JPH0914185A - 分子吸引ポンプ - Google Patents
分子吸引ポンプInfo
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- JPH0914185A JPH0914185A JP8169611A JP16961196A JPH0914185A JP H0914185 A JPH0914185 A JP H0914185A JP 8169611 A JP8169611 A JP 8169611A JP 16961196 A JP16961196 A JP 16961196A JP H0914185 A JPH0914185 A JP H0914185A
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- stator
- rotor
- pump
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000013011 mating Effects 0.000 abstract description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空にするチャンバに付属するケーシングに
挿入するのに適し、独立したケーシングと係合してそれ
を固定することが可能な分子吸引ポンプを提供すること
を目的とする。 【解決手段】 ロータとステータを備え、少なくともロ
ータとステータの交互のフィン付き段を含み、ロータが
釣り鐘型で、ステータがステータフィンを支持する少な
くとも一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少
なくとも一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポン
プをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを
有するタイプの分子吸引ポンプであって、ステータピン
を支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二
つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分であ
って、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはまる
支持面を吸入端とは反対側の端部を有することによって
軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端
における外径が、動作クリアランスを無視すればステー
タの外側部分の外径に一致する、分子吸引ポンプ。
挿入するのに適し、独立したケーシングと係合してそれ
を固定することが可能な分子吸引ポンプを提供すること
を目的とする。 【解決手段】 ロータとステータを備え、少なくともロ
ータとステータの交互のフィン付き段を含み、ロータが
釣り鐘型で、ステータがステータフィンを支持する少な
くとも一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少
なくとも一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポン
プをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを
有するタイプの分子吸引ポンプであって、ステータピン
を支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二
つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分であ
って、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはまる
支持面を吸入端とは反対側の端部を有することによって
軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端
における外径が、動作クリアランスを無視すればステー
タの外側部分の外径に一致する、分子吸引ポンプ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分子ポンプに関す
る。
る。
【０００２】詳細には、本発明は、ロータとステータを
備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィ
ン付きの段（stage ）を含み、ロータが釣り鐘型で、ス
テータが、ステータフィンを担持する少なくとも一つの
外側部分と、釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一
つの内側部分とを含むタイプの分子吸引ポンプに関す
る。
備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィ
ン付きの段（stage ）を含み、ロータが釣り鐘型で、ス
テータが、ステータフィンを担持する少なくとも一つの
外側部分と、釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一
つの内側部分とを含むタイプの分子吸引ポンプに関す
る。
【０００３】通常このアセンブリは、外部ケーシング内
に置かれ、その外部ケーシングは一端において真空にす
るエンクロージャに接続される固定フランジを含む吸込
口を形成し、他端がステータの前記内側部分にその内側
部分の周囲リムに固定されている。このケーシングはま
た、フィン付きディスクとスペーサが交互にスタックす
る構成のフィンを支持する外側部分を保持する働きをし
ている。
に置かれ、その外部ケーシングは一端において真空にす
るエンクロージャに接続される固定フランジを含む吸込
口を形成し、他端がステータの前記内側部分にその内側
部分の周囲リムに固定されている。このケーシングはま
た、フィン付きディスクとスペーサが交互にスタックす
る構成のフィンを支持する外側部分を保持する働きをし
ている。
【０００４】しかし、既知の解決策は、このケーシング
を前記アセンブリに固定せず、反対に真空にするチャン
バまたはエンクロージャに付属させるものである。その
ような状況の下では、ケーシングなしのポンプアセンブ
リは真空室と連結された「ケーシング」にはめこまれ、
その「ケーシング」がポンプに関連するケーシングの機
能の全てを遂行する。その利点は、ポンプがそれ自体の
ケーシングを有する場合には、ケーシングの吸込み端に
位置するポンプフランジと、真空にすべきチャンバに前
記ポンプを固定するフランジとの間を封止する必要があ
るために必要である、ガスケットが吸込端で不要になる
ことである。残念ながら、そのガスケットがエラストマ
でできている場合には、ひどいガス漏れを生じ、そのた
め残留ガスの圧力を増加させるという欠点があり、また
金属ガスケットで構成される場合には、密封性を確保す
るのに大きな圧縮力を要し、そのためかなりの大きさの
フランジを必要とする欠点がある。
を前記アセンブリに固定せず、反対に真空にするチャン
バまたはエンクロージャに付属させるものである。その
ような状況の下では、ケーシングなしのポンプアセンブ
リは真空室と連結された「ケーシング」にはめこまれ、
その「ケーシング」がポンプに関連するケーシングの機
能の全てを遂行する。その利点は、ポンプがそれ自体の
ケーシングを有する場合には、ケーシングの吸込み端に
位置するポンプフランジと、真空にすべきチャンバに前
記ポンプを固定するフランジとの間を封止する必要があ
るために必要である、ガスケットが吸込端で不要になる
ことである。残念ながら、そのガスケットがエラストマ
でできている場合には、ひどいガス漏れを生じ、そのた
め残留ガスの圧力を増加させるという欠点があり、また
金属ガスケットで構成される場合には、密封性を確保す
るのに大きな圧縮力を要し、そのためかなりの大きさの
フランジを必要とする欠点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、真空にするチャンバに付属するケーシングに挿
入するのに適した、しかし勿論、真空にする囲壁に提供
するだけの目的ならば、独立したケーシングと係合して
それを固定することも可能な、上記で定義したタイプの
分子吸引ポンプを提供することにある。このポンプはそ
れ自体の「一体化されたケーシング」を含まず、従来の
標準の連結フランジのみを有する。これに関連して、本
発明では、より大きい直径のロータフィンの第一段を備
える、現在知られているよりも大きいケーシングの吸入
径を提供することにある。もう一つの目的はケーシング
とそのアセンブリを簡単にすることである。
目的は、真空にするチャンバに付属するケーシングに挿
入するのに適した、しかし勿論、真空にする囲壁に提供
するだけの目的ならば、独立したケーシングと係合して
それを固定することも可能な、上記で定義したタイプの
分子吸引ポンプを提供することにある。このポンプはそ
れ自体の「一体化されたケーシング」を含まず、従来の
標準の連結フランジのみを有する。これに関連して、本
発明では、より大きい直径のロータフィンの第一段を備
える、現在知られているよりも大きいケーシングの吸入
径を提供することにある。もう一つの目的はケーシング
とそのアセンブリを簡単にすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】したがって本発明は、ロ
ータとステータを備え、少なくとも交互になったロータ
とステータのフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型
で、ステータが、ステータフィンを支持する少なくとも
一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくと
も一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポンプをそ
の放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを有する
タイプの分子吸収ポンプであって、ステータピンを支持
するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半
ステータからなり、各半ステータが単一部分であって、
ステータの前記内側部分の相補型円形溝にはまる支持面
を吸入端とは反対側の端部に有することによって軸方向
に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端におけ
る外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外
側部分の外径に一致する。
ータとステータを備え、少なくとも交互になったロータ
とステータのフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型
で、ステータが、ステータフィンを支持する少なくとも
一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくと
も一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポンプをそ
の放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを有する
タイプの分子吸収ポンプであって、ステータピンを支持
するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半
ステータからなり、各半ステータが単一部分であって、
ステータの前記内側部分の相補型円形溝にはまる支持面
を吸入端とは反対側の端部に有することによって軸方向
に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端におけ
る外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外
側部分の外径に一致する。
【０００７】次に、本発明の一実施例について、添付の
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１に、ロータ１とステータ２を
備える分子吸引ポンプが示す。
備える分子吸引ポンプが示す。
【０００９】ロータ１は複数のフィン付き段１Ａ〜１Ｇ
を備え、釣り鐘型で、中心シャフト３を担持している。
ステータ２は、外側部分２’と内側部分２”を含む。
を備え、釣り鐘型で、中心シャフト３を担持している。
ステータ２は、外側部分２’と内側部分２”を含む。
【００１０】外側部分２’もまた複数のフィン付き段２
Ａ〜２Ｆを含み、これらの段はロータの段と交互になっ
ている。ステータの内側部分２”はロータ中に貫入し、
ポンプをその放出端で閉じると共にフランジを形成する
外周リム４を含む部分を含む。この部分を放出口５が貫
通している。ロータ１はステータ２の内部で二つのベア
リング６及び７によって支持され、ステータ８とロータ
９を備える電気モータによって回転される。ステータの
外側部分２”は、分離していて径面１０で合体する二つ
の半ステータ２’Ａ及び２’Ｂ（図２及び３）からな
る。各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂは、全体として単一
部品を構成する種々のフィン付き段２Ａ〜２Ｆと支持用
半シリンダとを備える単一部分で、二つの半ロータも単
一のシリンダを径面１０で二つに切って得られる。
Ａ〜２Ｆを含み、これらの段はロータの段と交互になっ
ている。ステータの内側部分２”はロータ中に貫入し、
ポンプをその放出端で閉じると共にフランジを形成する
外周リム４を含む部分を含む。この部分を放出口５が貫
通している。ロータ１はステータ２の内部で二つのベア
リング６及び７によって支持され、ステータ８とロータ
９を備える電気モータによって回転される。ステータの
外側部分２”は、分離していて径面１０で合体する二つ
の半ステータ２’Ａ及び２’Ｂ（図２及び３）からな
る。各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂは、全体として単一
部品を構成する種々のフィン付き段２Ａ〜２Ｆと支持用
半シリンダとを備える単一部分で、二つの半ロータも単
一のシリンダを径面１０で二つに切って得られる。
【００１１】ステータ２の内側部分２”は円形の溝１１
を有し、その溝は各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂを軸方
向に配置する働きをする。この目的で、各半ステータは
その吸入端とは反対側の端部に断面が溝１１と相補形の
支持面１２を有する。
を有し、その溝は各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂを軸方
向に配置する働きをする。この目的で、各半ステータは
その吸入端とは反対側の端部に断面が溝１１と相補形の
支持面１２を有する。
【００１２】したがって、この二つの半ステータ２’Ａ
及び２’Ｂは、支持面１２を溝１１に「引っかける（ho
oking ）」ことによって組み立てられる。アセンブリ全
体は図２に示すような本物のケーシング１３、あるいは
図３に示すような何らかの機械１６のチャンバ１５に付
属するシリンダ１４のみで構成される、ケーシングの役
目をする対合するシリンダに挿入することによって結合
される。この場合、ポンプはその放出端にあるポンプの
フランジ４によって機械１６に固定され、このブラシは
ポンプの軸に直角に延びるシリンダ１４の平らな端表面
１９に係合する。
及び２’Ｂは、支持面１２を溝１１に「引っかける（ho
oking ）」ことによって組み立てられる。アセンブリ全
体は図２に示すような本物のケーシング１３、あるいは
図３に示すような何らかの機械１６のチャンバ１５に付
属するシリンダ１４のみで構成される、ケーシングの役
目をする対合するシリンダに挿入することによって結合
される。この場合、ポンプはその放出端にあるポンプの
フランジ４によって機械１６に固定され、このブラシは
ポンプの軸に直角に延びるシリンダ１４の平らな端表面
１９に係合する。
【００１３】図２に示す例では、ケーシング１３もフラ
ンジ４に固定され、その吸入端に、真空にするエンクロ
ージャと連結するためのフランジ１７を含む。ガスケッ
ト１８が、フランジ４とケーシング１３またはシリンダ
１４との間に配置される。
ンジ４に固定され、その吸入端に、真空にするエンクロ
ージャと連結するためのフランジ１７を含む。ガスケッ
ト１８が、フランジ４とケーシング１３またはシリンダ
１４との間に配置される。
【００１４】最後に、ロータ１の吸入端にある第一フィ
ン付き段は、ロータを回転させるのに必要な動作クリア
ランスを無視すれば、ステータの外側部分２’の外径、
またはシリンダ１４の外径、またはポンプを挿入するフ
ランジケーシング１３の外径に一致する外径を有する。
ン付き段は、ロータを回転させるのに必要な動作クリア
ランスを無視すれば、ステータの外側部分２’の外径、
またはシリンダ１４の外径、またはポンプを挿入するフ
ランジケーシング１３の外径に一致する外径を有する。
【００１５】このように、本発明により、吸入口と第一
ロータ段１Ａの直径は（クリアランスを無視すれば）ほ
ぼ同じであり、この外径は、先行技術におけるよりも当
然かなり大きい。なぜなら、先行技術においては、この
ケーシングが交互になったフィン付きディスクとスペー
サのスタックからなるステータを締め付け組み立てるの
に使用され、したがってケーシングの吸入端がステータ
の上端を支持する肩部を有し、そのため、吸入口とロー
タの第一フィン付き段１Ａの直径をより小さくする必要
があるからである。組立ても大いに単純化され、ケーシ
ング１３及びシリンダ１４も同様である。なぜなら、ポ
ンプの軸に垂直な平らな表面１９で終端しフランジ４に
固定される同一直径の滑らかな孔一つしか必要でないか
らである。
ロータ段１Ａの直径は（クリアランスを無視すれば）ほ
ぼ同じであり、この外径は、先行技術におけるよりも当
然かなり大きい。なぜなら、先行技術においては、この
ケーシングが交互になったフィン付きディスクとスペー
サのスタックからなるステータを締め付け組み立てるの
に使用され、したがってケーシングの吸入端がステータ
の上端を支持する肩部を有し、そのため、吸入口とロー
タの第一フィン付き段１Ａの直径をより小さくする必要
があるからである。組立ても大いに単純化され、ケーシ
ング１３及びシリンダ１４も同様である。なぜなら、ポ
ンプの軸に垂直な平らな表面１９で終端しフランジ４に
固定される同一直径の滑らかな孔一つしか必要でないか
らである。
【図１】本発明の分子吸引ポンプの軸方向断面図であ
る。
る。
【図２】独立なケーシングを備える本発明の分子吸引ポ
ンプを示す図である。
ンプを示す図である。
【図３】真空にするチャンバに付属するケーシングに挿
入した本発明の分子吸引ポンプを示す図である。
入した本発明の分子吸引ポンプを示す図である。
１ ロータ ２ ステータ ２’ 外側部分 ２” 内側部分 ２’Ａ 半ステータ ２’Ｂ 半ステータ ２Ａ、２Ｆ フィン付き段 １Ａ、１Ｇ フィン付き段 ３ 中央軸 ４ 外周リム ５ 放出口 ６ ベアリング ７ ベアリング ８ ステータ ９ ロータ １１ 溝 １２ 支持面 １８ ガスケット
Claims (3)
- 【請求項１】 ロータとステータを備え、少なくとも交
互になったロータとステータのフィン付き段を含み、ロ
ータが釣り鐘型であり、ステータはステータフィンを支
持する少なくとも一つの外側部分と、釣り鐘型ロータ中
に貫入する少なくとも一つの内側部分を含み、前記内側
部分がポンプをその放出端で閉じ、フランジを形成する
外周リムを含むタイプの分子吸引ポンプであって、ステ
ータピンを支持するステータの前記外側部分が径面で合
体する二つの半ステータからなり、各半ステータが単一
部分で、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはま
る支持面を吸入端とは反対側に持つことによって軸方向
に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端におけ
る外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外
側部分の外径に一致する分子吸引ポンプ。 - 【請求項２】 ステータの外側部分の外径上に締りばめ
で係合し、前記フランジに固定され、その吸入端に固定
用フランジを含むケーシングを含む請求項１に記載の分
子吸引ポンプ。 - 【請求項３】 ステータの外側部分の外径に適合する同
一直径のシリンダに挿入され、真空にする何かの機械の
チャンバに付属する、前記シリンダの外側表面が、フラ
ンジに固定するためのポンプの軸に垂直な平らな面を含
む請求項１に記載の分子吸引ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9507922A FR2736103B1 (fr) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Pompe turbomoleculaire |
| FR9507922 | 1995-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914185A true JPH0914185A (ja) | 1997-01-14 |
| JP3766138B2 JP3766138B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=9480585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16961196A Expired - Fee Related JP3766138B2 (ja) | 1995-06-30 | 1996-06-28 | 分子吸引ポンプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5722819A (ja) |
| EP (1) | EP0751297B1 (ja) |
| JP (1) | JP3766138B2 (ja) |
| DE (1) | DE69623700T2 (ja) |
| FR (1) | FR2736103B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6334754B1 (en) | 1998-06-23 | 2002-01-01 | Seiko Instruments Inc. | Turbomolecular pump |
| JP2002516959A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置 |
| JP2009121491A (ja) * | 1998-05-26 | 2009-06-04 | Leybold Vakuum Gmbh | シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置 |
| JP2010529359A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | ターボ分子ポンプ |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19951954A1 (de) * | 1999-10-28 | 2001-05-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| DE19956015A1 (de) | 1999-11-22 | 2001-05-23 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| DE102006020710A1 (de) | 2006-05-04 | 2007-11-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Gehäuse |
| GB2568066A (en) * | 2017-11-02 | 2019-05-08 | Edwards Ltd | Stator blade unit for a turbomolecular pump |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2218615A1 (de) * | 1972-04-18 | 1973-10-31 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Turbomolekularpumpe mit rotor und stator |
| FR2224009A5 (ja) * | 1973-03-30 | 1974-10-25 | Cit Alcatel | |
| EP0129709A3 (en) * | 1983-04-26 | 1985-03-06 | Anelva Corporation | Combinational molecular pump capable of readily being cleaned |
| FR2611819B1 (fr) * | 1987-02-25 | 1989-05-05 | Cit Alcatel | Pompe a vide, rotative |
| JPH01190990A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-08-01 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 真空ポンプ |
| CH674785A5 (en) * | 1988-03-07 | 1990-07-13 | Dino Systems Limited | Pumping unit for atomic or molecular beams - uses stacked hexagonal blocks with transverse walls between and molecular pumps set in transverse holes in block walls |
| US5501583A (en) * | 1992-08-19 | 1996-03-26 | Hitachi, Ltd. | Turbo vacuum pump |
| EP0603694A1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-06-29 | BALZERS-PFEIFFER GmbH | Vakuumpumpsystem |
| JPH0783189A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ |
| JPH0886298A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hitachi Ltd | ドライターボ真空ポンプ |
-
1995
- 1995-06-30 FR FR9507922A patent/FR2736103B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-06-24 DE DE69623700T patent/DE69623700T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-24 EP EP96401388A patent/EP0751297B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-27 US US08/671,555 patent/US5722819A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-28 JP JP16961196A patent/JP3766138B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2002516959A (ja) * | 1998-05-26 | 2002-06-11 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置 |
| JP2009121491A (ja) * | 1998-05-26 | 2009-06-04 | Leybold Vakuum Gmbh | シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置 |
| US6334754B1 (en) | 1998-06-23 | 2002-01-01 | Seiko Instruments Inc. | Turbomolecular pump |
| JP2010529359A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | ターボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US5722819A (en) | 1998-03-03 |
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