JPH09144754A - ころがり部材を有する直線案内部 - Google Patents

ころがり部材を有する直線案内部

Info

Publication number
JPH09144754A
JPH09144754A JP8307543A JP30754396A JPH09144754A JP H09144754 A JPH09144754 A JP H09144754A JP 8307543 A JP8307543 A JP 8307543A JP 30754396 A JP30754396 A JP 30754396A JP H09144754 A JPH09144754 A JP H09144754A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grooves
guide
members
guided
linear guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8307543A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3998285B2 (ja
Inventor
Hans Brinkmann
ハンズ・ブリンクマン
Walter Geis
ヴァルター・ガイス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH09144754A publication Critical patent/JPH09144754A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3998285B2 publication Critical patent/JP3998285B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
    • B23Q1/017—Arrangements of ways
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F16C29/041—Ball or roller bearings having rollers crossed within a row
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/58—Raceways; Race rings
    • F16C33/60—Raceways; Race rings divided or split, e.g. comprising two juxtaposed rings
    • F16C33/61—Raceways; Race rings divided or split, e.g. comprising two juxtaposed rings formed by wires
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/241—Devices for focusing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 案内軌道の間隔に関して維持すべき製造許容
差が従来の技術の場合と比べて明らかに小さい案内部を
提供すること 【解決手段】 本発明は、互いに対向して案内される部
材(7,8a,8b)の互いに対応する溝(18a〜
b,19a〜b,20a〜b,21a〜b)の中に挿入
されるころがり部材(18b,19b,20b,21
b)を有する直線案内部に関し、案内面の一部を、溝
(18b,19b,20b,21b)に回転自在に挿入
される平坦に面取りされた丸棒(18d〜e,19d,
20d,21d〜e)の面取りされた平面により形成さ
せた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、静止している装置
に対して他の装置を移動させるための装置の直線案内部
に関する。
【0002】
【従来の技術】ドイツ実用新案公報第7731160号
には、両側二重案内部を有する顕微鏡の可動部品の直線
案内部が記載されている。すなわち、この両側二重案内
部においては、案内される部材は互いに対向する2つの
面で、互いに離間する2本の案内軌道に沿ってそれぞれ
案内される。案内部の遊び、すなわち、動きやすさを調
整するために、2つの互いに対向する面では案内はそれ
ぞれ一方向にのみ行われ、他の2つの互いに対向する面
では案内はそれぞれ2つの互いにほぼ垂直な方向に行わ
れる。そのような両側二重案内部は、1本しか案内軌道
をもたない直線案内部と比較して、それぞれの側で著し
く小さな傾斜モーメントしか発生させず、従って、剛性
は向上する。
【0003】一般に、両側二重案内部は一方の側の2つ
のほぼV字形の案内軌道と、他方の側の2つの平坦な案
内軌道とによって過剰に固定されてしまう。すなわち、
案内される部材と案内する部材とが成す楔角度を補正す
ることはできないのである。従って、動きにくくしない
ようにするには、非常に小さな案内遊びを補正すること
しかできない。そのため、動きやすさが得られるよう
に、案内軌道の平行度と、その間隔の双方に関して案内
軌道の精度に対して高い要求が課される。
【0004】案内される部材が3つの平行な丸棒を有
し、それらの丸棒が案内する側の部材の2つのローラの
間でそれぞれ案内されるような英国特許第101297
4号に記載の案内部においても、類似の状況が起こる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、案内軌道の間隔に関して維持すべき製造許容差が従
来の技術の場合と比べて明らかに小さい案内部を提供す
ることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的は、案内面と、
互いに対して案内される部材の互いに対応する溝とを有
する2つの互いに対して案内される部材の間の直線案内
部であって、前記案内面の一部が、溝の中に回転自在に
挿入される面取り丸棒の平坦な面により形成させたこと
によって達成される。本発明の有利な構成は、特許請求
の範囲第2項から第10項の特徴により明白である。以
下さらに詳述する。
【0007】本発明による直線案内部においては、案内
面の一部は、互いに対して案内される部材の案内溝の中
に回転自在に挿入される面取り丸棒の平坦な面により形
成されている。この場合、面取り丸棒は丸いほうの面で
矩形の案内溝の面に当接しており、楔角度の補正のため
に当接面に沿って回転することができるので、案内溝の
間隔が互いに厳密に適合していない場合に発生する案内
される部分間の楔角度が補正される。互いに対応する案
内溝と、それらの溝の中に回転自在に挿入された面取り
丸棒とにより形成される直線案内部に、ローラの形態又
は球の形態のいずれかをとるころがり部材を挿入するこ
とができる。
【0008】ころがり部材と面取り丸棒の双方を挿入す
るためには、2つの互いに案内される部材の一方にある
溝は、通常、案内方向に対して垂直な矩形の横断面を有
し且つ他方の案内される部材の溝は案内方向に対して垂
直なほぼV字形の横断面を有しているべきであろう。そ
の場合、面取り丸棒は矩形の溝の角に挿入される。その
結果、案内軌道ごとに、2つの互いに対して案内される
部材の各々にそれぞれ2つの案内面が形成されることに
なり、一方の部材の2つの互いにV字形を成す案内面は
V字形の溝によって形成され、他方の部材の2つの同様
に互いにV字形を成す案内面は面取り丸棒の平坦な面に
より形成される。丸棒の面取り面による案内面は必要に
応じて、矩形の案内面に対して丸棒をアライメントする
ことによって、楔角度の補正のためにアライメントでき
る。
【0009】あるいは、2つの互いに対して案内される
部材の溝を双方とも案内方向に対して垂直な矩形の横断
面とすることも可能である。その場合、2つの互いに対
向する溝のそれぞれ2つの角に、すなわち、合わせて4
つの角に、それぞれ1つの面取り丸棒が挿入される。
【0010】本発明の特に有利な実施形態では、直線案
内部は二重案内部として構成されている。このために、
直線案内部を外側の2つの互いに結合された部材と、そ
れら2つの外側の部材に対して案内される中央の部材と
から成るサンドイッチ構造として構成できる。さらに、
中央の部材は互いに対向する面に、それぞれ、互いに平
行である2つの案内溝を有し、外側の部材はその中央の
部材に向いた面に、中央の部材の溝に対応する2つの平
行な溝をそれぞれ有する。この場合、中央の部材又は外
側の部材の溝は案内方向に対して垂直な方形の横断面を
有し、互いに対向する溝のうち、2つの矩形の溝には2
つの丸棒が挿入されており、残る2つの矩形の溝にはそ
れぞれ1つの面取り丸棒のみが挿入されている。このよ
うにして形成された、それぞれ2つの面取り丸棒を伴う
2つの案内溝には、ころがり部材として、球又は交差方
向に差し込まれるローラが挿入される。丸棒を1つしか
もたない残る2つの案内溝には、ローラを使用する場
合、逆に同一の方向を向くようにローラがそれぞれ挿入
される。この場合、面取り丸棒を1つしかもたない溝は
他の2つの矩形の溝に対して同じ側面に設けられてお
り、この面における2つの案内軌道の案内面は互いにほ
ぼ垂直に位置している。
【0011】両側二重案内部の別の実施形態において
は、全ての溝が案内方向に対して垂直な矩形の案内方向
をもって構成されている。すなわち、対となっている2
つの溝が双方ともその断面が矩形である。その場合、2
つの外側の部材と中央の部材の双方とも一方の溝の対の
双方の溝に面取り丸棒が挿入されている。それにより形
成される、4つの丸棒を伴う案内溝に、球又は交差方向
に差し込まれたローラがころがり部材として挿入され
る。他の2つの案内溝には、ローラが常に同じ向きで挿
入されている。
【0012】中央の部材を貫通するねじによって、外側
の2つの部材を互いにねじ結合できる。そのようにねじ
留めする際には、案内溝に挿入されたローラは、自ら、
外側の板の各々と中央の板とが成す楔角度が補正される
ように整列される。これにより、構造が単純で、維持す
べき製造許容差に課される要求が相対的に緩和された非
常に堅牢な両側二重案内部が得られる。さらに、互いに
対して案内される部材の不都合な残留応力も回避され
る。
【0013】本発明の直線案内部では、案内部の剛性が
高いために、被検体載置台に伝わる傾斜モーメントが全
くないか又はごくわずかであるので、特に直線案内部を
両側二重案内部として構成した場合に、顕微鏡において
顕微鏡支持スタンドに対して移動自在である被検体載置
台を受け入れるのにとりわけ適している。
【0014】直線案内部と、駆動モータの回転運動を被
検体載置台の直線運動に伝達するためのベルト駆動装置
とを組合わせて使用すると特に有利である。そのような
ベルト駆動装置における逆転損失は非常に少なく、両側
二重案内部それ自体がきわめて精密で、動きのなめらか
な案内を保証するので、駆動モータの動きに伴う逆転損
失はほとんどなく、発生した傾斜モーメントが被検体載
置台の動きに伝わることはありえない。そのようなベル
ト駆動装置を過荷重に起因する損傷から保護するため
に、ピニオンとラックから成る伝動系をベルト駆動装置
と同期してさらに作動することができる。ベルト駆動装
置を駆動するモータと、ベルト駆動装置の駆動ローラと
の間に調和駆動伝動装置を設けることにより、さらに有
利な組合わせが得られる。調和駆動伝動装置は運動され
る部品の数を極力少なくしたという点ですぐれているの
で、この種の伝動装置自体の逆転損失は最小限に抑えら
れ、そのため、駆動モータから被検体載置台に至るまで
の運動伝達を逆転損失をわずかに抑え且つ互い精度をも
って行うことができる。このような組合わせ構造のモー
タ制御部は被検体載置台のあらかじめ記憶されている位
置への自動再位置決め又は対物レンズ交換に従った自動
再焦点合わせを可能にするので、この構造は特に顕微鏡
に適している。以下、添付の図面に示されている実施例
に基づいて本発明の個々の点をさらに詳細に説明する。
【0015】
【発明の実施の形態】図1において、1は顕微鏡支持ス
タンドの下部を示す。顕微鏡支持スタンド1の垂直支柱
5の内部に配設された駆動モジュール6に被検体載置台
2が取り付けられている。焦点合わせに際して、この駆
動モジュール6により被検体載置台2を対物レンズタレ
ット3に装着された対物レンズ4に対して垂直方向に調
整することができる。
【0016】被検体載置台2を垂直方向に精密に案内す
るために、以下に図2を参照してさらに詳細に説明する
ように、駆動モジュール6は固定案内板7と、垂直方向
に案内される板(8a、8b)とを備えた両側二重直線
案内手段を有する。被検体載置台2は案内される側の板
8a、8bと結合している。
【0017】焦点合わせのための動きを発生させるモー
タ9はモータ制御部(図示せず)を介して、モータ9の
軸がモータ制御部により規定される回転角だけ回転運動
を行うように制御可能である。この目的を達成するた
め、モータ9は角度エンコーダを有する。そのようなモ
ータとそれに付随するモータ制御部は広く知られている
ように、ここでは詳細に説明する必要はない。
【0018】モータ9の回転運動はモータの後に接続さ
れた調和駆動伝動装置によって減速される。この調和駆
動伝動装置は、中心にボスを有し且つそこから隆起し、
モータ9の軸と結合する楕円形に変形自在の薄型リング
玉軸受を有する楕円形スチール板から成る周知の構造を
有し、外側構成要素として内側に歯を有する円筒形リン
グと、楕円形スチール板と円筒形リングとの間の外側歯
部を有する円筒形スチールブシュとが設けられている。
楕円形スチール板が回転運動すると、楕円形に変形自在
の玉軸受を介して、外側歯部が楕円の長軸の方向に円筒
形リングの内側歯部と係合している円筒形スチールブシ
ュが変形する。この変形のため、円筒形スチールブシュ
の楕円の長軸は変位する。円筒形スチールブシュは円筒
形リングより少ない2つの歯を備えているので、楕円形
スチール板が1回転した後、円筒形スチールブシュと円
筒形リングとは歯2つ分だけ相対的に動く。従って、円
筒形スチールブシュは大きく減速された運動を生じさ
せ、伝動装置の従動要素として働く。
【0019】調和駆動伝送装置10の従動軸11には、
ベルト駆動装置の駆動ローラ12とピニオン13が互い
に同軸に装着されており、そのピニオン13の直径は駆
動ローラ12の直径の半分である。ピニオン13は、直
線案内部の案内される側の板8bに固定されたラック1
4と遊隙をもって係合する。
【0020】ラック14の下部の、直線案内部の案内さ
れる側の板8bには、詳細には図示されていない玉軸受
を介して、別のローラ16が回転自在に固定されてい
る。図4からわかる通り、直線案内部でこのローラ16
は駆動ローラ12に固定された平坦なスチールベルト1
5のU字形ループに掛かっている。スチールベルト15
の第2の端部は駆動ローラ12とほぼ同じ高さで、焦点
合わせモジュール6の固定軸17に固定されている。
【0021】固定軸17と、静止部分にある回転自在の
ローラ12と、移動する部分にある同様に回転自在のロ
ーラ16から成るベルト駆動部は、ルーズローラの原理
に従って作用する。駆動ローラ12が時計回り方向に回
転すると、ルーズローラ16は駆動ローラ12の周囲運
動の二分の一に相当する距離だけ持ち上がる。ピニオン
13の直径は駆動ローラ12の直径の二分の一であるの
で、ピニオン13とラック14から成る運動系は、駆動
ベルト15の厚さを無視すれば、ベルト駆動部の動きと
同期して、従って、駆動される板8bの動きと同期して
共に動く。従って、この運動の間も、ピニオン13の歯
とラック14の歯との間にあらかじめ設定されている遊
びは維持されたままである。ピニオンとラックから成る
系の荷重は、被検体載置台2(図1)が許容されている
より大きな荷重を受け、そのためにベルト15が相応し
て大きく伸張したときにのみ起こる。従って、特に遊び
及び方向逆転損失に関する伝動の精度は、ベルト駆動装
置によってのみ決定されている。ピニオン13とラック
14から成る系は、荷重が大きすぎるときにベルト駆動
装置を保護する働きしかしない。この場合、互いに係合
し合う歯要素の精度、特にその表面品質、位置決めの精
度が共に決定的には定められないこと及び同時にベルト
駆動装置の保護によって駆動装置の長い寿命が保証され
ることは重大な意味をもっている。
【0022】図1及び図4に示す実施形態の場合、ベル
ト駆動装置は被検体載置台2及び直線案内部の固有重量
によってのみ張力を受けている。被検体載置台2の質量
がベルト駆動装置を張った状態にするのには不十分であ
れば、直線案内部の可動部材(8a、8b)をベルト1
5の引張り方向に対して引張るか又は押圧する引張りば
ねをさらに設けることができる。
【0023】図2及び図3の断面図には、直線案内部の
詳細を拡大して示す。直線案内部は3枚の板(8a、
7、8b)のサンドイッチ構造から構成されている。中
央の板7は焦点合せモジュール6とねじで結合されてい
る。被検体載置台側の外側の板8aには被検体載置台2
が取り付けられ、駆動装置側の板8bにはラック14と
ルーズローラ16が取り付けられている。図1に示すよ
うに、中央の板7の細長い穴を貫通するねじが外側の2
枚の板8a、8bを結合している。
【0024】中央の板7は、両側の面に運動方向に沿っ
て、それぞれ2つの平行な、図2の図示方向に対し垂直
に延びている断面V字形の溝(18a、19a、20
a、21a)を有する。外側の2枚の板(8、8b)
の、それぞれ中央の板7に向いた面には、矩形の横断面
を有する2本の平行な溝(18b、19b、20b、2
1b)があり、それらの溝は中央の板7のV字形の溝
(18a、19a、20a、21a)に対して平行であ
り、溝の間隔はV字形の溝の間隔に適合されている。従
って、この両側の二重案内構造には合わせて4本の案内
軌道があり、各々の案内軌道は中央の板7の4本のV字
形の溝と、それに対向する外側の板(8a、8b)の矩
形の溝とから構成される。それらの案内軌道にはローラ
(18c、19c、20c、21c)又は球の形態をと
るころがり部材が挿入されている。さらに、矩形の溝
(18b、19b、20b、21b)の角には、ころが
り部材(18c〜21c)に平坦な面を向けた面取り丸
棒(18d、18e、19d、20d、21d、21
e)が回転自在に挿入されている。それらの面取り丸棒
の平坦な面取り面はころがり部材の案内軌道を形成す
る。
【0025】2つの互いに対向する矩形の溝(18d、
21d)の中には2つの面取り丸棒が挿入されており、
ローラ(18c、21c)は残る案内溝に交差方向に挿
入されている。そこから離間した他方の側にある互いに
対向する矩形の溝の中には、それぞれ1つしか丸棒(1
9d、20d)が挿入されておらず、ローラは全て同じ
方向に整列されている。このように、ローラを一方の案
内溝(19a、19b)に同じ方向に向けて挿入し且つ
他方の案内溝(18a、18b)にはローラを交差方向
に挿入することにより、図3の拡大図で示唆するよう
に、ころがり部材の回転軸は鎖線で指示する通りとな
る。
【0026】面取り丸棒は矩形の溝の角により形成され
る当接面に沿って回転自在であるので、板(8a及び7
又は7及び8b)の間の楔角度は補正される。これによ
り、この構造でなければ両側案内部で起こる過剰固定は
回避される。従って、製造技術の面からいえば、3枚の
板(8a、7、8b)における溝(18a〜21a、1
8b〜21b)の相互の平行性を確保することのみが重
要である。これに対し、溝(18a〜21a、18b〜
21b)の間隔については、万一、誤差が生じても、丸
棒の回転によって補正されるので、高い精度が要求され
ることはない。面取り丸棒の当接面に当接した適切な向
きは、外側の2枚の板(8a、8b)を結合するねじの
締合わせと締付けによって自ら設定される。
【0027】両側二重案内部を伴うこのような直線案内
部は、安定性と剛性にすぐれていることを顕著な特徴と
しているので、被検体載置台に伝わってしまうおそれの
ある傾斜モーメントはほとんど発生しない。同時に、過
剰固定が締め付けすぎによるロックを招くこともありえ
ないので、動きの容易さは著しく保証されている。従っ
て、ベルト駆動装置によって高い精度を保ちつつ被検体
載置台2を移動させることも可能である。案内部を支持
スタンドハウジングの各部にねじで取り付けるときに、
残留する力が支持スタンドハウジングにさらに伝わるこ
とはないので、支持スタンドハウジングに応力が加わる
こともない。案内部の中央の部材が固定されているた
め、中央の部材の強度に応じて、支持スタンドハウジン
グのねじれ強さの向上が得られる。
【0028】図示されている実施形態の場合、ベルト駆
動装置はルーズローラの原理に従って構成されている。
このベルト駆動装置は、駆動される側の部材8bの動き
と、駆動する側のローラ12の周囲運動との間に1:2
の減速比を与える。あるいは、別の滑車装置に似たベル
ト駆動装置を使用することも可能である。たとえば、軸
17を回転自在に支承し、ベルト15を第2のローラを
介して従動部材へ導き、軸17の高さで再び焦点合わせ
モジュールに固定することが可能であろう。そのような
滑車装置は1:4の減速比を与えることになる。この場
合、ピニオン13は駆動ローラ12の直径の四分の一に
相当する直径を有するように構成されるべきである。さ
らに、図示した実施形態とは逆に、案内される側の板7
の溝を矩形に形成し、案内する側の板(8a、8b)の
溝をV字形に形成することも可能である。
【0029】図5には、別の両側二重案内部の実施形態
を示すが、この場合、外側の2つの部材(28、29)
の案内溝(28a、28b、29a、29b)と、中央
の部材27の案内溝(27a〜27d)とは共に矩形の
横断面を有するように構成されている。一方の側では、
外側の部材と中央の部材のそれぞれ2つの互いに対向す
る溝(27a、28a)及び(27c、29a)により
構成されている案内溝にそれぞれ4つの面取り丸棒(3
0a、30b)、従って、合わせて8つの面取り丸棒が
挿入されている。それら2つの互いに対向する案内溝に
は、ローラ(31a、31b)が交差方向に挿入されて
いる。他方の側では、互いに対向する溝(27c、28
b)及び(27d、29b)により形成される案内溝に
も同様にローラ(31c、31d)が常に同じ軸方向と
なるように挿入されている。
【0030】この実施形態においても、案内部に予荷重
を与えたとき、すなわち、外側の2つの部材(28、2
9)をねじにより互いに締付けたときに、丸棒(30
a、30b)は最適の向きをとる。このため、案内部は
図2及び図3に示した案内部に匹敵する動きやすさと安
定性を有する。しかし、外側の2つの部材(28、2
9)と、中央の部材27を共に、たとえば、アルミニウ
ム製などの圧力鋳造部品として製造でき、案内溝の後加
工は最小限に抑えられるので、製造コストは低下する。
材料としてアルミニウムを使用した場合でも、案内溝で
丸棒なしでローラ(31c、31d)に対して十分に硬
い走行面を確保するために、それらの案内溝に硬化スチ
ールばねベルトをそれぞれ挿入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による被検体載置台の直線案内部を備
えた顕微鏡の下部の縦断面図。
【図2】 図1の線II−IIに沿った水平方向断面で示す
図1の直線案内部の拡大図。
【図3】 図2の直線案内部をさらに拡大した図。
【図4】 図2の線IV−IVに沿った縦断面図。
【図5】 直線案内部の別の実施形態を示す断面図。
【符号の説明】
2…被検体載置台、7…中央の板、8a、8b…案内さ
れる側の板、9…モータ、12…駆動ローラ、15…ス
チールベルト、16…ローラ、17…固定軸、18a、
18b、19a、19b、20a、20b、21a、2
1b…案内溝、18c、19c、20c、21c…ころ
がり部材、18d、18e、19d、20d、21d、
21e…面取り丸棒、27…中央の部材、28、29…
外側の部材、27a〜27d、28a、28b、29
a、29b…案内溝、30a、30b…丸棒、31a〜
31d…ローラ。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 案内面と、互いに対して案内される部材
    (8a、8b、7;27、28、29)の互いに対応す
    る溝(18a〜b、19a〜b、20a〜b、21a〜
    b;27a〜d、28a〜b、29a〜b)とを有する
    2つの互いに対して案内される部材の間の直線案内部に
    おいて、前記案内面の一部が、溝の中に回転自在に挿入
    される面取り丸棒(18d〜e、19d、20d、21
    d〜e;30a〜b)の平坦な面により形成されている
    ことを特徴とする直線案内部。
  2. 【請求項2】 溝(18a〜b、19a〜b、20a〜
    b、21a〜b;27a〜d、28a〜b、29a〜
    b)の中にころがり部材(18c、19c、20c、2
    1c;31a〜d)が挿入されている請求項1記載の直
    線案内部。
  3. 【請求項3】 ころがり部材はローラ(18c、19
    c、20c、21c;31a〜d)である請求項2記載
    の直線案内部。
  4. 【請求項4】 一方の案内される部材(7)の溝(18
    a、19a、20a、21a)はV字形であり且つ他方
    の案内される部材(8a、8b)の溝(18b、19
    b、20b、21b)は矩形であり、面取り丸棒(18
    d〜e、19d、20d、21d〜e)は矩形の溝(1
    8b、19b、20b、21b)の角に挿入されている
    請求項1から3のいずれか1項に記載の直線案内部。
  5. 【請求項5】 全ての溝(27a〜d、28a〜b、2
    9a〜b)は矩形である請求項1から3のいずれか1項
    に記載の直線案内部。
  6. 【請求項6】 互いに対して案内される部材は中央の部
    材(7;27)と、2つの互いに結合された外側の部材
    (8a、8b;28、29)とを含み、中央の部材
    (7;27)は相対する双方の面にそれぞれ2つの、互
    いに平行である案内溝(18a、19a、20a、21
    a、;27a、27c、27b、27d)を有し、外側
    の部材(8a、8b;28、29)は、それぞれ、中央
    の部材(7;27)に向いた面に、中央の部材(7、2
    7)の溝(18a、19a;20a、21a;27a、
    27c、27b、27d)に対して対応している2つの
    平行な溝(18b、19b、20b、21b;28a〜
    b、29a〜b)を有する請求項4又は5記載の直線案
    内部。
  7. 【請求項7】 中央の部材(7)又は外側の部材(8
    a、8b)の溝は矩形の横断面を有し且つ互いに対向す
    る矩形の溝(18a、18b;21a、21b)の中に
    それぞれ2つの丸棒(18d〜e、21d〜e)が挿入
    され、残る方形の溝(19a、19b;20a、20
    b)の中にはそれぞれ1つの面取り丸棒(19d、20
    d)が挿入されている請求項6記載の直線案内部。
  8. 【請求項8】 面取り丸棒(19d、20d)を1つし
    かもたない溝(19a、19b;20a、20b)は、
    2つの面取り丸棒(18d〜e、21d〜e)をそれぞ
    れ有する矩形の溝(18a、18b;21a、21b)
    に対して同一の面に配置されている請求項7記載の直線
    案内部。
  9. 【請求項9】 全ての溝(27a〜d、28a〜b、2
    9a〜b)は矩形の横断面を有し、互いに対向する2つ
    の溝の2組(27a、28a、27c、29a)の全て
    の角に丸棒(30a、30b)が挿入されている請求項
    6記載の直線案内部。
  10. 【請求項10】 2つの外側の部材(8a、8b)は、
    中央の部材(7)にある穴を貫通するねじを介して互い
    に結合されている請求項6から9のいずれか1項に記載
    の直線案内部。
JP30754396A 1995-11-03 1996-11-05 ころがり部材を有する直線案内部 Expired - Lifetime JP3998285B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19541046.7 1995-11-03
DE19541046 1995-11-03
US08/999,780 US6123459A (en) 1995-11-03 1996-10-31 Linear guide with rolling bodies

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09144754A true JPH09144754A (ja) 1997-06-03
JP3998285B2 JP3998285B2 (ja) 2007-10-24

Family

ID=26020062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30754396A Expired - Lifetime JP3998285B2 (ja) 1995-11-03 1996-11-05 ころがり部材を有する直線案内部

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6123459A (ja)
JP (1) JP3998285B2 (ja)
DE (1) DE19642796A1 (ja)
GB (1) GB2306585B (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10023568C2 (de) 2000-05-15 2002-08-01 Leica Microsystems Fokussiertrieb für optische Instrumente
DE102004034965A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Linearführung mit Wälzkörpern
JP4645274B2 (ja) 2005-04-08 2011-03-09 ソニー株式会社 レンズ装置及び撮像装置
USRE46011E1 (en) 2008-01-31 2016-05-24 Lightforce Usa, Inc. Locking adjustment dial mechanism for riflescope
JP5931538B2 (ja) * 2011-09-26 2016-06-08 オリンパス株式会社 倒立型顕微鏡
JP6003390B2 (ja) * 2012-08-18 2016-10-05 セイコーエプソン株式会社 記録装置
DE102013211082A1 (de) * 2013-06-14 2014-12-18 Hans Hodak Antriebsanordnung mit Reibrad und Ritzel

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE457217A (ja) * 1943-07-09
FR1148990A (fr) * 1955-04-07 1957-12-18 Ulvsunda Verkst Er Aktiebolag Guidage pour pièces de machines
US3897119A (en) * 1971-11-01 1975-07-29 Design Components Inc Linear bearing slide
US4923311A (en) * 1989-02-28 1990-05-08 Gibbs Henry L Preloaded slide bearing support apparatus
US5106207A (en) * 1991-03-25 1992-04-21 Automation Gages, Inc. Ball slide designed for extended travel
US5374128A (en) * 1994-03-08 1994-12-20 Automation Gages, Inc. Linear ball slide

Also Published As

Publication number Publication date
GB2306585B (en) 2000-04-05
JP3998285B2 (ja) 2007-10-24
US6123459A (en) 2000-09-26
GB9622737D0 (en) 1997-01-08
GB2306585A (en) 1997-05-07
DE19642796A1 (de) 1997-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11131910B2 (en) Supporting mechanism, and adjusting device and gimbal having the same
EP1781450B1 (en) Actuator
EP1566677A1 (en) Projection lens fixation and adjustment mechanism
US7762156B2 (en) Cable-driven wrist mechanism for robot arms
JP3998285B2 (ja) ころがり部材を有する直線案内部
KR102181611B1 (ko) 고니오 스테이지 및 곡선 안내 유닛
KR20130043564A (ko) 로백래쉬 기어기구 및 장치
US6829108B2 (en) Lens moving mechanism and liquid crystal projector
CN115793360B (zh) 调焦结构及投影光机
KR102221612B1 (ko) 케이블 풀러
US5577094A (en) Irradiation apparatus with movable irradiation head
JP4007421B2 (ja) 電動アクチュエータ
JPH09152557A (ja) 移動される装置部品を移動させる駆動装置
KR20030074247A (ko) 각도 조정 장치
JPH0486729A (ja) 光学機器
JPH08248287A (ja) ズームレンズ鏡筒
JP3232517B2 (ja) レンズ鏡胴
JP3413676B2 (ja) 多関節型ロボット
JP3031127B2 (ja) レンズ駆動装置
JP2584640Y2 (ja) 収納幅を簡便に調整できる収納箱
JP5395693B2 (ja) 撮影用ハンディクレーン
JP2585084Y2 (ja) ねじ送り機構の噛み合い調整装置
CN223637886U (zh) 曝光机
JPH048236Y2 (ja)
KR100195311B1 (ko) 렌즈경통의 모터장착구조

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060711

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20061011

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20061016

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070731

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070807

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term