JPH09148409A - 平板の吸着搬送方法 - Google Patents
平板の吸着搬送方法Info
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- JPH09148409A JPH09148409A JP30269395A JP30269395A JPH09148409A JP H09148409 A JPH09148409 A JP H09148409A JP 30269395 A JP30269395 A JP 30269395A JP 30269395 A JP30269395 A JP 30269395A JP H09148409 A JPH09148409 A JP H09148409A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 9
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 36
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板と平板治具、および基板と設置面の剥離
が確実に行なわれて、搬送を安定して行なうことがで
き、製品の歩留りを向上させることができる平板の吸着
搬送方法を提供する。 【解決手段】 平板である平板治具２を吸着したのち、
持ち上げる際に、平板治具２の周辺を吸着する吸着パッ
ド３ａ、３ｂ、３ｃおよび３ｄのうちの対角線上に配置
される一対の吸着パッド３ａ、３ｃを最初に持ち上げ
る。
が確実に行なわれて、搬送を安定して行なうことがで
き、製品の歩留りを向上させることができる平板の吸着
搬送方法を提供する。 【解決手段】 平板である平板治具２を吸着したのち、
持ち上げる際に、平板治具２の周辺を吸着する吸着パッ
ド３ａ、３ｂ、３ｃおよび３ｄのうちの対角線上に配置
される一対の吸着パッド３ａ、３ｃを最初に持ち上げ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平板の吸着搬送方法
に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置に用いられる
ガラス基板や該基板にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレ
イを形成させるために使用される平板治具を吸着して搬
送する平板の吸着搬送方法に関する。
に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置に用いられる
ガラス基板や該基板にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレ
イを形成させるために使用される平板治具を吸着して搬
送する平板の吸着搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造装置は、半導体ウエ
ハと比較して大型の基板を扱うため、広い面積にわたっ
て各プロセスの安定性と清浄性が要求される。とくに塵
埃は液晶駆動回路の断線、短絡または液晶セルギャップ
の変化など致命的な欠陥につながるため、基板またはプ
ラズマＣＶＤ装置やスパッタ装置で用いる基板に接触す
る平板治具の搬送は、塵埃の原因となる人手を使用せず
にロボットなどで行なっている。このような大型の基板
または平板治具を搬送する際には、搬送対象物が大面積
でありかつ重量が大きいことから従来は複数の吸着パッ
ドを使用している。
ハと比較して大型の基板を扱うため、広い面積にわたっ
て各プロセスの安定性と清浄性が要求される。とくに塵
埃は液晶駆動回路の断線、短絡または液晶セルギャップ
の変化など致命的な欠陥につながるため、基板またはプ
ラズマＣＶＤ装置やスパッタ装置で用いる基板に接触す
る平板治具の搬送は、塵埃の原因となる人手を使用せず
にロボットなどで行なっている。このような大型の基板
または平板治具を搬送する際には、搬送対象物が大面積
でありかつ重量が大きいことから従来は複数の吸着パッ
ドを使用している。
【０００３】たとえば、図３〜４に示すようにＴＦＴア
レイを形成させるために使用されるインライン型ＰＣＶ
Ｄ装置やスパッタ装置では、基板５０をトレイ５１に装
着し、そののち平板治具５２を前記基板５０上に載せ
て、トレイ５１をチャンバ内に移動し、成膜工程を行な
う。そして成膜が完了したのち、基板５０は、平板治具
５２が外され、ついでトレイ５１から取り出される。基
板５０の上に設置された平板治具５２を搬送するばあ
い、複数の吸着パッド６１、６２、６３、６４を用いて
吸着、持ち上げ、移動を行なっている。平板治具５２の
吸着が完了後、平板治具５２は各吸着パッドが上方向に
持ち上げられることにより基板５０から離れ、移動可能
な状態になる。
レイを形成させるために使用されるインライン型ＰＣＶ
Ｄ装置やスパッタ装置では、基板５０をトレイ５１に装
着し、そののち平板治具５２を前記基板５０上に載せ
て、トレイ５１をチャンバ内に移動し、成膜工程を行な
う。そして成膜が完了したのち、基板５０は、平板治具
５２が外され、ついでトレイ５１から取り出される。基
板５０の上に設置された平板治具５２を搬送するばあ
い、複数の吸着パッド６１、６２、６３、６４を用いて
吸着、持ち上げ、移動を行なっている。平板治具５２の
吸着が完了後、平板治具５２は各吸着パッドが上方向に
持ち上げられることにより基板５０から離れ、移動可能
な状態になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、成膜中
に発生した静電気や基板と平板治具とのあいだの陰圧に
より、前記搬送方法では平板治具を持ち上げる際、各吸
着パッドが平板治具とともに基板も同時に持ち上げてし
まい、その後搬送中に基板が自重により落下して破損し
てしまうばあいがある。また、基板を吸着搬送させるば
あいにおいても、基板が設置平面と密着しているときに
は、持ち上げ切れずに吸着パッドから外れてしまうばあ
いもある。
に発生した静電気や基板と平板治具とのあいだの陰圧に
より、前記搬送方法では平板治具を持ち上げる際、各吸
着パッドが平板治具とともに基板も同時に持ち上げてし
まい、その後搬送中に基板が自重により落下して破損し
てしまうばあいがある。また、基板を吸着搬送させるば
あいにおいても、基板が設置平面と密着しているときに
は、持ち上げ切れずに吸着パッドから外れてしまうばあ
いもある。
【０００５】本発明は、叙上の事情に鑑み、基板と平板
治具、および基板と設置面の剥離が確実に行なわれて、
搬送を安定して行なうことができ、製品の歩留りを向上
させることができる平板の吸着搬送方法を提供すること
を目的とする。
治具、および基板と設置面の剥離が確実に行なわれて、
搬送を安定して行なうことができ、製品の歩留りを向上
させることができる平板の吸着搬送方法を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決しようとする手段】本発明の平板の吸着搬
送方法は、移動可能な複数の吸着パッドを用いて平面上
に置かれた平板を吸着し、持ち上げおよび搬送する平板
の吸着搬送方法であって、該平板を吸着したのち、持ち
上げる際に、前記複数の吸着パッドの持上げ移動量が異
なることを特徴としている。
送方法は、移動可能な複数の吸着パッドを用いて平面上
に置かれた平板を吸着し、持ち上げおよび搬送する平板
の吸着搬送方法であって、該平板を吸着したのち、持ち
上げる際に、前記複数の吸着パッドの持上げ移動量が異
なることを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の平板の吸着搬送方法を説明する。
の平板の吸着搬送方法を説明する。
【０００８】図１は本発明の平板の吸着搬送方法の一実
施例を示す説明図、図２は本発明の方法の他の実施例を
示す説明図である。
施例を示す説明図、図２は本発明の方法の他の実施例を
示す説明図である。
【０００９】本発明の平板の吸着搬送方法は、液晶表示
装置に用いられるガラス基板の平板を洗浄やエッチング
などするためのプロセス処理工程に使用される。たとえ
ば平板であるガラス基板にＴＦＴアレイを形成するため
のインライン型ＰＣＶＤ装置やスパッタ装置では、図１
に示すようにトレイ上の基板１の設置平面に設置された
平板治具２が複数の吸着パッド３により吸着搬送され
る。吸着パッド３は、パッド部４と中空柄部５とから構
成されており、平板治具２の周辺四隅に上下方向に移動
可能に配置されている。そして各吸着パッド３ａ、３
ｂ、３ｃおよび３ｄは、真空状態と圧空状態とを切り換
える圧力切換装置（図示せず）に接続されている。
装置に用いられるガラス基板の平板を洗浄やエッチング
などするためのプロセス処理工程に使用される。たとえ
ば平板であるガラス基板にＴＦＴアレイを形成するため
のインライン型ＰＣＶＤ装置やスパッタ装置では、図１
に示すようにトレイ上の基板１の設置平面に設置された
平板治具２が複数の吸着パッド３により吸着搬送され
る。吸着パッド３は、パッド部４と中空柄部５とから構
成されており、平板治具２の周辺四隅に上下方向に移動
可能に配置されている。そして各吸着パッド３ａ、３
ｂ、３ｃおよび３ｄは、真空状態と圧空状態とを切り換
える圧力切換装置（図示せず）に接続されている。
【００１０】本発明は、吸着パッド３により平板治具２
を基板１から切り離して持ち上げる際に、各吸着パッド
３の持上げ移動量を異なるようにしている点に特徴があ
る。本実施例では、各吸着パッド３ａ〜３ｄによる吸着
が完了したのち、対角線上に配置される一対の吸着パッ
ド３ａ、３ｃを最初に、たとえば約３ｍｍ持ち上げて移
動させるようにしている。この持上げ移動量は、平板治
具２に損傷をおよばせない程度とされている。これによ
り、平板治具２のコーナー部Ａおよびコーナー部Ｃが僅
かに変形してめくれた状態になるため、平板治具２が基
板１から分離（剥離）しやすい状態になる。ついですべ
ての吸着パッド３ａ〜３ｄを約３０ｍｍまで持ち上げる
と、基板１と平板治具２とが静電気で密着していても安
定して平板治具２のみを持ち上げることができる。なお
実施例では、基板治具の周辺四隅に配置した４個の吸着
パッドで吸着し、持ち上げるようにしているが、本発明
においては、これに限定されるものではなく、周辺の吸
着パッドのほか、基板治具の４つの側辺上や基板治具の
中央領域に配置した吸着パッドで吸着し、持ち上げるよ
うにしてもよい。
を基板１から切り離して持ち上げる際に、各吸着パッド
３の持上げ移動量を異なるようにしている点に特徴があ
る。本実施例では、各吸着パッド３ａ〜３ｄによる吸着
が完了したのち、対角線上に配置される一対の吸着パッ
ド３ａ、３ｃを最初に、たとえば約３ｍｍ持ち上げて移
動させるようにしている。この持上げ移動量は、平板治
具２に損傷をおよばせない程度とされている。これによ
り、平板治具２のコーナー部Ａおよびコーナー部Ｃが僅
かに変形してめくれた状態になるため、平板治具２が基
板１から分離（剥離）しやすい状態になる。ついですべ
ての吸着パッド３ａ〜３ｄを約３０ｍｍまで持ち上げる
と、基板１と平板治具２とが静電気で密着していても安
定して平板治具２のみを持ち上げることができる。なお
実施例では、基板治具の周辺四隅に配置した４個の吸着
パッドで吸着し、持ち上げるようにしているが、本発明
においては、これに限定されるものではなく、周辺の吸
着パッドのほか、基板治具の４つの側辺上や基板治具の
中央領域に配置した吸着パッドで吸着し、持ち上げるよ
うにしてもよい。
【００１１】つぎに本発明の他の実施例を説明する。図
２に示すように、基板治具２の一側辺Ｓの両端部上に配
置される吸着パッド３ａ、３ｂを最初に、たとえば約３
ｍｍまで持ち上げて移動させ、ついですべての吸着パッ
ド３ａ〜３ｄを持ち上げるようにする。これにより、平
板治具２のコーナー部Ａおよびコーナー部Ｂが僅かに変
形するため、平板治具２が基板１から確実に分離され
る。
２に示すように、基板治具２の一側辺Ｓの両端部上に配
置される吸着パッド３ａ、３ｂを最初に、たとえば約３
ｍｍまで持ち上げて移動させ、ついですべての吸着パッ
ド３ａ〜３ｄを持ち上げるようにする。これにより、平
板治具２のコーナー部Ａおよびコーナー部Ｂが僅かに変
形するため、平板治具２が基板１から確実に分離され
る。
【００１２】なお本発明は図１および図２に示される前
記実施例に限定されるものではなく、前記平板治具２の
周辺を吸着する吸着パッド３ａ〜３ｄを順次、たとえば
吸着パッド３ａ、３ｂ、３ｃおよび３ｄの順番に持ち上
げて移動させるようにしてもよい。
記実施例に限定されるものではなく、前記平板治具２の
周辺を吸着する吸着パッド３ａ〜３ｄを順次、たとえば
吸着パッド３ａ、３ｂ、３ｃおよび３ｄの順番に持ち上
げて移動させるようにしてもよい。
【００１３】つぎに本発明のさらに他の実施例を説明す
る。前記実施例は対角線上の吸着パッドまたは側辺の吸
着パッドを持ち上げて、他の吸着パッドよりも移動量を
異ならしめ、平板治具を基板から分離するのに対し、本
実施例は、吸着パッドの剛性を変えることにより分離を
させる点で異なる。すなわち、本実施例では、たとえば
図１に示される吸着パッド３ａおよび３ｃ、とくにパッ
ド部４の剛性をテフロンなどの硬い材質にし、他の吸着
パッド３ｂおよび３ｄにおけるパッド部４の剛性をゴム
などの柔軟性の高い材質にする。これにより、吸着パッ
ド３ａ〜３ｄを同時に持ち上げても、剛性の高い吸着パ
ッド３ａ、３ｃは平板治具２のコーナー部Ａ、Ｃを僅か
に変形させて移動するが、剛性の低い吸着パッド３ｂ、
３ｄは、パッド部４が僅かに伸びるが、移動しないた
め、平板治具２のコーナー部を変形させることがない。
したがって、平板治具２はコーナー部Ａ、Ｃから確実に
分離し始めることになる。また図２に示される平板治具
２の一側辺Ｓの両端部上に配置される吸着パッド３ａ、
３ｂの硬性を高め、他の吸着パッド３ｃ、３ｄの硬性を
低めにすることによって、各吸着パッド３ａ〜３ｄを持
ち上げると平板治具２のコーナー部Ａ、Ｂが僅かに変形
するため、平板治具２を基板１から引き離すことができ
る。
る。前記実施例は対角線上の吸着パッドまたは側辺の吸
着パッドを持ち上げて、他の吸着パッドよりも移動量を
異ならしめ、平板治具を基板から分離するのに対し、本
実施例は、吸着パッドの剛性を変えることにより分離を
させる点で異なる。すなわち、本実施例では、たとえば
図１に示される吸着パッド３ａおよび３ｃ、とくにパッ
ド部４の剛性をテフロンなどの硬い材質にし、他の吸着
パッド３ｂおよび３ｄにおけるパッド部４の剛性をゴム
などの柔軟性の高い材質にする。これにより、吸着パッ
ド３ａ〜３ｄを同時に持ち上げても、剛性の高い吸着パ
ッド３ａ、３ｃは平板治具２のコーナー部Ａ、Ｃを僅か
に変形させて移動するが、剛性の低い吸着パッド３ｂ、
３ｄは、パッド部４が僅かに伸びるが、移動しないた
め、平板治具２のコーナー部を変形させることがない。
したがって、平板治具２はコーナー部Ａ、Ｃから確実に
分離し始めることになる。また図２に示される平板治具
２の一側辺Ｓの両端部上に配置される吸着パッド３ａ、
３ｂの硬性を高め、他の吸着パッド３ｃ、３ｄの硬性を
低めにすることによって、各吸着パッド３ａ〜３ｄを持
ち上げると平板治具２のコーナー部Ａ、Ｂが僅かに変形
するため、平板治具２を基板１から引き離すことができ
る。
【００１４】なお本発明は、平板治具を基板から剥離し
て吸着搬送させるばあいに限定されるものではなく、基
板を平坦な設置平面から剥離して、吸着搬送させるばあ
いにも使用することができる。
て吸着搬送させるばあいに限定されるものではなく、基
板を平坦な設置平面から剥離して、吸着搬送させるばあ
いにも使用することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の平板の吸
着搬送方法では、平板が設置平面に静電気などにより密
着しているばあいでも、持ち上げる際に、吸着パッドの
持上げ移動量を変えているため、吸着パッドが平板を変
形させて、平板を設置平面から確実に剥離する。その結
果、平板の吸着搬送が安定し、搬送中の落下による損傷
がなくなるので、生産工程における歩留り、ひいては製
品の歩留りが向上する。
着搬送方法では、平板が設置平面に静電気などにより密
着しているばあいでも、持ち上げる際に、吸着パッドの
持上げ移動量を変えているため、吸着パッドが平板を変
形させて、平板を設置平面から確実に剥離する。その結
果、平板の吸着搬送が安定し、搬送中の落下による損傷
がなくなるので、生産工程における歩留り、ひいては製
品の歩留りが向上する。
【図１】本発明の平板の吸着搬送方法の一実施例を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明の方法の他の実施例を示す説明図であ
る。
る。
【図３】従来の吸着搬送方法の一例を示す説明図であ
る。
る。
【図４】図３の吸着搬送方法を説明する側面図である。
１ 基板（平板） ２ 平板治具（平板） ３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ 吸着パッド Ａ、Ｂ、Ｃ コーナー部
Claims (7)
- 【請求項１】 移動可能な複数の吸着パッドを用いて平
面上に置かれた平板を吸着し、持ち上げおよび搬送する
平板の吸着搬送方法であって、該平板を吸着したのち、
持ち上げる際に、前記複数の吸着パッドの持上げ移動量
が異なることを特徴とする平板の吸着搬送方法。 - 【請求項２】 前記平板の周辺を吸着する吸着パッドを
順次持ち上げる請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 前記平板の周辺を吸着する吸着パッドの
うち対角線上に配置される一対の吸着パッドを最初に持
ち上げる請求項１記載の方法。 - 【請求項４】 前記平板の一側辺の両端部上に配置され
る吸着パッドを最初に持ち上げる請求項１記載の方法。 - 【請求項５】 前記持上げ移動量が約３ｍｍである請求
項１、２、３または４記載の方法。 - 【請求項６】 前記平板の周辺を吸着する吸着パッドの
うちの対角線上に配置される一対の吸着パッドが他の吸
着パッドよりも剛性が高められている請求項１記載の方
法。 - 【請求項７】 前記平板の一側辺の両端部上に配置され
る吸着パッドが他の吸着パッドよりも剛性が高められて
いる請求項１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30269395A JPH09148409A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 平板の吸着搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30269395A JPH09148409A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 平板の吸着搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148409A true JPH09148409A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17912063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30269395A Pending JPH09148409A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 平板の吸着搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09148409A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200824A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Yachiyo Industry Co Ltd | ワーク取り出し装置 |
| JP2009008645A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Ncb Networks Co Ltd | 多段階方式の偏光フィルム検査装置 |
| WO2014029126A1 (zh) * | 2012-08-21 | 2014-02-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 无边框液晶显示装置 |
| JP2015106711A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 基板分離装置 |
| KR20160104191A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 분리장치 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30269395A patent/JPH09148409A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200824A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Yachiyo Industry Co Ltd | ワーク取り出し装置 |
| JP2009008645A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Ncb Networks Co Ltd | 多段階方式の偏光フィルム検査装置 |
| WO2014029126A1 (zh) * | 2012-08-21 | 2014-02-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 无边框液晶显示装置 |
| JP2015106711A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 基板分離装置 |
| KR20160104191A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 분리장치 |
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