JPH09148204A - Etching equipment - Google Patents
Etching equipmentInfo
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- JPH09148204A JPH09148204A JP7325076A JP32507695A JPH09148204A JP H09148204 A JPH09148204 A JP H09148204A JP 7325076 A JP7325076 A JP 7325076A JP 32507695 A JP32507695 A JP 32507695A JP H09148204 A JPH09148204 A JP H09148204A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 全幅にわたってほぼ均一な静電容量値を示す
アルミニウムエッチング箔を得る。
【解決手段】 電解液が満たされた電解槽内に、所定の
交流電源に接続された一対のカーボン電極２ａ，２ｂを
所定の間隔をもって対向的に配置するとともに、それら
カーボン電極２ａ，２ｂの端部間に電流漏れ防止用の電
気絶縁材からなるサイドプロテクタ５を設けてなり、カ
ーボン電極２ａ，２ｂ間にアルミニウム箔１を挿通させ
ながらエッチングするエッチング装置において、サイド
プロテクタ５にカーボン電極２ａ，２ｂからの電流をア
ルミニウム箔１の端部側に導くガイドの導電体７，７を
設ける。
(57) Abstract: To obtain an aluminum etching foil showing a substantially uniform capacitance value over the entire width. SOLUTION: A pair of carbon electrodes 2a, 2b connected to a predetermined AC power source are arranged facing each other at a predetermined interval in an electrolytic cell filled with an electrolytic solution, and the ends of the carbon electrodes 2a, 2b are arranged. A side protector 5 made of an electric insulating material for preventing current leakage is provided between the parts, and in the etching device for etching while inserting the aluminum foil 1 between the carbon electrodes 2a, 2b, the side protector 5 has the carbon electrodes 2a, 2b. The conductors 7, 7 of the guide for guiding the current from the side to the end side of the aluminum foil 1 are provided.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はエッチング装置に関
し、さらに詳しく言えば、電解コンデンサ用アルミニウ
ム箔を連続的にエッチングするためのエッチング装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an etching apparatus, and more particularly to an etching apparatus for continuously etching an aluminum foil for electrolytic capacitors.
【０００２】[0002]
【従来の技術】通常、電解コンデンサに用いられるアル
ミニウム箔は、その静電容量を増大させるためにエッチ
ングが施される。図３にはそのエッチング装置の一例が
概略的に示されている。2. Description of the Related Art Usually, an aluminum foil used for an electrolytic capacitor is etched to increase its capacitance. FIG. 3 schematically shows an example of the etching apparatus.
【０００３】これによると、同エッチング装置はエッチ
ングしようとするアルミニウム箔１とほぼ同幅であっ
て、かつ、所定の間隔をもって対向的に配置される一対
のカーボン電極２ａ，２ｂを備えている。このカーボン
電極２ａ，２ｂは交流電源３に接続され、図示されてい
ないが適当な電解液が満たされている電解槽内に配置さ
れる。According to this, the etching apparatus is provided with a pair of carbon electrodes 2a and 2b which have substantially the same width as the aluminum foil 1 to be etched and are opposed to each other with a predetermined interval. The carbon electrodes 2a and 2b are connected to an AC power source 3 and are arranged in an electrolytic cell (not shown) filled with a suitable electrolytic solution.
【０００４】ところで、このカーボン電極２ａ，２ｂを
いわゆる剥きだしのまま電解液中に配置すると、電解液
を伝わってその四方八方にわたって電流漏洩が発生する
ことになるため、アルミニウム箔に対するエッチング効
率が低下する。By the way, if the carbon electrodes 2a and 2b are placed in the electrolytic solution in the so-called bare state, the electrolytic solution is transmitted and current leakage occurs in all directions, so that the etching efficiency for the aluminum foil is lowered. To do.
【０００５】そこで、無駄な電流漏洩を防止するため、
カーボン電極２ａ，２ｂの背面に電気絶縁材料よりなる
背面プロテクタ４ａ，４ｂを設けて、その背面からの電
流漏洩を防止するとともに、両カーボン電極２ａ，２ｂ
の端部間にも、電流漏洩防止用の電気絶縁材料よりなる
サイドプロテクタ５を設けてエッチング電流の漏洩を防
止するようにしている。なお、図３において参照符号６
はカーボン電極２ａ，２ｂとサイドプロテクタ５との間
に設けられる電気絶縁材料からなるスペーサである。Therefore, in order to prevent useless current leakage,
Backside protectors 4a and 4b made of an electrically insulating material are provided on the backsides of the carbon electrodes 2a and 2b to prevent current leakage from the backsides, and to protect both the carbon electrodes 2a and 2b.
A side protector 5 made of an electrically insulating material for preventing current leakage is also provided between the ends of the above to prevent leakage of etching current. Incidentally, reference numeral 6 in FIG.
Is a spacer made of an electrically insulating material provided between the carbon electrodes 2a and 2b and the side protector 5.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これに
よってもなおサイドプロテクタ５とアルミニウム箔１と
の隙間からエッチング電流の漏れが生じ、例えばアルミ
ニウム箔１の幅が５００ｍｍであるとすると、その両端
の１０ｍｍ程度の幅の部分における静電容量が中央部に
比べて低下してしまう。これは、アルミニウム箔１の電
気的抵抗に比べて電解液の電気的抵抗が小さいことに起
因している。However, this still causes the leakage of the etching current from the gap between the side protector 5 and the aluminum foil 1, and if the width of the aluminum foil 1 is 500 mm, for example, 10 mm at both ends thereof is generated. The capacitance in a portion with a certain width is lower than that in the central portion. This is because the electric resistance of the electrolytic solution is smaller than the electric resistance of the aluminum foil 1.
【０００７】本発明は、このような従来の問題を解決す
るためになされたもので、その目的は、電解コンデンサ
に用いられるアルミニウム箔をその全幅にわたって均一
なエッチングを施せるようにしたアルミニウム箔のエッ
チング装置を提供することにある。The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to etch an aluminum foil used for an electrolytic capacitor so that the aluminum foil can be uniformly etched over its entire width. To provide a device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、電解液が満たされた電解槽内
に、所定の交流電源に接続された一対のカーボン電極を
所定の間隔をもって対向的に配置するとともに、それら
カーボン電極の端部間に電流漏れ防止用の電気絶縁材か
らなるサイドプロテクタを設けてなり、上記カーボン電
極間にアルミニウム箔を挿通させながら同アルミニウム
箔をエッチングするエッチング装置において、上記サイ
ドプロテクタに上記カーボン電極からの電流を上記アル
ミニウム箔の端部側に導くガイドの導電体を設けたこと
を特徴としている。In order to achieve the above object, the invention of claim 1 provides a pair of carbon electrodes connected to a predetermined AC power source at predetermined intervals in an electrolytic cell filled with an electrolytic solution. And the side protectors made of an electric insulating material for preventing current leakage are provided between the end portions of the carbon electrodes, and the aluminum foil is etched while inserting the aluminum foil between the carbon electrodes. The etching apparatus is characterized in that the side protector is provided with a conductor of a guide for guiding the current from the carbon electrode to the end portion side of the aluminum foil.
【０００９】これによれば、カーボン電極からの電流が
ガイドの導電体を通ってアルミニウム箔の端部に流れや
すくなる。したがって、その箔端部からの電流漏れ分
が、ガイド電極を通して導かれる電流にて補われること
になるため、箔端部も箔中央部と同等にエッチングされ
る。According to this, the current from the carbon electrode easily flows through the conductor of the guide to the end of the aluminum foil. Therefore, the current leakage from the foil edge is compensated by the current guided through the guide electrode, and the foil edge is also etched in the same manner as the foil central portion.
【００１０】この場合、請求項２では上記ガイドの導電
体は上記カーボン電極に対して直接的に導通されていな
いことを特徴としている。また、請求項３においては、
上記ガイドの導電体は上記電解液よりも小さい電気抵抗
値を示す導電材料よりなることを特徴とし、好ましくは
請求項４に記載されているようにカーボン電極と同様の
カーボン材にて形成されているとよい。In this case, the conductor of the guide is not directly conducted to the carbon electrode. Further, in claim 3,
The conductor of the guide is made of a conductive material having an electric resistance value smaller than that of the electrolytic solution, and preferably made of the same carbon material as the carbon electrode as described in claim 4. I hope you are there.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の技術的思想をより
よく理解するうえで、図１を参照しながらその実施の形
態について説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In order to better understand the technical idea of the present invention, an embodiment thereof will be described below with reference to FIG.
【００１２】これによると、このエッチング装置におい
ても、先に説明した図３のエッチング装置と同様に、一
対のカーボン電極２ａ，２ｂを備え、その背面には電気
絶縁材料よりなる背面プロテクタ４ａ，４ｂがそれぞれ
取り付けられているとともに、それらの両側面間には電
気絶縁材料よりなるサイドプロテクタ５が設けられてい
る。６は同様に電気絶縁材料からなるスペーサである。According to this, also in this etching apparatus, as in the above-described etching apparatus of FIG. 3, a pair of carbon electrodes 2a and 2b are provided, and rear surfaces of the back protectors 4a and 4b made of an electrically insulating material are provided. Are attached respectively, and a side protector 5 made of an electrically insulating material is provided between both side surfaces thereof. Similarly, 6 is a spacer made of an electrically insulating material.
【００１３】本発明において、サイドプロテクタ５のカ
ーボン電極２ａ，２ｂ側にはカーボン電極２ａ，２ｂか
らの電流をアルミニウム箔１の箔端部に導くためのガイ
ドの導電体７，７がカーボン電極２ａ側とカーボン電極
２ｂ側とにそれぞれ設けられている。この場合、ガイド
の導電体７，７はカーボン電極２ａ，２ｂと同一の材料
で構成した。In the present invention, on the carbon electrodes 2a, 2b side of the side protector 5, conductors 7, 7 of guides for guiding the current from the carbon electrodes 2a, 2b to the foil end portion of the aluminum foil 1 are provided on the carbon electrodes 2a. Side and the carbon electrode 2b side, respectively. In this case, the conductors 7, 7 of the guide are made of the same material as the carbon electrodes 2a, 2b.
【００１４】このガイドの導電体７，７は、電解液より
も小さな電気抵抗を示す導電性材料からなり、この実施
例ではカーボンより形成されている。また、このガイド
の導電体７，７は、カーボン電極２ａ，２ｂと直接導通
しないように配置される。ちなみに、このガイドの導電
体７，７とカーボン電極２ａ，２ｂとを直接的に導通さ
せると、箔端部に電流が集中し過ぎて、かえって箔幅方
向において静電容量がばらついてしまうとともに、全体
的にも静電容量が低下してしまうので好ましくない。The conductors 7, 7 of this guide are made of a conductive material having an electric resistance smaller than that of the electrolytic solution, and are made of carbon in this embodiment. Further, the conductors 7, 7 of this guide are arranged so as not to be in direct conduction with the carbon electrodes 2a, 2b. By the way, if the conductors 7 and 7 of this guide and the carbon electrodes 2a and 2b are directly conducted, current concentrates too much on the edge of the foil, and rather the capacitance varies in the foil width direction. It is not preferable because the electrostatic capacity is reduced as a whole.
【００１５】この構成によれば、カーボン電極２ａ，２
ｂからの電流がガイドの導電体７，７を通って箔端部に
流れやすくなるため、その箔端部からの電流漏れ分が、
ガイドの導電体７，７にて導かれる電流にて補われ、箔
端部も箔中央部と同等にエッチングされることになる。According to this structure, the carbon electrodes 2a, 2
Since the current from b easily flows through the conductors 7, 7 of the guide to the foil end, the amount of current leakage from the foil end is
It is compensated by the current guided by the conductors 7, 7 of the guide, and the foil edge portion is also etched in the same manner as the foil central portion.
【００１６】[0016]
【実施例】次に、図１に示す構成の本発明によるエッチ
ング装置と、図３に示す構成の従来装置とにより、幅５
００ｍｍ、厚さ９０μｍのアルミニウム箔をエッチング
処理し、その静電容量を測定したので、それについて説
明する。EXAMPLE Next, a width of 5 was obtained by using the etching apparatus according to the present invention having the structure shown in FIG.
An aluminum foil having a thickness of 00 mm and a thickness of 90 μm was subjected to etching treatment and the capacitance thereof was measured, which will be described.
【００１７】両者ともに電解液として、ＨＣｌ１．３ｍ
ｏｌ、ＡｌＣｌ３０．５ｍｏｌ、Ｈ３ＰＯ４０．５ｍｏ
ｌ、ＨＮＯ３０．５ｍｏｌからなる組成の水溶液を用
い、その液温４０℃として、電流密度３５０ｍＡ／平方
ｃｍ、周波数１７Ｈｚ、電気量１２０クーロンなる条件
で電流を印加してエッチングした。As both electrolytes, HCl 1.3 m
ol, AlCl 3 0.5 mol, H 3 PO 4 0.5 mo
1, an aqueous solution having a composition of 0.5 mol of HNO 3 was used, etching was performed at a liquid temperature of 40 ° C., a current density of 350 mA / square cm, a frequency of 17 Hz, and an electric quantity of 120 coulomb.
【００１８】しかる後、エッチングしたアルミニウム箔
をアジピン酸系水溶液中にて２０Ｖの直流電圧を印加し
て化成し、静電容量を測定した。図２は横軸に箔幅をと
り、縦軸を静電容量値としたグラフ中に、各幅点ごとに
その静電容量値をプロットしたもので、実線が本発明に
よりエッチングされたアルミニウム箔のものであり、鎖
線は従来装置によりエッチングされたアルミニウム箔に
ついてのものである。Thereafter, the etched aluminum foil was subjected to chemical conversion by applying a DC voltage of 20 V in an adipic acid-based aqueous solution, and the capacitance was measured. FIG. 2 is a graph in which the horizontal axis indicates the foil width and the vertical axis indicates the capacitance value, and the capacitance value is plotted for each width point, and the solid line indicates the aluminum foil etched by the present invention. And the dashed line is for an aluminum foil etched by conventional equipment.
【００１９】このグラフから、本発明によれば、ほぼ全
幅にわたって均一な静電容量値を示すアルミニウムエッ
チング箔が得られることが分かった。また、このグラフ
に基づいて、静電容量の幅方向のバラツキ度を数値化し
たところ、本発明ではそのバラツキ度が３％であるのに
対し、従来装置の場合は２２％であった。From this graph, it was found that according to the present invention, an aluminum etching foil showing a uniform capacitance value over almost the entire width can be obtained. Further, when the variation degree of the capacitance in the width direction was quantified based on this graph, the variation degree was 3% in the present invention, whereas it was 22% in the conventional device.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電解液が満たされた電解槽内に、所定の交流電源に接続
された一対のカーボン電極を所定の間隔をもって対向的
に配置するとともに、それらカーボン電極の端部間に電
流漏れ防止用の電気絶縁材からなるサイドプロテクタを
設けてなり、上記カーボン電極間にアルミニウム箔を挿
通させながら同アルミニウム箔をエッチングするエッチ
ング装置において、上記サイドプロテクタに上記カーボ
ン電極からの電流を上記アルミニウム箔の端部側に導く
ガイドの導電体を設けたことにより、ほぼ全幅にわたっ
て均一な静電容量値を示すアルミニウムエッチング箔が
得られる。As described above, according to the present invention,
A pair of carbon electrodes connected to a predetermined AC power source are placed opposite each other at a predetermined interval in an electrolytic cell filled with an electrolytic solution, and electrical insulation is provided between the ends of the carbon electrodes to prevent current leakage. A side protector made of a material is provided, and in the etching device for etching the aluminum foil while inserting the aluminum foil between the carbon electrodes, a current from the carbon electrode is applied to the side protector at the end side of the aluminum foil. By providing the conductor of the guide, an aluminum etching foil having a uniform capacitance value over almost the entire width can be obtained.
【図１】本発明によるエッチング装置の要部を示した断
面図。FIG. 1 is a sectional view showing a main part of an etching apparatus according to the present invention.
【図２】本発明によるエッチング装置と従来のエッチン
グ装置とによりそれぞれエッチングされたアルミニウム
エッチング箔の幅方向に沿った静電容量値をプロットし
たグラフ。FIG. 2 is a graph plotting capacitance values along the width direction of an aluminum etching foil etched by an etching apparatus according to the present invention and a conventional etching apparatus.
【図３】従来のエッチング装置の一部分を示した断面
図。FIG. 3 is a sectional view showing a part of a conventional etching apparatus.
１ アルミニウム箔 ２ａ，２ｂ カーボン電極 ３ 交流電源 ４ａ，４ｂ 背面プロテクタ ５ サイドプロテクタ ７ ガイドの導電体 1 Aluminum foil 2a, 2b Carbon electrode 3 AC power supply 4a, 4b Back protector 5 Side protector 7 Guide conductor
Claims (4)
交流電源に接続された一対のカーボン電極を所定の間隔
をもって対向的に配置するとともに、それらカーボン電
極の端部間に電流漏れ防止用の電気絶縁材からなるサイ
ドプロテクタを設けてなり、上記カーボン電極間にアル
ミニウム箔を挿通させながら同アルミニウム箔をエッチ
ングするエッチング装置において、上記サイドプロテク
タに上記カーボン電極からの電流を上記アルミニウム箔
の端部側に導くガイドの導電体を設けたことを特徴とす
るエッチング装置。1. A pair of carbon electrodes connected to a predetermined AC power source are arranged opposite to each other at a predetermined interval in an electrolytic cell filled with an electrolytic solution, and a current leaks between the ends of the carbon electrodes. A side protector made of an electrically insulating material for prevention is provided, and in the etching device for etching the aluminum foil while inserting the aluminum foil between the carbon electrodes, a current from the carbon electrode is applied to the side protector. An etching apparatus characterized in that a conductor of a guide for guiding to the end side of the is provided.
に対して直接的に導通されていないことを特徴とする請
求項１に記載のエッチング装置。2. The etching apparatus according to claim 1, wherein the conductor of the guide is not directly connected to the carbon electrode.
小さい電気抵抗値を示す導電材料よりなることを特徴と
する請求項１または２に記載のエッチング装置。3. The etching apparatus according to claim 1, wherein the conductor of the guide is made of a conductive material having an electric resistance value smaller than that of the electrolytic solution.
様のカーボン材にて形成されていることを特徴とする請
求項３に記載のエッチング装置。4. The etching apparatus according to claim 3, wherein the guide electrode is made of the same carbon material as the carbon electrode.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7325076A JPH09148204A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Etching equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7325076A JPH09148204A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Etching equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148204A true JPH09148204A (en) | 1997-06-06 |
Family
ID=18172891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7325076A Withdrawn JPH09148204A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Etching equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09148204A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2024090477A1 (en) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP7325076A patent/JPH09148204A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2024090477A1 (en) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 | ||
| WO2024090477A1 (en) * | 2022-10-28 | 2024-05-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Aluminum etching foil for electrolytic capacitor |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |