JPH0916267A - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置

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JPH0916267A
JPH0916267A JP7164902A JP16490295A JPH0916267A JP H0916267 A JPH0916267 A JP H0916267A JP 7164902 A JP7164902 A JP 7164902A JP 16490295 A JP16490295 A JP 16490295A JP H0916267 A JPH0916267 A JP H0916267A
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圭志 平尾
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道雄 山路
Shigeru Itoi
茂 糸井
Tsutomu Shinohara
努 篠原
Shinichi Ikeda
信一 池田
Yuji Karato
裕司 唐土
Tetsuya Kojima
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 配管のさい必要となる継手数、溶接箇所およ
びチューブ数を減少する。 【構成】 流体制御装置1 は、マスフローコントローラ
2 と、マスフローコントローラ2 の入口側に設けられた
２つの開閉弁3,4 と、マスフローコントローラ2の出口
側に設けられた３つの開閉弁5,6,7 とを備えている。入
口側においては、パージ流体用開閉弁3 の上にメイン流
体用開閉弁4 が重ねられており、出口側においては、真
空吸引用開閉弁5 の上に排気用開閉弁6 が重ねられ、さ
らにこの上にメイン通路用開閉弁7 が重ねられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体の製造装置な
どに使用される流体制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】流量または圧力を調整する調整器の入口
側および出口側の少なくとも一方に、複数の弁よりなり
複数の流路を切り換えて調整器の流路に連通させる弁装
置が設けられている流体制御装置は、従来より知られて
いる。
【０００３】図５および図６は、従来の流体制御装置を
示し、図７は、従来の流体制御装置が２列左右方向に並
べられて互いに接続された状態を示している。以下の説
明において、前後左右は、流体の流れる方向に対してい
うものとし、図５の右側を前、左側を後、同図紙面裏側
を左、表側を右とする。また、図５の上下を上下をいう
ものとする。
【０００４】図５および図６に示すように、従来の流体
制御装置(101) は、マスフローコントローラ（調整器）
(102) と、これの入口側（後側）および出口側（前側）
にそれぞれ設けられた開閉弁(103)(104)(105)(106)(10
7) とよりなる。開閉弁(103)(104)(105)(106)(107)
は、計５つあり、入口側には、マスフローコントローラ
(102) に直結されたメイン流体用開閉弁(103) およびこ
れの右方に直結されたパージ流体用開閉弁(104) の２つ
が設けられ、出口側には、マスフローコントローラ(10
2) に直結されたメイン通路用開閉弁(105) 、これの右
方に直結された排気用開閉弁(106) およびさらにこれの
右方に直結された真空吸引用開閉弁(107) の３つが設け
られている。
【０００５】メイン流体用開閉弁(103) は、プロセスガ
スの流入路を開閉するものであり、後方に開口した流入
路(131) 、前方に開口した流出路(132) および流出路(1
32)に連通しかつ右方に開口したバイパス流路(133) を
有する直方体状本体(108) と、流入路(131) を開閉する
アクチュエータ(109) とよりなり、流入路(131) の開口
縁部には、スリーブ接続用めねじ部(110) が設けられて
いる。
【０００６】パージ流体用開閉弁(104) は、パージ用ガ
スの流入路を開閉するものであり、後方に開口した流入
路(134) 、メイン流体用開閉弁(103) のバイパス流路(1
33)に連通する流出路(135) を有する直方体状本体(111)
と、流入路(134) を開閉するアクチュエータ(112) と
よりなり、流入路(134) の開口縁部には、スリーブ接続
用めねじ部(113) が設けられている。
【０００７】メイン通路用開閉弁(105) は、プロセスチ
ャンバに至る流路を開閉するものであり、後方に開口し
た流入路(136) 、前方に開口した流出路(137) および流
入路(136) に連通し右方に開口したバイパス流路(138)
を有する直方体状本体(114)と、流入路(136) を開閉す
るアクチュエータ(115) とよりなり、流出路(137) の開
口縁部には、スリーブ接続用めねじ部(116) が設けられ
ている。
【０００８】排気用開閉弁(106) は、パージ用ガスの流
出路を開閉するものであり、前方に開口した流出路(14
0) 、メイン通路用開閉弁(105) のバイパス流路(138)
に連通する左方に開口した流入路(139) およびこの流入
路(139) に連通し右方に開口したバイパス流路(141) を
有する直方体状本体(117) と、流入路(139) を開閉する
アクチュエータ(118) とよりなり、流出路(140) の開口
縁部には、スリーブ接続用めねじ部(119) が設けられて
いる。
【０００９】真空吸引用開閉弁(107) は、真空吸引ポン
プに通じる流路を開閉するもので、前方に開口した流出
路(143) および排気用開閉弁(106) のバイパス流路(14
1) に連通する左方に開口した流入路(142) を有する直
方体状本体(120) と、流入路(142) を開閉するアクチュ
エータ(121) とよりなり、流出路(143) の開口縁部に
は、スリーブ接続用めねじ部(122) が設けられている。
【００１０】メイン流体用開閉弁(103) とパージ流体用
開閉弁(104) とは、右方からねじ込まれたねじ(128) に
より連結されており、メイン通路用開閉弁(105) と排気
用開閉弁(106) と真空吸引用開閉弁(107) とも、右方か
らねじ込まれたねじ(128) により連結されている。左右
に隣り合う開閉弁(103)(104)(105)(106)(107) 間には、
シール部(127) が設けられている。
【００１１】このようにして、調整器(102) の入口側
に、２つの開閉弁(103)(104)により構成されかつ複数の
流入路(131)(134)を切り換えて調整器(102) の流入路に
連通させる入口側弁装置が設けられ、同出口側に、３つ
の開閉弁(105)(106)(107) により構成され複数の流出路
(137)(140)(143) を切り換えて調整器(102) の流出路に
連通させる出口側弁装置が設けられ、流体制御装置(10
1) の入口側のいずれかの流入路(131)(134)に流入した
流体が調整器(102) 内を通って同出口側のいずれかの流
出路(137)(140)(143) から流出させられるようになされ
ている。
【００１２】上記の流体制御装置(101) が２列設けられ
る場合には、図７に示すように、左右２列とされ、隣り
合う制御装置(101) の対応する弁同士、すなわち、パー
ジ流体用開閉弁(104) 同士、メイン通路用開閉弁(105)
同士、排気用開閉弁(106) 同士および真空吸引用開閉弁
(107) 同士が、継手およびチューブを介して接続され
る。なお、メイン流体用開閉弁(103) は、各制御装置(1
01)(101)のメイン流体用開閉弁(103)(103)のめねじ部(1
10)(110)にそれぞれスリーブ（円筒状の継手）(151)(15
3)が接続され、これらのスリーブ(151)(153)に、それぞ
れ単独でプロセスガス供給用チューブ(179)(180)が接続
されており、メイン流体用開閉弁(103) 同士は接続され
ていない。
【００１３】パージ流体用開閉弁(104) 同士について
は、左方に配置された制御装置(101)の開閉弁(104) の
めねじ部(113) にスリーブ(152) が接続され、このスリ
ーブ(152) に第１Ｌ型継手(165) が接続され、第１Ｌ型
継手(165) にさらに第２Ｌ型継手(166) が接続され、右
方に配置された制御装置(101) の開閉弁(104) のめねじ
部(113) にスリーブ(154) が接続され、このスリーブ(1
54) に一端がパージガス供給用チューブ(181) に接続さ
れたＴ型継手(161) が接続され、このＴ型継手(161) に
第３Ｌ型継手(167) が接続され、第２Ｌ型継手(166) と
第３Ｌ型継手(167) とがチューブ(182) で接続されてい
る。第２Ｌ型継手(166) および第３Ｌ型継手(167) は、
接続用のチューブ(182) が右方のプロセスガス供給用チ
ューブ(180) と干渉しないようにするためのものであ
る。
【００１４】メイン通路用開閉弁(105) 同士について
は、左方に配置された制御装置(101)の開閉弁(105) の
めねじ部(116) にスリーブ(155) が接続され、このスリ
ーブ(155) に前後にのびる第１チューブ(183) が接続さ
れ、この第１チューブ(183) にＬ型継手(168) が接続さ
れ、右方に配置された制御装置(101) の開閉弁(105) の
めねじ部(116) にスリーブ(158) が接続され、このスリ
ーブ(158) に前後にのびる第２チューブ(186) が接続さ
れ、この第２チューブ(186) にＴ型継手(162) の後端が
接続され、このＴ型継手(162) の左端とＬ型継手(168)
とが左右にのびる第３チューブ(184) で接続され、Ｔ型
継手(162) の右端に、左右にのびる第４チューブ(185)
を介してスリーブ接続用めねじ部材(192) が設けられて
いる。第１チューブ(183) および第２チューブ(186)
は、他の配管との干渉を防止するためのものであり、第
４チューブ(185) は、他の配管に左右長さを合わせるた
めのものである。
【００１５】排気用開閉弁(106) 同士については、左方
に配置された制御装置(101) の開閉弁(106) のめねじ部
(119) にスリーブ(156) が接続され、このスリーブ(15
6) に第１Ｌ型継手(169) が接続され、この第１Ｌ型継
手(169) に第２Ｌ型継手(170)が接続され、この第２Ｌ
型継手(170) にさらに第３Ｌ型継手(171) が接続され、
右方に配置された制御装置(101) の開閉弁(106) のめね
じ部(119) にスリーブ(159) が接続され、このスリーブ
(159) に第４Ｌ型継手(175) が接続され、この第４Ｌ型
継手(175) に第５Ｌ型継手(176) が接続され、この第５
Ｌ型継手(176) にさらにＴ型継手(163) が接続され、第
３Ｌ型継手(171) とＴ型継手(163) の左端とが左右にの
びる第１チューブ(187) で接続されている。Ｔ型継手(1
63) の右端には、左右にのびる第２チューブ(188) を介
してスリーブ接続用めねじ部材(193) が設けられてい
る。第１Ｌ型継手(169) 、第２Ｌ型継手(170) 、第４Ｌ
型継手(175) および第５Ｌ型継手(176) は、他の配管と
の干渉を防止するためのものであり、第２チューブ(18
8) は、他の配管に左右長さを合わせるためのものであ
る。
【００１６】真空吸引用開閉弁(107) 同士については、
左方に配置された制御装置(101) の開閉弁(107) のめね
じ部(122) にスリーブ(157) が接続され、このスリーブ
(157) に第１Ｌ型継手(172) が接続され、この第１Ｌ型
継手(172) に上下にのびる第１チューブ(189) を介して
第２Ｌ型継手(173) が接続され、この第２Ｌ型継手(17
3) にさらに第３Ｌ型継手(174) が接続され、右方に配
置された制御装置(101)の開閉弁(107) のめねじ部(122)
にスリーブ(160) が接続され、このスリーブ(160) に
第４Ｌ型継手(177) が接続され、この第４Ｌ型継手(17
7) に上下にのびる第２チューブ(190) を介して第５Ｌ
型継手(178) が接続され、この第５Ｌ型継手(178) にＴ
型継手(164) が接続され、第３Ｌ型継手(174) とＴ型継
手(164) の左端とが左右にのびるチューブ(191) で接続
されている。Ｔ型継手(164) の右端にはスリーブ接続用
めねじ部材(194) が直接接続されている。第１Ｌ型継手
(172)、第２Ｌ型継手(173) 、第４Ｌ型継手(177) 、第
５Ｌ型継手(178) 、第１チューブ(189) および第２チュ
ーブ(190) は、他の配管との干渉を防止するためのもの
である。
【００１７】このように、流体制御装置(101) を２つ並
べたときの、左右の幅は、弁６個分の幅となり、前後方
向の長さは、パージ流体用開閉弁(104) 同士を接続する
チューブ(182) からメイン通路用開閉弁(105) 同士を接
続する第３および第４チューブ(184)(185)までの距離と
なる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御装
置では、他の配管との干渉を防止するためまたは他の配
管に左右長さを合わせるために、継手やチューブが多く
使用されている。このように部品数が増加すると溶接箇
所も増加し、コストが増加することはもちろんのこと、
装置全体が大きくなって、半導体製造用のプロセスガス
の純度を下げる流体溜り部分（デッドボリューム）も増
加し、溶接箇所が多いことは、耐食性の悪化につながる
ことにもなる。
【００１９】この発明の目的は、継手数、溶接箇所およ
びチューブ数を減らし、コストダウン、流体の純度を下
げる流体溜り部分（デッドボリューム）の減少および溶
接に起因する耐食性の劣化や流体の汚染の問題の減少を
図った流体制御装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】この発明による流体制御
装置は、流量または圧力を調整する調整器の入口側およ
び出口側の少なくとも一方に、複数の弁よりなり複数の
流路を切り換えて調整器の流路に連通させる弁装置が設
けられている流体制御装置において、弁装置の複数の弁
は、上下に重ねられていることを特徴とするものであ
る。
【００２１】
【作用】この発明の流体制御装置によると、この流体制
御装置を２つ並列に設けるさいには、同じ高さの弁同士
を継手およびチューブを介して接続するが、各接続用チ
ューブは、弁の高さにしたがってそれぞれ異なる高さと
なるから、互いに干渉することはなく、接続用チューブ
同士の干渉を避けるための継手およびチューブが不要と
なり、継手およびチューブの数が減少する。
【００２２】
【実施例】この発明の実施例を、以下図面を参照して説
明する。以下の説明において、前後左右は、流体の流れ
る方向に対していうものとし、図１の右側を前、左側を
後、同図紙面裏側を左、表側を右とする。また、図１の
上下を上下をいうものとする。
【００２３】図１および図２は、この発明の流体制御装
置(1) を示しており、図３は、この流体制御装置(1) が
２列左右方向に並べられた状態を示している。
【００２４】図１および図２に示すように、この発明の
制御装置(1) は、調整器（マスフローコントローラ）
(2) と、これの入口側（後側）および出口側（前側）に
設けられた開閉弁(3)(4)(5)(6)(7) とよりなる。開閉弁
(3)(4)(5)(6)(7) は計５つあり、入口側には、パージ流
体用開閉弁(3) およびこれの上に重ねられたメイン流体
用開閉弁(4) の２つが設けられ、出口側には、真空吸引
用開閉弁(5) 、これの上に重ねられた排気用開閉弁(6)
およびさらにこれの上に重ねられたメイン通路用開閉弁
(7) の３つが設けられている。
【００２５】パージ流体用開閉弁(3) は、パージ用ガス
の流入路を開閉するものであり、後方に開口した流入路
(31)、前方に開口した流出路(32)および流出路(32)に連
通しかつ上方に開口したバイパス流路(41)を有する直方
体状本体(8) と、流出路(32)を開閉するアクチュエータ
(9) とよりなり、流入路(31)の開口縁部には、スリーブ
接続用めねじ部(10)が設けられている。
【００２６】メイン流体用開閉弁(4) は、プロセスガス
の流入路を開閉するものであり、後方に開口した流入路
(39)、パージ流体用開閉弁(3) のバイパス流路(41)に連
通する下方に開口した流出路(40)を有する直方体状本体
(11)と、流出路(40)を開閉するアクチュエータ(12)とよ
りなり、流入路(39)の開口縁部には、スリーブ接続用め
ねじ部(13)が設けられている。
【００２７】真空吸引用開閉弁(5) は、真空吸引ポンプ
に通じる流路を開閉するもので、後方に開口した流入路
(37)、前方に開口した流出路(38)および流入路(37)に連
通し上方に開口したバイパス流路(42)を有する直方体状
本体(14)と、流入路(37)を開閉するアクチュエータ(15)
とよりなり、流出路(38)の開口縁部には、スリーブ接続
用めねじ部(16)が設けられている。
【００２８】排気用開閉弁(6) は、パージ用ガスの流出
路を開閉するものであり、前方に開口した流出路(44)、
真空吸引用開閉弁(5) のバイパス流路(42)に連通する下
方に開口した流入路(43)およびこの流入路(43)に連通し
上方に開口したバイパス流路(45)を有する直方体状本体
(17)と、流入路(43)を開閉するアクチュエータ(18)とよ
りなり、流出路(46)の開口縁部には、スリーブ接続用め
ねじ部(19)が設けられている。
【００２９】メイン通路用開閉弁(7) は、プロセスチャ
ンバに至る流路を開閉するものであり、前方に開口した
流出路(47)および排気用開閉弁(6) のバイパス流路(45)
に連通する下方に開口した流入路(46)を有する直方体状
本体(20)と、流入路(46)を開閉するアクチュエータ(21)
とよりなり、流出路(47)の開口縁部には、スリーブ接続
用めねじ部(22)が設けられている。
【００３０】調整器(2) の前後側面の下端部には、前後
上側通路ブロック(24)(23)が前後に張り出して設けられ
ている。後上側通路ブロック(23)には、後方に開口した
調整器(2) の流入路に連通しかつ下方に開口した流入路
(34)が設けられており、前上側通路ブロック(24)には、
前方に開口した調整器(2) の流出路に連通しかつ下方に
開口した流出路(35)が設けられている。前後上側通路ブ
ロック(24)(23)の下方には、それぞれ前後下側通路ブロ
ック(26)(25)が設けられている。後下側通路ブロック(2
5)の後面にパージ流体用開閉弁(3) の本体(8) の前面
が、前下側通路ブロック(26)の前面に真空吸引用開閉弁
(5) の本体(14)の後面がそれぞれ当接させられている。
後下側通路ブロック(25)には、パージ流体用開閉弁(3)
の流出路(32)と後上側通路ブロック(23)の流入路(34)と
を連通する流入路(33)が設けられ、前下側通路ブロック
(26)には、前上側通路ブロック(24)の流出路(35)に連通
しかつ真空吸引用開閉弁(5) の流入路(37)に連通した流
出路(36)が形成されている。
【００３１】パージ流体用開閉弁(3) の本体(8) と後下
側通路ブロック(25)とは、パージ流体用開閉弁(3) の本
体(8) の後方よりねじ込まれたねじ(28)により連結され
ている。真空吸引用開閉弁(5) の本体(14)と前下側通路
ブロック(26)とは、真空吸引用開閉弁(5) の本体(14)の
前方よりねじ込まれたねじ(28)により連結されている。
さらに、前後上側通路ブロック(24)(23)と前後下側通路
ブロック(26)(25)とは、前後上側通路ブロック(24)(23)
の上方よりねじ込まれたねじ(28)により連結されてい
る。各部材同士の連結部分には、シール部(27)が設けら
れている。調整器(2) と前後上側通路ブロック(24)(23)
とは、図示省略したが、側方からねじ込まれたねじによ
り固定されている。入口側の開閉弁(3)(4)同士および出
口側の開閉弁(5)(6)(7) 同士は、それぞれアクチュエー
タ(9)(12)(15)(18)(21) を左方に向けて各本体(8)(11)
(14)(17)(20) 同士が重ね合わせられ、上方からねじ込
まれたねじ(28)により連結されている。
【００３２】このようにして、調整器(2) の入口側に、
２つの開閉弁(3)(4)により構成されかつ複数の流入路(3
1)(39)を切り換えて調整器(2) の流入路に連通させる入
口側弁装置が設けられ、同出口側に、３つの開閉弁(5)
(6)(7) により構成され複数の流出路(38)(44)(47)を切
り換えて調整器(2) の流出路に連通させる出口側弁装置
が設けられ、流体制御装置(1) の入口側のいずれかの流
入路(31)(39)に流入した流体が調整器(2) 内を通って同
出口側のいずれかの流出路(38)(44)(47)から流出させら
れるようになされている。
【００３３】上記流体制御装置(1) では、調整器(2) ま
たはメイン流体用開閉弁(4) が故障したときには、これ
を上方に取り外してそれぞれ単独で交換することが可能
であり、メイン通路用開閉弁(7) または排気用開閉弁
(6) が故障したときには、これらを一緒に上方に取り外
して交換することが可能となる。
【００３４】上記において、前後上側通路ブロック(24)
(23)は、調整器(2) に一体的に形成されていてもよく、
前後下側通路ブロック(26)(25)は、開閉弁(3)(5)の本体
(8)(14) にそれぞれ一体的に形成されていてもよい。ま
た、上側および下側通路ブロック(24)(23)(26)(25)を省
略して調整器(2) と開閉弁(3)(5)とを直結してもよい。
また、上記においては、入口側で下方に位置している開
閉弁(3) をパージ流体用とし、上方に位置している開閉
弁(4) をメイン流体用として説明したが、開閉弁(3)(4)
の用途は逆にしてももちろん問題ない。同様に、出口側
にある開閉弁(5)(6)(7) は、真空吸引用、排気用および
メイン通路用のいずれに使用してもよい。上記実施例の
ものでは、プロセスガスが流体制御装置(1) に流される
とき、プロセスガスの純度を悪化させるガスが溜ってい
る部分はなくなり、プロセスガスの純度を高純度に維持
するという点で有利となる。
【００３５】図４は、マスフローコントローラ（ＭＦ
Ｃ）前後の流体フローのパターンを示すもので、図４
（ａ）のパターンは、マスフローコントローラの入口側
にメイン流体用開閉弁が、同出口側にメイン通路（Ｐ／
Ｃ）用開閉弁がそれぞれ設けられているもので、最も簡
単なパターンである。図４（ｂ）のパターンは、マスフ
ローコントローラの入口側に、メイン流体用開閉弁およ
びパージ流体用開閉弁が、同出口側に、メイン通路用開
閉弁および排気（ＶＥＮＴ）用開閉弁がそれぞれ設けら
れているものである。図４（ｃ）のパターンは、マスフ
ローコントローラの入口側に、メイン流体用開閉弁およ
びパージ流体用開閉弁が、同出口側に、メイン通路用開
閉弁、排気用開閉弁および真空吸引（Ｖａｃ）用開閉弁
がそれぞれ設けられているものである。図４（ｄ）のパ
ターンは、マスフローコントローラの入口側に、メイン
流体用開閉弁およびパージ流体用開閉弁が、同出口側
に、メイン通路用開閉弁および排気用開閉弁がそれぞれ
設けられ、さらに、入口側開閉弁と出口側開閉弁との間
に、流路切換用開閉弁が設けられているものである。図
４（ｅ）のパターンは、マスフローコントローラの入口
側に、メイン流体用開閉弁およびパージ流体用開閉弁
が、同出口側に、メイン通路用開閉弁、排気用開閉弁お
よび真空吸引用開閉弁がそれぞれ設けられ、さらに、入
口側開閉弁と出口側開閉弁との間に、流路切換用開閉弁
が設けられているものである。
【００３６】上記の流体制御装置(1) は、図４（ｃ）の
パターンのものであり、図４（ｂ）のパターンのものを
得るには、上述した流体制御装置(1) の出口側の構成
を、同入口側の構成と同じにするだけでよい。また、図
４（ｄ）および図４（ｅ）のパターンのものは、それぞ
れ図４（ｂ）および図４（ｃ）のパターンのものに流路
切換用開閉弁を付加することにより得ることができる。
図４に示した５つのパターンは、流体制御システムにお
ける流体フローのパターンのほぼすべてを示すもので、
これらのパターンの内、流体の置換や供給が確実に行わ
れ、半導体の製造のプロセス上、最も優れたパターンが
適宜選択・組合わせられて、制御システムが構成される
ものであり、５つのパターンのうち、（ａ）を除く４つ
のパターンに対して、上記の流体制御装置(1) を使用す
ることができる。なお、上記実施例では、調整器(2) の
例として、マスフローコントローラを挙げたが、調整器
としては、これ以外にプレッシャーレギュレータなどが
使用され、これらが適宜組み合わされて流体制御装置が
構成される。
【００３７】上記の流体制御装置(1) が２列設けられる
場合には、図３に示すように、左右２列とされ、隣り合
う制御装置(1) の対応するもの同士、すなわち、パージ
流体用開閉弁(4) 同士、真空吸引用開閉弁(5) 同士、排
気用開閉弁同士(6) およびメイン通路用開閉弁(7) 同士
が、継手およびチューブを介して接続される。なお、メ
イン流体用開閉弁(4) は、各制御装置(1) のメイン流体
用開閉弁(4)(4)のめねじ部(13)(13)にそれぞれスリーブ
(52)(54)が接続され、これらのスリーブ(52)(54)に、そ
れぞれ単独でプロセスガス供給用チューブ(69)(71)が接
続されており、メイン流体用開閉弁(4) 同士は接続され
ていない。
【００３８】パージ流体用開閉弁(3) 同士については、
左方に配置された制御装置(1) の開閉弁(3) のめねじ部
(10)にスリーブ(51)が接続され、このスリーブ(51)に水
平なＬ型継手(65)が接続され、右方に配置された制御装
置(1) の開閉弁(3) のめねじ部(10)にスリーブ(53)が接
続され、このスリーブ(53)に一端がパージガス供給用チ
ューブ(70)に接続された水平なＴ型継手(61)が接続さ
れ、Ｔ型継手(61)とＬ型継手(65)とが左右にのびるチュ
ーブ(72)で接続されている。
【００３９】出口側の弁(5)(6)(7) 同士については、真
空吸引用開閉弁(5) 、排気用開閉弁(6) およびメイン通
路用開閉弁(7) のいずれについても、左方に配置された
制御装置(1) の開閉弁(5)(6)(7) の各めねじ部(16)(19)
(22)にそれぞれスリーブ(55)(56)(57)が接続され、これ
らのスリーブ(55)(56)(57)に、それぞれ水平なＬ型継手
(66)(67)(68)が接続され、右方に配置された制御装置
(1) の開閉弁(5)(6)(7)の各めねじ部(16)(19)(22)にそ
れぞれスリーブ(58)(59)(60)が接続され、これらのスリ
ーブ(58)(59)(60)に、それぞれ水平なＴ型継手(62)(63)
(64)が接続され、各Ｌ型継手(66)(67)(68)と各Ｔ型継手
(62)(63)(64)の左端とがそれぞれ左右にのびるチューブ
(73)(74)(75)で接続されている。各Ｔ型継手(62)(63)(6
4)の右端には、それぞれスリーブ接続用めねじ部材(76)
(77)(78)が直結されている。
【００４０】この図３に示した本発明のものを図７に示
した従来のものと比較した結果を表１および表２に示
す。表１は、入口側すなわち弁の数が２つのときの比較
であり、表２は、出口側すなわち弁の数が３つのときの
比較である。
【００４１】
【表１】
【表２】 表１に示すように、弁の数が２つのときでは、Ｌ型継手
が２つ減少し、これに伴って、溶接箇所も２か所減少し
ており、さらにＬ型継手２つ分の容積が減少している。
左右の幅については、従来のものが弁本体２個分、この
発明のものが弁本体とアクチュエータとを加えた分で、
これらはほぼ等しく、幅は変わっていない。
【００４２】表２に示すように、弁の数が３つのときで
は、Ｌ型継手が８個減少し、加工が必要なチューブ数が
６本減少し、これに伴って、溶接箇所も１４か所減少し
ており、Ｌ型継手およびチューブの数が減少した分容積
も減少している。さらに、左右の幅が、従来の流体制御
装置(10)が弁本体３個分に対して、この発明の流体制御
装置(1) が弁本体とアクチュエータとを加えた分である
ことにより、流体制御装置１つに付き５０ｍｍ、トータ
ルで１００ｍｍ狭くなっている。また、表には示してい
ないが、前後方向の長さについても、従来の制御装置(1
01) においてメイン通路用開閉弁(105) を接続するさい
に使用された第１および第２チューブ(183)(186)の長さ
分だけ短くなっている。
【００４３】これらの表および図３と図７との比較から
わかるように、この発明の流体制御装置(1) では、従来
のものに比べて、配管が非常にシンプルになっているこ
とがわかる。したがって、コストダウンが図れるのはも
ちろんのこと、占有スペースおよび配管容積が減少し、
配管容積の減少に伴って、流体の純度を下げる流体溜り
部分（デッドボリューム）も減少し、また、溶接箇所の
減少に伴って、溶接に起因する耐食性の劣化や流体の汚
染の問題も減少する。なお、表１および表２からわかる
ように、調整器(2) の入口側および出口側のどちらか一
方において、２つ以上の開閉弁が上下に重ねられていれ
ば、表１または表２の効果が得られる。
【００４４】
【発明の効果】この発明の流体制御装置によると、継手
およびチューブの数が減少するので、これに伴って溶接
箇所も減少する。したがって、コストダウンが図れるの
はもちろんのこと、継手およびチューブの減少に伴っ
て、流体の純度を下げる流体溜り部分（デッドボリュー
ム）が減少し、また、溶接箇所の減少に伴って、溶接に
起因する耐食性の劣化や流体の汚染の問題が減少する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御装置を示す一部を切欠
いた側面図である。
【図２】同一部を切欠いた平面図である。
【図３】この発明による流体制御装置を並列に設けるさ
いの接続状態を示す斜視図である。
【図４】流体フローの５つのパターンを示す図である。
【図５】従来の流体制御装置を示す一部を切欠いた側面
図である。
【図６】同一部を切欠いた平面図である。
【図７】従来の流体制御装置を並列に設けるさいの接続
状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
(2) 調整器 (3)(4) 入口側弁 (5)(6)(7) 出口側弁 (8)(11) 入口側弁本体 (14)(17)(20) 出口側弁本体 (31)(39) 入口側弁本体流入路 (38)(44)(47) 出口側弁本体流出路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平尾 圭志 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 山路 道雄 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 糸井 茂 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 篠原 努 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 池田 信一 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 唐土 裕司 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 小島 徹哉 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流量または圧力を調整する調整器の入口
    側および出口側の少なくとも一方に、複数の弁よりなり
    複数の流路を切り換えて調整器の流路に連通させる弁装
    置が設けられている流体制御装置において、弁装置の複
    数の弁は、上下に重ねられていることを特徴とする流体
    制御装置。
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