耐薬品性で
かつ耐薬液透過性を有する配管に関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度液状薬品を、その使用箇所に供給
するための配管設備として、例えば、特公平５−５０６
４０号に開示された構造のものがある。図３はかかる構
造の配管設備であって、１は外管、２は内管、３は箱状
構造の分岐用ボックス、４は継手部分である。上記配管
設備において、１本もしくは複数本のふっ素樹脂製の内
管２は耐薬品性の合成樹脂から成る外管１内に挿通さ
れ、外管１は開閉自在箇所５を介して分岐用ボックス３
と一体的に連結して構成されている。分岐用ボックス３
内には、例えば、液止め１３、逆止弁１４が設けられ、
また内管２より漏出した液状薬品を誘導する管６、セン
サー８及びバルブ７等が取り付けられている。
するための配管設備として、例えば、特公平５−５０６
４０号に開示された構造のものがある。図３はかかる構
造の配管設備であって、１は外管、２は内管、３は箱状
構造の分岐用ボックス、４は継手部分である。上記配管
設備において、１本もしくは複数本のふっ素樹脂製の内
管２は耐薬品性の合成樹脂から成る外管１内に挿通さ
れ、外管１は開閉自在箇所５を介して分岐用ボックス３
と一体的に連結して構成されている。分岐用ボックス３
内には、例えば、液止め１３、逆止弁１４が設けられ、
また内管２より漏出した液状薬品を誘導する管６、セン
サー８及びバルブ７等が取り付けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】さて上述したような従
来の配管設備には下記の如き問題点を有する。 （１）内管と外管との間に隙間が生じるため、必然的に
外管の径が太くなり、従って狭い隙間への配管が困難で
ある。 （２）外管を形成する合成樹脂として、ＰＶＣ（塩化ビ
ニル樹脂）、ＰＶＤＦ（ふっ化ビニリデン樹脂）、ＰＦ
Ａ（四ふっ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体樹脂）等の硬質樹脂を使用しているため
可撓性に乏しく、配管が大がかりとなりやすい。 （３）内管を形成するふっ素樹脂の薬液透過性が比較的
大きいため、前記分岐用ボックス、開閉自在箇所、その
他の前記した設備が必要となり、装置全体が大型となっ
てかなりの空間を占有することとなり、設備コストもか
なりかかってしまう。
来の配管設備には下記の如き問題点を有する。 （１）内管と外管との間に隙間が生じるため、必然的に
外管の径が太くなり、従って狭い隙間への配管が困難で
ある。 （２）外管を形成する合成樹脂として、ＰＶＣ（塩化ビ
ニル樹脂）、ＰＶＤＦ（ふっ化ビニリデン樹脂）、ＰＦ
Ａ（四ふっ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体樹脂）等の硬質樹脂を使用しているため
可撓性に乏しく、配管が大がかりとなりやすい。 （３）内管を形成するふっ素樹脂の薬液透過性が比較的
大きいため、前記分岐用ボックス、開閉自在箇所、その
他の前記した設備が必要となり、装置全体が大型となっ
てかなりの空間を占有することとなり、設備コストもか
なりかかってしまう。
【０００４】本発明の目的はかかる従来の問題点を解決
して構成簡単で、しかも小型かつ安価な耐薬液透過性に
優れた高純度薬品用配管を提供することにある。
して構成簡単で、しかも小型かつ安価な耐薬液透過性に
優れた高純度薬品用配管を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の高純度薬品用配管は、耐薬品性を有する第
１の合成樹脂から成る高純度の薬品を流通させるための
内管と、該内管の外周に密着するように形成された耐薬
液透過性を有する第２の合成樹脂から成る外管と、を備
えたことを要旨としている。
め、本発明の高純度薬品用配管は、耐薬品性を有する第
１の合成樹脂から成る高純度の薬品を流通させるための
内管と、該内管の外周に密着するように形成された耐薬
液透過性を有する第２の合成樹脂から成る外管と、を備
えたことを要旨としている。
【０００６】上述した本発明の配管において、前記外管
の肉厚が５μｍ〜３ｍｍの範囲内としてもよい。更に、
第１の合成樹脂としてＰＦＡを、第２の合成樹脂として
ＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂又はポリエチレンを用い
てもよい。
の肉厚が５μｍ〜３ｍｍの範囲内としてもよい。更に、
第１の合成樹脂としてＰＦＡを、第２の合成樹脂として
ＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂又はポリエチレンを用い
てもよい。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態としては、図
１に示すように、耐薬品性を有する第１の合成樹脂、例
えば、ＰＦＡで内管２０を形成し、該内管２０の外周に
密着して、耐薬液透過性を有する第２の合成樹脂、例え
ば、ＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂又はポリエチレンで
外管２１を形成して成る。
１に示すように、耐薬品性を有する第１の合成樹脂、例
えば、ＰＦＡで内管２０を形成し、該内管２０の外周に
密着して、耐薬液透過性を有する第２の合成樹脂、例え
ば、ＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂又はポリエチレンで
外管２１を形成して成る。
【０００８】本発明の高純度薬品用配管は耐薬品性と耐
薬液透過性の両特性を兼備しており、しかも外管の肉厚
を、５μｍ〜３ｍｍ、好適には２５μｍ〜２ｍｍの範囲
とすることにより、配管全体の可撓性を損なわないよう
にすることができ、しかもエルボ、チーズ等の継手類が
不要となるので、全体構成は非常に簡単で、占有面積を
さほど必要とせず、更には経済性にも優れたものとな
る。
薬液透過性の両特性を兼備しており、しかも外管の肉厚
を、５μｍ〜３ｍｍ、好適には２５μｍ〜２ｍｍの範囲
とすることにより、配管全体の可撓性を損なわないよう
にすることができ、しかもエルボ、チーズ等の継手類が
不要となるので、全体構成は非常に簡単で、占有面積を
さほど必要とせず、更には経済性にも優れたものとな
る。
【０００９】
【実施例】以下図面に示す本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の高純度薬品用配管の一実施例で、２０は
高純度の薬品を流通させるための内管であり、耐薬品性
を有する第１の合成樹脂から成る。２１は内管２０の外
周に密着して形成された外管で、耐薬液透過性を有する
第２の合成樹脂から成る。
図１は本発明の高純度薬品用配管の一実施例で、２０は
高純度の薬品を流通させるための内管であり、耐薬品性
を有する第１の合成樹脂から成る。２１は内管２０の外
周に密着して形成された外管で、耐薬液透過性を有する
第２の合成樹脂から成る。
【００１０】内管２０を構成する耐薬品性を有する第１
の合成樹脂としては、例えば、ＰＴＦＥ（四ふっ化エチ
レン樹脂）、ＦＥＰ（四ふっ化エチレン−六ふっ化プロ
ピレン共重合体樹脂）、ＰＦＡ（四ふっ化エチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂）、Ｐ
ＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰＳ（ポリ
フェニレンサルファイド）、ＰＥＳ（ポリエーテルサル
フォン）が使用されるが、使用液体が高純度薬品という
ことから中でもイオンの溶出が極めて小さいＰＦＡの使
用が望ましい。
の合成樹脂としては、例えば、ＰＴＦＥ（四ふっ化エチ
レン樹脂）、ＦＥＰ（四ふっ化エチレン−六ふっ化プロ
ピレン共重合体樹脂）、ＰＦＡ（四ふっ化エチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂）、Ｐ
ＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰＳ（ポリ
フェニレンサルファイド）、ＰＥＳ（ポリエーテルサル
フォン）が使用されるが、使用液体が高純度薬品という
ことから中でもイオンの溶出が極めて小さいＰＦＡの使
用が望ましい。
【００１１】また、外管２１を構成する耐薬液透過性を
有する第２の合成樹脂としては、例えば、ＰＶＤＦ（ふ
っ化ビニリデン樹脂）、塩化ビニリデン樹脂、ふっ化ビ
ニル樹脂、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ＰＣＴＦＥ（三ふっ化塩化エチレン樹脂）、ハイド
ロクロライドゴム、ポリアミド、ポリアセタールが使用
されるが、中でも成形性に優れ、かつ耐薬品性にも優れ
ているＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレンの
使用が望ましい。
有する第２の合成樹脂としては、例えば、ＰＶＤＦ（ふ
っ化ビニリデン樹脂）、塩化ビニリデン樹脂、ふっ化ビ
ニル樹脂、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ＰＣＴＦＥ（三ふっ化塩化エチレン樹脂）、ハイド
ロクロライドゴム、ポリアミド、ポリアセタールが使用
されるが、中でも成形性に優れ、かつ耐薬品性にも優れ
ているＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレンの
使用が望ましい。
【００１２】外管２１の形成方法については、内管２０
と共に押出しで成形するか、外管２１をチューブにして
内管２０内に嵌挿するか、フィルムにして巻装するか、
あるいは外管２１となる熱収縮チューブを内管２０に被
せて熱で固着密着するか、または外管２１として第２の
合成樹脂を内管の外周にコーティングするなどにより成
形する方法がとられる。さらに、上記外管２１を構成す
る樹脂を複数用い、また形成方法も複数用いることによ
り多重管構造としてもよい。
と共に押出しで成形するか、外管２１をチューブにして
内管２０内に嵌挿するか、フィルムにして巻装するか、
あるいは外管２１となる熱収縮チューブを内管２０に被
せて熱で固着密着するか、または外管２１として第２の
合成樹脂を内管の外周にコーティングするなどにより成
形する方法がとられる。さらに、上記外管２１を構成す
る樹脂を複数用い、また形成方法も複数用いることによ
り多重管構造としてもよい。
【００１３】実施例１ ＰＦＡと塩化ビニリデン樹脂を共に押出し成形すること
により、内径９．５ｍｍ、外径１２．０ｍｍのＰＦＡ製
の内管と、塩化ビニリデン樹脂で外径１２．７ｍｍの外
管から成る二重管を作製した。 実施例２ 内径９．５ｍｍ、外径１２．０ｍｍのＰＦＡ製の内管に
ポリエチレン製フィルム（厚さ１００μｍ）を螺旋状に
多重に巻き、熱融着して総外径１２．７ｍｍの外管を形
成した二重管を作製した。 比較例 内径９．５ｍｍ、外径１２．７ｍｍのＰＦＡチューブを
比較例として用いた。上記実施例及び比較例の管（チュ
ーブ）に対し、塩素ガス透過係数を図２に示す下記測定
方法で行った結果を表１に示す。
により、内径９．５ｍｍ、外径１２．０ｍｍのＰＦＡ製
の内管と、塩化ビニリデン樹脂で外径１２．７ｍｍの外
管から成る二重管を作製した。 実施例２ 内径９．５ｍｍ、外径１２．０ｍｍのＰＦＡ製の内管に
ポリエチレン製フィルム（厚さ１００μｍ）を螺旋状に
多重に巻き、熱融着して総外径１２．７ｍｍの外管を形
成した二重管を作製した。 比較例 内径９．５ｍｍ、外径１２．７ｍｍのＰＦＡチューブを
比較例として用いた。上記実施例及び比較例の管（チュ
ーブ）に対し、塩素ガス透過係数を図２に示す下記測定
方法で行った結果を表１に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】測定方法：前記実施例１，２及び比較例の
１０ｍの管（チューブ）２２に５kgf／cm2（＝３６８cm
Ｈｇ）の塩酸を流し、あらかじめこの管（チューブ）の
部分を密閉容器２３で囲んでおき、チューブ２２より容
器２３内に透過すると、Ｃｌ2が同容器内に入れておい
たＫＩ（ヨウ化カリウム）と反応してＩ2（ヨウ素）を
生成するので、これを水に溶かしてチオ硫酸ナトリウム
で滴定することにより、透過した塩素ガスの透過係数を
求めた。なお、２４は流量計、２５は薬液ポンプ、２
６，２７はバルブ、２８はＫＩを入れたトレーである。
１０ｍの管（チューブ）２２に５kgf／cm2（＝３６８cm
Ｈｇ）の塩酸を流し、あらかじめこの管（チューブ）の
部分を密閉容器２３で囲んでおき、チューブ２２より容
器２３内に透過すると、Ｃｌ2が同容器内に入れておい
たＫＩ（ヨウ化カリウム）と反応してＩ2（ヨウ素）を
生成するので、これを水に溶かしてチオ硫酸ナトリウム
で滴定することにより、透過した塩素ガスの透過係数を
求めた。なお、２４は流量計、２５は薬液ポンプ、２
６，２７はバルブ、２８はＫＩを入れたトレーである。
【００１６】表１に示すように本発明の如く内管２０の
外側に塩化ビニリデン樹脂等の耐ガス透過性に優れた合
成樹脂を外管２１として設けることにより、塩素ガス透
過係数を塩化ビニリデン樹脂の場合３０℃で１／１００
０以下、８０℃で約１／１００とすることができた。外
管としてポリエチレンを用いた場合でも、３０℃、８０
℃とも約１／７とすることができた。
外側に塩化ビニリデン樹脂等の耐ガス透過性に優れた合
成樹脂を外管２１として設けることにより、塩素ガス透
過係数を塩化ビニリデン樹脂の場合３０℃で１／１００
０以下、８０℃で約１／１００とすることができた。外
管としてポリエチレンを用いた場合でも、３０℃、８０
℃とも約１／７とすることができた。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、耐
薬品性及び耐薬液透過性の両特性に優れた配管を得るこ
とができ、特に半導体製造プロセス等に多く用いられる
高純度薬品用配管として好適であり、配管における純度
の低下なしに、簡単かつ経済性に優れた配管を提供で
き、またこの配管を用いることにより半導体製造工場等
のクリーンルーム内の透過ガスによる汚染防止に効果と
なし得る。
薬品性及び耐薬液透過性の両特性に優れた配管を得るこ
とができ、特に半導体製造プロセス等に多く用いられる
高純度薬品用配管として好適であり、配管における純度
の低下なしに、簡単かつ経済性に優れた配管を提供で
き、またこの配管を用いることにより半導体製造工場等
のクリーンルーム内の透過ガスによる汚染防止に効果と
なし得る。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例と比較例の測定方法を示す図で
ある。
ある。
【図３】従来の配管設備を示す説明図である。
２０ 内管 ２１ 外管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 我部山 民樹 千葉県千葉市美浜区中瀬１−７−１ 住友 ケミカルエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 作間 富二夫 千葉県千葉市美浜区中瀬１−７−１ 住友 ケミカルエンジニアリング株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 耐薬品性を有する第１の合成樹脂から成
る高純度の薬品を流通させるための内管と、該内管の外
周に密着するように形成された耐薬液透過性を有する第
２の合成樹脂から成る外管と、を備えたことを特徴とす
る高純度薬品用配管。 - 【請求項２】 前記外管の肉厚が５μｍ〜３ｍｍの範囲
内としたことを特徴とする請求項１に記載の高純度薬品
用配管。 - 【請求項３】 第１の合成樹脂がＰＦＡであり、第２の
合成樹脂がＰＶＤＦ、塩化ビニリデン樹脂又はポリエチ
レンであることを特徴とする請求項１又は２に記載の高
純度薬品用配管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7318598A JPH09137900A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 高純度薬品用配管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7318598A JPH09137900A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 高純度薬品用配管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09137900A true JPH09137900A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=18100931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7318598A Pending JPH09137900A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 高純度薬品用配管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09137900A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006130909A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-05-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 多層被覆プロピレン樹脂製配管部材 |
| WO2006095857A1 (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Daikin Industries, Ltd. | クロロトリフルオロエチレン共重合体含有積層体及びその製造方法 |
| JPWO2005047747A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2007-11-29 | ダイキン工業株式会社 | 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム |
| US8747973B2 (en) | 2004-04-13 | 2014-06-10 | Daikin Industries, Ltd. | Fluid transfer member |
-
1995
- 1995-11-13 JP JP7318598A patent/JPH09137900A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005047747A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2007-11-29 | ダイキン工業株式会社 | 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム |
| JP4678303B2 (ja) * | 2003-11-14 | 2011-04-27 | ダイキン工業株式会社 | 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム |
| US8747973B2 (en) | 2004-04-13 | 2014-06-10 | Daikin Industries, Ltd. | Fluid transfer member |
| JP2006130909A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-05-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 多層被覆プロピレン樹脂製配管部材 |
| WO2006095857A1 (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Daikin Industries, Ltd. | クロロトリフルオロエチレン共重合体含有積層体及びその製造方法 |
| JPWO2006095857A1 (ja) * | 2005-03-10 | 2008-08-21 | ダイキン工業株式会社 | クロロトリフルオロエチレン共重合体含有積層体及びその製造方法 |
| EP1859934A4 (en) * | 2005-03-10 | 2011-08-24 | Daikin Ind Ltd | CHLORTRIFLUORETHYLENE-COPOLYMER-BASED LAMINATE AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF |
| JP4816639B2 (ja) * | 2005-03-10 | 2011-11-16 | ダイキン工業株式会社 | クロロトリフルオロエチレン共重合体含有積層体及びその製造方法 |
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