JPH09143693A - ブラウン管のパネル内面蒸着装置 - Google Patents
ブラウン管のパネル内面蒸着装置Info
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- JPH09143693A JPH09143693A JP32623595A JP32623595A JPH09143693A JP H09143693 A JPH09143693 A JP H09143693A JP 32623595 A JP32623595 A JP 32623595A JP 32623595 A JP32623595 A JP 32623595A JP H09143693 A JPH09143693 A JP H09143693A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 発熱体の交換を容易に実施できるようにする
こと。 【解決手段】 アルミニウム塊２４とこのアルミニウム
塊を加熱する発熱体１２とを有し、前記発熱体による加
熱により前記アルミニウム塊を溶融し、減圧下で前記ア
ルミニウム塊をブラウン管のパネル１５内面に蒸着する
蒸着装置１０において、前記発熱体を誘電体で構成する
とともに、この発熱体を誘電加熱するマイクロ波発生手
段１４を設け、このマイクロ波発生手段により加熱され
た前記発熱体にて前記アルミニウム塊を溶融するもので
ある。
こと。 【解決手段】 アルミニウム塊２４とこのアルミニウム
塊を加熱する発熱体１２とを有し、前記発熱体による加
熱により前記アルミニウム塊を溶融し、減圧下で前記ア
ルミニウム塊をブラウン管のパネル１５内面に蒸着する
蒸着装置１０において、前記発熱体を誘電体で構成する
とともに、この発熱体を誘電加熱するマイクロ波発生手
段１４を設け、このマイクロ波発生手段により加熱され
た前記発熱体にて前記アルミニウム塊を溶融するもので
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蒸着物を加熱溶融
してブラウン管のパネル内面に蒸着させる蒸着装置に関
する。
してブラウン管のパネル内面に蒸着させる蒸着装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すように、従来の蒸着装置１
は、減圧可能な容器２にホルダ３を介して発熱体４が設
置され、この発熱体４に電極５を、ボルト６等を用いて
固定して構成される。
は、減圧可能な容器２にホルダ３を介して発熱体４が設
置され、この発熱体４に電極５を、ボルト６等を用いて
固定して構成される。
【０００３】発熱体４には、蒸着物としてのアルミニウ
ム塊が載置され、電極５に通電して発熱体４をジュール
熱にて加熱し、上記アルミニウム塊を溶融する。容器２
内は排気ダクト７を介して減圧されるようになってお
り、この容器２内に設置されたブラウン管のパネル８の
内面に、溶融状態の上記アルミニウムが蒸着される。
ム塊が載置され、電極５に通電して発熱体４をジュール
熱にて加熱し、上記アルミニウム塊を溶融する。容器２
内は排気ダクト７を介して減圧されるようになってお
り、この容器２内に設置されたブラウン管のパネル８の
内面に、溶融状態の上記アルミニウムが蒸着される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記発熱体４は、加熱
・冷却の繰り返しによって劣化するので交換する必要が
ある。しかし、この交換に際しては、ボルト６を緩めて
発熱体４を電極５から取り外し、また、新しい発熱体４
をボルト６を締め付けることにより電極５に固定しなけ
ればならず、発熱体４の交換作業が煩雑となる。
・冷却の繰り返しによって劣化するので交換する必要が
ある。しかし、この交換に際しては、ボルト６を緩めて
発熱体４を電極５から取り外し、また、新しい発熱体４
をボルト６を締め付けることにより電極５に固定しなけ
ればならず、発熱体４の交換作業が煩雑となる。
【０００５】本発明の課題は、上述の事情を考慮してな
されたものであり、発熱体の交換を容易に実施できるブ
ラウン管のパネル内面蒸着装置を提供することである。
されたものであり、発熱体の交換を容易に実施できるブ
ラウン管のパネル内面蒸着装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、蒸着物とこの蒸着物を加熱する発熱体とを有し、前
記発熱体による加熱により前記蒸着物を溶融し、減圧下
で前記蒸着物をブラウン管のパネル内面に蒸着する蒸着
装置において、前記発熱体を誘電体で構成するととも
に、この発熱体を誘電加熱する誘電加熱手段を設け、こ
の誘電加熱手段により加熱された前記発熱体にて前記蒸
着物を溶融することを特徴とするものである。
は、蒸着物とこの蒸着物を加熱する発熱体とを有し、前
記発熱体による加熱により前記蒸着物を溶融し、減圧下
で前記蒸着物をブラウン管のパネル内面に蒸着する蒸着
装置において、前記発熱体を誘電体で構成するととも
に、この発熱体を誘電加熱する誘電加熱手段を設け、こ
の誘電加熱手段により加熱された前記発熱体にて前記蒸
着物を溶融することを特徴とするものである。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、誘電加熱手段はマイクロ波発振手段で
あり、発熱体は、上記マイクロ波発振手段により発振さ
れるマイクロ波にて誘電加熱されるものである。
の発明において、誘電加熱手段はマイクロ波発振手段で
あり、発熱体は、上記マイクロ波発振手段により発振さ
れるマイクロ波にて誘電加熱されるものである。
【０００８】請求項３に記載の発明は、蒸着物とこの蒸
着物を加熱する発熱体とを有し、前記発熱体による加熱
により前記蒸着物を溶融し、減圧下で前記蒸着物をブラ
ウン管のパネル内面に蒸着する蒸着装置において、前記
発熱体を磁性体で構成するとともに、この発熱体を誘導
加熱する誘導加熱手段を設け、この誘導加熱手段により
加熱された前記発熱体にて前記蒸着物を溶融することを
特徴とするものである。
着物を加熱する発熱体とを有し、前記発熱体による加熱
により前記蒸着物を溶融し、減圧下で前記蒸着物をブラ
ウン管のパネル内面に蒸着する蒸着装置において、前記
発熱体を磁性体で構成するとともに、この発熱体を誘導
加熱する誘導加熱手段を設け、この誘導加熱手段により
加熱された前記発熱体にて前記蒸着物を溶融することを
特徴とするものである。
【０００９】請求項１及び２に記載の発明には、次の作
用がある。発熱体が誘電体で構成され、この発熱体が誘
電加熱手段にて誘電加熱されることで、蒸着物が溶融さ
れ、減圧下でブラウン管のパネル内面に蒸着物が蒸着さ
れる。
用がある。発熱体が誘電体で構成され、この発熱体が誘
電加熱手段にて誘電加熱されることで、蒸着物が溶融さ
れ、減圧下でブラウン管のパネル内面に蒸着物が蒸着さ
れる。
【００１０】請求項３に記載の発明には、次の作用があ
る。発熱体が磁性体にて構成され、この発熱体が誘導加
熱手段にて誘導加熱されることで、蒸着物が溶融され、
減圧下でブラウン管のパネル内面に蒸着物が蒸着され
る。
る。発熱体が磁性体にて構成され、この発熱体が誘導加
熱手段にて誘導加熱されることで、蒸着物が溶融され、
減圧下でブラウン管のパネル内面に蒸着物が蒸着され
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る蒸着装置の
第１の実施の形態を示す側断面図である。図２は、図１
の発熱体を示す斜視図である。図３は、図１のブラウン
管を構成するガラスバルブの構成図である。
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る蒸着装置の
第１の実施の形態を示す側断面図である。図２は、図１
の発熱体を示す斜視図である。図３は、図１のブラウン
管を構成するガラスバルブの構成図である。
【００１２】図１に示す蒸着装置１０は、容器１１、発
熱体１２、真空ポンプ１３及び誘電加熱手段としてのマ
イクロ波発振手段１４を有して構成され、パネル部１５
の内面に蒸着を施すものである。
熱体１２、真空ポンプ１３及び誘電加熱手段としてのマ
イクロ波発振手段１４を有して構成され、パネル部１５
の内面に蒸着を施すものである。
【００１３】ここで、パネル部１５は、図３に示すよう
に、ブラウン管を構成するガラスバルブ１６の一部であ
る。このガラスバルブ１６は、上記パネル部１５の他、
ファンネル部１７及びネック部１８を有してなる。
に、ブラウン管を構成するガラスバルブ１６の一部であ
る。このガラスバルブ１６は、上記パネル部１５の他、
ファンネル部１７及びネック部１８を有してなる。
【００１４】容器１１は、側面部１９が、底面部２０か
ら上方へ向い漸次拡径する形状であり、側面部１９の上
端部２１にガラスバルブ１６のパネル部１５が設置可能
とされる。
ら上方へ向い漸次拡径する形状であり、側面部１９の上
端部２１にガラスバルブ１６のパネル部１５が設置可能
とされる。
【００１５】この容器１１の底面部２０の略中央部にホ
ルダ２２が設置され、このホルダ２２に発熱体１２が載
置される。この発熱体１２は誘電体、例えば炭化硅素Ｓ
ｉＣにて構成される。この発熱体１２は、図２に示すよ
うに、直方体形状の天面に溝２３が形成され、この溝２
３内に蒸着物としてのアルミニウム塊２４が配設可能と
される。溝２３は、容器１１に設置されたブラウン管の
パネル部１５の長辺方向と平行に延び、アルミニウムの
蒸着の指向性が得られるようになっている。
ルダ２２が設置され、このホルダ２２に発熱体１２が載
置される。この発熱体１２は誘電体、例えば炭化硅素Ｓ
ｉＣにて構成される。この発熱体１２は、図２に示すよ
うに、直方体形状の天面に溝２３が形成され、この溝２
３内に蒸着物としてのアルミニウム塊２４が配設可能と
される。溝２３は、容器１１に設置されたブラウン管の
パネル部１５の長辺方向と平行に延び、アルミニウムの
蒸着の指向性が得られるようになっている。
【００１６】容器１１の側面部１９における底面部２０
近傍に導波管２５が接続され、この導波管２５がマイク
ロ波発振手段１４に接続される。マイクロ波発振手段１
４からマイクロ波が発振され、このマイクロ波が導波管
２５を経て発熱体１２へ照射される。これにより、発熱
体１２が誘電加熱されて、溝２３内のアルミニウム塊２
４を溶融状態とする。
近傍に導波管２５が接続され、この導波管２５がマイク
ロ波発振手段１４に接続される。マイクロ波発振手段１
４からマイクロ波が発振され、このマイクロ波が導波管
２５を経て発熱体１２へ照射される。これにより、発熱
体１２が誘電加熱されて、溝２３内のアルミニウム塊２
４を溶融状態とする。
【００１７】容器１１の底面部２０、又は側面部１９の
底面部２０近傍に排気ダクト２６が連結され、この排気
ダクト２６に真空ポンプ１３が接続される。この真空ポ
ンプ１３の作動により、パネル部１５を設置した容器１
１内が減圧されて、溶融状態のアルミニウムがパネル部
１５の内面へ蒸着される。
底面部２０近傍に排気ダクト２６が連結され、この排気
ダクト２６に真空ポンプ１３が接続される。この真空ポ
ンプ１３の作動により、パネル部１５を設置した容器１
１内が減圧されて、溶融状態のアルミニウムがパネル部
１５の内面へ蒸着される。
【００１８】尚、導波管２５には遮蔽板２７が設置され
る。この遮蔽板２７は、石英や酸化アルミニウムＡｌ2
Ｏ3 等のように、マイクロ波を透過する材質にて構成さ
れ、マイクロ波発振手段１４へ容器１１内の減圧状態を
作用させない機能を果たす。
る。この遮蔽板２７は、石英や酸化アルミニウムＡｌ2
Ｏ3 等のように、マイクロ波を透過する材質にて構成さ
れ、マイクロ波発振手段１４へ容器１１内の減圧状態を
作用させない機能を果たす。
【００１９】上記実施の形態によれば、発熱体１２が誘
電体にて構成されてホルダ２２に載置され、この発熱体
１２がマイクロ波発振手段１４により誘電加熱されて、
アルミニウム塊２４を溶融することから、図６に示す従
来の蒸着装置１の発熱体４が電極５に例えばボルト固定
されてジュール熱にて加熱され、蒸着物としてのアルミ
ニウム塊を溶融する場合に比べ、発熱体１２をホルダ２
２上に例えば置くだけでも良いため、繰り返しの加熱・
冷却により生ずる発熱体１２の劣化時に、この発熱体を
交換する際、発熱体１２を電極から取り外し取り付ける
手間が必要なく、発熱体１２の交換を容易に実施でき
る。
電体にて構成されてホルダ２２に載置され、この発熱体
１２がマイクロ波発振手段１４により誘電加熱されて、
アルミニウム塊２４を溶融することから、図６に示す従
来の蒸着装置１の発熱体４が電極５に例えばボルト固定
されてジュール熱にて加熱され、蒸着物としてのアルミ
ニウム塊を溶融する場合に比べ、発熱体１２をホルダ２
２上に例えば置くだけでも良いため、繰り返しの加熱・
冷却により生ずる発熱体１２の劣化時に、この発熱体を
交換する際、発熱体１２を電極から取り外し取り付ける
手間が必要なく、発熱体１２の交換を容易に実施でき
る。
【００２０】図４は、本発明にかかる蒸着装置の第２の
実施の形態を示す側断面図である。図５は、図４におけ
る発熱体の平面図である。この第２の実施の形態におい
て、前記第１の実施の形態と同様な部分は、同一の符号
を付すことにより説明を省略する。
実施の形態を示す側断面図である。図５は、図４におけ
る発熱体の平面図である。この第２の実施の形態におい
て、前記第１の実施の形態と同様な部分は、同一の符号
を付すことにより説明を省略する。
【００２１】本実施の形態の蒸着装置３０では、発熱体
３１が鉄又はステンレス等の磁性体にてほぼ円柱形状に
構成され、天部に溝２３が形成されている。そして、こ
の発熱体３１は、ホルダ２２に載置されて、容器１１の
底面部２０に支持される。
３１が鉄又はステンレス等の磁性体にてほぼ円柱形状に
構成され、天部に溝２３が形成されている。そして、こ
の発熱体３１は、ホルダ２２に載置されて、容器１１の
底面部２０に支持される。
【００２２】上記発熱体３１を加熱する手段として、加
熱コイル（高周波発振コイル）３２及び電源３３を有し
てなる誘導加熱手段としての高周波加熱装置３４が設置
されている。加熱コイル３２は、発熱体３１と離間し
て、この発熱体３１の全周に配設される。電源３３から
加熱コイル３２へ電流が流れることにより、この加熱コ
イル３２に磁界が発生し、発熱体３１にうず電流が流れ
て、この発熱体３１が誘導加熱され、溝２３内のアルミ
ニウム塊２４を溶融状態とする。
熱コイル（高周波発振コイル）３２及び電源３３を有し
てなる誘導加熱手段としての高周波加熱装置３４が設置
されている。加熱コイル３２は、発熱体３１と離間し
て、この発熱体３１の全周に配設される。電源３３から
加熱コイル３２へ電流が流れることにより、この加熱コ
イル３２に磁界が発生し、発熱体３１にうず電流が流れ
て、この発熱体３１が誘導加熱され、溝２３内のアルミ
ニウム塊２４を溶融状態とする。
【００２３】この蒸着装置３０によれば、発熱体３１が
磁性体にて構成されてホルダ２２に載置され、この発熱
体３１が高周波加熱装置３４により誘導加熱されて蒸着
物を溶融させることから、発熱体４（図６）が電極５に
例えばボルト固定されてジュール熱にて加熱され、蒸着
物を溶融する従来の場合に比べ、発熱体を交換する際、
この発熱体を電極から取り外し取り付ける手間が必要な
く、発熱体３１の交換を容易に実施できる。
磁性体にて構成されてホルダ２２に載置され、この発熱
体３１が高周波加熱装置３４により誘導加熱されて蒸着
物を溶融させることから、発熱体４（図６）が電極５に
例えばボルト固定されてジュール熱にて加熱され、蒸着
物を溶融する従来の場合に比べ、発熱体を交換する際、
この発熱体を電極から取り外し取り付ける手間が必要な
く、発熱体３１の交換を容易に実施できる。
【００２４】また、上記発熱体３１は鉄などの磁性体で
良いため、従来技術に比較して低コストになる。
良いため、従来技術に比較して低コストになる。
【００２５】尚、上記両実施の形態では、発熱体１２、
３１に溝２３が形成されたものを述べたが、この溝２３
は必ずしも必要でない。また、上記両実施の形態では蒸
着物がアルミニウム塊の場合を述べたが、他の金属の場
合にも適用できる。更に、第１の実施の形態では、発熱
体１２が炭化硅素ＳｉＣにて構成される場合を述べた
が、炭化硅素以外の材質でもよい。
３１に溝２３が形成されたものを述べたが、この溝２３
は必ずしも必要でない。また、上記両実施の形態では蒸
着物がアルミニウム塊の場合を述べたが、他の金属の場
合にも適用できる。更に、第１の実施の形態では、発熱
体１２が炭化硅素ＳｉＣにて構成される場合を述べた
が、炭化硅素以外の材質でもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る蒸着装置に
よれば、発熱体の交換を容易に実施できる。
よれば、発熱体の交換を容易に実施できる。
【図１】図１は、本発明に係る蒸着装置の第１の実施の
形態を示す側断面図である。
形態を示す側断面図である。
【図２】図２は、図１の発熱体を示す斜視図である。
【図３】図３は、図１のブラウン管を構成するガラスバ
ルブの構成図である。
ルブの構成図である。
【図４】図４は、本発明にかかる蒸着装置の第２の実施
の形態を示す側断面図である。
の形態を示す側断面図である。
【図５】図５は、図４における発熱体の平面図である。
【図６】図６は、従来の蒸着装置を示す側断面図であ
る。
る。
１０ 蒸着装置 １１ 容器 １２ 発熱体 １４ マイクロ波発振手段（誘電加熱手段） １５ パネル部（被蒸着物） １６ ガラスバルブ ２４ アルミニウム塊（蒸着物） ３０ 蒸着装置 ３１ 発熱体 ３２ 加熱コイル ３３ 電源 ３４ 高周波加熱装置（誘導加熱手段）
Claims (3)
- 【請求項１】 蒸着物とこの蒸着物を加熱する発熱体と
を有し、前記発熱体による加熱により前記蒸着物を溶融
し、減圧下で前記蒸着物をブラウン管のパネル内面に蒸
着する蒸着装置において、 前記発熱体を誘電体で構成するとともに、この発熱体を
誘電加熱する誘電加熱手段を設け、この誘電加熱手段に
より加熱された前記発熱体にて前記蒸着物を溶融するこ
とを特徴とするブラウン管のパネル内面蒸着装置。 - 【請求項２】 誘電加熱手段はマイクロ波発振手段であ
り、発熱体は、上記マイクロ波発振手段により発振され
るマイクロ波にて誘電加熱される請求項１に記載のブラ
ウン管のパネル内面蒸着装置。 - 【請求項３】 蒸着物とこの蒸着物を加熱する発熱体と
を有し、前記発熱体による加熱により前記蒸着物を溶融
し、減圧下で前記蒸着物をブラウン管のパネル内面に蒸
着する蒸着装置において、 前記発熱体を磁性体で構成するとともに、この発熱体を
誘導加熱する誘導加熱手段を設け、この誘導加熱手段に
より加熱された前記発熱体にて前記蒸着物を溶融するこ
とを特徴とするブラウン管のパネル内面蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32623595A JPH09143693A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | ブラウン管のパネル内面蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32623595A JPH09143693A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | ブラウン管のパネル内面蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143693A true JPH09143693A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=18185504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32623595A Withdrawn JPH09143693A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | ブラウン管のパネル内面蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09143693A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114574819A (zh) * | 2022-04-02 | 2022-06-03 | 华映科技（集团）股份有限公司 | 一种以微波为加热源的蒸镀机 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP32623595A patent/JPH09143693A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114574819A (zh) * | 2022-04-02 | 2022-06-03 | 华映科技（集团）股份有限公司 | 一种以微波为加热源的蒸镀机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |