JPH09160797A - 複数モジュールへのデータ転送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体テスタにおいて、同じコマンドを実行さ
せる複数のピンに対して同時にそのコマンドを転送でき
るようにし、設定変更も容易にできるようにした、転送
効率の良いデータ転送方法を提供すること。 【解決手段】同じコマンドを受け取らせたいピンを予め
選択的に設定しておき、その後にそのピンに対して同時
にコマンドを転送するという方法をとる。すなわち、複
数のピンを所定の数ずつに区切って幾つかのグループに
分け、そのグループごとに、コマンドを受け取らせたい
ピンをアクセプタとして設定するためのデータを１単位
として転送し、アクセプタの設定が完了すると、それら
に対して同時にコマンドを転送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ピン・エレクトロ
ニクス（以後、「ピン」と称する）毎にコマンドを受け
とれるような構成（パーピン・アーキテクチャ）を持つ
半導体テスタにおける、それぞれのピンに実行させるコ
マンドの転送方法に関する。さらに詳細には、指定した
ピンを同一の設定にするためのコマンドをまとめて送れ
るようにした転送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】IC、PCボードなどの機能テストは、その
端子に所望の信号を供給し、それに応答して端子に現わ
れる信号を測定し、その値を期待値と比較することによ
って合否を判定するという一連の動作によって行われ
る。近年の半導体技術の微細化には目覚ましいものがあ
り、それに伴い半導体部品が高機能化、多ピン化するに
伴って、その製造時のテストに必要なデータの量も膨大
になってきている。このように、テストに必要なデータ
量が増大すると、試験制御装置（ホスト・コンピュータ
等）から被制御モジュールへの試験データの転送に要す
る時間が長くなる。そのため、特に製造ラインでは製品
検査にかかる時間は極力短くしたい要求があり、そのた
めには各測定項目にかかる時間はできるだけ短縮する必
要がある。しかし、多ピン化によるテスト・データの量
の増加とテストの高速化は相反する要求であり、実現は
困難を極めている。

【０００３】こういった試験データの転送時間の問題を
解決するために、従来は、制御装置から被制御モジュー
ルへのデータ転送路の転送速度を速くしたり、被制御モ
ジュールのメモリ容量を大きくとる等といった方法をと
っていた。しかし、このような解決方法ではコスト等の
問題もあり、データ転送時間の短縮には限度があった。

【０００４】また、こういった問題を解決するために、
特願平1-110939、「試験データ圧縮方式」に記されてい
るように、試験データを圧縮して転送し、被制御モジュ
ール内において展開してから使用するといった方法もあ
った。当該発明では、試験データを、入力期待値、出力
波形フォーマット、入出力タイミング番号等から構成さ
れるとし、そのうちの変化頻度の低い出力波形フォーマ
ットや入出力タイミング番号等については、その変化点
のみを記録することによりデータを圧縮し、データ転送
時間を短縮するという方法をとっている。しかしこの方
法は、一つの被制御モジュールに対してのデータ転送に
おける冗長部分を削減することを目的としており、同一
データを複数の被制御モジュールに転送する場合の効率
化は図られていない。

【０００５】このように、従来の半導体テスタでは、各
被制御モジュール（被制御モジュールとピンが一対一対
応であることから、以後、両者を単にピンと総称す
る。）を同じ設定にする場合であっても、全部のピンに
対して同じコマンドを繰り返し送るか、あるいは全ピン
に対して同じ設定をするコマンドを送ることしか出来な
かった。そのために、設定変更を行うのに複数のピンに
同じコマンドを送らなくてはならず、設定変更に余分な
時間がかかるという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、同じコマンドを実行させる複数のピンに対して同時
にそのコマンドを転送できるようにし、設定変更も容易
にできるようにした、転送効率の良いデータ転送方法を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、同じコマンドを受け取らせたいピンを
予め選択的に設定しておき、その後にそのピンに対して
同時にコマンドを転送するという方法をとる。すなわ
ち、複数のピンを所定の数（第２のバスのビット数、本
発明の一実施例では１６）ずつに区切って幾つかのグル
ープに分け、そのグループごとに、コマンドを受け取ら
せたいピンをアクセプタとして設定するためのデータを
１単位として転送し（全体で２５６ピンあって、第２の
バスが１６ビットあれば、１回のデータ転送で１６ピン
分の設定ができるので、１６回のデータ転送でアクセプ
タの設定が完了する）、アクセプタの設定が完了する
と、それらに対して同時にコマンドを転送するという方
法である。また、全てのピンに対してアクセプタを解除
したり、設定したりするコマンドを設けたり、単一のピ
ンに対してコマンドを転送するモードや、全てのピンに
対して同じコマンドを同時に転送するモードなどを設け
たりすることも可能である。

【０００８】

【実施例】本発明による一実施例を以下に詳述する。図
１に示す半導体テスターにおいて、ホスト・コンピュー
タ１０１と被制御モジュール１０５を第１のバス１０３
と第２のバス１０２とコントロール・ライン１０４で接
続する。各被制御モジュールはホスト・コンピュータに
よって命令されたコマンドをバス・ラインを通して受け
取り、所望の設定を行う。その後、ホスト・コンピュー
タによるテスト開始命令により、各被制御モジュールは
対応する各ピンに対して信号を供給し、ＤＵＴ１０６の
テストを開始する。なお、ホスト・コンピュータ、各被
制御モジュール、その間の物理的な接続形態、及びその
間の信号の送受信とその作動回路については、当業者に
は周知の事項であり、また、本願発明の要旨とは直接関
係しないため、ここではこれ以上説明しない。

【０００９】第１のバス及び第２のバスの両方を使うこ
とによるアドレッシング方法として、単ピン・アドレッ
シング・モード、複数ピン・アドレッシング・モード、
ユニバーサル・アドレッシング・モード、複数アクセプ
タ・コンフィギュレーション・モードの４通りのモード
を持たせる。各モードの機能については後に詳述する。

【００１０】図２に示すように、第１のバスのビットの
中に、コマンドIDビット２０１とピンIDビット２０２と
トランスファー・モード・ビット２０３を設ける。コマ
ンドIDビットにはピンが受け取るコマンドIDが、ピンID
ビットにはコマンドを受け取るピンIDが（複数アクセプ
タ・コンフィギュレーション・モード時にはピン・グル
ープの値を示し、ユニバーサル・アドレッシング・モー
ド時には無視される）、トランスファー・モード・ビッ
トにはその転送がどのモードによるものかを示すコード
が、それぞれ設定される。本実施例においては４つのト
ランスファー・モードを設けるので、トランスファー・
ビットは２ビット設けている。また、ピンIDビットは８
ビット設け、２５６ピンの指定ができるようにしてい
る。さらに、コマンドIDビットは７ビット設けてある。
また、第２のバスには１６ビットのデータ・ビット２０
４を設ける。もちろん、システムの規模やバスの大きさ
によって、各ビットの割当ては変更することが可能であ
り、本実施例に限定されるものではない。また、バスに
関しても同様で、本実施例に限定されるものではなく、
１本のバスで構成してもよいし、３本以上に分割された
バスで構成してもよい。

【００１１】以下に各モードの機能について詳述する。
単ピン・アドレッシング・モードは１つのピンのみにコ
マンドを転送する時に用いられる。トランスファー・ビ
ットが単ピン・アドレッシング・モードを示す時、ピン
IDビットに指定されたピンのみに、コマンドIDビットに
示されたコマンドが転送される。

【００１２】ユニバーサル・アドレッシング・モード
は、全ピンに対して同時に同じコマンドを転送する時に
用いられる。トランスファー・ビットがユニバーサル・
アドレッシング・モードを示す時、ピンIDビットの値は
無視され、全ピンが転送されてきたコマンドを受け取
り、実行する。全ピンに対して同じ設定を行なう時など
に有効である。

【００１３】複数ピン・アドレッシング・モードは、複
数アクセプタ（コマンドを受け取るように選ばれたピ
ン）として指定された複数のピンに同時にコマンドを送
る時に用いられる。トランスファー・ビットがこのモー
ドを示す時は、ピンIDビットの値は無視され、複数アク
セプタ・コンフィギュレーション・モードにおいて複数
アクセプタとしてあらかじめ指定されたピンのみが、転
送されてきたコマンドを受取り、実行する。

【００１４】複数アクセプタ・コンフィギュレーション
・モードは、同じコマンドを同時に受取らせたい複数の
ピンをアクセプタとして指定する時に用いられる。トラ
ンスファー・ビットがこのモードを示す時、選択された
所望の複数のピンがアクセプタとして指定される。この
モードにおけるアクセプタの指定方法に関しては、後に
詳述する。このモードによって指定されたピンは、前記
複数ピン・アドレッシング・モードにおいてコマンドを
受取り、実行する。

【００１５】以下に複数アクセプタ・コンフィギュレー
ション・モードにおいて、複数のピンをアクセプタとし
て指定する方法を図４に示したフロー図に沿って説明す
る。

【００１６】まず、ユニバーサル・アドレッシング・モ
ードで、アクセプタ解除コマンド（後述する）を転送
し、アクセプタを解除して、全ピンを非指定状態にして
おく（４０１）。

【００１７】コマンドを受取らせたいピンをアクセプタ
として指定するために、コマンドを転送する前にそのコ
ンフィギュレーションを行う必要があるが、このコンフ
ィギュレーションを１ピンずつ行っていると効率が悪い
ので、ある大きさのピン・グループに分割し、そのピン
・グループ毎にピン指定を行う。

【００１８】例えば、本実施例では、ピンIDを１６で割
った値をピン・グループ、１６のモジュロをとった値
（ピンIDの下位４ビットの値に相当）をビットIDと呼ぶ
ことにする。すると各ピンは、図３に示すように、必ず
どれか１つのピン・グループに属する。このようにして
各ピンは、ピン・グループとビットIDによって表すこと
ができる（４０２）。

【００１９】第１のバスのコマンドIDビットに、指定し
たいピンのピン・グループ値を設定し、それと同時に第
２のバス（本実施例のバス幅は１６ビット）上におい
て、指定したいピンのビットID番目のビットを立たせ
る。（この場合、ピンIDビットは無視される。）このよ
うにして、第２のバスのビットに意味を持たせることに
より、本実施例では一度の転送で最大１６ピン分（バス
幅）の指定が可能となる。このようにして各ピンは、複
数アクセプタ・コンフィギュレーション・モードで送ら
れてきたコマンドIDビットの値が自分の属するピン・グ
ループ値と一致した場合に、第２のバスで送られてきた
データのビットID番目のビットを読むことによって、自
分がアクセプタになるかどうかを判断する（４０３）。

【００２０】アクセプタとして設定された各ピンは、複
数ピン・アドレッシング・モードにおいて同一のコマン
ドを受け取る（４０４）。この場合、コマンド・データ
は第１のバスのコマンドIDビットに設定される。またこ
の時、ピンIDビットは無視され、アクセプタとして設定
されたピンのみがコマンドを受け取る。

【００２１】このように、複数のピンに同じコマンドを
転送する場合には、複数アクセプタ・コンフィギュレー
ション・モードで複数アクセプタを指定し、複数ピン・
アドレッシング・モードにてコマンドを転送する方法が
有効であるが、以下に、このモードを使用すると転送効
率が上がる場合の最低ピン数を試算しておく。

【００２２】例えば、半導体テスタの最大ピン数が２５
６である場合、第２のバスが１６ビットであれば、１６
ピン・グループに分割できるので、１６回の転送で複数
アクセプタの指定が完了する。よって、以下に示す式に
より、指定した各アクセプタに転送するコマンドの数に
対する、転送効率が上がる最少ピン数は表１に示すよう
になる。 MinPin＝（１６＋（転送コマンド数））／転送コマンド
数 大抵の場合、測定のための設定には５つ乃至６つのコマ
ンドは送らざるを得ないので、表からも分かるように、
４ピン以上同じ設定である場合にはこの方法は有効であ
る。

【００２３】

【表１】

【００２４】以上のような各モードを使って、各ピンに
対して設定を行なうためのコマンドを転送するわけであ
るが、これらのコマンドの他に、アクセプタ解除コマン
ドと、アクセプタ指定コマンドを用意する。アクセプタ
解除コマンドは、すでにアクセプタとして指定されてい
るピンを解除して、非指定状態にする。つまり、ユニバ
ーサル・アドレッシング・モードにおいてこのコマンド
が送られると、全ピンが非指定状態になる。また、アク
セプタ指定コマンドは、ユニバーサル・アドレッシング
・モードや単ピン・アドレッシング・モードにおいて送
られた場合に、そのモードで指定したピンをアクセプタ
として設定するコマンドである。

【００２５】これらのコマンドを使うことによって、ア
クセプタとして設定するピンの数に応じて他の転送方法
も可能になる。例えば、ほとんどのピンをアクセプタと
して設定し、ごく一部のピンのみを設定から除外する場
合であるが、まず、ユニバーサル・アドレッシング・モ
ードにおいてアクセプタ指定コマンドを転送し、その
後、単ピン・アドレッシング・モードにおいて、指定か
ら除外する各ピンに対してアクセプタ解除コマンドを転
送していき、所望のアクセプタの設定が完了する。その
後、複数ピン・アドレッシング・モードにおいて一度に
設定コマンドを転送する。このように、状況に応じて柔
軟性をもった設定を行なうようにすることも可能であ
る。

【００２６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、複数のピンに対して同じ設定を行なうためのデー
タを転送する時、任意の本数の所望のピンのみに選択的
にデータを転送できるので、設定の変更時に余分な時間
をかけることなく設定の変更ができるようになる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例が適用される、半導体テスト
システムのブロック図である。

【図２】本発明の一実施例における、第１のバスとビッ
ト・ラインのビット・アサインを示した図である。

【図３】本発明の一実施例において、選択された被制御
モジュールをピン・グループに分割する方法を具体的に
示した図である。

【図４】本発明の一実施例において、所望の複数ピンの
みに選択的にデータを転送する方法の各ステップを示し
たフロー図である。

【符号の説明】

１０１：ホスト・コンピュータ １０２：第２のバス １０３：第１のバス １０４：コントロール・ライン １０５：被制御モジュール １０６：ＤＵＴ ２０１：コマンドIDビット ２０２：ピンIDビット ２０３：トランスファー・モード・ビット ２０４：データ・ビット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】以下の（ａ）及び（ｂ）のステップを設け
   て成る、複数モジュールへのデータ転送方法： （ａ）複数の被制御モジュールを所定の数ずつに区切
   り、幾つかのグループに分け、前記グループごとに、コ
   マンドを受け取る被制御モジュールを予め動的に指定す
   るステップ； （ｂ）前記ステップで指定された前記被制御モジュール
   に同時にデータを送るステップ。
2. 【請求項２】前記ステップ（ａ）において、各被制御モ
   ジュールの番号を前記所定の数で割った値を表すデータ
   をバス上の所定のビットに設定し、その剰余を表すデー
   タをバス上の所定のビットに設定するステップを含むこ
   とを特徴とする、請求項１に記載の複数モジュールへの
   データ転送方法。
3. 【請求項３】以下の（１）〜（４）のモードを有し、バ
   ス上の所定のビットに各モードを表すデータを設定する
   ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の複
   数モジュールへのデータ転送方法： （１）単一の被制御モジュールにコマンドを送るための
   第１のモード； （２）全被制御モジュールに同一コマンドを同時に送る
   ための第２のモード； （３）同一コマンドを同時に受け取る被制御モジュール
   を指定するための第３のモード； （４）コマンドを受け取るように予め指定された被制御
   モジュールにコマンドを送るための第４のモード。
4. 【請求項４】全てのモジュールに対して、コマンドを受
   取る指定を解除するステップを、前記ステップ（ａ）の
   前にさらに設けることを特徴とする、請求項１、請求項
   ２、または請求項３に記載の複数のモジュールへのデー
   タ転送方法。