JPH09142919A - 酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法 - Google Patents
酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法Info
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- JPH09142919A JPH09142919A JP7302628A JP30262895A JPH09142919A JP H09142919 A JPH09142919 A JP H09142919A JP 7302628 A JP7302628 A JP 7302628A JP 30262895 A JP30262895 A JP 30262895A JP H09142919 A JPH09142919 A JP H09142919A
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- Japan
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- tin oxide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＴＯ等の焼成に好適な、反りや寸法のバラ
ツキが小さく、耐久性に優れた酸化スズ−アルミナ複合
材料製焼成用治具を歩留り良く製造する。 【解決手段】 酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを湿式混
合し、混合物を乾燥した後仮焼し、次いで粉砕し、粉砕
物を湿式混合して造粒し、造粒物を成形、焼成する。 【効果】 酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを混合して予
め仮焼したものを原料粉とすることにより、得られる焼
結体の酸化スズ−アルミナ組成比がＳｎＡｌ2 Ｏ4 のマ
ンガンスピネル組成にほぼ等しくなり、これにより、反
りや寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度で耐久
性に優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具
を、高い良品率で歩留り良く製造することが可能とな
る。
ツキが小さく、耐久性に優れた酸化スズ−アルミナ複合
材料製焼成用治具を歩留り良く製造する。 【解決手段】 酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを湿式混
合し、混合物を乾燥した後仮焼し、次いで粉砕し、粉砕
物を湿式混合して造粒し、造粒物を成形、焼成する。 【効果】 酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを混合して予
め仮焼したものを原料粉とすることにより、得られる焼
結体の酸化スズ−アルミナ組成比がＳｎＡｌ2 Ｏ4 のマ
ンガンスピネル組成にほぼ等しくなり、これにより、反
りや寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度で耐久
性に優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具
を、高い良品率で歩留り良く製造することが可能とな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は酸化スズ−アルミナ
複合材料製焼成用治具の製造方法に係り、特に、ＩＴＯ
等のＳｎ系電子材料の焼成に好適な酸化スズ−アルミナ
複合材料製焼成用治具を、歩留り良く製造する方法に関
する。
複合材料製焼成用治具の製造方法に係り、特に、ＩＴＯ
等のＳｎ系電子材料の焼成に好適な酸化スズ−アルミナ
複合材料製焼成用治具を、歩留り良く製造する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＴＯ(Indium tin oxide)は、透明導電
膜として液晶ディスプレイ、太陽電池をはじめ広範囲に
用いられている。このＩＴＯ透明導電膜は、一般に、Ｉ
ＴＯ焼結体ターゲットを用いるアルゴンプラズマによる
スパッタリング製膜技術で形成される。ここで、ターゲ
ットとして用いられるＩＴＯ焼結体の製造には、高純度
アルミナ質よりなる焼成用治具が用いられ、このアルミ
ナ質焼成用治具の上にＩＴＯ粉の敷粉を敷設し、その上
にＩＴＯ成形体を載置して焼成が行われている。
膜として液晶ディスプレイ、太陽電池をはじめ広範囲に
用いられている。このＩＴＯ透明導電膜は、一般に、Ｉ
ＴＯ焼結体ターゲットを用いるアルゴンプラズマによる
スパッタリング製膜技術で形成される。ここで、ターゲ
ットとして用いられるＩＴＯ焼結体の製造には、高純度
アルミナ質よりなる焼成用治具が用いられ、このアルミ
ナ質焼成用治具の上にＩＴＯ粉の敷粉を敷設し、その上
にＩＴＯ成形体を載置して焼成が行われている。
【０００３】ところで、特開平５−３１１４号公報に
は、Ｚｎ系フェライト用焼成用治具として、アルミナと
酸化亜鉛がほぼ等モルに混合、焼成された焼成用治具が
開示されている。この特開平５−３１１４号公報では、
アルミナ粉末と酸化亜鉛粉末とを混合、造粒し、成形し
た後焼成して酸化亜鉛−アルミナ複合材料製焼成用治具
を製造している。
は、Ｚｎ系フェライト用焼成用治具として、アルミナと
酸化亜鉛がほぼ等モルに混合、焼成された焼成用治具が
開示されている。この特開平５−３１１４号公報では、
アルミナ粉末と酸化亜鉛粉末とを混合、造粒し、成形し
た後焼成して酸化亜鉛−アルミナ複合材料製焼成用治具
を製造している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
アルミナ質焼成用治具は、焼成中に敷粉のＩＴＯ粉によ
り侵食されるため、寿命が短いという欠点がある。
アルミナ質焼成用治具は、焼成中に敷粉のＩＴＯ粉によ
り侵食されるため、寿命が短いという欠点がある。
【０００５】特開平５−３１１４号公報に開示される酸
化亜鉛−アルミナ複合材料製焼成用治具は、Ｚｎ系フェ
ライト製磁性材料の焼成には有効に使用し得るが、必ず
しも、Ｓｎ系材料の焼成に好適とは言えない。しかも、
２種類の材料を混合して複合材料とすることにより、特
性の向上を図る場合、特開平５−３１１４号公報に記載
されるようにアルミナ粉末と酸化亜鉛粉末とを単に混合
して造粒したものを成形、焼成して得られる焼成用治具
では、反りや寸法のバラツキが大きく、また、耐久性に
劣るために、フェライト製磁性材料等の焼成に繰り返し
使用可能な回数が少ないといった欠点がある。
化亜鉛−アルミナ複合材料製焼成用治具は、Ｚｎ系フェ
ライト製磁性材料の焼成には有効に使用し得るが、必ず
しも、Ｓｎ系材料の焼成に好適とは言えない。しかも、
２種類の材料を混合して複合材料とすることにより、特
性の向上を図る場合、特開平５−３１１４号公報に記載
されるようにアルミナ粉末と酸化亜鉛粉末とを単に混合
して造粒したものを成形、焼成して得られる焼成用治具
では、反りや寸法のバラツキが大きく、また、耐久性に
劣るために、フェライト製磁性材料等の焼成に繰り返し
使用可能な回数が少ないといった欠点がある。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決し、ＩＴ
Ｏ等のＳｎ系材料の焼成に好適な焼成用治具であって、
反りや寸法のバラツキが小さく、耐久性に優れた酸化ス
ズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を歩留り良く製造す
る方法を提供することを目的とする。
Ｏ等のＳｎ系材料の焼成に好適な焼成用治具であって、
反りや寸法のバラツキが小さく、耐久性に優れた酸化ス
ズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を歩留り良く製造す
る方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の酸化スズ−アル
ミナ複合材料製焼成用治具の製造方法は、酸化スズ粉末
とアルミナ粉末とを湿式混合し、混合物を乾燥した後仮
焼し、次いで粉砕し、粉砕物を湿式混合して造粒し、造
粒物を成形、焼成することを特徴とする。
ミナ複合材料製焼成用治具の製造方法は、酸化スズ粉末
とアルミナ粉末とを湿式混合し、混合物を乾燥した後仮
焼し、次いで粉砕し、粉砕物を湿式混合して造粒し、造
粒物を成形、焼成することを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、アルミナと酸化スズとの
複合化により比較的軽量で取り扱い性に優れ、熱容量、
熱膨張も小さく、このため熱効率が良く、繰り返し使用
における耐久性に優れた焼成用治具が提供される。
複合化により比較的軽量で取り扱い性に優れ、熱容量、
熱膨張も小さく、このため熱効率が良く、繰り返し使用
における耐久性に優れた焼成用治具が提供される。
【０００９】このような酸化スズ−アルミナ複合材料製
焼成用治具の製造に当り、酸化スズ粉末とアルミナ粉末
とを単に混合して造粒したものを成形、焼成して得られ
る焼成用治具では、治具の反りや寸法のバラツキが大き
く、また、耐久性に劣るために、Ｓｎ系材料の焼成に繰
り返し使用可能な回数が少ないといった欠点がある。
焼成用治具の製造に当り、酸化スズ粉末とアルミナ粉末
とを単に混合して造粒したものを成形、焼成して得られ
る焼成用治具では、治具の反りや寸法のバラツキが大き
く、また、耐久性に劣るために、Ｓｎ系材料の焼成に繰
り返し使用可能な回数が少ないといった欠点がある。
【００１０】これに対して、本発明に従って、酸化スズ
粉末とアルミナ粉末とを混合して予め仮焼したものを原
料粉とすることにより、得られる焼結体がＳｎＡｌ2 Ｏ
4 のスピネル型構造となり、これにより、治具の反りや
寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度で耐久性に
優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を、高
い良品率で歩留り良く製造することが可能となる。
粉末とアルミナ粉末とを混合して予め仮焼したものを原
料粉とすることにより、得られる焼結体がＳｎＡｌ2 Ｏ
4 のスピネル型構造となり、これにより、治具の反りや
寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度で耐久性に
優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を、高
い良品率で歩留り良く製造することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
【００１２】本発明においては、まず、酸化スズ（Ｓｎ
Ｏ2 ）粉末とアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3）粉末とを好ましく
は、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2 Ｏ3 ＝４５〜５５：５５〜４５モ
ル％、より好ましくは、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2 Ｏ3 ＝４９．
５〜５０．５：５０．５〜４９．５モル％の割合で混合
する。酸化スズ粉末とアルミナ粉末との混合割合が、上
記範囲を外れると、得られる焼成用治具を焼成に用いた
場合、被焼成物の嵩密度、焼成歩留りが劣るものとな
る。また、焼成用治具自体の耐久性も劣るものとなる。
Ｏ2 ）粉末とアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3）粉末とを好ましく
は、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2 Ｏ3 ＝４５〜５５：５５〜４５モ
ル％、より好ましくは、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2 Ｏ3 ＝４９．
５〜５０．５：５０．５〜４９．５モル％の割合で混合
する。酸化スズ粉末とアルミナ粉末との混合割合が、上
記範囲を外れると、得られる焼成用治具を焼成に用いた
場合、被焼成物の嵩密度、焼成歩留りが劣るものとな
る。また、焼成用治具自体の耐久性も劣るものとなる。
【００１３】なお、用いる原料の酸化スズ粉末及びアル
ミナ粉末は、共に純度９９重量％以上であることが望ま
しい。原料粉末の純度が９９重量％未満の場合には、被
焼成物の電気特性が低下する。また、これらの原料粉末
は平均粒径０．５〜５０μｍ程度であることが好まし
い。なお、酸化スズ粉末としては、ＳｎＯ2 又はＳｎＯ
を用いることができる。
ミナ粉末は、共に純度９９重量％以上であることが望ま
しい。原料粉末の純度が９９重量％未満の場合には、被
焼成物の電気特性が低下する。また、これらの原料粉末
は平均粒径０．５〜５０μｍ程度であることが好まし
い。なお、酸化スズ粉末としては、ＳｎＯ2 又はＳｎＯ
を用いることができる。
【００１４】酸化スズ粉末及びアルミナ粉末を所定割合
で１２〜２４時間程度湿式混合した後は８０〜１１０℃
程度で１２〜２４時間乾燥し、次いで、大気雰囲気又は
窒素雰囲気にて、１０〜１５０℃／時間の昇温速度で９
００〜１２５０℃まで昇温してその温度で１〜４時間程
度仮焼する。
で１２〜２４時間程度湿式混合した後は８０〜１１０℃
程度で１２〜２４時間乾燥し、次いで、大気雰囲気又は
窒素雰囲気にて、１０〜１５０℃／時間の昇温速度で９
００〜１２５０℃まで昇温してその温度で１〜４時間程
度仮焼する。
【００１５】この仮焼により、良好なスズスピネル相
（ＳｎＡｌ2 Ｏ4 ）が形成される。
（ＳｎＡｌ2 Ｏ4 ）が形成される。
【００１６】この仮焼温度が９００℃より低いと、良好
なスズスピネル相を形成し得ない。仮焼温度は１２５０
℃より高いと、焼結が生じ、粉砕工程が困難である。従
って、仮焼温度は９００〜１２５０℃とする。
なスズスピネル相を形成し得ない。仮焼温度は１２５０
℃より高いと、焼結が生じ、粉砕工程が困難である。従
って、仮焼温度は９００〜１２５０℃とする。
【００１７】仮焼物は、粉砕して粉体とし、本発明で
は、この粉体を成形原料として用いる。即ち、仮焼物を
粉砕して得られた粉体を湿式混合し、この混合工程で結
合剤としてマクセロンＡ（中京油脂（株）製），ＰＢ−
１５（第一工業製薬（株）製）等を粉体に対して０．５
〜４．０重量％程度添加し、混合物を造粒して所望の形
状に成形する。
は、この粉体を成形原料として用いる。即ち、仮焼物を
粉砕して得られた粉体を湿式混合し、この混合工程で結
合剤としてマクセロンＡ（中京油脂（株）製），ＰＢ−
１５（第一工業製薬（株）製）等を粉体に対して０．５
〜４．０重量％程度添加し、混合物を造粒して所望の形
状に成形する。
【００１８】得られた成形体は、１３００〜１６５０℃
で１〜３時間程度焼成する。
で１〜３時間程度焼成する。
【００１９】このような本発明の酸化スズ−アルミナ複
合材料焼成用治具の製造方法によれば、反りや寸法のバ
ラツキが小さく、高強度かつ緻密で、耐久性に優れた酸
化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を製造すること
ができ、製造された焼成用治具は、特に、ＩＴＯ等のＳ
ｎ系電子材料の焼成に好適であり、歪がなく、電気、磁
気特性に優れた焼成品を高い歩留りにて得ることができ
る。
合材料焼成用治具の製造方法によれば、反りや寸法のバ
ラツキが小さく、高強度かつ緻密で、耐久性に優れた酸
化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を製造すること
ができ、製造された焼成用治具は、特に、ＩＴＯ等のＳ
ｎ系電子材料の焼成に好適であり、歪がなく、電気、磁
気特性に優れた焼成品を高い歩留りにて得ることができ
る。
【００２０】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２１】実施例１ 純度９９．０重量％，平均粒径１．０μｍの酸化スズ
（ＳｎＯ2 ）粉末と、純度９９．０重量％，平均粒径
１．８μｍのアルミナ粉末とを、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2Ｏ3
＝５０．０：５０．０（モル％）の割合で１２時間湿式
混合し、その後、１００℃で１２時間乾燥した後、大型
サヤに密閉して２５℃／時間で昇温し、１２００℃で２
時間仮焼した。仮焼物を粉砕して得られた粉体に、結合
剤としてＰＢ−１５を粉体に対して３．０重量％加えて
湿式混合し、混合物を造粒し、成形後、１６５０℃で２
時間焼成して１００ｍｍ×１００ｍｍ×３．０ｍｍ（厚
さ）の焼結体を得た。
（ＳｎＯ2 ）粉末と、純度９９．０重量％，平均粒径
１．８μｍのアルミナ粉末とを、ＳｎＯ2 ：Ａｌ2Ｏ3
＝５０．０：５０．０（モル％）の割合で１２時間湿式
混合し、その後、１００℃で１２時間乾燥した後、大型
サヤに密閉して２５℃／時間で昇温し、１２００℃で２
時間仮焼した。仮焼物を粉砕して得られた粉体に、結合
剤としてＰＢ−１５を粉体に対して３．０重量％加えて
湿式混合し、混合物を造粒し、成形後、１６５０℃で２
時間焼成して１００ｍｍ×１００ｍｍ×３．０ｍｍ（厚
さ）の焼結体を得た。
【００２２】得られた焼結体について、各種物性及び特
性を調べ、結果を表１に示した。なお、結果はいずれも
焼結体２０個の平均値で示した。
性を調べ、結果を表１に示した。なお、結果はいずれも
焼結体２０個の平均値で示した。
【００２３】比較例１ 酸化スズ粉末とアルミナ粉末との混合、乾燥、仮焼及び
粉砕を行わず、酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを直接湿
式混合して造粒、成形、焼成を行ったこと以外は実施例
１と同様にして焼結体を得、得られた焼結体について、
各種物性及び特性を調べ、結果を表１に示した。なお、
結果はいずれも焼結体２０個の平均値で示した。
粉砕を行わず、酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを直接湿
式混合して造粒、成形、焼成を行ったこと以外は実施例
１と同様にして焼結体を得、得られた焼結体について、
各種物性及び特性を調べ、結果を表１に示した。なお、
結果はいずれも焼結体２０個の平均値で示した。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１より明らかなように、本発明によれ
ば、反りや寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度
で耐久性に優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用
治具を歩留り良く製造することができる。
ば、反りや寸法のバラツキが小さく、高強度かつ高密度
で耐久性に優れた酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用
治具を歩留り良く製造することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の酸化スズ−
アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法によれば、Ｓ
ｎ系電子材料、特にＩＴＯ等の焼成に好適な、軽量で取
り扱い性に優れ、熱効率も良好な焼成用治具であって、
反りや寸法のバラツキが小さく、耐久性に優れた酸化ス
ズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を歩留り良く製造す
ることができる。
アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法によれば、Ｓ
ｎ系電子材料、特にＩＴＯ等の焼成に好適な、軽量で取
り扱い性に優れ、熱効率も良好な焼成用治具であって、
反りや寸法のバラツキが小さく、耐久性に優れた酸化ス
ズ−アルミナ複合材料製焼成用治具を歩留り良く製造す
ることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 酸化スズ粉末とアルミナ粉末とを湿式混
合し、混合物を乾燥した後仮焼し、次いで粉砕し、粉砕
物を湿式混合して造粒し、造粒物を成形、焼成すること
を特徴とする酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7302628A JPH09142919A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7302628A JPH09142919A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09142919A true JPH09142919A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17911277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7302628A Withdrawn JPH09142919A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 酸化スズ−アルミナ複合材料製焼成用治具の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09142919A (ja) |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP7302628A patent/JPH09142919A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |