JPH09148276A - ウェハブレーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェハのハーフカット線に沿ってブレーキン
グされ、ブレーキング面の粉塵の飛散や付着の生じない
ウェハブレーキング装置を提供することにある。 【解決手段】 テープ２０ａ上に貼付けされたハーフカ
ット済みのウェハ２０を各チップ２０ｂにブレーキング
するウェハブレーキング装置２０Ａにおいて、前記ハー
フカットの線は、格子状に設けられると共に、前記テー
プ２０ａ側から加圧して前記カット線からブレーキング
する加圧手段４６が設けられ、該加圧手段４６は、前記
テープ２０ａ上を加圧しながら摺動する加圧部を有し、
該加圧部が、前記直交するカット線の一方に垂直な方向
に移動して該一方のカット線からブレーキングした後、
他のカット線に垂直な方向に移動して該他方のカット線
からブレーキングするようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング済みの
ウェハの切り残し部をブレーキングする装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来この種のものとしては、例えば図５
に示すようなものがある（特開平６ー１４０５０４）。
この構造は、ダイシング装置（図示省略）において、テ
ープマウントされたウェハ１をハーフカットした後に、
テープ２上に保持したフレーム３の両側部を、フレーム
クランプ４でフレームテーブル５の所定の位置に押し付
けて固定し、進退手段６はサーボモータ６ａを介して移
動板８の上昇で押圧手段１０が適正位置に定められ、押
圧端子１１，１２によりテープ２の裏面側からウェハ１
を駆動モータ１３につながる回転軸１４や水平の取付板
１４ａや大小の円板１５，１５ａを介して得られる回転
力でしごいて、各チップにブレーキングする構成として
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ものにあっては、ハーフカットされたウェハ１のブレー
キング時に、押圧端子１１，１２が回転するように力を
懸けるので、ハーフカット線に均一にブレーク力が懸か
るのではなくサークル描画するように力が懸かるのでハ
ーフカット線から直線的に割れ難い。したがって、ブレ
ーキング線がジグザグになり粉塵が飛び散り易く、飛散
した粉塵はウェハ１の表面上に付着して損傷を与える虞
があった。

【０００４】そこで、本発明は、ウェハのハーフカット
線に沿ってブレーキングでき、ブレーキング面の粉塵が
飛散しウェハ上に付着しないようなウェハブレーキング
装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１に記載された発明では、テープ上に貼付け
されたハーフカット済みのウェハを各チップにブレーキ
ングするウェハブレーキング装置において、前記ハーフ
カットの線は、格子状に設けられると共に、前記テープ
側から加圧して前記カット線からブレーキングする加圧
手段が設けられ、該加圧手段は、前記テープ上を加圧し
ながら摺動する加圧部を有し、該加圧部が、前記直交す
るカット線の一方に垂直な方向に移動して該一方のカッ
ト線からブレーキングした後、他のカット線に垂直な方
向に移動して該他方のカット線からブレーキングするよ
うにしたことを特徴としている。

【０００６】このようなものにあっては、テープの裏面
側からハーフカット線に沿ってブレーキングできるの
で、ブレーキング線がジグザグになることがなく、ウェ
ハを上に向けてブレーキングしても下に向けてブレーキ
ングしても粉塵が少なく、ウェハに損傷を与える虞は少
ない。

【０００７】この請求項２に記載された発明では、テー
プ上に貼付けされたハーフカット済みのウェハを各チッ
プにブレーキングするウェハブレーキング装置におい
て、前記テープがウェハの上側に位置するようにセット
し、該テープの上側には、テープ上を加圧しながら摺動
してハーフカットのカット線からブレーキングする加圧
手段が設けられる一方、テープの下側にはウェハの周囲
を覆うように密閉室が形成され、前記加圧手段の加圧終
了後に該密閉室内の粉塵を吸引する吸引手段が設けられ
たことを特徴として入る。

【０００８】このようなものにあっては、ブレーキング
によって粉塵が生じたとしても、下方に落下し、さらに
吸引し排出されるのでウェハの表面に付着することはな
い。

【０００９】この請求項３に記載された発明では、請求
項２に記載のウェハブレーキング装置において、前記テ
ープの上面にウェハが貼付けられた状態から裏返してテ
ープがウェハの上面に位置するようにセットしたことを
特徴としている。

【００１０】このようなものにあっては、裏返すことに
より付着していた粉塵を落下させることができる。ま
た、裏返して糊面となったテープがセットされて密閉室
となった密閉室の空圧を調整することによって、加圧手
段によるウェハの変位量が適正となって均質なブレーキ
ングができる。

【００１１】請求項４に記載された発明は、請求項１乃
至３のウェハブレーキング装置において、複数のブレー
キング用ポールが上下動自在でかつ前記テープ側に付勢
されるように設けられたこと特徴としている。

【００１２】このようなものにあっては、ウェハに部分
的な接着強度差があっても各ブレーキング用ポールの上
下動で部分的な加圧力も吸収し均等になる。

【００１３】請求項５に記載された発明は、請求項２乃
至４に記載のウェハブレーキング装置において、前記密
閉室を覆う前記テープが剥離・搬送できるように吸着パ
ッドを設けると共に、剥離チャックを設けたことを特徴
としている。

【００１４】このようなものにあっては、密閉室のフラ
ンジ面にウェハが保持されているテープの糊面が面着し
て外れ難くなって吸着パッドの吸着力だけでは不足する
場合があっても、剥離チャックで機械的に引き剥し、密
閉室内にエアを入れ剥し易くしながら剥離し搬送でき
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図１乃至
図４に基づいて説明する。

【００１６】図１は、ウェハブレーキング装置２０Ａの
平面図であり、ウェハ２０のローダ部２１と搬送部３１
及びブレーキング部４１から構成されている。

【００１７】まず、ローダ部２１の構成に付いて説明す
ると、図１において平面を、図２においては図１のＡ矢
視にて、ローダ部２１の構成を示している。

【００１８】図中２１１はカセットローダゾーンであ
り、２０はウェハでテープ２０ａを介してフレーム２３
に貼付けた状態にして、カセット２２内に段状に収納さ
れている。

【００１９】２１２は搬出入ゾーンであり、２５はリフ
ト、２６はリフト２５のフォークでカセット２２を載せ
て上下動する。

【００２０】２１３はアンローダゾーンであり、ブレー
キングの完了したウェハ２０が収納されたカセット２２
を次工程へ送り出すテーブル２７部位である。

【００２１】つぎに、このローダ部２１の作用に付いて
説明すると、前工程でハーフカットされた複数のウェハ
２０が段状に収納されているカセット２２がカセットロ
ーダゾーン２１１のカセットローダ２４上に置かれ、こ
のカセット２２はエアーシリンダ（図示省略）で押さ
れ、搬出入ゾーン２１２であるリフト２５のフォーク２
６へ移行される。

【００２２】そして、リフト２５はウェハのフレーム２
３を適正な高さに調整し、ウェハのフレーム２３が搬出
される。その後ブレーキングが終わると元の位置に戻さ
れ、次にブレーキングされるウェハのフレーム２３の搬
出高さまでリフト２５のフォーク２６を上下動させブレ
ーキングが終わると元の位置に戻され、続いて、次のウ
ェハのフレーム２３の位置までリフト２５のフォーク２
６を上下動させることを繰り返し、カセット２２内のウ
ェハ２０のブレーキングを全て完了させる。

【００２３】この時点で、リフト２５が下降しフォーク
２６からカセット２２はエアーシリンダにより引出さ
れ、アンローダゾーン２１３へ移送される。それから、
リフト２５は上昇して、カセットローダゾーン２１１よ
りエアーシリンダにより押出されるカセット２２を受け
取る。この動作をローダ部２１は繰り返す。

【００２４】次に、搬送部３１の構成に付いて説明する
と、図１において平面を、図３においては図１のＢ矢視
にて、搬送部３１の構成を示している。

【００２５】図中３１ａは駆動モータであり、３２はベ
ルトで側面Ｔ字状に進退自在に回設されている。３３は
移送アームでＴ字状のベルト３２平面上に固着されてい
る。また、この移送アーム３３にはエアー駆動のチャッ
ク部３４が装着されている。３５は回転アームであり回
転軸３６に固着されている。この回転アーム３５には複
数の吸着パッド３７と剥離チャック３８とが適宜な位置
に装着されている。

【００２６】続いて、この搬送部３１の作用について説
明する。

【００２７】まず、駆動モータ３１ａを駆動させ、カセ
ット２２の搬出入ゾーン２１２側にベルト３２を介して
搬送アーム３５を前進させ移送アーム３３に設けたチャ
ック部３４をエアー作動させてウェハのフレーム２３を
掴み後退する。そして、回転アーム３５に設けられた吸
着パッド３７位置まで後退して吸着される。

【００２８】それから、回転アーム３５は回転軸３６を
中心に回転して、ウェハのフレーム２３を密閉室４２の
フランジ面４３上に反転セットして元の位置に戻る。

【００２９】そしてつぎの動作は、ブレーキングが終わ
った後のウェハのフレーム２３を、回転アーム３５に設
けた吸着パッド３７と剥離チャック３８とを固着して密
閉室より搬送部３１に戻し、吸着パッド３７と剥離チャ
ック３８を開放する。そして、移送アーム３３に設けた
チャック部３４でウェハのフレーム２３を掴み、駆動モ
ータ３１ａによりベルト３２作動させ移送アーム３３を
前進させてカセット２２に戻す。この動作を繰り返す。

【００３０】次に、ブレーキング部４１の構成に付いて
説明すと、図１において平面を、図４においては図１の
Ｃ矢視にて加圧手段４６の正面（ａ）及び図４（ａ）の
Ｄ矢視の加圧手段４６の側面（ｂ）にて、ブレーキング
部２１の構成を示している。

【００３１】図中４２は密閉室であり上面外周にフラン
ジ面４３を設けその外側に複数のクランプ４４を設けて
いる。また、この密閉室４２の底面には複数の真空孔を
有する吸引手段４５を設けている。

【００３２】４６は加圧手段であり、４６は複数のブレ
ーキング用ポール４７でウェハ２０の幅を越える本数が
設けられている。このポール４７には曲面を有する先端
部４８を設け、ポール４７中央部にはスプリング５０と
ナット５１とを挿鎮させナット５１の位置調整でスプリ
ング５０の反力調整自在に各ポール４７はポールホルダ
５２に装着されている。また、図４（ｂ）に示すように
ポール４７は列状に装着されている。

【００３３】そして、このポールホルダ５２は傾転軸５
４を介して加圧プレート５５に連結され、この加圧プレ
ート５５は加圧機構を有する加圧部４６ａに組み付けら
れている。

【００３４】つぎに、このブレーキング部４１の作用に
付いて説明する。

【００３５】前記搬送部３１から反転されて密閉室４２
のフランジ面４３にセットされたウェハのフレーム２３
は、クランプ４４により周りから固定される。その時点
で、加圧部４６ａはガイドレール５３に沿って移動し、
テープ２０ａに貼付けられているウェハ２０近傍のウェ
ハ２０のハーフカット線に沿うスタート位置まで移動し
てブレーキング動作に入る。

【００３６】すなわち、ブレーキング動作は、図４
（ｂ）の矢印線で示すように、ウェハのフレーム２３に
貼付けられたテープ２０ａの裏面側のスタート位置にブ
レーキング用ポール４７を設定深さまで押し込む。この
状態を保ちながらウェハ２０裏面側を摺動して行く。

【００３７】そして、テープ２０ａの略中央の位置を過
ぎた所でポール４７をテープ面２０ａから離し上昇さ
せ、ウェハ２０を通り過ぎた位置まで移動させる。そし
て、再びテープ面から設定深さまでポール４７を押し込
み略中央の位置を過ぎるまで摺動させて一方向のブレー
キングを終了する。

【００３８】それから、ポール４７を上昇させ密閉室４
２を略９０度回転させてポール４７をウェハ２０のハー
フカット線に沿うスタート位置に戻し前回と同様の動作
を繰り返して他方向のブレーキングを終了する。

【００３９】この直交する二方向のブレーキング動作が
完了したところで、搬送部３１の回転アーム３５が密閉
室４２のウェハのフレーム２３の位置までフレーム２３
に吸着パッド３７と、剥離チャック３８とを固着して密
閉室４２から剥し搬送部３１側へ戻す。

【００４０】以上述べたように、これらローダ部２１・
搬送部３１・ブレーキング部４１の各機構がそれぞれ連
動してブレーキング装置２０Ａを構成し、テープ２０ａ
に貼付けされたウェハ２０を裏面側からハーフカット線
に沿って直交する格子状にブレーキングしている。

【００４１】ここで、テープ２０ａとは、通常材質とし
て塩化ビニールを使用し厚さは約８０μｍとして、片面
に接着剤を塗布したこの塗布面にウェハを接着保持した
ものを指す。

【００４２】そして、このウェハ２０を接着保持したテ
ープ２０ａの外周は、一枚の略リング状のフレーム２３
に貼付け、ダイシング装置（図示省略）でハーフカット
される際もブレーキングされる際にもフレーム２３に貼
付けた状態で加工工程内を移動して行く。

【００４３】本実施の形態のブレーキング部４１におい
ては、搬送された際、密閉室４２のフランジ面４３にこ
のテープ２０ａの糊面が面着することになり密閉室を形
成することができる。それで、ブレーキング時の粉塵を
排出する時にはシール面となり効果があるが、ブレーキ
ングが終わり搬送する際には、テープ剥離が難しいので
吸着パッド３７に加え、剥離チャック３８を設けたこと
が剥離を確実なものとしている。

【００４４】ここで、ウェハのフレーム２３の反転と
は、ブレーキングの前加工工程であるダイシング装置に
おいて、テープ２０ａに貼付けされたウェハ２０は上面
側からハーフカットされて、ウェハブレーキング装置２
０Ａのローダ部２１に搬送されて来る。それで、このウ
ェハ２０はテープ上面に貼付けられた状態であるので、
テープ２０ａの裏面側からブレーキングする本実施の形
態では、搬送部４１において回転アーム３５を介してウ
ェハ２０を反転して密閉室４２へセットする必要があ
る。

【００４５】ただし、ローダ部２１へ搬送される前にウ
ェハ反転機構（図示省略）を設けた場合には、搬送部３
１において反転させることなくブレーキング部４１にセ
ットさせることも可能である。

【００４６】

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１に記
載された発明によれば、テープの裏面側からハーフカッ
ト線に沿って直線的にブレーキングできるので、ウェハ
を上に向けてブレーキングしても下に向けてブレーキン
グしても粉塵が少なく、ウェハに損傷を与える虞は少な
く、不良率の低減が図れる。

【００４７】請求項２に記載された発明によれば、ブレ
ーキングをウェハを保持している裏面側から行うので、
ブレーキングによって粉塵が生じたとしても下方に落下
し、さらに吸引し排出されるのでウェハの表面に付着す
ることはない。従って、品質の安定が保て不良発生が除
去される。

【００４８】請求項３に記載された発明によれば、裏返
すことにより付着していた粉塵を落下させることができ
る。また、裏返して糊面となったテープがセットされて
密閉室となった密閉室の空圧を調整することによって、
加圧手段によるウェハの変位量が適正となって均質なブ
レーキングができる。従って、ブレーキング時の粉塵の
発生が少なくなりウェハの損傷が削減される。

【００４９】請求項４に記載された発明によれば、ウェ
ハに部分的な粘着強度差があっても各ブレーキング用ポ
ールの上下動で部分的な加圧力も吸収し均等にする。従
って、ハーフカット線に沿って確実にブレーキングでき
る。

【００５０】請求項５に記載された発明によれば、剥離
チャックで機械的に引き剥し、密閉室内にエアーを入れ
剥し易くしながら確実に剥離できるので、加工工程の流
れが滞ることがなくなる。従って、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す平面図である。

【図２】図１のＡ矢視図である。

【図３】図１のＢ矢視図である。

【図４】（ａ）は、図１のＣ矢視図である。（ｂ）は、
図４（ａ）のＤ矢視図である。

【図５】（ａ）は、従来例を示すブレーキング装置の斜
視図である。（ｂ）は、図５（ａ）のＥ矢視図である。

【符号の説明】

２０Ａ…ウェハブレーキング装置 ２０…ウェハ ２０ａ…テープ、２０ｂ…チップ ３７…吸着パッド ３８…剥離チャック ４２…密閉室 ４５…吸引手段 ４６…加圧手段 ４６ａ…加圧部 ４７…ブレーキング用ポール

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テープ上に貼付けされたハーフカット済
   みのウェハを各チップにブレーキングするウェハブレー
   キング装置において、 前記ハーフカットの線は、格子状に設けられると共に、
   前記テープ側から加圧して前記カット線からブレーキン
   グする加圧手段が設けられ、該加圧手段は、前記テープ
   上を加圧しながら摺動する加圧部を有し、該加圧部が、
   前記直交するカット線の一方に垂直な方向に移動して該
   一方のカット線からブレーキングした後、他のカット線
   に垂直な方向に移動して該他方のカット線からブレーキ
   ングするようにしたことを特徴とするウェハブレーキン
   グ装置。
2. 【請求項２】 テープ上に貼付けされたハーフカット済
   みのウェハを各チップにブレーキングするウェハブレー
   キング装置において、 前記テープがウェハの上側に位置するようにセットし、
   該テープの上側には、テープ上を加圧しながら摺動して
   ハーフカットのカット線からブレーキングする加圧手段
   が設けられる一方、テープの下側にはウェハの周囲を覆
   うように密閉室が形成され、前記加圧手段の加圧終了後
   に該密閉室内の粉塵を吸引する吸引手段が設けられたこ
   とを特徴とするウェハブレーキング装置。
3. 【請求項３】 前記テープの上面にウェハが貼付けられ
   た状態から裏返してテープがウェハの上面に位置するよ
   うにセットしたことを特徴とする請求項２に記載のウェ
   ハブレーキング装置。
4. 【請求項４】 複数のブレーキング用ポールが上下動自
   在でかつ前記テープ側に付勢されるように設けられたこ
   と特徴とする請求項１乃至３に記載のウェハブレーキン
   グ装置。
5. 【請求項５】 前記密閉室を覆う前記テープが剥離・搬
   送できるように吸着パッドを設けると共に、剥離チャッ
   クを設けたことを特徴とする請求項２乃至４に記載のウ
   ェハブレーキング装置。