JPH09145342A - 直線案内装置のコードガイド装置 - Google Patents
直線案内装置のコードガイド装置Info
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- JPH09145342A JPH09145342A JP7307722A JP30772295A JPH09145342A JP H09145342 A JPH09145342 A JP H09145342A JP 7307722 A JP7307722 A JP 7307722A JP 30772295 A JP30772295 A JP 30772295A JP H09145342 A JPH09145342 A JP H09145342A
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- Japan
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- guide device
- axis
- cord
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 下方の構造物上や被検物上に塵が落ちな
いコードガイド装置を提供すること。 【解決手段】 ほぼ水平な面内に延在する案内面を有す
る直線案内ガイドと、前記案内ガイドに沿って移動する
可動部材と、前記可動部材に電気及び圧縮空気の少なく
とも一方を供給する電気ケーブル及びエアーホースの少
なくとも一方を保持するコードガイドとを有する直線案
内装置のコードガイド装置において、前記コードガイド
を、前記案内ガイドの上方に、前記可動部材の移動方向
に延在せしめて配設した可撓性部材で構成し、該可撓性
部材に前記可動部材の移動方向に張力を与える張力付与
部材を設けた。
いコードガイド装置を提供すること。 【解決手段】 ほぼ水平な面内に延在する案内面を有す
る直線案内ガイドと、前記案内ガイドに沿って移動する
可動部材と、前記可動部材に電気及び圧縮空気の少なく
とも一方を供給する電気ケーブル及びエアーホースの少
なくとも一方を保持するコードガイドとを有する直線案
内装置のコードガイド装置において、前記コードガイド
を、前記案内ガイドの上方に、前記可動部材の移動方向
に延在せしめて配設した可撓性部材で構成し、該可撓性
部材に前記可動部材の移動方向に張力を与える張力付与
部材を設けた。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、直線案内 装置の
コードガイド装置に関する。
コードガイド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来技術を適用した可動ブリッ
ジ型の三次元測定機の斜視図である。Y軸ガイド3が定
盤1上に固定され、Y軸ガイド3に沿ってY軸方向に移
動するYキャリッジ2が案内されている。これをY軸と
言う。Yキャリッジ2はブリッジ構造体で、エアーベア
リングのエアーパッド(不図示だがY軸ガイド3の両側
面及び定盤1の上面に対向して前後2組配置されてい
る)を有するガイド脚2aと、下端に不図示のエアーパ
ッドを有するサポート脚2cと、ガイド脚2aとサポー
ト脚2cとを上方で接続するX軸ガイド2bとから構成
されている。
ジ型の三次元測定機の斜視図である。Y軸ガイド3が定
盤1上に固定され、Y軸ガイド3に沿ってY軸方向に移
動するYキャリッジ2が案内されている。これをY軸と
言う。Yキャリッジ2はブリッジ構造体で、エアーベア
リングのエアーパッド(不図示だがY軸ガイド3の両側
面及び定盤1の上面に対向して前後2組配置されてい
る)を有するガイド脚2aと、下端に不図示のエアーパ
ッドを有するサポート脚2cと、ガイド脚2aとサポー
ト脚2cとを上方で接続するX軸ガイド2bとから構成
されている。
【0003】Xキャリッジ4はX軸ガイド2bを取り囲
むように構成された構造体で、X軸ガイド2bの各面に
対向して配置されたエアーパッド(不図示)を有し、X
軸方向に移動可能に案内されている。これをX軸と言
う。Zスピンドル5はXキャリッジ4との間に形成され
たエアーベアリングによってZ軸方向に移動可能に案内
されている。これをZ軸と言う。Zスピンドル5の下端
には測定プローブ6を備えている。
むように構成された構造体で、X軸ガイド2bの各面に
対向して配置されたエアーパッド(不図示)を有し、X
軸方向に移動可能に案内されている。これをX軸と言
う。Zスピンドル5はXキャリッジ4との間に形成され
たエアーベアリングによってZ軸方向に移動可能に案内
されている。これをZ軸と言う。Zスピンドル5の下端
には測定プローブ6を備えている。
【0004】X、Y、Zの各軸は、Xキャリッジ4、Y
キャリッジ3及びZスピンドル5を駆動する駆動装置及
びそれらの移動量を検出する測長装置を備えている。そ
の為、三次元測定機には、各軸のエアーベアリングに、
空気源(不図示)から圧縮空気を供給するエアーホー
ス、及び各軸の駆動装置並びに測長装置に電気や信号を
供給する電気ケーブル(以下、ケーブル類と言う)が組
み込まれている。スピンドル5の先端に装着されるプロ
ーブ6の信号線や電源線も同様に組み込まれている。
キャリッジ3及びZスピンドル5を駆動する駆動装置及
びそれらの移動量を検出する測長装置を備えている。そ
の為、三次元測定機には、各軸のエアーベアリングに、
空気源(不図示)から圧縮空気を供給するエアーホー
ス、及び各軸の駆動装置並びに測長装置に電気や信号を
供給する電気ケーブル(以下、ケーブル類と言う)が組
み込まれている。スピンドル5の先端に装着されるプロ
ーブ6の信号線や電源線も同様に組み込まれている。
【0005】このケーブル類は、図示しない制御部か
ら、Y軸で用いるものはYキャリッジ2まで、それ以外
はXキャリッジ4まで、又はXキャリッジ4を経由して
Zスピンドル5の所定の箇所まで配設されている。X、
Y、Zの各軸の固定部(それぞれX軸ガイド2b、定盤
1、Xキャリッジ4)と可動部(それぞれXキャリッジ
4、Yキャリッジ2、Zスピンドル5)との間は、可撓
性を有するコードガイドを設け、そのコードガイドに沿
ってケーブル類を配設し、連結している。
ら、Y軸で用いるものはYキャリッジ2まで、それ以外
はXキャリッジ4まで、又はXキャリッジ4を経由して
Zスピンドル5の所定の箇所まで配設されている。X、
Y、Zの各軸の固定部(それぞれX軸ガイド2b、定盤
1、Xキャリッジ4)と可動部(それぞれXキャリッジ
4、Yキャリッジ2、Zスピンドル5)との間は、可撓
性を有するコードガイドを設け、そのコードガイドに沿
ってケーブル類を配設し、連結している。
【0006】以下、X軸について詳しく説明する。Xキ
ャリッジ4は、ボールねじ7及びモーター8によって駆
動され、X軸ガイド2bに沿って移動する。Xキャリッ
ジ4に取り付けた検出ヘッドと、X軸ガイド2bに取り
付けたリニアスケールとで構成される、不図示のリニア
エンコーダによってXキャリッジ4の移動量が検出され
る。
ャリッジ4は、ボールねじ7及びモーター8によって駆
動され、X軸ガイド2bに沿って移動する。Xキャリッ
ジ4に取り付けた検出ヘッドと、X軸ガイド2bに取り
付けたリニアスケールとで構成される、不図示のリニア
エンコーダによってXキャリッジ4の移動量が検出され
る。
【0007】ボールねじ7を両端で軸支しX軸ガイド2
bに取り付けるブラケット13、14に、上方に開口を
有するコの字型レール16がX軸ガイド2bと平行に設
けられている。可撓性のコードガイド15がその一端を
レール16の一方の端部16aに固定され、コの字型レ
ール16の底部を這った後立ち上がってU字形の屈曲部
15aを形成してX軸キャリッジ4に固定されたホルダ
4aに他方の端部が固定されている。X軸及びZ軸のエ
アーパッドに圧縮空気を供給するエアーホース、並びに
X軸及びZ軸のリニアエンコーダ及び駆動装置のモータ
ー(X軸にあっては8)に電力及び/又は電気信号を供
給する電気ケーブルがコードガイド15に沿って配設さ
れている。
bに取り付けるブラケット13、14に、上方に開口を
有するコの字型レール16がX軸ガイド2bと平行に設
けられている。可撓性のコードガイド15がその一端を
レール16の一方の端部16aに固定され、コの字型レ
ール16の底部を這った後立ち上がってU字形の屈曲部
15aを形成してX軸キャリッジ4に固定されたホルダ
4aに他方の端部が固定されている。X軸及びZ軸のエ
アーパッドに圧縮空気を供給するエアーホース、並びに
X軸及びZ軸のリニアエンコーダ及び駆動装置のモータ
ー(X軸にあっては8)に電力及び/又は電気信号を供
給する電気ケーブルがコードガイド15に沿って配設さ
れている。
【0008】コードガイド15のU字形屈曲部よりホル
ダ4a側部分は、コードガイド15の曲げ強度とケーブ
ル類の自重とのバランスによって空中に保たれる。そし
て、Xキャリッジ4の移動につれて屈曲部を形成するコ
ードガイド15の部分がずれる。その時に、コードガイ
ド15とレール16とが擦れ合う。同時にコードガイド
15とケーブル類も擦れ合う。このような擦れ合いは主
に屈曲部15aで生ずる。そして、擦れ合いの結果、塵
が発生していた。
ダ4a側部分は、コードガイド15の曲げ強度とケーブ
ル類の自重とのバランスによって空中に保たれる。そし
て、Xキャリッジ4の移動につれて屈曲部を形成するコ
ードガイド15の部分がずれる。その時に、コードガイ
ド15とレール16とが擦れ合う。同時にコードガイド
15とケーブル類も擦れ合う。このような擦れ合いは主
に屈曲部15aで生ずる。そして、擦れ合いの結果、塵
が発生していた。
【0009】又、コードガイド15のU字形屈曲部より
もホルダ4a側の長さがある値を超えると、コードガイ
ド15からXキャリッジ4に作用するX軸方向の力の方
向が反転し、その結果、Xキャリッジを移動させる駆動
負荷が大きく変化し、移動速度が変化するものであっ
た。図3の要部のA矢視側面図である図4(a)、
(b)にその様子を示す。U字形屈曲部よりもホルダ4
a側の長さが短い時の前記力の作用方向を図4(a)
に、逆に長いときの作用方向を図4(b)に矢印で示し
た。
もホルダ4a側の長さがある値を超えると、コードガイ
ド15からXキャリッジ4に作用するX軸方向の力の方
向が反転し、その結果、Xキャリッジを移動させる駆動
負荷が大きく変化し、移動速度が変化するものであっ
た。図3の要部のA矢視側面図である図4(a)、
(b)にその様子を示す。U字形屈曲部よりもホルダ4
a側の長さが短い時の前記力の作用方向を図4(a)
に、逆に長いときの作用方向を図4(b)に矢印で示し
た。
【0010】説明を省略するが、Y軸、Z軸にも同様の
コードガイドが設けられている。但し、Z軸ではコの字
形レール16に相当するものは無い。
コードガイドが設けられている。但し、Z軸ではコの字
形レール16に相当するものは無い。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記構造の従来装置に
おいては、可動部材が移動すると塵が発生し、コードガ
イドの下方にある構造物上や被検物上に落下して、前記
構造物や被検物を汚染する等の被害を与えるという問題
があった。本発明の目的は、下方の構造物上や被検物上
に塵が落ることのない、直線案内装置におけるコードガ
イド装置を提供することにある。
おいては、可動部材が移動すると塵が発生し、コードガ
イドの下方にある構造物上や被検物上に落下して、前記
構造物や被検物を汚染する等の被害を与えるという問題
があった。本発明の目的は、下方の構造物上や被検物上
に塵が落ることのない、直線案内装置におけるコードガ
イド装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ほぼ水平な面内に延在する案内面を有する
直線案内ガイド(2a)と、前記案内ガイド(2a)に
沿って移動する可動部材(4)と、前記可動部材(4)
に電気及び圧縮空気の少なくとも一方を供給する、電気
ケーブル及びエアーホースの少なくとも一方を保持する
コードガイドとを有する直線案内装置のコードガイド装
置において、前記コードガイドを、前記案内ガイド(2
a)の上方に、前記可動部材(4)の移動方向に延在せ
しめて配設した可撓性部材(10a、10b)で構成
し、該可撓性部材(10a、10b)に前記可動部材
(10a、10b)の移動方向に張力を与える張力付与
部材(12a、12b)を設けた(請求項1)。
に本発明は、ほぼ水平な面内に延在する案内面を有する
直線案内ガイド(2a)と、前記案内ガイド(2a)に
沿って移動する可動部材(4)と、前記可動部材(4)
に電気及び圧縮空気の少なくとも一方を供給する、電気
ケーブル及びエアーホースの少なくとも一方を保持する
コードガイドとを有する直線案内装置のコードガイド装
置において、前記コードガイドを、前記案内ガイド(2
a)の上方に、前記可動部材(4)の移動方向に延在せ
しめて配設した可撓性部材(10a、10b)で構成
し、該可撓性部材(10a、10b)に前記可動部材
(10a、10b)の移動方向に張力を与える張力付与
部材(12a、12b)を設けた(請求項1)。
【0013】この場合、前記可撓性部材(10a、10
b)は、前記可動部材(10a、10b)の移動方向に
おける前記案内ガイド(2a)の端部において、下方に
曲げられた構造とすることが好ましい(請求項2)。
b)は、前記可動部材(10a、10b)の移動方向に
おける前記案内ガイド(2a)の端部において、下方に
曲げられた構造とすることが好ましい(請求項2)。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の三次元測定機に
おける実施形態を示す斜視図である。本実施形態におけ
る三次元測定機測定機の構造は、以下に詳述するコード
ガイドを除き従来装置と同様であるので、図3と同符号
を付し説明を省略する。以下、X軸のコードガイドにつ
いて詳しく説明する。
おける実施形態を示す斜視図である。本実施形態におけ
る三次元測定機測定機の構造は、以下に詳述するコード
ガイドを除き従来装置と同様であるので、図3と同符号
を付し説明を省略する。以下、X軸のコードガイドにつ
いて詳しく説明する。
【0015】回転自在なプーリー11a、11bがX軸
ガイド2bの両端に支持部材9a、9bによって固設さ
れている。Xキャリッジ4の両側において、可撓性の高
い部材(例えば、ベルト)10a、10bの一端部がX
軸ガイド2bの上方でXキャリッジ4に固定されてい
る。可撓性部材10a、10bはX軸ガイド2bの上方
においてXキャリッジ4の移動方向に延在し、それぞれ
プーリー11a、11bに沿って下方に曲げられて降下
した後にU字形屈曲部を経て上昇し、他端部をX軸ガイ
ド2bの下面近傍に固定されている。前記U字形屈曲部
の内部には円筒形の重錘12a、12bが載置されてい
る。
ガイド2bの両端に支持部材9a、9bによって固設さ
れている。Xキャリッジ4の両側において、可撓性の高
い部材(例えば、ベルト)10a、10bの一端部がX
軸ガイド2bの上方でXキャリッジ4に固定されてい
る。可撓性部材10a、10bはX軸ガイド2bの上方
においてXキャリッジ4の移動方向に延在し、それぞれ
プーリー11a、11bに沿って下方に曲げられて降下
した後にU字形屈曲部を経て上昇し、他端部をX軸ガイ
ド2bの下面近傍に固定されている。前記U字形屈曲部
の内部には円筒形の重錘12a、12bが載置されてい
る。
【0016】この可撓性部材10a、10bがコードガ
イドである。可撓性部材10a、10bにはケーブル類
が沿わせてあり、可撓性部材10a、10bと共に、X
軸ガイド2bの上方においてXキャリッジ4の移動方向
に延在し、プーリー11a、11bに沿って下方に曲げ
られて降下した後に、U字形屈曲部を経て上昇してい
る。ケーブル類は可撓性部材10a、10bのXキャリ
ッジ4側の端部からXキャリッジ4の内部を経てX軸及
びZ軸の所定箇所(エアーパッド、モーター、リニアエ
ンコーダ等)に接続され、他端部から、例えばガイド脚
2a、サポート側脚2cを経てコントローラや空気源
(何れも不図示)に接続されている。
イドである。可撓性部材10a、10bにはケーブル類
が沿わせてあり、可撓性部材10a、10bと共に、X
軸ガイド2bの上方においてXキャリッジ4の移動方向
に延在し、プーリー11a、11bに沿って下方に曲げ
られて降下した後に、U字形屈曲部を経て上昇してい
る。ケーブル類は可撓性部材10a、10bのXキャリ
ッジ4側の端部からXキャリッジ4の内部を経てX軸及
びZ軸の所定箇所(エアーパッド、モーター、リニアエ
ンコーダ等)に接続され、他端部から、例えばガイド脚
2a、サポート側脚2cを経てコントローラや空気源
(何れも不図示)に接続されている。
【0017】Xキャリッジ4がX軸ガイド2bに沿って
移動すると、可撓性部材10a、10bに載置された重
錘12a、12bの一方が降下すると他方が上昇する。
可撓性部材10a、10bには重錘12a、12bの自
重により常時一定の張力が与えられる。それによって、
可撓性部材10a、10bはXキャリッジ4とプーリー
11a、11bとの間をX軸ガイド2bの上面に接触す
ることなく張架される。この張力はXキャリッジ4の両
側に作用するので打ち消しあう。又、Xキャリッジ4の
両側にそれぞれ配設されるケーブル類の質量をほぼ等し
くなるように配分すれば、Xキャリッジ4がケーブル類
から受ける力も打ち消しあう。その結果、Xキャリッジ
4を移動してもXキャリッジ4に作用する力はほぼ一定
で、移動速度変化は少なくできる。
移動すると、可撓性部材10a、10bに載置された重
錘12a、12bの一方が降下すると他方が上昇する。
可撓性部材10a、10bには重錘12a、12bの自
重により常時一定の張力が与えられる。それによって、
可撓性部材10a、10bはXキャリッジ4とプーリー
11a、11bとの間をX軸ガイド2bの上面に接触す
ることなく張架される。この張力はXキャリッジ4の両
側に作用するので打ち消しあう。又、Xキャリッジ4の
両側にそれぞれ配設されるケーブル類の質量をほぼ等し
くなるように配分すれば、Xキャリッジ4がケーブル類
から受ける力も打ち消しあう。その結果、Xキャリッジ
4を移動してもXキャリッジ4に作用する力はほぼ一定
で、移動速度変化は少なくできる。
【0018】又、X軸ガイド2bの上方(被検物の上方
でもある)では可撓性部材10a、10bとケーブル類
とで擦れ合うことがないので、塵が発生しない。万一発
生しても、下方にX軸ガイド2bが延在しているので直
接被検物上に落下することはない。上記実施形態におけ
る可撓性部材は、ベルト以外に可撓性のチューブ、或い
は多数の短い筒状部材17(一部を切り欠いたものを含
む)を連結軸18で互いに回動自在に連結した多関節チ
ューブ(図2参照)等とすることができる。又、可撓性
部材に張力を与える他の手段として、プーリー11a、
11bに組み込んだゼンマイばねによって、可撓性部材
10a、10bのX軸ガイド上の部分に張力を与える方
向への回転力を予めプーリー11a、11bに与えても
良い。この場合、プーリー11a、11bと可撓性部材
10a、10bとの間には十分大きな摩擦力が作用し、
予め与えた回転力と逆方向の回転力が可撓性部材10
a、10bからプーリー11a、11bに作用した場合
には、ゼンマイばねは巻き込まれるようにゼンマイばね
の強さを選択する。これを確実にするために、プーリー
11a、11bを歯付きとし、可撓性部材にこれと対応
する穴を設けることも考えられる。
でもある)では可撓性部材10a、10bとケーブル類
とで擦れ合うことがないので、塵が発生しない。万一発
生しても、下方にX軸ガイド2bが延在しているので直
接被検物上に落下することはない。上記実施形態におけ
る可撓性部材は、ベルト以外に可撓性のチューブ、或い
は多数の短い筒状部材17(一部を切り欠いたものを含
む)を連結軸18で互いに回動自在に連結した多関節チ
ューブ(図2参照)等とすることができる。又、可撓性
部材に張力を与える他の手段として、プーリー11a、
11bに組み込んだゼンマイばねによって、可撓性部材
10a、10bのX軸ガイド上の部分に張力を与える方
向への回転力を予めプーリー11a、11bに与えても
良い。この場合、プーリー11a、11bと可撓性部材
10a、10bとの間には十分大きな摩擦力が作用し、
予め与えた回転力と逆方向の回転力が可撓性部材10
a、10bからプーリー11a、11bに作用した場合
には、ゼンマイばねは巻き込まれるようにゼンマイばね
の強さを選択する。これを確実にするために、プーリー
11a、11bを歯付きとし、可撓性部材にこれと対応
する穴を設けることも考えられる。
【0019】又、可撓性部材10a、10bの幅をX軸
ガイド2bの幅と同じ、又はそれに近い幅とすればX軸
ガイド2bの上面が覆われるので、外部から到来する塵
埃に対する防塵装置を兼ねることができる。
ガイド2bの幅と同じ、又はそれに近い幅とすればX軸
ガイド2bの上面が覆われるので、外部から到来する塵
埃に対する防塵装置を兼ねることができる。
【0020】
【発明の効果】本発明のコードガイド装置によれば、可
動部材の移動範囲内に発塵の原因となる擦れ合い部が無
く、しかも万一発塵しても案内ガイドが下方にあるの
で、下方の構造物や被検物上に塵が落ちることがない。
更に、請求項2の発明においてはコードガイド(可撓性
部材)を前記移動部材の移動方向における案内ガイドの
両端で下方に曲げたので、コンパクトな構成となる。
動部材の移動範囲内に発塵の原因となる擦れ合い部が無
く、しかも万一発塵しても案内ガイドが下方にあるの
で、下方の構造物や被検物上に塵が落ちることがない。
更に、請求項2の発明においてはコードガイド(可撓性
部材)を前記移動部材の移動方向における案内ガイドの
両端で下方に曲げたので、コンパクトな構成となる。
【図1】本発明の、三次元測定機での実施形態を示す斜
視図
視図
【図2】可撓性部材の一例の斜視図
【図3】従来技術による三次元測定機のコードガイドの
説明図
説明図
【図4】図3の装置におけるコードガイドの影響の説明
図
図
【符号の説明】 1……定盤 2……Yキャリッジ 2b……X軸ガイド 3……Y軸ガイド 4……Xキャリッジ 5……Zスピンドル 6……検出プローブ 7……モーター 8……ボールねじ 10a、10b……可撓性部材(コードガイド) 11a、11b……プーリー 12a、12b……重錘
Claims (2)
- 【請求項1】 ほぼ水平な面内に延在する案内面を有す
る直線案内ガイドと、前記案内ガイドに沿って移動する
可動部材と、前記可動部材に電気及び圧縮空気の少なく
とも一方を供給する電気ケーブル及びエアーホースの少
なくとも一方を保持するコードガイドとを有する直線案
内装置のコードガイド装置において、 前記コードガイドを、前記案内ガイドの上方に、前記移
動部材の移動方向に延在せしめて配設した可撓性部材で
構成し、該可撓性部材に前記移動部材の移動方向に張力
を与える張力付与部材を設けたことを特徴とする、直線
案内装置のコードガイド装置。 - 【請求項2】 前記可撓性部材は、前記移動部材の移動
方向における前記直線ガイド部材の端部において、下方
に曲げられたことを特徴とする、請求項1に記載の直線
案内装置のコードガイド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7307722A JPH09145342A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 直線案内装置のコードガイド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7307722A JPH09145342A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 直線案内装置のコードガイド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145342A true JPH09145342A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17972470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7307722A Pending JPH09145342A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 直線案内装置のコードガイド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145342A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013221820A (ja) * | 2012-04-16 | 2013-10-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 三次元座標測定機 |
| JP2014095563A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置、インピーダンス検出器及びインピーダンス検出方法 |
| JP2015092172A (ja) * | 2014-12-16 | 2015-05-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定機 |
| JP2015163886A (ja) * | 2015-04-06 | 2015-09-10 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定機 |
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