JPH09161233A - 磁気ヘッド及びその試験方法及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその試験方法及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09161233A JPH09161233A JP31900495A JP31900495A JPH09161233A JP H09161233 A JPH09161233 A JP H09161233A JP 31900495 A JP31900495 A JP 31900495A JP 31900495 A JP31900495 A JP 31900495A JP H09161233 A JPH09161233 A JP H09161233A
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- magnetic
- magnetic field
- magnetoresistive effect
- effect element
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気抵抗効果素子の磁気特性試験に際し, 外
部磁場印加用の大きなコイルを不要とし, 磁気抵抗効果
素子に効果的に磁場をあたえる。 【解決手段】 １）一対の磁気シールド膜で挟まれた磁
気抵抗効果素子を有し，該磁気シールド膜は導電材料か
らなり，それぞれの一端は接続され，それぞれの他端に
は電極が設けられている磁気ヘッド， ２）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド間に磁
界を発生させ，前記磁気抵抗効果素子の磁気特性を測定
する磁気ヘッドの試験方法， ３）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド間に磁
界を発生させながら，前記磁気抵抗効果素子を熱処理す
る磁気ヘッドの製造方法。
部磁場印加用の大きなコイルを不要とし, 磁気抵抗効果
素子に効果的に磁場をあたえる。 【解決手段】 １）一対の磁気シールド膜で挟まれた磁
気抵抗効果素子を有し，該磁気シールド膜は導電材料か
らなり，それぞれの一端は接続され，それぞれの他端に
は電極が設けられている磁気ヘッド， ２）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド間に磁
界を発生させ，前記磁気抵抗効果素子の磁気特性を測定
する磁気ヘッドの試験方法， ３）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド間に磁
界を発生させながら，前記磁気抵抗効果素子を熱処理す
る磁気ヘッドの製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はハードディスクドラ
イブ(HDD) 装置に用いられる磁気ヘッド及びその試験方
法及びその製造方法に関する。
イブ(HDD) 装置に用いられる磁気ヘッド及びその試験方
法及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，磁気ヘッドの製造過程において,
磁気特性の測定や, 磁気材料の磁区制御は，外部より大
きなコイルにより磁場を均一に発生させた装置内に磁気
ヘッドを構成する磁気抵抗(MR)素子を置いて行われてい
た。
磁気特性の測定や, 磁気材料の磁区制御は，外部より大
きなコイルにより磁場を均一に発生させた装置内に磁気
ヘッドを構成する磁気抵抗(MR)素子を置いて行われてい
た。
【０００３】図２(A),(B) は磁気ヘッドの従来例の説明
図である。図２(A) は断面図, 図２(B) は平面図であ
る。図において， 1は磁気抵抗(MR)素子, 2は下部磁気
シールド, 3は上部磁気シールド, 4は書き込み用のラ
イトポール, 5はライトコイル, 101, 102は磁気抵抗効
果素子の端子 (電極), 501, 502 はライトコイルの端子
である。
図である。図２(A) は断面図, 図２(B) は平面図であ
る。図において， 1は磁気抵抗(MR)素子, 2は下部磁気
シールド, 3は上部磁気シールド, 4は書き込み用のラ
イトポール, 5はライトコイル, 101, 102は磁気抵抗効
果素子の端子 (電極), 501, 502 はライトコイルの端子
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２に示されるよう
に，磁気抵抗効果(MR)素子 1を挟む磁気シールド 2, 3
の存在により, 磁気抵抗効果素子に外部より有効な磁場
を与えることは極めて困難であった。
に，磁気抵抗効果(MR)素子 1を挟む磁気シールド 2, 3
の存在により, 磁気抵抗効果素子に外部より有効な磁場
を与えることは極めて困難であった。
【０００５】本発明は，磁気抵抗効果素子の磁気特性試
験に際し, 外部磁場印加用に従来から用いられていた磁
場発生用の大きなコイルを不要とし, 磁気抵抗効果素子
に効果的に磁場をあたえることを目的とする。
験に際し, 外部磁場印加用に従来から用いられていた磁
場発生用の大きなコイルを不要とし, 磁気抵抗効果素子
に効果的に磁場をあたえることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は， １）一対の磁気シールド膜で挟まれた磁気抵抗効果素子
を有し，該磁気シールド膜は導電材料からなり，それぞ
れの一端は接続され，それぞれの他端には電極が設けら
れている磁気ヘッド，あるいは ２）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド膜間に
磁界を発生させ，前記磁気抵抗効果素子の磁気特性を測
定する磁気ヘッドの試験方法，あるいは ３）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド膜間に
磁界を発生させながら，前記磁気抵抗効果素子を熱処理
する磁気ヘッドの製造方法，あるいは ４）前記電極と記録媒体間の静電容量を測定することに
より磁気ヘッドと記録媒体との距離を検出する磁気ヘッ
ドの試験方法，あるいは ５）前記電極間にバイアス磁界用の電流を流しながら再
生することを特徴とする磁気ヘッドにより達成される。
を有し，該磁気シールド膜は導電材料からなり，それぞ
れの一端は接続され，それぞれの他端には電極が設けら
れている磁気ヘッド，あるいは ２）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド膜間に
磁界を発生させ，前記磁気抵抗効果素子の磁気特性を測
定する磁気ヘッドの試験方法，あるいは ３）前記電極間に電流を流し，前記磁気シールド膜間に
磁界を発生させながら，前記磁気抵抗効果素子を熱処理
する磁気ヘッドの製造方法，あるいは ４）前記電極と記録媒体間の静電容量を測定することに
より磁気ヘッドと記録媒体との距離を検出する磁気ヘッ
ドの試験方法，あるいは ５）前記電極間にバイアス磁界用の電流を流しながら再
生することを特徴とする磁気ヘッドにより達成される。
【０００７】次に，本発明の作用について説明する。本
発明では磁気ヘッド自身で磁場を発生するため， (1) 外部からの磁場の印加なしで磁気抵抗効果素子の磁
気特性を試験することができる。従って, 試験の際のプ
ロービングで, 外部磁場印加用のコイルを避ける必要が
無く一般のプローバを用いることができる。 (2) また，製造プロセス中に検査できることで，ウェー
ハプロセス後の加工・組立の歩留りを向上できる。 (3）さらに，磁気抵抗効果素子の磁区制御を行う際の磁
場中のアニールが可能となる。
発明では磁気ヘッド自身で磁場を発生するため， (1) 外部からの磁場の印加なしで磁気抵抗効果素子の磁
気特性を試験することができる。従って, 試験の際のプ
ロービングで, 外部磁場印加用のコイルを避ける必要が
無く一般のプローバを用いることができる。 (2) また，製造プロセス中に検査できることで，ウェー
ハプロセス後の加工・組立の歩留りを向上できる。 (3）さらに，磁気抵抗効果素子の磁区制御を行う際の磁
場中のアニールが可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に, 図を用いて本発明の磁気ヘ
ッドを説明する。図１(A),(B) は実施の形態の説明図で
ある。
ッドを説明する。図１(A),(B) は実施の形態の説明図で
ある。
【０００９】図１(A) は断面図, 図１(B) は平面図であ
る。図において， 1は磁気抵抗(MR)素子, 2は下部磁気
シールド, 3は上部磁気シールド, 4は書き込み用のラ
イトポール, 5はライトコイル, 23は上下の磁気シール
ドの接続部, 101, 102 は磁気抵抗効果素子の端子 (電
極), 501, 502 はライトコイルの端子, 201, 301は本発
明に係る磁場発生用電流を上下の磁気シールドに流すた
めの端子である。
る。図において， 1は磁気抵抗(MR)素子, 2は下部磁気
シールド, 3は上部磁気シールド, 4は書き込み用のラ
イトポール, 5はライトコイル, 23は上下の磁気シール
ドの接続部, 101, 102 は磁気抵抗効果素子の端子 (電
極), 501, 502 はライトコイルの端子, 201, 301は本発
明に係る磁場発生用電流を上下の磁気シールドに流すた
めの端子である。
【００１０】一般的な磁気ヘッドは上記の上下の磁気シ
ールドの間に磁気抵抗効果素子がある。この状態では磁
気抵抗効果素子は磁気シールドにより磁気シールドされ
ているから, 磁気抵抗効果素子の磁気特性を測定するこ
とはできない。また，磁気抵抗効果素子の磁区制御のた
めの磁場中熱処理を行う際にも強力な外部磁場が必要と
なる。
ールドの間に磁気抵抗効果素子がある。この状態では磁
気抵抗効果素子は磁気シールドにより磁気シールドされ
ているから, 磁気抵抗効果素子の磁気特性を測定するこ
とはできない。また，磁気抵抗効果素子の磁区制御のた
めの磁場中熱処理を行う際にも強力な外部磁場が必要と
なる。
【００１１】このため，本発明では磁気シールド 2, 3
の一端に接続部23を設け, 他端に電極201, 301を設け
て, 図示のように磁場発生用電流Ｉを流すようにする。
磁気抵抗効果素子にはこの電流に応じた磁場が発生し，
磁気抵抗の測定や，磁区制御を行うことができる。
の一端に接続部23を設け, 他端に電極201, 301を設け
て, 図示のように磁場発生用電流Ｉを流すようにする。
磁気抵抗効果素子にはこの電流に応じた磁場が発生し，
磁気抵抗の測定や，磁区制御を行うことができる。
【００１２】いま例えば簡単なモデルを考え, ギャップ
を挟んで反対方向に上下の導線を流れる無限に長い直線
電流を仮定し，上下の導線の径をａとしギャップをｔと
すると, ギャップ内に発生する磁界Ｈは， Ｈ＝２Ｉ／２πｒ で表される。ここに，ｒ＝（ａ＋ｔ）／２である。
を挟んで反対方向に上下の導線を流れる無限に長い直線
電流を仮定し，上下の導線の径をａとしギャップをｔと
すると, ギャップ内に発生する磁界Ｈは， Ｈ＝２Ｉ／２πｒ で表される。ここに，ｒ＝（ａ＋ｔ）／２である。
【００１３】この式に，ａ＝２μｍ，ｔ＝0.4 μｍを代
入すると，Ｈ／Ｉ＝3.3 Oe／mAとなる。磁気シールドで
は数100 mAの電流を流すことができるため，強い磁界を
発生することができる。
入すると，Ｈ／Ｉ＝3.3 Oe／mAとなる。磁気シールドで
は数100 mAの電流を流すことができるため，強い磁界を
発生することができる。
【００１４】次に, 本発明の電極を用いて実施できる種
々の測定法について説明する。 (1) 電極201, 301間に電流を流し，磁気シールド間に磁
場を発生させると共に,外部より，例えば 200〜300 ℃
で１時間の熱処理を行って温度制御することにより, 磁
気抵抗効果素子の磁場中熱処理を行うことができる。 (2) 電極 201, 301 と, 他の電極すなわち磁気抵抗効果
素子の電極 101, 102 あるいはライトコイルの電極 50
1, 502 との間の絶縁抵抗を測定できる。 (3）電極 201と記録媒体 (ディスク) との間の静電容量
を測定して, 磁気ヘッドと記録媒体間の距離を検出する
ことができる。 (4）記録を再生する際に, 電極201, 301間に電流を流し
てバイアス磁場を印加することにより，読み取り信号の
S/N 比を上げ, 再生特性を向上できる。
々の測定法について説明する。 (1) 電極201, 301間に電流を流し，磁気シールド間に磁
場を発生させると共に,外部より，例えば 200〜300 ℃
で１時間の熱処理を行って温度制御することにより, 磁
気抵抗効果素子の磁場中熱処理を行うことができる。 (2) 電極 201, 301 と, 他の電極すなわち磁気抵抗効果
素子の電極 101, 102 あるいはライトコイルの電極 50
1, 502 との間の絶縁抵抗を測定できる。 (3）電極 201と記録媒体 (ディスク) との間の静電容量
を測定して, 磁気ヘッドと記録媒体間の距離を検出する
ことができる。 (4）記録を再生する際に, 電極201, 301間に電流を流し
てバイアス磁場を印加することにより，読み取り信号の
S/N 比を上げ, 再生特性を向上できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば, 磁気抵抗効果素子の磁
気特性試験あるいは磁区制御に際し,外部磁場印加用に
従来から用いられていた大きなコイルを不要とし, 磁気
抵抗効果素子に効果的に磁場をあたえるができる。この
結果，製造プロセス中の磁気特性を測定できるため歩留
を向上できる。また，磁気ヘッドと記録媒体間の距離も
検出でき，さらに，ヘッドにバイアス磁場を容易に印加
でき再生特性を向上できる。
気特性試験あるいは磁区制御に際し,外部磁場印加用に
従来から用いられていた大きなコイルを不要とし, 磁気
抵抗効果素子に効果的に磁場をあたえるができる。この
結果，製造プロセス中の磁気特性を測定できるため歩留
を向上できる。また，磁気ヘッドと記録媒体間の距離も
検出でき，さらに，ヘッドにバイアス磁場を容易に印加
でき再生特性を向上できる。
【図１】 本発明の実施の形態の説明図
【図２】 従来例の説明図
1 磁気抵抗(MR)素子 2 下部磁気シールド 3 上部磁気シールド 4 ライトポール 5 ライトコイル 23 上下の磁気シールドの接続部 101, 102 磁気抵抗効果素子の端子 (電極), 501, 502 ライトコイルの端子 201, 301 磁場発生用電流を上下の磁気シールドに流
すための端子
すための端子
Claims (5)
- 【請求項１】 一対の磁気シールド膜で挟まれた磁気抵
抗効果素子を有し，該磁気シールド膜は導電材料からな
り，それぞれの一端は接続され，それぞれの他端には電
極が設けられていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記電極間に電流を流し，前記磁気シー
ルド膜間に磁界を発生させ，前記磁気抵抗効果素子の磁
気特性を測定することを特徴とする磁気ヘッドの試験方
法。 - 【請求項３】 前記電極間に電流を流し，前記磁気シー
ルド膜間に磁界を発生させながら，前記磁気抵抗効果素
子を熱処理することを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項４】 前記電極と記録媒体間の静電容量を測定
することにより磁気ヘッドと該記録媒体との距離を検出
することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。 - 【請求項５】 前記電極間にバイアス磁界用の電流を流
しながら再生することを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31900495A JPH09161233A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 磁気ヘッド及びその試験方法及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31900495A JPH09161233A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 磁気ヘッド及びその試験方法及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09161233A true JPH09161233A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18105431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31900495A Withdrawn JPH09161233A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 磁気ヘッド及びその試験方法及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09161233A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6633459B2 (en) * | 2000-06-20 | 2003-10-14 | Seagate Technology Llc | Functional recording-head on-slider lap monitor |
| JP2005032429A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | スライダおよびそれを使用したシステムおよび方法 |
| US8654479B2 (en) * | 2012-06-28 | 2014-02-18 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic recording head with thin film which constructs sensor or heater beneath main magnetic pole |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP31900495A patent/JPH09161233A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6633459B2 (en) * | 2000-06-20 | 2003-10-14 | Seagate Technology Llc | Functional recording-head on-slider lap monitor |
| JP2005032429A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | スライダおよびそれを使用したシステムおよび方法 |
| US7042670B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-05-09 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method for adjusting flying height of magnetic heads using an electrical charge through an electrical pad on the slider |
| US8654479B2 (en) * | 2012-06-28 | 2014-02-18 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic recording head with thin film which constructs sensor or heater beneath main magnetic pole |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |