JPH09165232A - 無光彩透明導電膜及び該膜付きガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保護膜や反射低減膜等の機能を兼ね備え、無
光彩を発現して耐久性に優れ、しかも透明導電膜であっ
て、熱線遮蔽性で熱暑感なく冷暖房効果を向上し、車輌
用窓材として単板でも使用できる膜ならびに該膜付きガ
ラスを得る。 【解決手段】 透明な基板表面に、基板面側から第１層
として透明導電膜、次いで第２層としてオ−バ−コ−ト
膜を成膜することでなる無光彩透明導電膜において、オ
−バ−コ−ト膜が前記透明導電膜の屈折率の値の平方根
として得られる屈折率を有し、かつ500nm 以上600nm 以
下の波長を有する光の0.15倍以上0.35倍以下波長の厚さ
を有することを特徴とする無光彩透明導電膜。ならびに
該膜付きガラス。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、建築用窓や車輌用
窓等の被膜付き熱線遮蔽ガラス等に使用する無光彩透明
導電膜及び該膜付きガラスであって、とりわけ熱暑感を
防止して遮断でき冷暖房効果を向上せしめるとともに人
や環境に優しく、かつ比較的高い可視光透過率とニュ−
トラル（無色化あるいは無色ムラ化）色調を有する無光
彩透明導電膜付きガラス薄膜であり、例えば保護膜、反
射低減膜、帯電防止あるいは低放射率を付与した無光彩
のコ−ティング膜を有するガラス等多機能化を可能とす
る無光彩透明導電膜及び該膜付きガラスに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、建築用窓ガラスや車輌用窓ガラス
等を通して室内や車内に流入する太陽輻射エネルギーを
遮蔽し、室内や車内の温度上昇、冷房負荷を低減させる
目的から熱線遮蔽ガラスが建築用窓ガラスや車輌用窓ガ
ラス等に採用されている。

【０００３】また最近は高熱線遮蔽性能等に加えて各種
機能性を有するガラスを種々の膜構成でもって付与する
ことができるなかで、大面積のガラスにおける膜厚変動
や干渉等による反射色調の色ムラを目に感知しないよう
にしようとすることが人や環境に優しくする必要から望
まれ、各種提案がなされている。

【０００４】例えば、特公昭63-39535号公報には、無光
彩ガラス構造物が記載されており、少なくとも１枚の透
明なガラスシ−ト及びシ−ト上に設置される赤外反射性
物質の第１の無機質被覆層を含み、赤外反射性物質が透
明な半導体であって昼光照明で光彩色を示す型の物質で
あるところの構造物において、第２の被覆層がガラスシ
−トと第１の被覆層との間に設置され、かつ第２の被覆
層が昼光照明で第１の被覆層の光彩色が見えることを実
質的に減少させるように光を反射しかつ屈折するための
手段を第２の被覆層の本体と共に形成する少なくとも２
つの界面を与えることによって光彩色を実質的に減少さ
せる手段となること、第２の被覆層が、ガラスシ−トの
屈折率と第１の被覆層の屈折率との積の平方根として定
義される屈折率を有すること、及び第２の被覆層が500n
m の真空中の波長を有する光の１／４波長の厚さを有す
ることが開示されている。

【０００５】そのなかで、例えば第２の被覆層が1.7 〜
1.8 の屈折率を有し、かつ厚さが64〜80nmであり、第１
の被覆層の屈折率が２、ガラスシ−トの屈折率が1.5 で
あること、また例えば第２の被覆層が金属酸化物、金属
窒化物又はこれらの混合物であって、Al₂O₃ 、SiO₂、Zn
O 、MgO 、SnO₂、In₂O₃ 、GeO₂、Ga₂O₃ 及びSi₃N₄ の群
から選ばれること、また例えば酸化第２スズである半導
体層の厚みが0.4 μ未満であり、第１の被覆層と第２の
被覆層との合計膜厚が0.1 〜１μであること等が記載さ
れている。

【０００６】また例えば、特公平3-72586 号公報には、
非光彩性のガラス構造体が記載されており、(a) 透明な
基材、(b)0.1〜1.0 ミクロンの厚さを有する赤外反射性
透明半導体コ−テイング、および(c) 基材と赤外反射性
透明半導体コ−テイングとの間の光彩を抑制する中間層
部材、を含む型の非光彩性の、透明なシ−ト構造体にお
いて、この構造体が、赤外反射性透明半導体コ−テイン
グと透明な基材との間に第１中間層成分および第２中間
層成分の２成分、すなわち(1) 基材に近い、かつ式 d₁
=(1/720)cos ^-1[(r₁ ²+r₂ ²-r₃ ²)/2r₁r₂]〔式中r₁=(n₁-n
_g )/(n₁+n _g ), r₂=(n₁-n₂ /(n₁+n₂), r₃=(n _c -n₂ /(n
_c +n₂) n_g = 基体の屈折率, n₁= 第１中間層成分の屈折率，n₂=
第２中間層成分の屈折率, n_c = 赤外反射性透明半導
体コ−テイングの屈折率) 〕によって与えられる光学的
厚さd₁を有する第１中間層成分、および(2) 第１中間層
成分と半導体との間にあつて式d₂=(1/720)cos ^-1[(r₂ ²+
r₃ ²-r₁ ²)/2r₂r₃] によって与えられる光学的厚さd₂を有
する第２中間層成分。〔第１中間層成分の屈折率(n₁)は
第２中間層成分の屈折率(n₂)よりも高く、n₁＞n₂であ
り、かつd₁およびd₂は500 ナノメ−タ−設計波長の単位
で与えられている〕から本質的になる中間層を含むもの
が開示されている。

【０００７】また例えば、特開平3-164449号公報には、
無光彩ガラスが記載されており、ガラス基板上に屈折率
ｎが1.8 以上で厚みｄが0.15μｍ以上の高屈折率透明薄
膜が形成され、高屈折率透明薄膜とガラス基板との間に
ｎ＝1.65〜1.8 の透明下層膜が光学膜厚nd＝0.1 〜0.18
μｍの厚みに形成されている無光彩ガラスであって、透
明下層膜が、Zr,Ti,Ta,Hf,Mo,W,Nb,Sn,La,Crのうち少な
くとも１種とSiを含む複合酸化物を主成分とする膜であ
ることが開示されている。

【０００８】そのなかで、無光彩（無色ムラ）ガラスに
おいて、高屈折率透明薄膜としてはインジウムスズ酸化
物、フッ素ド−プ酸化スズ、酸化亜鉛等であることが記
載されている。

【０００９】また例えば、特開平4-270136号公報には、
アルミニウム及びスズまたはチタンの酸化物から成るフ
イルムの作製方法、及びその製品が記載されており、非
加水分解性アルミニウムキレ−トと、少なくとも１種の
有機スズ化合物、またはチタンキレ−ト及びチタンアル
コラ−ト、とから成る溶液を、高温のガラス上で熱分解
させることにより、Al₂O₃-SnO₂（例えば屈折率1.66〜1.
76）またはAl₂O₃-TiO₂（例えば屈折率1.73〜1.80）のフ
イルムを得ることが開示され、ガラス支持体と半導体金
属酸化物フイルム（例えば厚さ100 〜800nm ）との間に
これらのAl₂O₃-SnO₂またはAl₂O₃-TiO₂のフイルム（例え
ば厚さ80〜100nm ）を用いることで反射光が無彩色であ
る半導体フイルムを有する窓ガラスを得られることが記
載されている。

【００１０】また例えば、特開平5-116992号公報には、
光彩防止透明体が記載されており、透明基体上に屈折率
が1.6 以上で膜厚0.15μｍ以上の透明薄膜が形成され、
透明薄膜と透明基体との界面に下地層が形成された光彩
防止透明体となって、下地層は消衰係数ｋが０でない吸
収性の膜であること。また透明基体上に屈折率が1.6以
上で膜厚0.15μｍ以上の透明薄膜が形成され、透明薄膜
上に上地層が形成された光彩防止透明体であって、上地
層は消衰係数ｋが０でない吸収性の膜であること。また
透明基体上に屈折率が1.6 以上で膜厚0.15μｍ以上の透
明薄膜が形成され、透明薄膜と透明基体との界面に下地
層が形成され、透明薄膜上に上地層が形成された光彩防
止透明体であって、下地層及び上地層は消衰係数ｋが０
でない吸収性の膜であることがそれぞれ開示されてい
る。

【００１１】そのなかで、例えば透明基体の屈折率ngが
1.4 〜1.6 であり、「透明薄膜」とは消衰係数ｋが、光
学計算の際ｋを無視できる程度の小さな値（ｋ≒０）で
ある膜であって、屈折率nfが1.6 〜2.3 であり、具体的
にはITO 、SnO₂:F、ZnO:Al、ZnO 等が挙げられる。また
吸収性の下地層または上地層としては、膜厚が10〜500
Åであり、金属単体、窒化物、炭化物、またはこれらの
複合体であって、好ましくはチタン、クロム、ジルコニ
ウムのうち少なくとも一種の金属単体、窒化物、炭化
物、またはこれらの複合体であり、具体的には上下両地
層としてTiN 、CrN 、CrC 、ZrN 、下地層としてTiN/C
r、TiN/Ti/TiN、上地層としてCr/TiN、Cr/ZrN等が挙げ
られている。

【００１２】また例えば、特開平5-193994号公報には、
虹色防止及び光学的機能性被覆の厚さ及び屈折率の偏差
に対し許容性のある虹色防止被覆を有する虹色防止透明
嵌込み窓ガラス物品。ならびに特開平5-193995号公報に
は、虹色防止層及び光学的機能性層の厚さ及び屈折率の
変動に許容性のある虹色防止層を有する傾斜屈折率を有
する虹色防止被覆透明嵌込み窓ガラス物品がそれぞれ開
示されている。

【００１３】さらに例えば、特開平7-41337 号公報に
は、光彩防止透明体が記載されており、透明基体上に透
明導電膜を有し、かつ透明基体と透明導電膜の間に下地
膜を有する透明体において、透明導電膜と下地膜との間
に、透明導電膜と下地膜との構成成分からなる混合層が
介在されており、混合層は下地膜と透明導電膜の間で下
地膜に近い方から透明導電膜に近い方へといくにつれて
徐々に屈折率が増加するように形成されていることが開
示されている。

【００１４】さらにまた例えば、特開平7-10607 号公報
には、低放射率を与える無色コ−テイングを有するガラ
ス物品及びその製造方法が記載されており、低放射率を
与える無色コ−テイングを有するガラス物品において、
a.約1.5 〜1.6 の範囲の屈折率を有する透明な基体と、
b.約1.66〜1.73の範囲の屈折率及び約400 〜600 Åの範
囲の厚みを有する第１の透明コ−テイング層と、c.約1.
76〜1.83の範囲の屈折率及び約350 〜550 Åの範囲の厚
みを有する第２の透明コ−テイング層と、d.少なくとも
1.86の屈折率及びコ−テイングされていない基体の放射
率以下にコ−テイングされた基体の放射率を低下させる
のに充分な厚みを有する金属酸化物コ−テイング層とか
らなるものが開示されている。

【００１５】また他に、少なくとも無光彩をうるため
に、下地層として例えばSiO₂等の酸化物膜をコ−テイン
グするものとして、他に特公平3-48145 号公報、特開平
1-201046号公報、特開平5-294672号公報ならびに特開平
4-265253号公報等がある。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】前述したような、例え
ば特公昭63-39535号公報等に記載の無光彩ガラス構造物
をはじめ、上記した各公報に記載の無光彩機能を有する
ガラスはいずれも下地層に無光彩化するための膜を施し
ているものであり、該下地層に無光彩化するための膜を
施したとしても上層にある導電性膜や赤外反射性膜など
機能性膜の各種強度アップあるいは／ならびに反射低減
等の性能を付与することはできなく、したがって無光彩
とこれら付与機能をうるためには、機能性膜を無光彩用
の下地層膜と付与機能用の上層膜とでサンドイッチする
必要があってコスト的に高騰を招くこととなるものであ
った。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来のこのよ
うな課題に鑑みてなしたものであり、透明な基板上に透
明導電膜、次いで該透明導電膜の屈折率に係わる特定の
屈折率、ならびに特定波長の光の特定した倍値以下の波
長の厚さを有するオ−バ−コ−ト膜を被覆積層すること
によって、無光彩透明導電膜及び該膜付きガラスとした
ことにより、前記無光彩化膜であるオ−バ−コ−ト膜が
本来の機能を発揮するのみではなく、例えば保護膜的機
能や反射低減機能、帯電防止機能等を持たせることも同
時に可能として、熱線遮断性に優れ、しかも透明な基板
の屈折率に関係せしめることなく、バランスよくその特
性を発揮し、より優れた無光彩透明導電膜及び該膜付き
ガラスをうることができ、単板でかつ各種機能性能を備
えるようなものを含む各種自動車用窓材にも充分使用で
き、最近のニーズに最適なものとなる有用な無光彩透明
導電膜及び該膜付きガラスを提供するものである。

【００１８】すなわち、本発明は、透明な基板表面に、
基板面側から第１層として透明導電膜、次いで第２層と
してオ−バ−コ−ト膜を成膜することでなる無光彩透明
導電膜において、オ−バ−コ−ト膜が前記透明導電膜の
屈折率の値の平方根として得られる屈折率を有し、かつ
500nm 以上600nm 以下の波長を有する光の0.15倍以上0.
35倍以下波長の厚さを有することを特徴とする無光彩透
明導電膜。

【００１９】ならびに、前記オ−バ−コ−ト膜が、酸化
物薄膜、ハロゲン化物薄膜、硫化物薄膜もしくはこれら
から選択した２種以上の混合物薄膜であって、膜厚が45
nm以上160nm 以下でかつ屈折率が1.3 以上1.7 以下であ
る透明膜からなることを特徴とする上述した無光彩透明
導電膜。

【００２０】また、前記透明導電膜が、膜厚が80nm以上
800nm 以下でかつ屈折率が1.6 以上2.8 以下であること
を特徴とする上述した無光彩透明導電膜。さらに、前記
透明導電膜が、波長0.38μｍ〜0.70μｍにおける平均可
視光透過率が70％以上であって、波長10μｍにおける赤
外反射率が60％以上であることを特徴とする上述した無
光彩透明導電膜。

【００２１】さらにまた、前記無光彩透明導電膜をガラ
ス基板表面に成膜したことを特徴とする無光彩透明導電
膜付きガラス板をそれぞれ提供するものである。

【００２２】

【発明の実施の態様】前記したように、透明な基板表面
に、基板面側から第１層として透明導電膜、次いで第２
層としてオ−バ−コ−ト膜を成膜することでなる無光彩
透明導電膜において、オ−バ−コ−ト膜が前記透明導電
膜の屈折率の値の平方根として得られる屈折率を有し、
かつ500nm 以上600nm 以下の波長を有する光の0.15倍以
上0.35倍以下波長の厚さを有する無光彩透明導電膜は、
下記のようにして得る。

【００２３】先ず、前記透明な基板としては、ソ−ダラ
イム系ガラス、ホウケイ酸系ガラス、無アルカリ系ガラ
ス、石英等無機質の透明な基板であり、特に所謂フロー
ト法で製造された透明な無色または着色の板ガラス、例
えばグリーン系ガラスやブロンズ系ガラス、グレー系ガ
ラス、ブルー系ガラス等、あるいは各種透明導電膜、例
えば熱線遮蔽膜、Low-E 膜などを被膜したガラス等であ
る。

【００２４】次いで、第１層である透明導電膜として
は、例えばITO （In₂O₃+SnO₂ド−プ）膜、NESA（SnO₂、
SnO₂+Sb₂O₅、SnO₂+F₂ ）膜、各種フッ素化合物膜、AZO
（亜鉛にAl₂O₃ ド−プ）膜、その他ZnInO_4-x膜、MgInO
_4-x膜、MgGaO_4-x膜、SbInO_4-x膜、ZrGa₂O₄ 膜、Cd₂SnO₄
膜、CdGa₂O₄ 膜、CdSb₂O₄ 膜、Zn₄InSbO₈ 系膜、SbZn₂
O ₄ 系膜、Sb₂Zn₇O₁₂ 系膜、ZnSb₂O₆ 系膜、ZnO-Ga系
膜、MgIn₂O₄ 膜、ZnO-In₂O₃F系膜等が挙げられ、前記熱
線遮蔽膜やLow-E 膜などの機能性を発現するような膜等
を含むいずれかの透明導電膜である。

【００２５】なかでも例えば、該透明導電膜の膜厚が約
80nm以上800nm 程度以下で、かつ該透明導電膜の屈折率
が1.6 以上2.8 以下であることが好ましく、しかもさら
に波長約0.38μｍ〜0.70μｍ程度の間における平均可視
光透過率が約70％程度以上であって、波長が約10μｍに
おける平均赤外反射率が約60％以上、さらには約70％程
度以上であることがより好ましく、さらに加えて例えば
シ−ト抵抗値が１×10 ⁴ Ω／口〜１×10⁵ Ω／口程度の
透明導電膜が透明導電膜として最適であり、該膜でその
機能を活かしつつ最も無光彩化の作用効果を発揮するこ
ととなるものである。

【００２６】続いて、第２層であるオ−バ−コ−ト膜と
しては、前記透明導電膜の屈折率の値の平方根として得
られる屈折率を有し、かつ500nm 以上600nm 以下の波長
を有する光の0.15倍以上0.35倍以下波長の厚さを有する
ものである。

【００２７】すなわち、前記オ−バ−コ−ト膜として
は、ｘ＝√n ；ｘはオ−バ−コ−ト膜の屈折率、n は透
明導電膜の屈折率（例えば、n=1.6 〜2.8 ）、オ−バ−
コ−ト膜の膜厚＝〔(2n-1)λ×(0.15 〜0.35) 〕／ｘで
あって好ましくは膜厚＝〔(2n-1)λ×0.25 〕／ｘであ
り、λは設計波長（500nm 〜 600nm）であって好ましく
は550 nm程度であり、ｎ：１、２、３・・・（小さいほ
ど望ましい）である。

【００２８】図２に示すように、本発明の無光彩透明導
電膜付きガラス１は、基板であるガラス２の上に、透明
導電膜３を形成し、次いで該透明導電膜３の表面に、光
学膜であるオ−バ−コ−ト膜４として基板ガラスおよび
透明導電膜より屈折率が低い薄膜を被覆積層し、入射光
Ｙに対し、透明導電膜３とオ−バ−コ−ト膜４の界面か
らの反射光ｂ（透明導電膜表面での反射光）、オ−バ−
コ−ト膜４と空気の界面での表面反射光ａ（オ−バ−コ
−ト膜表面での反射光）を各々位相をずらして反射光同
志を打ち消すようにした２層膜構成でなるものを示し、
本発明の無光彩透明導電膜付きガラス１における無光彩
を発現する現象を単純化して説明することができる。す
なわち、反射光ａとｂの位相のずれ（ｂは光路長が長い
分波長がずれる）により反射光ａとｂの光が打ち消しあ
って無光彩となる。

【００２９】具体的なオ−バ−コ−ト膜としては、酸化
物薄膜、ハロゲン化物薄膜、硫化物薄膜もしくはこれら
から選択した２種以上の混合物薄膜等が挙げられ、膜厚
が45nm以上160nm 以下でかつ屈折率が1.3 以上1.7 以下
である透明膜からなる膜である。オ−バ−コ−ト膜が45
nm未満では、オ−バ−コ−ト面上での反射光と下面（透
明導電膜上面）での反射光の位相のずれが小さく、干渉
により打ち消し合うことができず（反射光ａとｂの光路
長に差がなく位相のずれが小さく打ち消せない）無光彩
化が不可能であり、また160nm を超えると、干渉により
打ち消し合う波長の幅が狭く（反射光が平らになる部分
が狭く両側が立ち上がる）、可視光波長内で大きな振動
が起こり無光彩化にならない。

【００３０】さらに、屈折率が1.3 未満では、安定な物
理的強度の高い実用的な耐久性のある膜が存在しない
（例えば、MgF₂膜：n=1.39程度）し、無光彩化膜上面の
反射光強度が下面の反射光強度に比べて弱く、打ち消し
合いきれないため無光彩化ができない（反射光ａ＜ｂ
で、ｂが残ることとなる）。また屈折率が1.7 を超える
と、無光彩化膜上面の反射光強度が下面の反射光強度に
比べて強くなりすぎ、打ち消し合いきれず無光彩化がで
きないこととなる（反射光ａ＞＞ｂ）。

【００３１】また単板で使用できることはもとより、各
種の複層ガラスあるいは合せガラス、シェ−ドバンド付
きガラス、バイレイヤ−ガラス、強化ガラス等、さらに
平板あるいは曲げ板等はもちろん、無光彩透明導電膜付
きガラス板として既存の各種板ガラス製品として使用で
きることは言うまでもない。また板厚としては例えば約
0.5mm 程度以上約10mm程度以下が好ましく、より好まし
くは約2.0mm 程度以上約5.0mm 程度以下の無色または着
色ガラスである。

【００３２】前述したとおり、本発明の無光彩透明導電
膜及び該膜付きガラスは、透明な基板上に透明導電膜、
次いで該透明導電膜の屈折率に係わる特定の屈折率、な
らびに特定波長の光の特定した倍値以下の波長の厚さを
有するオ−バ−コ−ト膜を被覆積層することによって、
無光彩透明導電膜及び該膜付きガラスとしたことによ
り、前記無光彩化膜であるオ−バ−コ−ト膜が本来の機
能を発揮するのみではなく、例えば保護膜的機能や反射
低減機能等を持たせることも同時に可能として、熱線遮
断性に優れ、しかも透明な基板の屈折率に関係せしめる
ことなく、バランスよくその特性を発揮し、より優れた
無光彩透明導電膜及び該膜付きガラスをうることがで
き、単板でかつ各種機能性能を備えるようなものを含む
各種自動車用窓材にも充分使用でき、さらに単板でも２
層構成において高耐摩耗性、高耐久性を保持し、可視光
透過率、可視光反射率、日射透過率ならびに反射の刺激
純度とをバランスよく顕著にする作用を与えるものであ
る。

【００３３】しかも日射透過率を向上し、可視光反射率
等光学特性も適宜バランスし得ることができて、優れた
熱線遮蔽性能を有することとなり、熱暑感を緩和し冷暖
房の効果を高め居住性を向上し、例えば車輌内外での快
適な環境を確保することができ、単板で使用可能な優れ
た最近のニーズに最適なものとなる有用な無光彩透明導
電膜及び該膜付きガラスを提供するものである。

【００３４】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００３５】実施例１ 大きさ約300mmx300mm 、厚さ約３mmのフロ−トガラス板
（FL５）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコー
ルで順次洗浄し、乾燥して、膜付け用のガラス板とし
た。

【００３６】先ず、モノブチルトリクロロスズ〔(C₄H₉)
SnCl₃〕約 100ｇおよびふっ化水素アンモニウム３ｇ
を、ジクロロメタン 550ｇとエタノ−ル約 300ｇと純水
約50ｇとの混合溶媒で溶解し、さらに約1000ｇにした液
をフッ素ド−プした酸化錫膜（以下、NESA膜という。）
用の塗布液Ａとした。

【００３７】続いて、該NESA膜用の塗布液Ａを、予め約
550℃程度に加熱しておいた前記フロ−トガラス板に、
二流体式スプレ−ガンによって、塗布量約250 ｇ／分で
約10秒間程度スプレ−し、膜厚が約 280nmでかつ屈折率
が約2.0 のフッ素ド−プした酸化錫膜を得た。

【００３８】次に、モノメチルトリエトキシシラン〔 C
H₃Si(OC₂H₅)₃〕約 120ｇにエタノ−ル約 880ｇを加え計
約1000ｇにした液をオ−バ−コ−ト用（無光彩化用）の
塗布液Ｂとした。

【００３９】次いで、前記フッ素ド−プした酸化錫膜付
きガラス板の該フッ素ド−プした酸化錫膜上に、前記し
たと同様の方法でオ−バ−コ−ト用の塗布液Ｂを約７秒
間程度スプレ−をし、膜厚が約98nmでかつ屈折率が約1.
41のSiO₂膜をオ−バ−コ−ト膜として得た。

【００４０】得られたフッ素ド−プした酸化錫膜とSiO₂
膜の２層でなる透明導電膜付きガラスについて、下記の
測定をして評価した。 （測定および評価法） 光学特性： 可視光透過率(380nm〜780nm)、可視光反射率(380nm〜780nm) ならびに日射透過率(340nm〜1800nm) 、放射率ε等について は340 型自記分光光度計（日立製作所製）とJISZ8722、JISR 3106によってそれぞれの光学的特性を求めた。

【００４１】 なお、放射率εとしては約0.3 程度以下を合格とした。 機械的特性： （トラバース試験） （耐摩耗性） ブロード布＃40、荷重100g／cm² 、ストローク:100mm、回数 5000回後のヘ−ズ（曇り具合）値の変化量（△Ｈ％）。

【００４２】 ＊いずれも△Ｈ％が４％以下を合格とした。 化学的特性： （耐酸性） （耐薬品性） 常温で0.1 規定のH₂SO₄ 溶液中に試験片を約24時間浸漬した 後、外観を目視判定。

【００４３】 （耐アルカリ性） 常温で0.1 規定のNaOH溶液中に試験片を約24時間浸漬した後 、外観を目視判定。

【００４４】 ＊いずれも外観を目視し変化が見られないものを合格とした 。 電気的特性： 三菱油化製表面抵抗計（ロレスタ-AP ）によって測定。

【００４５】 （表面抵抗値） （Ω／口）。 なお、各薄膜の膜厚については、それぞれの薄膜につい
て被膜時に、被膜しない部分を作り、その段差を表面粗
さ計（SLOAN 社製、DEKTAK30-30)で測定した。

【００４６】その結果、放射率εについては0.25、可視
光の透過率については70％以上、可視光の反射率につい
ては 7.0％、日射の透過率については65％前後以下、刺
激純度については 3.2％であった。

【００４７】特に波長380 〜780 (nm)の間における反射
率（％）の状態を示す図１に示すように無光彩となっ
て、しかも充分優れた熱線遮蔽性等の光学特性、充分安
定な耐酸性、耐冷熱性ならびに優れた耐摩耗性を示し、
各物性をバランスよく示し、優れた居住性をもちかつ運
転者や搭乗者あるいは環境に優しく安全性も保持され、
自動車用窓ガラスに対しても充分採用できる、本発明が
めざす所期の無光彩透明導電膜付きガラスであった。

【００４８】なお、耐アルカリ性、耐候性（例、サンシ
ヤインウエザーメーターで約1000時間：外観上異常がな
いこと）、耐湿性（例、約30℃、約95％RHで約15日間：
外観上異常がないこと）、その他種々の特性をも評価し
たところ、いずれも合格するものであった。

【００４９】なお、フロ−トガラス（約３mm厚）につい
ては、放射率εが0.90、可視光反射率が 8.2％、刺激純
度が 1.7％程度であり、その可視光の反射率は図１に示
すようになる。

【００５０】比較例１ 実施例１の酸化錫膜用の塗布液Ａを用い、実施例１と同
様の方法で成膜し、フッ素ド−プ酸化錫膜のみの単層膜
とした。

【００５１】得られたフッ素ド−プ酸化錫膜のみの単層
膜付きガラスについて、その評価を実施例１で示した測
定法によって同様の評価手段で行った。その結果、放射
率εについては0.23、可視光反射率については13.4％、
刺激純度については27.1％であった。

【００５２】また、その可視光の反射率（％）は図１に
示すようになり、到底本発明がめざす所期の無光彩透明
導電膜付きガラスではなかった。比較例２ 先ず、チタンテトライソポキシド〔Ti(OC₂H₅)₄〕255 ｇ
およびテトラエトキシシラン〔Si(OC₂H₅)₄〕45ｇをエタ
ノ−ル 700ｇに溶解し、これを下地層用の塗布液Ｃとし
た。

【００５３】続いて、予め約200 ℃に加熱しておいた前
記フロ−トガラス板に、該下地層用の塗布液Ｃを二流体
式スプレ−ガンによって、塗布量約250 ｇ／分で約２秒
間程度スプレ−し、その後、約500 ℃で約30分間焼成す
ることにより、膜厚約80nm、屈折率約1.74のTiO₂-SiO₂
膜を得た。

【００５４】次に、該TiO₂-SiO₂ 膜の表面上に、実施例
１のフッ素ド−プ酸化錫膜用の塗布液Ａを用い、実施例
１と同様の方法で成膜し、実施例１と同様の膜厚と屈折
率でなるフッ素ド−プ酸化錫膜を被覆積層した。

【００５５】得られたTiO₂-SiO₂ 膜とフッ素ド−プ酸化
錫膜の２層膜付きガラスについて、その評価を実施例１
で示した測定法によって同様の評価手段で行った。その
結果、放射率εについては0.23、可視光反射率について
は14.2％、刺激純度については 7.6％であった。

【００５６】また、その可視光の反射率（％）は図１に
示すようになり、到底本発明がめざす所期の無光彩透明
導電膜付きガラスではなかった。比較例３ 先ず、実施例１のフッ素ド−プ酸化錫膜用の塗布液Ａを
用い、実施例１と同様の方法で成膜し、実施例１と同様
の膜厚と屈折率でなるフッ素ド−プ酸化錫膜を第１層と
して得た。

【００５７】次に、チタンテトラプロポキシド〔Ti(i-O
C₃H₇)₄〕270 ｇおよびテトラエトキシシラン〔Si(OC
₂H₅)₄〕30ｇをエタノ−ル 700ｇに溶解し、これを上層
用の塗布液Ｄとした。

【００５８】続いて、予め約200 ℃に加熱した前記該フ
ッ素ド−プ酸化錫膜付きフロ−トガラス板のフッ素ド−
プ酸化錫膜の表面上に、前記上層用の塗布液Ｄを二流体
式スプレ−ガンによって、塗布量約250 ｇ／分で約２秒
間程度スプレ−し、その後、約500 ℃で約30分間焼成す
ることにより、膜厚約76nm、屈折率約1.8 のTiO₂-SiO ₂
膜を被覆積層した。

【００５９】得られたフッ素ド−プ酸化錫膜とTiO₂-SiO
₂ 膜の２層膜付きガラスについて、その評価を実施例１
で示した測定法によって同様の評価手段で行った。その
結果、放射率εについては0.23、可視光反射率について
は13.6％、刺激純度については25.4％であった。

【００６０】また、その可視光の反射率（％）は図１に
示すようになり、到底本発明がめざす所期の無光彩透明
導電膜付きガラスではなかった。比較例４ 前記実施例１と同様の塗布液ＡおよびＢを用い、塗布液
Ｂのみ約20秒間ともっと長くスプレ−し変えて行った以
外は前記実施例１と同様の方法で成膜し、オ−バ−コ−
ト膜として膜厚約320nm 、屈折率1.41のSiO₂膜を得た。

【００６１】得られたフッ素ド−プ酸化錫膜とSiO₂膜の
２層膜付きガラスについて、その評価を実施例１で示し
た測定法によって同様の評価手段で行った。その結果、
放射率εについては0.30、可視光反射率については 4.6
％、刺激純度については74.7％であった。

【００６２】また、その可視光の反射率（％）は図１に
示すようになり、到底本発明がめざす所期の無光彩透明
導電膜付きガラスではなかった。

【００６３】

【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
透明導電膜の屈折率値の平方根として得られる屈折率を
有し、かつ500nm 以上600nm 以下の波長を有する光の0.
15倍以上0.35倍以下の波長の厚さを有するものに特定し
たオ−バ−コ−ト膜を用いた２層積層膜と、該膜を成膜
したガラスとしたことにより、無光彩である導電性、熱
線遮断性、反射低減性、帯電防止性等の機能性を発揮
し、耐摩耗性、耐食性ならびに耐久性に優れ保護性を高
め、かつバランスよく優れる光学特性を有し、合わせガ
ラスあるいは複層ガラス等はもちろん単板ガラスとして
使用し得る、建築用窓ガラスはもちろん、特に自動車用
窓ガラスとして有用な無光彩透明導電膜及び該膜付きガ
ラスを効率よく提供するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の無光彩透明導電膜付きガラスに係わる
実施例１、および非無光彩膜付きガラスに係わる比較例
１〜４、およびフロ−トガラスについて、波長380 〜78
0 (nm)の間における反射率（％）の状態を示す説明図で
ある。

【図２】本発明の無光彩透明導電膜付きガラスにおい
て、入射光Ｙと反射光ａ（オ−バ−コ−ト膜表面での反
射光）および反射光ｂ（透明導電膜表面での反射光）で
もって、無光彩が発現する現象を説明する説明図であ
る。

【符号の説明】１ 無光彩透明導電膜付きガラス ２ ガラス ３ 透明導電膜 ４ オ−バ−コ−ト膜

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｂ 1/00 9459−5Ｌ Ｈ０１Ｂ 1/00 Ｚ 5/14 5/14 Ａ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明な基板表面に、基板面側から第１層
   として透明導電膜、次いで第２層としてオ−バ−コ−ト
   膜を成膜することでなる無光彩透明導電膜において、オ
   −バ−コ−ト膜が前記透明導電膜の屈折率の値の平方根
   として得られる屈折率を有し、かつ500nm 以上600nm 以
   下の波長を有する光の0.15倍以上0.35倍以下波長の厚さ
   を有することを特徴とする無光彩透明導電膜。
2. 【請求項２】 前記オ−バ−コ−ト膜が、酸化物薄膜、
   ハロゲン化物薄膜、硫化物薄膜もしくはこれらから選択
   した２種以上の混合物薄膜であって、膜厚が45nm以上16
   0nm 以下でかつ屈折率が1.3 以上1.7 以下である透明膜
   からなることを特徴とする請求項１記載の無光彩透明導
   電膜。
3. 【請求項３】 前記透明導電膜が、膜厚が80nm以上800n
   m 以下でかつ屈折率が1.6 以上2.8 以下であることを特
   徴とする請求項１乃至２記載の無光彩透明導電膜。
4. 【請求項４】 前記透明導電膜が、波長0.38μｍ〜0.70
   μｍにおける平均可視光透過率が70％以上であって、波
   長10μｍにおける赤外反射率が60％以上であることを特
   徴とする請求項１乃至３記載の無光彩透明導電膜。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４記載の前記無光彩透明導
   電膜をガラス基板表面に成膜したことを特徴とする無光
   彩透明導電膜付きガラス板。