JPH091454A - ワイヤソーのトラバース装置 - Google Patents
ワイヤソーのトラバース装置Info
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- JPH091454A JPH091454A JP15024995A JP15024995A JPH091454A JP H091454 A JPH091454 A JP H091454A JP 15024995 A JP15024995 A JP 15024995A JP 15024995 A JP15024995 A JP 15024995A JP H091454 A JPH091454 A JP H091454A
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 タッチローラの移動速度をワイヤの移動速度
に合わせて迅速に応答させるワイヤソーのトラバース装
置を提供する。 【構成】 回転検出部７４、７６で一対のタッチローラ
６６、６８の回転数を検出し、検出されたタッチローラ
６６、６８の回転数に基づいて制御部８０でタッチロー
ラ６６、６８の回転加速度を求める。そして、制御部８
０は、この求められた回転加速度が正の場合タッチロー
ラ６６、６８がワイヤ１４から離れるようにタッチロー
ラ６６、６８の移動速度を補正し、回転加速度が負の場
合タッチローラ６６、６８の移動速度の補正を解除す
る。これにより、ワイヤ１４がタッチローラ６６、６８
に接触してタッチローラ６６、６８の回転数が増加した
ときと、ワイヤ１４がタッチローラ６６、６８から離れ
てタッチローラ６６、６８の回転数が減速したときを迅
速に検知することができる。
に合わせて迅速に応答させるワイヤソーのトラバース装
置を提供する。 【構成】 回転検出部７４、７６で一対のタッチローラ
６６、６８の回転数を検出し、検出されたタッチローラ
６６、６８の回転数に基づいて制御部８０でタッチロー
ラ６６、６８の回転加速度を求める。そして、制御部８
０は、この求められた回転加速度が正の場合タッチロー
ラ６６、６８がワイヤ１４から離れるようにタッチロー
ラ６６、６８の移動速度を補正し、回転加速度が負の場
合タッチローラ６６、６８の移動速度の補正を解除す
る。これにより、ワイヤ１４がタッチローラ６６、６８
に接触してタッチローラ６６、６８の回転数が増加した
ときと、ワイヤ１４がタッチローラ６６、６８から離れ
てタッチローラ６６、６８の回転数が減速したときを迅
速に検知することができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤソーのトラバース装
置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラミッ
ク、ガラス等の被加工物を走行するワイヤで多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤソーのトラバース装置に
関する。
置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラミッ
ク、ガラス等の被加工物を走行するワイヤで多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤソーのトラバース装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
【０００３】この場合、一方のワイヤリールの下流側と
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のト
ラバース装置及び他方のトラバース装置が設けられてい
る。一方のトラバース装置には一対のタッチローラが一
方のワイヤリールの軸線方向に移動自在に支持され、一
方のワイヤリールから繰り出されたワイヤは一対のタッ
チローラ間で案内されて複数個の溝付ローラに導かれ
る。この一対のタッチローラは、一方のワイヤリールか
ら繰り出されたワイヤに追従してワイヤリールの軸線方
向に移動してワイヤを案内する。
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のト
ラバース装置及び他方のトラバース装置が設けられてい
る。一方のトラバース装置には一対のタッチローラが一
方のワイヤリールの軸線方向に移動自在に支持され、一
方のワイヤリールから繰り出されたワイヤは一対のタッ
チローラ間で案内されて複数個の溝付ローラに導かれ
る。この一対のタッチローラは、一方のワイヤリールか
ら繰り出されたワイヤに追従してワイヤリールの軸線方
向に移動してワイヤを案内する。
【０００４】また、他方のトラバース装置の上流側に
も、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸線方
向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で案内
されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られる。こ
の一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに巻き取
られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸線方向
に移動してワイヤを案内する。
も、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸線方
向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で案内
されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られる。こ
の一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに巻き取
られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸線方向
に移動してワイヤを案内する。
【０００５】図６に示すように、これらのトラバース装
置１のボールねじ２にはスライダ３がねじ結合され、ボ
ールねじ２を回動することによりスライダ３が矢印Ｙ−
Ｙ方向に移動する。これにより、上部タッチローラ４と
下部タッチローラ５との間に配されたワイヤ６が、上部
タッチローラ４と下部タッチローラ５とで案内される。
置１のボールねじ２にはスライダ３がねじ結合され、ボ
ールねじ２を回動することによりスライダ３が矢印Ｙ−
Ｙ方向に移動する。これにより、上部タッチローラ４と
下部タッチローラ５との間に配されたワイヤ６が、上部
タッチローラ４と下部タッチローラ５とで案内される。
【０００６】この場合、ワイヤ６が上部タッチローラ４
や下部タッチローラ５に当接して、上部タッチローラ４
や下部タッチローラ５が外側方向に押し出されることに
より、揺動部７がピン７Ａを中心にして揺動する。これ
により、揺動部７の突片７Ｂや突片７Ｃがそれぞれ上部
近接センサ８Ａと下部近接センサ８Ｂとに近接して、上
部近接センサ８Ａと下部近接センサ８ＢがＯＮ−ＯＦＦ
制御される。そして、上部近接センサ８Ａ及び下部近接
センサ８ＢのＯＮ−ＯＦＦ情報に基づいて、ワイヤ６が
上部タッチローラ４や下部タッチローラ５に当接しない
ように、上部タッチローラ４及び下部タッチローラ５の
移動速度を制御する。尚、図６上で９はワイヤリールで
ある。
や下部タッチローラ５に当接して、上部タッチローラ４
や下部タッチローラ５が外側方向に押し出されることに
より、揺動部７がピン７Ａを中心にして揺動する。これ
により、揺動部７の突片７Ｂや突片７Ｃがそれぞれ上部
近接センサ８Ａと下部近接センサ８Ｂとに近接して、上
部近接センサ８Ａと下部近接センサ８ＢがＯＮ−ＯＦＦ
制御される。そして、上部近接センサ８Ａ及び下部近接
センサ８ＢのＯＮ−ＯＦＦ情報に基づいて、ワイヤ６が
上部タッチローラ４や下部タッチローラ５に当接しない
ように、上部タッチローラ４及び下部タッチローラ５の
移動速度を制御する。尚、図６上で９はワイヤリールで
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上部近
接センサ８Ａ及び下部近接センサ８ＢのＯＮ−ＯＦＦ情
報に基づいて、上部タッチローラ４及び下部タッチロー
ラ５の移動速度を制御する場合、制御にタイムラグが生
じる。すなわち、上部近接センサ８Ａ又は下部近接セン
サ８ＢがＯＮするまでには、ワイヤ６が上部タッチロー
ラ４や下部タッチローラ５に当接して、上部タッチロー
ラ４や下部タッチローラ５が支持ばねの付勢力に抗して
所定位置まで移動したとき上部近接センサ８Ａ又は下部
近接センサ８ＢがＯＮするので、ワイヤ６が上部タッチ
ローラ４や下部タッチローラ５に当接してから上部近接
センサ８Ａ又は下部近接センサ８ＢがＯＮの状態になる
までにタイムラグが生じる。これにより、上部タッチロ
ーラ４及び下部タッチローラ５の移動移動をワイヤ６の
移動速度に迅速に対応させることができないという問題
がある。
接センサ８Ａ及び下部近接センサ８ＢのＯＮ−ＯＦＦ情
報に基づいて、上部タッチローラ４及び下部タッチロー
ラ５の移動速度を制御する場合、制御にタイムラグが生
じる。すなわち、上部近接センサ８Ａ又は下部近接セン
サ８ＢがＯＮするまでには、ワイヤ６が上部タッチロー
ラ４や下部タッチローラ５に当接して、上部タッチロー
ラ４や下部タッチローラ５が支持ばねの付勢力に抗して
所定位置まで移動したとき上部近接センサ８Ａ又は下部
近接センサ８ＢがＯＮするので、ワイヤ６が上部タッチ
ローラ４や下部タッチローラ５に当接してから上部近接
センサ８Ａ又は下部近接センサ８ＢがＯＮの状態になる
までにタイムラグが生じる。これにより、上部タッチロ
ーラ４及び下部タッチローラ５の移動移動をワイヤ６の
移動速度に迅速に対応させることができないという問題
がある。
【０００８】一方、上述した制御方法以外に、タッチロ
ーラの回転を検出して、この検出した回転に基づいてタ
ッチローラの移動速度を制御する方法が知られている。
この方法は、タッチローラにワイヤが当接してタッチロ
ーラが回転したとき、タッチローラの回転を検出して、
この検出情報に基づいて、ワイヤがタッチローラに当接
しないようにタッチローラの移動速度を制御する。
ーラの回転を検出して、この検出した回転に基づいてタ
ッチローラの移動速度を制御する方法が知られている。
この方法は、タッチローラにワイヤが当接してタッチロ
ーラが回転したとき、タッチローラの回転を検出して、
この検出情報に基づいて、ワイヤがタッチローラに当接
しないようにタッチローラの移動速度を制御する。
【０００９】しかしながら、タッチローラはワイヤが離
れても慣性により回転を続けるので、ワイヤがタッチロ
ーラから離れたときを正確に検出することができない。
これにより、ワイヤがタッチローラから離れたときに、
タッチローラの移動速度をワイヤの移動速度に合わせて
迅速に制御することができないという問題がある。従っ
て、従来のトラバース装置ではワイヤソーのワイヤを高
速かつスムーズに繰り出し又は巻き取ることができない
という問題があり、また、ワイヤの案内不良による断線
が発生するという問題がある。
れても慣性により回転を続けるので、ワイヤがタッチロ
ーラから離れたときを正確に検出することができない。
これにより、ワイヤがタッチローラから離れたときに、
タッチローラの移動速度をワイヤの移動速度に合わせて
迅速に制御することができないという問題がある。従っ
て、従来のトラバース装置ではワイヤソーのワイヤを高
速かつスムーズに繰り出し又は巻き取ることができない
という問題があり、また、ワイヤの案内不良による断線
が発生するという問題がある。
【００１０】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、タッチローラを応答よく制御して、ワイヤソー
のワイヤを高速かつスムーズに繰り出し又は巻き取るこ
とができ、また、ワイヤの案内不良による断線を防止す
ることができるワイヤソーのトラバース装置を提供する
ことを目的とする。
もので、タッチローラを応答よく制御して、ワイヤソー
のワイヤを高速かつスムーズに繰り出し又は巻き取るこ
とができ、また、ワイヤの案内不良による断線を防止す
ることができるワイヤソーのトラバース装置を提供する
ことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーのワイヤを繰り出し又は巻き
取るワイヤリールにガイドレールを平行に配設し、前記
ガイドレールに移動自在にスライダを支持し、前記スラ
イダにワイヤとの接触によって回転させられる一対のタ
ッチローラを支持し、前記スライダを駆動部で前記ガイ
ドレールに沿って移動して、前記一対のタッチローラ間
に配された前記ワイヤの繰出し角度又は巻取り角度が前
記ワイヤリールに対して略直角になるように前記一対の
タッチローラを移動するワイヤソーのトラバース装置に
於いて、前記一対のタッチローラの回転数を検出する回
転検出部と、前記回転検出部で検出された前記タッチロ
ーラの回転数に基づいて回転加速度を求め、該求められ
た回転加速度が正の場合前記タッチローラが前記ワイヤ
から離れるように前記駆動部を制御して前記タッチロー
ラの移動速度を補正し、前記求められた回転加速度が負
の場合前記タッチローラの移動速度の補正を解除するよ
うに前記駆動部を制御する制御部を備えたことを特徴と
している。
成するために、ワイヤソーのワイヤを繰り出し又は巻き
取るワイヤリールにガイドレールを平行に配設し、前記
ガイドレールに移動自在にスライダを支持し、前記スラ
イダにワイヤとの接触によって回転させられる一対のタ
ッチローラを支持し、前記スライダを駆動部で前記ガイ
ドレールに沿って移動して、前記一対のタッチローラ間
に配された前記ワイヤの繰出し角度又は巻取り角度が前
記ワイヤリールに対して略直角になるように前記一対の
タッチローラを移動するワイヤソーのトラバース装置に
於いて、前記一対のタッチローラの回転数を検出する回
転検出部と、前記回転検出部で検出された前記タッチロ
ーラの回転数に基づいて回転加速度を求め、該求められ
た回転加速度が正の場合前記タッチローラが前記ワイヤ
から離れるように前記駆動部を制御して前記タッチロー
ラの移動速度を補正し、前記求められた回転加速度が負
の場合前記タッチローラの移動速度の補正を解除するよ
うに前記駆動部を制御する制御部を備えたことを特徴と
している。
【００１２】
【作用】本発明に係るワイヤソーのトラバース装置によ
れば、回転検出部で一対のタッチローラの回転数を検出
し、検出されたタッチローラの回転数に基づいて制御部
でタッチローラの回転加速度を求める。そして、制御部
は、この求められた回転加速度が正の場合タッチローラ
がワイヤから離れるようにタッチローラの移動速度を補
正し、回転加速度が負の場合タッチローラの移動速度の
補正を解除する。
れば、回転検出部で一対のタッチローラの回転数を検出
し、検出されたタッチローラの回転数に基づいて制御部
でタッチローラの回転加速度を求める。そして、制御部
は、この求められた回転加速度が正の場合タッチローラ
がワイヤから離れるようにタッチローラの移動速度を補
正し、回転加速度が負の場合タッチローラの移動速度の
補正を解除する。
【００１３】これにより、ワイヤがタッチローラに接触
してタッチローラの回転数が増加したときと、ワイヤが
タッチローラから離れてタッチローラの回転数が減速し
たときを迅速に検知することができる。
してタッチローラの回転数が増加したときと、ワイヤが
タッチローラから離れてタッチローラの回転数が減速し
たときを迅速に検知することができる。
【００１４】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤソ
ーのトラバース装置の一実施例について詳説する。図１
には、ワイヤソー１０の全体構成図が示されている。一
方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ１４は、後述
するトラバース装置１６、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付ロー
ラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ列２４
を形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダ
ンサローラ２０、トラバース装置１６を経て他方のワイ
ヤリール２６に巻き取られる。
ーのトラバース装置の一実施例について詳説する。図１
には、ワイヤソー１０の全体構成図が示されている。一
方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ１４は、後述
するトラバース装置１６、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付ロー
ラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ列２４
を形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダ
ンサローラ２０、トラバース装置１６を経て他方のワイ
ヤリール２６に巻き取られる。
【００１５】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
【００１６】前記ワイヤリール１２、２６には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
【００１７】前記ワイヤ列２４には、加工液貯留タンク
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
【００１８】以下、前述したトラバース装置１６につい
て説明する。トラバース装置１６は、一方のワイヤリー
ル１２及び他方のワイヤリール２６の近傍にそれぞれ設
けられているが、これらのトラバース装置１６は同様に
構成されているので、ワイヤリール２６の近傍に設けら
れたトラバース装置１６について説明して、ワイヤリー
ル１２の近傍に設けられたトラバース装置１６について
は説明を省略する。
て説明する。トラバース装置１６は、一方のワイヤリー
ル１２及び他方のワイヤリール２６の近傍にそれぞれ設
けられているが、これらのトラバース装置１６は同様に
構成されているので、ワイヤリール２６の近傍に設けら
れたトラバース装置１６について説明して、ワイヤリー
ル１２の近傍に設けられたトラバース装置１６について
は説明を省略する。
【００１９】図１に示すように、トラバース装置１６の
リニアモータ６１はリニアモータスケール６０を有し、
リニアモータスケール６０はワイヤリール２６の左側に
平行に配設されている。リニアモータスケール６０のガ
イドレール６０Ａ、６０Ａにはスライダ６２が矢印Ｙ1
−Ｙ2 方向に移動自在に支持されている。従って、スラ
イダ６２に駆動パルスが伝達されるとスライダ６２がリ
ニアモータスケール６０に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に
移動する。
リニアモータ６１はリニアモータスケール６０を有し、
リニアモータスケール６０はワイヤリール２６の左側に
平行に配設されている。リニアモータスケール６０のガ
イドレール６０Ａ、６０Ａにはスライダ６２が矢印Ｙ1
−Ｙ2 方向に移動自在に支持されている。従って、スラ
イダ６２に駆動パルスが伝達されるとスライダ６２がリ
ニアモータスケール６０に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に
移動する。
【００２０】スライダ６２には上部タッチローラ６６と
下部タッチローラ６８が回動自在に支持され、上部タッ
チローラ６６と下部タッチローラ６８との間には、ワイ
ヤリール２６から繰り出されたワイヤ１４やワイヤリー
ル２６に巻き取られるワイヤ１４が配される。そして、
上部タッチローラ６６と下部タッチローラ６８との間を
経たワイヤ１４はガイドローラ７０を介して、図１上で
説明した固定ガイドローラ１８に案内される。
下部タッチローラ６８が回動自在に支持され、上部タッ
チローラ６６と下部タッチローラ６８との間には、ワイ
ヤリール２６から繰り出されたワイヤ１４やワイヤリー
ル２６に巻き取られるワイヤ１４が配される。そして、
上部タッチローラ６６と下部タッチローラ６８との間を
経たワイヤ１４はガイドローラ７０を介して、図１上で
説明した固定ガイドローラ１８に案内される。
【００２１】上部タッチローラ６６の上端部及び下部タ
ッチローラ６８の上端部にはそれぞれ円板状の回転板７
１及び７２（図３参照）が同軸上に固定されている。円
板状の回転板７１及び７２にはそれぞれの周縁に沿って
複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ…が一定
のピッチで形成されている。孔７１Ａ及び７２Ａの上方
にはそれぞれ近接スイッチ７４、７６が配され、近接ス
イッチ７４、７６はスライダ６２に支持されている（図
２に近接スイッチ７６が支持された状態のみ図示）。
ッチローラ６８の上端部にはそれぞれ円板状の回転板７
１及び７２（図３参照）が同軸上に固定されている。円
板状の回転板７１及び７２にはそれぞれの周縁に沿って
複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ…が一定
のピッチで形成されている。孔７１Ａ及び７２Ａの上方
にはそれぞれ近接スイッチ７４、７６が配され、近接ス
イッチ７４、７６はスライダ６２に支持されている（図
２に近接スイッチ７６が支持された状態のみ図示）。
【００２２】従って、上部タッチローラ６６と共に回転
板７１が回転すると、孔７１Ａ、７１Ａ…が順次近接ス
イッチ７４の真下を通過する。この場合、孔７１Ａが近
接スイッチ７４の真下に位置すると近接スイッチ７４が
ＯＦＦになり、孔７１Ａが近接スイッチ７４の真下の位
置からずれると、近接スイッチ７４がＯＮになる。これ
により、近接スイッチ７４からパルス信号が出力され
る。
板７１が回転すると、孔７１Ａ、７１Ａ…が順次近接ス
イッチ７４の真下を通過する。この場合、孔７１Ａが近
接スイッチ７４の真下に位置すると近接スイッチ７４が
ＯＦＦになり、孔７１Ａが近接スイッチ７４の真下の位
置からずれると、近接スイッチ７４がＯＮになる。これ
により、近接スイッチ７４からパルス信号が出力され
る。
【００２３】また、下部タッチローラ６８と共に回転板
７２が回転すると、孔７２Ａ、７２Ａ…が順次近接スイ
ッチ７６の真下を通過する。この場合、孔７２Ａが近接
スイッチ７６の真下に位置すると近接スイッチ７６がＯ
ＦＦになり、孔７２Ａが近接スイッチ７６の真下の位置
からずれると、近接スイッチ７６がＯＮになる。これに
より、近接スイッチ７６からパルス信号が出力される。
７２が回転すると、孔７２Ａ、７２Ａ…が順次近接スイ
ッチ７６の真下を通過する。この場合、孔７２Ａが近接
スイッチ７６の真下に位置すると近接スイッチ７６がＯ
ＦＦになり、孔７２Ａが近接スイッチ７６の真下の位置
からずれると、近接スイッチ７６がＯＮになる。これに
より、近接スイッチ７６からパルス信号が出力される。
【００２４】図３に示す制御部８０は、近接スイッチ７
４及び近接スイッチ７６から出力されたパルス信号に基
づいて、上部タッチローラ６６や下部タッチローラ６８
の回転速度を求め、さらに、求めた回転速度から上部タ
ッチローラ６６及び下部タッチローラ６８の回転加速度
αを求める。ここで、上部タッチローラ６６又は下部タ
ッチローラ６８にワイヤ１４が接触すると、上部タッチ
ローラ６６又は下部タッチローラ６８の回転速度が増加
するので回転加速度αは正になり（図４参照）、上部タ
ッチローラ６６又は下部タッチローラ６８からワイヤ１
４が離れると、上部タッチローラ６６又は下部タッチロ
ーラ６８の回転速度が減速するので回転加速度αは負に
なる（図４参照）。
４及び近接スイッチ７６から出力されたパルス信号に基
づいて、上部タッチローラ６６や下部タッチローラ６８
の回転速度を求め、さらに、求めた回転速度から上部タ
ッチローラ６６及び下部タッチローラ６８の回転加速度
αを求める。ここで、上部タッチローラ６６又は下部タ
ッチローラ６８にワイヤ１４が接触すると、上部タッチ
ローラ６６又は下部タッチローラ６８の回転速度が増加
するので回転加速度αは正になり（図４参照）、上部タ
ッチローラ６６又は下部タッチローラ６８からワイヤ１
４が離れると、上部タッチローラ６６又は下部タッチロ
ーラ６８の回転速度が減速するので回転加速度αは負に
なる（図４参照）。
【００２５】従って、上部タッチローラ６６及び下部タ
ッチローラ６８の回転加速度αの正負を判別することに
より、上部タッチローラ６６又は下部タッチローラ６８
にワイヤ１４が接触したときや、上部タッチローラ６６
又は下部タッチローラ６８からワイヤ１４が離れたとき
を正確に検出することができる。そして、制御部８０
は、上部タッチローラ６６及び下部タッチローラ６８の
回転加速度αの正負を判断し、回転加速度αが正の場
合、スライダ６２の低速Ｖ0に回転加速度αに応じた補
正速度Ｖ1 ＝ｆ（α）を加えて、ワイヤ１４が上部タッ
チローラ６６又は下部タッチローラ６８から離れるよう
に、スライダ６２の移動速度ＶをＶ＝Ｖ0 ＋Ｖ1 と補正
する。
ッチローラ６８の回転加速度αの正負を判別することに
より、上部タッチローラ６６又は下部タッチローラ６８
にワイヤ１４が接触したときや、上部タッチローラ６６
又は下部タッチローラ６８からワイヤ１４が離れたとき
を正確に検出することができる。そして、制御部８０
は、上部タッチローラ６６及び下部タッチローラ６８の
回転加速度αの正負を判断し、回転加速度αが正の場
合、スライダ６２の低速Ｖ0に回転加速度αに応じた補
正速度Ｖ1 ＝ｆ（α）を加えて、ワイヤ１４が上部タッ
チローラ６６又は下部タッチローラ６８から離れるよう
に、スライダ６２の移動速度ＶをＶ＝Ｖ0 ＋Ｖ1 と補正
する。
【００２６】一方、上部タッチローラ６６又は下部タッ
チローラ６８の回転加速度αが負の場合、スライダ６２
の移動速度の補正を解除し、スライダ６２を定速Ｖ0 で
移動する。このように、回転加速度αの正負を判断する
ことにより、ワイヤ１４が上部タッチローラ６６又は下
部タッチローラ６８に接触して上部タッチローラ６６又
は下部タッチローラ６８の回転数が増加したときと、ワ
イヤ１４が上部タッチローラ６６又は下部タッチローラ
６８から離れて上部タッチローラ６６又は下部タッチロ
ーラ６８の回転数が減速したときを迅速に検知すること
ができる。従って、上部タッチローラ６６又は下部タッ
チローラ６８の移動速度をワイヤ１４の移動速度に合わ
せて迅速に応答させることができる。
チローラ６８の回転加速度αが負の場合、スライダ６２
の移動速度の補正を解除し、スライダ６２を定速Ｖ0 で
移動する。このように、回転加速度αの正負を判断する
ことにより、ワイヤ１４が上部タッチローラ６６又は下
部タッチローラ６８に接触して上部タッチローラ６６又
は下部タッチローラ６８の回転数が増加したときと、ワ
イヤ１４が上部タッチローラ６６又は下部タッチローラ
６８から離れて上部タッチローラ６６又は下部タッチロ
ーラ６８の回転数が減速したときを迅速に検知すること
ができる。従って、上部タッチローラ６６又は下部タッ
チローラ６８の移動速度をワイヤ１４の移動速度に合わ
せて迅速に応答させることができる。
【００２７】前記の如く構成された前記実施例のワイヤ
ソーのトラバース装置の作用を図５に示すフローチャー
トに基づいて説明する。１例として、ワイヤリール２６
から繰り出されるワイヤ１４に追従してスライダ６２が
図３上で下方向（Ｙ2 方向）に移動する場合について説
明する。先ず、ワイヤリール２６にワイヤ１４を巻き取
ったときのスライダ６２の案内速度Ｖ0 と同一の移動速
度でスライダ６２をＹ2 方向に移動する（ステップ９
０）。この場合、ワイヤ１４を巻取り時の偏差等により
ワイヤ１４の移動速度Ｖが必ずしも案内速度Ｖ0 と一致
するとは限らず遅れたり、進みすぎたりする。ここで、
仮に案内速度Ｖ0 に遅れが生じた場合、下部タッチロー
ラ６８にワイヤ１４が接触して下部タッチローラ６８が
回転する（ステップ９２）。
ソーのトラバース装置の作用を図５に示すフローチャー
トに基づいて説明する。１例として、ワイヤリール２６
から繰り出されるワイヤ１４に追従してスライダ６２が
図３上で下方向（Ｙ2 方向）に移動する場合について説
明する。先ず、ワイヤリール２６にワイヤ１４を巻き取
ったときのスライダ６２の案内速度Ｖ0 と同一の移動速
度でスライダ６２をＹ2 方向に移動する（ステップ９
０）。この場合、ワイヤ１４を巻取り時の偏差等により
ワイヤ１４の移動速度Ｖが必ずしも案内速度Ｖ0 と一致
するとは限らず遅れたり、進みすぎたりする。ここで、
仮に案内速度Ｖ0 に遅れが生じた場合、下部タッチロー
ラ６８にワイヤ１４が接触して下部タッチローラ６８が
回転する（ステップ９２）。
【００２８】この場合、下部タッチローラ６８と一体に
回転板７２が回転し、近接スイッチ７６の下方を通過し
た孔７１Ａ、７１Ａ…に対応するパルス信号を制御部８
０に入力する。制御部８０は、近接スイッチ７６から出
力されたパルス信号に基づいて、下部タッチローラ６８
の回転速度を求め、さらに、求めた回転速度から下部タ
ッチローラ６８の回転加速度αを求める（ステップ９
４）。そして、制御部８０は、下部タッチローラ６８の
回転加速度αの正負を判断し、回転加速度αが正の場合
（ステップ９６）、スライダ６２の案内速度Ｖ0 に回転
加速度αに応じた補正速度Ｖ1 ＝ｆ（α）を加えて、ス
ライダ６２の移動速度Ｖ＝Ｖ0 ＋Ｖ1 と補正する（ステ
ップ９８）。これにより、下部タッチローラ６８とワイ
ヤ１４との接触が解消されて、下部タッチローラ６８の
回転速度が遅くなる。従って、制御部８０で求めた下部
タッチローラ６８の回転加速度αが負になり、スライダ
６２の速度の補正を停止して、スライダ６２を案内速度
Ｖ0 で移動する。
回転板７２が回転し、近接スイッチ７６の下方を通過し
た孔７１Ａ、７１Ａ…に対応するパルス信号を制御部８
０に入力する。制御部８０は、近接スイッチ７６から出
力されたパルス信号に基づいて、下部タッチローラ６８
の回転速度を求め、さらに、求めた回転速度から下部タ
ッチローラ６８の回転加速度αを求める（ステップ９
４）。そして、制御部８０は、下部タッチローラ６８の
回転加速度αの正負を判断し、回転加速度αが正の場合
（ステップ９６）、スライダ６２の案内速度Ｖ0 に回転
加速度αに応じた補正速度Ｖ1 ＝ｆ（α）を加えて、ス
ライダ６２の移動速度Ｖ＝Ｖ0 ＋Ｖ1 と補正する（ステ
ップ９８）。これにより、下部タッチローラ６８とワイ
ヤ１４との接触が解消されて、下部タッチローラ６８の
回転速度が遅くなる。従って、制御部８０で求めた下部
タッチローラ６８の回転加速度αが負になり、スライダ
６２の速度の補正を停止して、スライダ６２を案内速度
Ｖ0 で移動する。
【００２９】前記実施例ではワイヤリール２６から繰り
出されるワイヤ１４に追従してスライダ６２を図３上で
下方向（Ｙ2 方向）に移動する際にスライダ６２が遅れ
て移動した場合について説明したが、スライダ６２が進
みすぎた場合も同様に制御することができる。この場
合、ワイヤ１４が上部タッチローラ６６に接触して上部
タッチローラ６６が回転する。
出されるワイヤ１４に追従してスライダ６２を図３上で
下方向（Ｙ2 方向）に移動する際にスライダ６２が遅れ
て移動した場合について説明したが、スライダ６２が進
みすぎた場合も同様に制御することができる。この場
合、ワイヤ１４が上部タッチローラ６６に接触して上部
タッチローラ６６が回転する。
【００３０】また、前記実施例ではスライダ６２を図３
上で下方向（Ｙ2 方向）に移動する場合について説明し
たが、これに限らず、スライダ６２を図３上で上方向
（Ｙ1方向）に移動する場合も前記実施例の効果を得る
ことができ、また、ワイヤリール２６にワイヤ１４を巻
き取る場合も前記実施例と同様に処理することができ
る。
上で下方向（Ｙ2 方向）に移動する場合について説明し
たが、これに限らず、スライダ６２を図３上で上方向
（Ｙ1方向）に移動する場合も前記実施例の効果を得る
ことができ、また、ワイヤリール２６にワイヤ１４を巻
き取る場合も前記実施例と同様に処理することができ
る。
【００３１】前記実施例では回転板７１及び７２にそれ
ぞれ複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ…を
形成し、複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ
…を近接スイッチ７４及び近接スイッチ７６で検出し
て、回転板７１及び７２の回転数を検出する場合につい
て説明したが、これに限らず、エンコーダ等のその他の
検出手段で回転数を検出してもよい。
ぞれ複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ…を
形成し、複数の孔７１Ａ、７１Ａ…及び７２Ａ、７２Ａ
…を近接スイッチ７４及び近接スイッチ７６で検出し
て、回転板７１及び７２の回転数を検出する場合につい
て説明したが、これに限らず、エンコーダ等のその他の
検出手段で回転数を検出してもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーのトラバース装置によれば、回転検出部で一対のタ
ッチローラの回転数を検出し、検出されたタッチローラ
の回転数に基づいて制御部でタッチローラの回転加速度
を求める。そして、制御部は、この求められた回転加速
度が正の場合タッチローラがワイヤから離れるようにタ
ッチローラの移動速度を補正し、回転加速度が負の場合
タッチローラの移動速度の補正を解除する。
ソーのトラバース装置によれば、回転検出部で一対のタ
ッチローラの回転数を検出し、検出されたタッチローラ
の回転数に基づいて制御部でタッチローラの回転加速度
を求める。そして、制御部は、この求められた回転加速
度が正の場合タッチローラがワイヤから離れるようにタ
ッチローラの移動速度を補正し、回転加速度が負の場合
タッチローラの移動速度の補正を解除する。
【００３３】これにより、ワイヤがタッチローラに接触
してタッチローラの回転数が増加したときと、ワイヤが
タッチローラから離れてタッチローラの回転数が減速し
たときを迅速に検知することができるので、タッチロー
ラの移動速度をワイヤの移動速度に合わせて迅速に応答
させることができる。従って、ワイヤソーのワイヤを高
速かつスムーズに繰り出し又は巻き取ることができ、ま
た、ワイヤの案内不良による断線を防止することができ
る。
してタッチローラの回転数が増加したときと、ワイヤが
タッチローラから離れてタッチローラの回転数が減速し
たときを迅速に検知することができるので、タッチロー
ラの移動速度をワイヤの移動速度に合わせて迅速に応答
させることができる。従って、ワイヤソーのワイヤを高
速かつスムーズに繰り出し又は巻き取ることができ、ま
た、ワイヤの案内不良による断線を防止することができ
る。
【図１】本発明に係るワイヤソーの全体を示した全体図
【図２】本発明に係るワイヤソーのトラバース装置の要
部を拡大して示した側面図
部を拡大して示した側面図
【図３】本発明に係るワイヤソーのトラバース装置の要
部を拡大して示した平面図
部を拡大して示した平面図
【図４】本発明に係るワイヤソーのトラバース装置のタ
ッチローラの回転速度と回転加速度との関係を示したグ
ラフ
ッチローラの回転速度と回転加速度との関係を示したグ
ラフ
【図５】本発明に係るワイヤソーの作動を説明したフロ
ーチャート
ーチャート
【図６】従来のワイヤソーのトラバース装置の要部を拡
大して示した平面図
大して示した平面図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…トラバース装置 ６０Ａ…ガイドレール ６１…リニアモータ（駆動部） ６２…スライダ ６６…上部タッチローラ ６８…下部タッチローラ ７１、７２…回転板 ７４、７６…近接スイッチ（回転検出部） ８０…制御部
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤソーのワイヤを繰り出し又は巻き
取るワイヤリールにガイドレールを平行に配設し、前記
ガイドレールに移動自在にスライダを支持し、前記スラ
イダにワイヤとの接触によって回転させられる一対のタ
ッチローラを支持し、前記スライダを駆動部で前記ガイ
ドレールに沿って移動して、前記一対のタッチローラ間
に配された前記ワイヤの繰出し角度又は巻取り角度が前
記ワイヤリールに対して略直角になるように前記一対の
タッチローラを移動するワイヤソーのトラバース装置に
於いて、 前記一対のタッチローラの回転数を検出する回転検出部
と、 前記回転検出部で検出された前記タッチローラの回転数
に基づいて回転加速度を求め、該求められた回転加速度
が正の場合前記タッチローラが前記ワイヤから離れるよ
うに前記駆動部を制御して前記タッチローラの移動速度
を補正し、前記求められた回転加速度が負の場合前記タ
ッチローラの移動速度の補正を解除するように前記駆動
部を制御する制御部を備えたことを特徴とするワイヤソ
ーのトラバース装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15024995A JPH091454A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | ワイヤソーのトラバース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15024995A JPH091454A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | ワイヤソーのトラバース装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091454A true JPH091454A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15492824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15024995A Pending JPH091454A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | ワイヤソーのトラバース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH091454A (ja) |
-
1995
- 1995-06-16 JP JP15024995A patent/JPH091454A/ja active Pending
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