JPH09150363A - ステンレス鋼の高鏡面研磨方法及び高鏡面研磨液 - Google Patents
ステンレス鋼の高鏡面研磨方法及び高鏡面研磨液Info
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- JPH09150363A JPH09150363A JP33267095A JP33267095A JPH09150363A JP H09150363 A JPH09150363 A JP H09150363A JP 33267095 A JP33267095 A JP 33267095A JP 33267095 A JP33267095 A JP 33267095A JP H09150363 A JPH09150363 A JP H09150363A
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 135
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title abstract 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 72
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 41
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 9
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 6
- ZDYUUBIMAGBMPY-UHFFFAOYSA-N oxalic acid;hydrate Chemical compound O.OC(=O)C(O)=O ZDYUUBIMAGBMPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 18
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003251 chemically resistant material Substances 0.000 description 1
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 1
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F3/00—Brightening metals by chemical means
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 化学研磨及び機械研磨の併用により、研磨能
力及び研磨品質を損なうことなく、研磨装置及び周辺機
器のメンテナンスにかかる費用を軽減する。 【構成】 化学研磨作用を呈する1〜10%濃度の蓚酸
水溶液に、機械研磨作用を呈する研磨剤として超微細粒
度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分散させた
研磨液を用意し、この研磨液を使用してステンレス鋼を
鏡面研磨する。
力及び研磨品質を損なうことなく、研磨装置及び周辺機
器のメンテナンスにかかる費用を軽減する。 【構成】 化学研磨作用を呈する1〜10%濃度の蓚酸
水溶液に、機械研磨作用を呈する研磨剤として超微細粒
度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分散させた
研磨液を用意し、この研磨液を使用してステンレス鋼を
鏡面研磨する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ステンレス鋼の表面を
高度の鏡面に仕上げる研磨方法及び研磨液に関する。
高度の鏡面に仕上げる研磨方法及び研磨液に関する。
【0002】
【従来の技術】ステンレス鋼の鏡面仕上げでは、研磨条
痕のない高光沢度をもつ鏡面研磨品質を得るために、硝
酸水溶液にアルミナ等の砥粒を分散させた研磨液を使用
したカップ型研磨方法が採用されている。使用される研
磨液の薬剤である硝酸は、金属や人体に対して強い腐食
性を示す。そのため、研磨装置や人体への飛散防止,研
磨液槽の腐食防止メンテナンス等の管理にかかるコスト
が高く、トータルでみた研磨コストが非常に高いもので
あった。高鏡面を得る手段として電解研磨も採用されて
いるが、電解条件の管理や電解液の管理,処理等によっ
て同様に研磨コストが高いものになっていた。酸化クロ
ムやアルミナ系の研磨材を使用したバフ研磨も検討され
ているが、バフ研磨は、前研磨面の研磨条痕を除去する
能率が高いものの、前述した二つの研磨方法に比較して
特有の縦スジや疵が入り易い欠点がある。更に表面品質
の安定性が悪いため、高品質の鏡面研磨が得られず、高
鏡面が要求される物品には適用できない。
痕のない高光沢度をもつ鏡面研磨品質を得るために、硝
酸水溶液にアルミナ等の砥粒を分散させた研磨液を使用
したカップ型研磨方法が採用されている。使用される研
磨液の薬剤である硝酸は、金属や人体に対して強い腐食
性を示す。そのため、研磨装置や人体への飛散防止,研
磨液槽の腐食防止メンテナンス等の管理にかかるコスト
が高く、トータルでみた研磨コストが非常に高いもので
あった。高鏡面を得る手段として電解研磨も採用されて
いるが、電解条件の管理や電解液の管理,処理等によっ
て同様に研磨コストが高いものになっていた。酸化クロ
ムやアルミナ系の研磨材を使用したバフ研磨も検討され
ているが、バフ研磨は、前研磨面の研磨条痕を除去する
能率が高いものの、前述した二つの研磨方法に比較して
特有の縦スジや疵が入り易い欠点がある。更に表面品質
の安定性が悪いため、高品質の鏡面研磨が得られず、高
鏡面が要求される物品には適用できない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題を解消すべく案出されたものであり、化学研磨と機
械研磨を併用することにより、ステンレス鋼を研磨条痕
のない品質及び光沢度に優れた高鏡面に仕上げ、且つ腐
食に対する研磨装置及び周辺機器のメンテナンス負荷を
軽減することを目的とする。
問題を解消すべく案出されたものであり、化学研磨と機
械研磨を併用することにより、ステンレス鋼を研磨条痕
のない品質及び光沢度に優れた高鏡面に仕上げ、且つ腐
食に対する研磨装置及び周辺機器のメンテナンス負荷を
軽減することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の高鏡面研磨方法
は、その目的を達成するため、化学研磨作用を呈する1
〜10%濃度の蓚酸水溶液に、機械研磨作用を呈する研
磨剤として超微細粒度の研磨砥粒を50〜100g/l
の濃度で分散させた研磨液を用意し、該研磨液を使用し
てステンレス鋼を鏡面研磨することを特徴とする。本発
明で使用する研磨液は、1〜10%濃度の蓚酸水溶液に
超微細粒度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分
散・解膠させている。研磨砥粒には、ホワイトアランダ
ム,グリーンカーボランダム,シリカ等の1種又は2種
以上が使用され、#4,000〜#10,000程度の
粒度をもっているものが好ましい。研磨工具としては、
たとえば図1に示すように、耐薬品性のある材質ででき
た樹脂製スポンジ1を研磨基台2に固定したものが使用
される。スポンジ1は、ポリウレタン樹脂,ポリエチレ
ン樹脂,クロロプレン樹脂等の耐薬品性に優れた樹脂が
使用され、前研磨面の状態に応じて気孔率,樹脂硬度等
が選択される。ノズル3から送り出された研磨液4をス
テンレス鋼5の表面に供給しながら、ステンレス鋼5を
表面研磨する。研磨されるステンレス鋼5としては、弾
性砥石等で予め研磨したものが使用され、研磨面には条
痕が残存した状態になっている。
は、その目的を達成するため、化学研磨作用を呈する1
〜10%濃度の蓚酸水溶液に、機械研磨作用を呈する研
磨剤として超微細粒度の研磨砥粒を50〜100g/l
の濃度で分散させた研磨液を用意し、該研磨液を使用し
てステンレス鋼を鏡面研磨することを特徴とする。本発
明で使用する研磨液は、1〜10%濃度の蓚酸水溶液に
超微細粒度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分
散・解膠させている。研磨砥粒には、ホワイトアランダ
ム,グリーンカーボランダム,シリカ等の1種又は2種
以上が使用され、#4,000〜#10,000程度の
粒度をもっているものが好ましい。研磨工具としては、
たとえば図1に示すように、耐薬品性のある材質ででき
た樹脂製スポンジ1を研磨基台2に固定したものが使用
される。スポンジ1は、ポリウレタン樹脂,ポリエチレ
ン樹脂,クロロプレン樹脂等の耐薬品性に優れた樹脂が
使用され、前研磨面の状態に応じて気孔率,樹脂硬度等
が選択される。ノズル3から送り出された研磨液4をス
テンレス鋼5の表面に供給しながら、ステンレス鋼5を
表面研磨する。研磨されるステンレス鋼5としては、弾
性砥石等で予め研磨したものが使用され、研磨面には条
痕が残存した状態になっている。
【0005】
【作用】化学研磨作用及び機械研磨作用を併用してステ
ンレス鋼表面を研磨するとき、従来の硝酸系研磨液を使
用した研磨に比較して研磨能力に遜色がなく、高鏡面が
得られ、前研磨で発生している研磨条痕を除去できる。
また、研磨液が弱酸性の蓚酸系であることから、従来か
ら化学研磨液成分として使用されている硝酸に比較して
金属材料に対する腐食作用がかなり低い。そのため、研
磨装置及びその周辺機器の金属部材に対する防食管理や
メンテナンスの労力や経費が半減する。その結果、設備
面等に要するコストが大幅に軽減され、トータルでみて
低い研磨コストでステンレス鋼が高鏡面仕上げされる。
ンレス鋼表面を研磨するとき、従来の硝酸系研磨液を使
用した研磨に比較して研磨能力に遜色がなく、高鏡面が
得られ、前研磨で発生している研磨条痕を除去できる。
また、研磨液が弱酸性の蓚酸系であることから、従来か
ら化学研磨液成分として使用されている硝酸に比較して
金属材料に対する腐食作用がかなり低い。そのため、研
磨装置及びその周辺機器の金属部材に対する防食管理や
メンテナンスの労力や経費が半減する。その結果、設備
面等に要するコストが大幅に軽減され、トータルでみて
低い研磨コストでステンレス鋼が高鏡面仕上げされる。
【0006】
実施例1:ステンレス鋼を高鏡面研磨した実施例を説明
する。なお、被研磨材であるステンレス鋼には、一片が
40mmの矩形断面をもち長さ200mmのSUS30
4ステンレス鋼角パイプであり、#3,000の弾性砥
石で前研磨したものを使用した。前研磨状態では、ステ
ンレス鋼表面に多数の研磨条痕が残存していた。研磨工
具としては、ポリウレタン樹脂系のスポンジ1を外径1
00mm及び厚さ20mmの円筒形状に切り抜き、アク
リル樹脂製の研磨基台2に接着したものを使用した。研
磨液は、蓚酸を水道水で濃度1〜2%に希釈し、更に研
磨砥粒として粒度#6,000のホワイトアランダム
(WA)を蓚酸水溶液1リットル当り25〜200gの
割合で配合・解膠することにより調製した。そして、図
1に示すように、研磨工具を回転させながら前進させ、
任意量の研磨液4を研磨中に滴下した。研磨液組成につ
いて、蓚酸濃度及びWA濃度と前研磨面の条痕除去に必
要なパス回数との関係を調査した。回転速度300rp
m,送り速度1,000m/分,1パス当りの押付け量
1mm/パスを研磨条件として作用し、研磨液の組成に
ついて各水準を変え、研磨液の組成が条痕除去に及ぼす
影響を調査した。蓚酸濃度の影響は、WA研磨剤濃度が
75g/lの一定値で調査した。調査結果を示す表1に
みられるように、条痕除去能力が高い蓚酸濃度は1〜1
0%であった。
する。なお、被研磨材であるステンレス鋼には、一片が
40mmの矩形断面をもち長さ200mmのSUS30
4ステンレス鋼角パイプであり、#3,000の弾性砥
石で前研磨したものを使用した。前研磨状態では、ステ
ンレス鋼表面に多数の研磨条痕が残存していた。研磨工
具としては、ポリウレタン樹脂系のスポンジ1を外径1
00mm及び厚さ20mmの円筒形状に切り抜き、アク
リル樹脂製の研磨基台2に接着したものを使用した。研
磨液は、蓚酸を水道水で濃度1〜2%に希釈し、更に研
磨砥粒として粒度#6,000のホワイトアランダム
(WA)を蓚酸水溶液1リットル当り25〜200gの
割合で配合・解膠することにより調製した。そして、図
1に示すように、研磨工具を回転させながら前進させ、
任意量の研磨液4を研磨中に滴下した。研磨液組成につ
いて、蓚酸濃度及びWA濃度と前研磨面の条痕除去に必
要なパス回数との関係を調査した。回転速度300rp
m,送り速度1,000m/分,1パス当りの押付け量
1mm/パスを研磨条件として作用し、研磨液の組成に
ついて各水準を変え、研磨液の組成が条痕除去に及ぼす
影響を調査した。蓚酸濃度の影響は、WA研磨剤濃度が
75g/lの一定値で調査した。調査結果を示す表1に
みられるように、条痕除去能力が高い蓚酸濃度は1〜1
0%であった。
【0007】
【0008】WA濃度の影響は、蓚酸濃度を1%の一定
値に維持した条件下でWA濃度を25〜200g/lの
範囲で変動させることにより調査した。表2の調査結果
にみられるように、100〜200g/lのWA濃度で
は、条痕除去能力が高くなるものの、微小疵が発生する
傾向が強くなった。そして、条痕除去能力が高く、良好
な表面品質の研磨面が得られる領域は、50〜100g
/lであった。
値に維持した条件下でWA濃度を25〜200g/lの
範囲で変動させることにより調査した。表2の調査結果
にみられるように、100〜200g/lのWA濃度で
は、条痕除去能力が高くなるものの、微小疵が発生する
傾向が強くなった。そして、条痕除去能力が高く、良好
な表面品質の研磨面が得られる領域は、50〜100g
/lであった。
【0009】
【0010】表1及び表2から、蓚酸濃度及びWA濃度
共に適性領域があることが判る。この研磨液組成領域で
の研磨能力を把握するため、従来から化学研磨に使用さ
れている硝酸系研磨液と比較した。研磨条件は、蓚酸又
は硝酸の薬液濃度を1%,WA濃度を75g/lとし、
図1に示したカップ型ポリウレタン樹脂製スポンジ工具
を回転数300rpm,送り速度1,000mm/分,
1パス当りの押付け量1m/パスでステンレス鋼を研磨
した。このときの研磨能力を、表3に比較して示す。表
3から、#3,000の前研磨面を除去するために、本
発明に従った研磨液及び硝酸系の研磨液共に約5パスが
必要であった。すなわち、本発明の研磨液は、従来の硝
酸系研磨液に比較して遜色ない研磨能力をもつことが判
る。
共に適性領域があることが判る。この研磨液組成領域で
の研磨能力を把握するため、従来から化学研磨に使用さ
れている硝酸系研磨液と比較した。研磨条件は、蓚酸又
は硝酸の薬液濃度を1%,WA濃度を75g/lとし、
図1に示したカップ型ポリウレタン樹脂製スポンジ工具
を回転数300rpm,送り速度1,000mm/分,
1パス当りの押付け量1m/パスでステンレス鋼を研磨
した。このときの研磨能力を、表3に比較して示す。表
3から、#3,000の前研磨面を除去するために、本
発明に従った研磨液及び硝酸系の研磨液共に約5パスが
必要であった。すなわち、本発明の研磨液は、従来の硝
酸系研磨液に比較して遜色ない研磨能力をもつことが判
る。
【0011】
【0012】更に、それぞれの研磨液を使用して研磨さ
れた研磨面の表面粗さを測定した。測定結果を示す表4
にみられるように、両者の間に差異が全く検出されず、
Rma x =0.1μmレベルの高鏡面が得られていた。以
上の結果から、本発明の蓚酸系研磨液は、条痕除去能力
及び研磨面品質共に、硝酸系研磨液に匹敵するものであ
るといえる。
れた研磨面の表面粗さを測定した。測定結果を示す表4
にみられるように、両者の間に差異が全く検出されず、
Rma x =0.1μmレベルの高鏡面が得られていた。以
上の結果から、本発明の蓚酸系研磨液は、条痕除去能力
及び研磨面品質共に、硝酸系研磨液に匹敵するものであ
るといえる。
【0013】
【0014】次いで、蓚酸系研磨液の使用が装置のメン
テナンス軽減に及ぼす効果を、次のように調査した。す
なわち、研磨装置の研磨ヘッド部が特に腐食環境が著し
い位置あり、しかも高強度が必要な金属部材であること
に着目し、研磨ヘッドの交換インターバルを比較試験し
た。表5の試験結果にみられるように、蓚酸系研磨液を
使用した研磨ヘッドの交換インターバルは約1年であっ
たのに対し、硝酸系研磨液を使用した研磨ヘッドの交換
インターバルは約半分の6か月に留まっていた。金属部
材が使用されている研磨ヘッド部材以外についても、お
およそこの関係が当てはまると考えられる。このことか
ら、蓚酸系研磨液を使用した場合にメンテナンスコスト
が従来の約半分になるといえる。したがって、本発明に
よるとき、硝酸系研磨液を使用した従来法に比較して研
磨能力及び表面品質を低下させることなく、研磨装置及
び周辺機器のメンテナンスにかかる費用が低減できるこ
とが確認された。
テナンス軽減に及ぼす効果を、次のように調査した。す
なわち、研磨装置の研磨ヘッド部が特に腐食環境が著し
い位置あり、しかも高強度が必要な金属部材であること
に着目し、研磨ヘッドの交換インターバルを比較試験し
た。表5の試験結果にみられるように、蓚酸系研磨液を
使用した研磨ヘッドの交換インターバルは約1年であっ
たのに対し、硝酸系研磨液を使用した研磨ヘッドの交換
インターバルは約半分の6か月に留まっていた。金属部
材が使用されている研磨ヘッド部材以外についても、お
およそこの関係が当てはまると考えられる。このことか
ら、蓚酸系研磨液を使用した場合にメンテナンスコスト
が従来の約半分になるといえる。したがって、本発明に
よるとき、硝酸系研磨液を使用した従来法に比較して研
磨能力及び表面品質を低下させることなく、研磨装置及
び周辺機器のメンテナンスにかかる費用が低減できるこ
とが確認された。
【0015】
【0016】実施例2:被研磨材として素材仕上げがB
Aであるステンレス鋼板を使用し、蓚酸系研磨液と硝酸
系研磨液による研磨能力を比較実験した。被研磨材に
は、予め#400〜#3,000の弾性砥石で前研磨し
たものを使用した。研磨液には、蓚酸又は硝酸濃度が1
%で、WA濃度を75g/lに調整したものを用意し
た。研磨工具には、外径150mmのポリウレタン樹脂
製スポンジ1を取り付けたものを使用した。回転数30
0rpm,送り速度1,000mm/分,押付け量1m
m/パスの条件下でステンレス鋼板を研磨した。なお、
図2に示す軌跡に沿ってステンレス鋼板6上で研磨工具
を移動させ、全軌跡の移動が完了することを1パスとし
てカウントした。蓚酸系研磨液の研磨能力を、硝酸系研
磨液の研磨能力と比較して表6に示す。表6にみられる
ように、#3,000の研磨面にある条痕を除去するた
めに必要な研磨パス回数は、蓚酸系研磨液及び硝酸系研
磨液共に4パスであった。研磨された研磨面の表面粗さ
は、表7に示されているように蓚酸系及び硝酸系研磨液
の間で差異が検出されず、Rmax =0.1μmの高鏡面
に仕上がっていた。このことから、板材の研磨において
も、本発明の蓚酸系研磨液は、従来の硝酸系研磨液と同
等な研磨能力及び研磨面品質をもつことが判った。
Aであるステンレス鋼板を使用し、蓚酸系研磨液と硝酸
系研磨液による研磨能力を比較実験した。被研磨材に
は、予め#400〜#3,000の弾性砥石で前研磨し
たものを使用した。研磨液には、蓚酸又は硝酸濃度が1
%で、WA濃度を75g/lに調整したものを用意し
た。研磨工具には、外径150mmのポリウレタン樹脂
製スポンジ1を取り付けたものを使用した。回転数30
0rpm,送り速度1,000mm/分,押付け量1m
m/パスの条件下でステンレス鋼板を研磨した。なお、
図2に示す軌跡に沿ってステンレス鋼板6上で研磨工具
を移動させ、全軌跡の移動が完了することを1パスとし
てカウントした。蓚酸系研磨液の研磨能力を、硝酸系研
磨液の研磨能力と比較して表6に示す。表6にみられる
ように、#3,000の研磨面にある条痕を除去するた
めに必要な研磨パス回数は、蓚酸系研磨液及び硝酸系研
磨液共に4パスであった。研磨された研磨面の表面粗さ
は、表7に示されているように蓚酸系及び硝酸系研磨液
の間で差異が検出されず、Rmax =0.1μmの高鏡面
に仕上がっていた。このことから、板材の研磨において
も、本発明の蓚酸系研磨液は、従来の硝酸系研磨液と同
等な研磨能力及び研磨面品質をもつことが判った。
【0017】
【0018】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、蓚酸及び研磨砥粒が適正に配合された研磨液を使用
して研磨することにより、化学研磨作用及び機械研磨作
用が効果的に発現され、従来から化学研磨に使用されて
いる硝酸系研磨液に比較して研磨能力及び表面研磨品質
を低下させることなく、研磨装置及び周辺機器に及ぼす
悪影響が抑制できる。その結果、研磨装置及び周辺機器
のメンテナンスにかかる費用が大幅に削減され、低コス
トの研磨が可能になる。
は、蓚酸及び研磨砥粒が適正に配合された研磨液を使用
して研磨することにより、化学研磨作用及び機械研磨作
用が効果的に発現され、従来から化学研磨に使用されて
いる硝酸系研磨液に比較して研磨能力及び表面研磨品質
を低下させることなく、研磨装置及び周辺機器に及ぼす
悪影響が抑制できる。その結果、研磨装置及び周辺機器
のメンテナンスにかかる費用が大幅に削減され、低コス
トの研磨が可能になる。
【図1】 本発明実施例で使用した研磨工具
【図2】 ステンレス鋼表面を研磨したときの研磨工具
の軌跡
の軌跡
1:樹脂製スポンジ 2:研磨基台 3:ノズ
ル 4:研磨液 5:ステンレス鋼 6:ステンレス鋼板
ル 4:研磨液 5:ステンレス鋼 6:ステンレス鋼板
Claims (2)
- 【請求項1】 化学研磨作用を呈する1〜10%濃度の
蓚酸水溶液に、機械研磨作用を呈する研磨材として超微
細粒度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分散さ
せた研磨液を用意し、該研磨液を使用してステンレス鋼
を鏡面研磨することを特徴とするステンレス鋼の高鏡面
研磨方法及び高鏡面研磨液。 - 【請求項2】 化学研磨作用を呈する1〜10%濃度の
蓚酸水溶液に、機械研磨作用を呈する研磨材として超微
細粒度の研磨砥粒を50〜100g/lの濃度で分散さ
せたステンレス鋼の高鏡面仕上げ用研磨液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33267095A JPH09150363A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | ステンレス鋼の高鏡面研磨方法及び高鏡面研磨液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33267095A JPH09150363A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | ステンレス鋼の高鏡面研磨方法及び高鏡面研磨液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09150363A true JPH09150363A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18257568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33267095A Withdrawn JPH09150363A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | ステンレス鋼の高鏡面研磨方法及び高鏡面研磨液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09150363A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014106944A1 (ja) * | 2013-01-04 | 2014-07-10 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 合金材料の研磨方法及び合金材料の製造方法 |
| CN113894621A (zh) * | 2021-10-18 | 2022-01-07 | 山西太钢不锈钢股份有限公司 | 一种提高不锈钢表面抛光质量的方法 |
-
1995
- 1995-11-27 JP JP33267095A patent/JPH09150363A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014106944A1 (ja) * | 2013-01-04 | 2014-07-10 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 合金材料の研磨方法及び合金材料の製造方法 |
| CN104903052A (zh) * | 2013-01-04 | 2015-09-09 | 福吉米株式会社 | 合金材料的研磨方法和合金材料的制造方法 |
| JPWO2014106944A1 (ja) * | 2013-01-04 | 2017-01-19 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 合金材料の研磨方法及び合金材料の製造方法 |
| CN113894621A (zh) * | 2021-10-18 | 2022-01-07 | 山西太钢不锈钢股份有限公司 | 一种提高不锈钢表面抛光质量的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |