JPH09165258A - 誘電体磁器組成物の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器組成物の製造方法Info
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- JPH09165258A JPH09165258A JP7348707A JP34870795A JPH09165258A JP H09165258 A JPH09165258 A JP H09165258A JP 7348707 A JP7348707 A JP 7348707A JP 34870795 A JP34870795 A JP 34870795A JP H09165258 A JPH09165258 A JP H09165258A
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- dielectric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 誘電率εr、Ｑ×ｆ値が大きく、並びに共振
周波数の温度係数τfができるだけ零に近い特性を安定
して得られる誘電体磁器組成物の製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 誘電体磁器の焼結体を１０００〜１３０
０℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１
０時間ＨＩＰ処理することにより、仮焼物の平均粒径が
１.２０μｍ以上であっても、誘電率εr Ｑ×ｆ値が大
きく、並びに共振周波数の温度係数τfが零に近い特性
を有する誘電体磁器組成物が得られる。
周波数の温度係数τfができるだけ零に近い特性を安定
して得られる誘電体磁器組成物の製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 誘電体磁器の焼結体を１０００〜１３０
０℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１
０時間ＨＩＰ処理することにより、仮焼物の平均粒径が
１.２０μｍ以上であっても、誘電率εr Ｑ×ｆ値が大
きく、並びに共振周波数の温度係数τfが零に近い特性
を有する誘電体磁器組成物が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主にマイクロ波帯
域用の通信機器や放送機器等に使用される誘電体共振器
等に用いられる誘電体磁器組成物の製造方法に関する。
域用の通信機器や放送機器等に使用される誘電体共振器
等に用いられる誘電体磁器組成物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、通信技術の進歩により、自動車電
話やサービスが開始されたＰＨＳ等の携帯電話等の移動
体通信システム、ＧＰＳ（Global Positioning Syste
m）が急速に普及している。そのため、通信に利用され
る周波数帯域が拡大し、マイクロ波帯域での通信が盛ん
になっている。
話やサービスが開始されたＰＨＳ等の携帯電話等の移動
体通信システム、ＧＰＳ（Global Positioning Syste
m）が急速に普及している。そのため、通信に利用され
る周波数帯域が拡大し、マイクロ波帯域での通信が盛ん
になっている。
【０００３】古くは、このマイクロ波帯域で使用される
回路には、空洞共振器、アンテナ等が用いられていた。
しかし、これら部品は、マイクロ波の波長と同程度の大
きさになるため、自動車用電話機、携帯電話機、小型Ｇ
ＰＳ装置等に適用できるような小型の部品の製造は困難
であった。
回路には、空洞共振器、アンテナ等が用いられていた。
しかし、これら部品は、マイクロ波の波長と同程度の大
きさになるため、自動車用電話機、携帯電話機、小型Ｇ
ＰＳ装置等に適用できるような小型の部品の製造は困難
であった。
【０００４】これに対し、近年、マイクロ波フィルタや
発信器の周波数安定化回路に誘電体共振器を用いること
によって、回路部品の小型化が盛んに行われ、一般化し
つつある。
発信器の周波数安定化回路に誘電体共振器を用いること
によって、回路部品の小型化が盛んに行われ、一般化し
つつある。
【０００５】このようなマイクロ波誘電体材料に要求さ
れる特性は、使用周波数帯域における誘電率εrが大き
いこと、共振周波数の温度係数τfができるだけ零に近
いこと、マイクロ波帯域での誘電損失ｔａｎδ(＝１／
Ｑ)が小さいことが挙げられる。尚、マイクロ波帯域で
の誘電損失ｔａｎδの大小は、一般的に、Ｑ×ｆの形で
表現される（ｆはその時の共振周波数）。そのため、以
下、Ｑ×ｆの表現を用いる。
れる特性は、使用周波数帯域における誘電率εrが大き
いこと、共振周波数の温度係数τfができるだけ零に近
いこと、マイクロ波帯域での誘電損失ｔａｎδ(＝１／
Ｑ)が小さいことが挙げられる。尚、マイクロ波帯域で
の誘電損失ｔａｎδの大小は、一般的に、Ｑ×ｆの形で
表現される（ｆはその時の共振周波数）。そのため、以
下、Ｑ×ｆの表現を用いる。
【０００６】又、従来から、主にコイル、ＩＣ、水晶振
動子等に用いられてきた温度補償用コンデンサは、最近
になって、移動体通信機のデジタル回路用バイパスコン
デンサ等としての需要が増加している。
動子等に用いられてきた温度補償用コンデンサは、最近
になって、移動体通信機のデジタル回路用バイパスコン
デンサ等としての需要が増加している。
【０００７】これまで、マイクロ波用、あるいは、コン
デンサ用の誘電体磁器組成物としては、Ｂａ（Ｚ
ｎ1/3、Ｔａ2/3)Ｏ3系、ＢａＯ−ＴｉＯ2系、ＺｒＯ2−
ＳｎＯ2−ＴｉＯ2系、ＢａＯ−希土類酸化物−ＴｉＯ2
系、（Ｐｂ、Ｃａ）ＺｒＯ3系等の材料が知られてい
る。
デンサ用の誘電体磁器組成物としては、Ｂａ（Ｚ
ｎ1/3、Ｔａ2/3)Ｏ3系、ＢａＯ−ＴｉＯ2系、ＺｒＯ2−
ＳｎＯ2−ＴｉＯ2系、ＢａＯ−希土類酸化物−ＴｉＯ2
系、（Ｐｂ、Ｃａ）ＺｒＯ3系等の材料が知られてい
る。
【０００８】しかし、これまでに開示されている組成の
材料では、マイクロ波帯域において、εrが大きいほど
Ｑ×ｆが小さいという傾向があった。
材料では、マイクロ波帯域において、εrが大きいほど
Ｑ×ｆが小さいという傾向があった。
【０００９】その欠点を解決するために、本発明者ら
は、十分大きな無負荷Ｑと誘電率εr＞１１０と、実用
上、十分小さな温度係数τfを合わせ持つ組成として、
ＢａＯ−Ｌａ2Ｏ3−Ｓｍ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3−ＴｉＯ2を特
願平５−２７５３６０号に提案した。
は、十分大きな無負荷Ｑと誘電率εr＞１１０と、実用
上、十分小さな温度係数τfを合わせ持つ組成として、
ＢａＯ−Ｌａ2Ｏ3−Ｓｍ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3−ＴｉＯ2を特
願平５−２７５３６０号に提案した。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、それら
の誘電体磁器組成物は、組成、特に、Ｂｉ2Ｏ3量によっ
ては、仮焼物の平均粒径が１.２０μｍ以上となると、
緻密な焼結体を形成せず、εr、Ｑ×ｆが劣化するとい
う問題があった。更に、このような焼結体は、空隙が多
く、水分を吸収しやすくなったり、機械的強度が弱くな
る等、信頼性を大きく劣化させてしまうという問題があ
る。
の誘電体磁器組成物は、組成、特に、Ｂｉ2Ｏ3量によっ
ては、仮焼物の平均粒径が１.２０μｍ以上となると、
緻密な焼結体を形成せず、εr、Ｑ×ｆが劣化するとい
う問題があった。更に、このような焼結体は、空隙が多
く、水分を吸収しやすくなったり、機械的強度が弱くな
る等、信頼性を大きく劣化させてしまうという問題があ
る。
【００１１】又、ジルコニアボールを用いボールミルで
仮焼物の湿式粉砕を長時間行った場合、仮焼物の平均粒
径を１.２０μｍより小さくでき、緻密な焼結体を形成
できるが、ジルコニアが混入することにより、εr、Ｑ
×ｆ、τfが劣化するという問題がある。
仮焼物の湿式粉砕を長時間行った場合、仮焼物の平均粒
径を１.２０μｍより小さくでき、緻密な焼結体を形成
できるが、ジルコニアが混入することにより、εr、Ｑ
×ｆ、τfが劣化するという問題がある。
【００１２】そこで、本発明の技術的課題は、誘電率ε
r、Ｑ×ｆ値が大きく、並びに共振周波数の温度係数τf
ができるだけ零に近い特性を安定して得られる誘電体磁
器組成物の製造方法を提供することにある。
r、Ｑ×ｆ値が大きく、並びに共振周波数の温度係数τf
ができるだけ零に近い特性を安定して得られる誘電体磁
器組成物の製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明者は、焼結体を１０００〜１３００℃の温
度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間Ｈ
ＩＰ処理することにより、仮焼物の平均粒径が１.２０
μｍ以上であっても、誘電率εr Ｑ×ｆ値が大きく、並
びに共振周波数の温度係数τfが零に近い誘電体磁器組
成物が得られることを見だした。
めに、本発明者は、焼結体を１０００〜１３００℃の温
度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間Ｈ
ＩＰ処理することにより、仮焼物の平均粒径が１.２０
μｍ以上であっても、誘電率εr Ｑ×ｆ値が大きく、並
びに共振周波数の温度係数τfが零に近い誘電体磁器組
成物が得られることを見だした。
【００１４】即ち、本発明によれば、一般式が、ａＢａ
Ｏ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、
ａ，ｂ，ｃ、及びｄの単位はモル％）で、１３.６≦ａ
≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ）≦１９.２、６４.５≦
ｄ≦６９.２、０.７０≦ｃ≦９.４の範囲内にあり、ａ
＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成
物の製造方法において、焼結して得られた誘電体磁器を
１０００〜１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧
の圧力で、１〜１０時間、ＨＩＰ処理することを特徴と
する誘電体磁器組成物の製造方法が得られる。
Ｏ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、
ａ，ｂ，ｃ、及びｄの単位はモル％）で、１３.６≦ａ
≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ）≦１９.２、６４.５≦
ｄ≦６９.２、０.７０≦ｃ≦９.４の範囲内にあり、ａ
＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成
物の製造方法において、焼結して得られた誘電体磁器を
１０００〜１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧
の圧力で、１〜１０時間、ＨＩＰ処理することを特徴と
する誘電体磁器組成物の製造方法が得られる。
【００１５】又、本発明によれば、一般式が、ａＢａＯ
−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ
2（ただし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ、及びｅの単位はモル％）
で、１３.６≦ａ≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ＋ｅ）
≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.７０≦ｃ≦９.
４、０.２０≦ｅ≦６.０の範囲内にあり、ａ＋ｂ＋ｃ＋
ｅ＋ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成物の製
造方法において、焼結して得られた誘電体磁器を１００
０〜１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力
で、１〜１０時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電
体磁器組成物の製造方法が得られる。
−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ
2（ただし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ、及びｅの単位はモル％）
で、１３.６≦ａ≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ＋ｅ）
≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.７０≦ｃ≦９.
４、０.２０≦ｅ≦６.０の範囲内にあり、ａ＋ｂ＋ｃ＋
ｅ＋ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成物の製
造方法において、焼結して得られた誘電体磁器を１００
０〜１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力
で、１〜１０時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電
体磁器組成物の製造方法が得られる。
【００１６】又、本発明によれば、一般式が、ａＢａＯ
−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（た
だし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ、及びｆの単位はモル％）で、１
３.６≦（ａ＋ｆ）≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ）≦
１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.１０≦ｆ≦５.
５、０.７０≦ｃ≦９.４、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００
モル％で示される誘電体磁器組成物の製造方法におい
て、焼結して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００
℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０
時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電体磁器組成物
の製造方法が得られる。
−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（た
だし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ、及びｆの単位はモル％）で、１
３.６≦（ａ＋ｆ）≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ）≦
１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.１０≦ｆ≦５.
５、０.７０≦ｃ≦９.４、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００
モル％で示される誘電体磁器組成物の製造方法におい
て、焼結して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００
℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０
時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電体磁器組成物
の製造方法が得られる。
【００１７】又、本発明によれば、一般式が、ａＢａＯ
−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄ
ＴｉＯ2（ただし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ、及びｆの単位
はモル％）で、１３.６≦（ａ＋ｆ）≦１８.６、１４.
７≦（ｂ＋ｃ＋ｅ）≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.
２、０.１０≦ｆ≦５.５、０.７０≦ｃ≦９.４、０.２
０≦ｅ≦６.０の範囲内にあり、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋
ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成物の製造方
法において、焼結して得られた誘電体磁器を１０００〜
１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、
１〜１０時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電体磁
器組成物の製造方法が得られる。
−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄ
ＴｉＯ2（ただし、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ、及びｆの単位
はモル％）で、１３.６≦（ａ＋ｆ）≦１８.６、１４.
７≦（ｂ＋ｃ＋ｅ）≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.
２、０.１０≦ｆ≦５.５、０.７０≦ｃ≦９.４、０.２
０≦ｅ≦６.０の範囲内にあり、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋
ｄ＝１００モル％で示される誘電体磁器組成物の製造方
法において、焼結して得られた誘電体磁器を１０００〜
１３００℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、
１〜１０時間ＨＩＰ処理することを特徴とする誘電体磁
器組成物の製造方法が得られる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、実施例に基づいて、本発明
の実施の形態の詳細を説明する。
の実施の形態の詳細を説明する。
【００１９】（実施例１）まず、ＢａＣＯ3、Ｓｍ
2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤
量した後、純水を用い、ジルコニアボールにて樹脂製の
ボールミルで２０時間湿式混合し、混合物を得た。
2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤
量した後、純水を用い、ジルコニアボールにて樹脂製の
ボールミルで２０時間湿式混合し、混合物を得た。
【００２０】次に、この混合物を乾燥させた後、大気中
にて１２００℃の温度で約４時間仮焼し、仮焼物を得
た。次に、上記のボールミルで２０時間湿式粉砕した。
にて１２００℃の温度で約４時間仮焼し、仮焼物を得
た。次に、上記のボールミルで２０時間湿式粉砕した。
【００２１】これを、直径１５ｍｍ，厚さ約６ｍｍの円
盤状に成形し、大気中にて１２５０〜１３７５℃の温度
で約２時間焼結することによって、焼結体を得た。
盤状に成形し、大気中にて１２５０〜１３７５℃の温度
で約２時間焼結することによって、焼結体を得た。
【００２２】次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気
中で１０００〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧
力で、２時間ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理さ
れた焼結体を大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表
１に示す組成の誘電体磁器を得た。
中で１０００〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧
力で、２時間ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理さ
れた焼結体を大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表
１に示す組成の誘電体磁器を得た。
【００２３】
【表１】
【００２４】なお、組成は、ａＢａＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃ
Ｂｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００モル
％）のように表わした。
Ｂｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００モル
％）のように表わした。
【００２５】次に、各組成の誘電体磁器について、誘電
体共振器法により、誘電率εr、Ｑ×ｆ値、共振周波数
の温度係数τfを測定した。
体共振器法により、誘電率εr、Ｑ×ｆ値、共振周波数
の温度係数τfを測定した。
【００２６】共振周波数の温度係数τfは、＋２０〜＋
６０℃の温度範囲での共振周波数ｆの差より、次式によ
って求めた。 τf＝［ｆ（６０℃）−ｆ（２０℃）］／［４０×ｆ
（２０℃）］ なお、共振周波数は、２．２〜３．２ＧＨｚであった。
６０℃の温度範囲での共振周波数ｆの差より、次式によ
って求めた。 τf＝［ｆ（６０℃）−ｆ（２０℃）］／［４０×ｆ
（２０℃）］ なお、共振周波数は、２．２〜３．２ＧＨｚであった。
【００２７】次に、仮焼物の平均粒径の測定を、レーザ
光式粒度分析計にて行った。それらの測定結果を表１に
示した。
光式粒度分析計にて行った。それらの測定結果を表１に
示した。
【００２８】（実施例２）ＢａＣＯ3、Ｓｍ2Ｏ3、Ｂｉ2
Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤量
し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体を得た。
次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で１０００
〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力で、２時間
ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理された焼結体を
大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表２に示す組成
の誘電体磁器を得た。
Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤量
し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体を得た。
次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で１０００
〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力で、２時間
ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理された焼結体を
大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表２に示す組成
の誘電体磁器を得た。
【００２９】
【表２】
【００３０】なお、組成は、ａＢａＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃ
Ｂｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｂ＋ｅ＋ｄ＝
１００モル％）のように表わした。
Ｂｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｂ＋ｅ＋ｄ＝
１００モル％）のように表わした。
【００３１】次に、各組成の誘電体磁器の特性と仮焼物
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表２に、それらの測定結果を示した。
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表２に、それらの測定結果を示した。
【００３２】（実施例３）ＢａＣＯ3、ＳｒＯ、Ｓｍ2Ｏ
3、Ｂｉ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤量
し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体を得た。
次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で１０００
〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力で、２時間
ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理された焼結体を
大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表３に示す組成
の誘電体磁器を得た。
3、Ｂｉ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応じて秤量
し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体を得た。
次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で１０００
〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力で、２時間
ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理された焼結体を
大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表３に示す組成
の誘電体磁器を得た。
【００３３】
【表３】
【００３４】なお、組成は、ａＢａＯ−ｆＳｒＯ−ｂＳ
ｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｄ
＝１００モル％）のように表わした。
ｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｄ
＝１００モル％）のように表わした。
【００３５】次に、各組成の誘電体磁器の特性と仮焼物
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表３に、それらの測定結果を示した。
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表３に、それらの測定結果を示した。
【００３６】（実施例４）ＢａＣＯ3、ＳｒＯ、Ｓｍ2Ｏ
3、Ｂｉ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応
じて秤量し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体
を得た。次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で
１０００〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力
で、２時間ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理され
た焼結体を大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表４
に示す組成の誘電体磁器を得た。
3、Ｂｉ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、ＴｉＯ2の各粉末を各組成に応
じて秤量し、実施例１に示したのと同様の方法で焼結体
を得た。次いで、この焼結体をアルゴンガス雰囲気中で
１０００〜１３００℃の温度で、１０００気圧の圧力
で、２時間ＨＩＰ処理した。更に、このＨＩＰ処理され
た焼結体を大気中で１２００℃の温度で熱処理し、表４
に示す組成の誘電体磁器を得た。
【００３７】
【表４】
【００３８】なお、組成は、ａＢａＯ−ｆＳｒＯ−ｂＳ
ｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｆ
＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋ｄ＝１００モル％）のように表わした。
ｍ2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ａ＋ｆ
＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋ｄ＝１００モル％）のように表わした。
【００３９】次に、各組成の誘電体磁器の特性と仮焼物
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表４に、それらの測定結果を示した。
の平均粒径について、実施例１に示したものと同様の測
定を行った。表４に、それらの測定結果を示した。
【００４０】上記、表１〜４より明らかなように、焼結
して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００℃の温度
で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩ
Ｐ処理することにより、仮焼物の平均粒径が１.２０μ
ｍ以上であっても、誘電率εr、Ｑ×ｆ値が大きく、並
びに共振周波数の温度係数τfが零に近くなる。
して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００℃の温度
で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩ
Ｐ処理することにより、仮焼物の平均粒径が１.２０μ
ｍ以上であっても、誘電率εr、Ｑ×ｆ値が大きく、並
びに共振周波数の温度係数τfが零に近くなる。
【００４１】これに対し、本発明の試料以外の比較例で
は、ＨＩＰ処理を行っていない試料やＨＩＰ温度が９０
０℃より低い場合には、緻密な焼結体が得られず、
εr、Ｑ×ｆ共に低い値しか得られない。又、ＨＩＰ温
度が１３００℃を越えると、Ｑ×ｆは劣化し、εrも若
干劣化する。
は、ＨＩＰ処理を行っていない試料やＨＩＰ温度が９０
０℃より低い場合には、緻密な焼結体が得られず、
εr、Ｑ×ｆ共に低い値しか得られない。又、ＨＩＰ温
度が１３００℃を越えると、Ｑ×ｆは劣化し、εrも若
干劣化する。
【００４２】
【発明の効果】以上に説明した通り、本発明によれば、
焼結体を１０００〜１３００℃の温度で、５００〜１５
００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩＰ処理することに
より、仮焼物の平均粒径が１.２０μｍ以上であって
も、誘電率εr、Ｑ×ｆ値が大きく、並びに共振周波数
の温度係数τfが零に近い誘電体磁器組成物の製造方法
が得られる。
焼結体を１０００〜１３００℃の温度で、５００〜１５
００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩＰ処理することに
より、仮焼物の平均粒径が１.２０μｍ以上であって
も、誘電率εr、Ｑ×ｆ値が大きく、並びに共振周波数
の温度係数τfが零に近い誘電体磁器組成物の製造方法
が得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高畑 興邦 宮城県仙台市太白区郡山６丁目７番１号 株式会社トーキン内
Claims (4)
- 【請求項１】 一般式が、ａＢａＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢ
ｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、ａ，ｂ，ｃ、及びｄの単
位はモル％）で、１３.６≦ａ≦１８.６、１４.７≦
（ｂ＋ｃ）≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.７０
≦ｃ≦９.４の範囲内にあり、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００
モル％で示される誘電体磁器組成物の製造方法におい
て、焼結して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００
℃の温度で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０
時間、熱間静水圧プレス(Hot Isostatic Press、以下Ｈ
ＩＰと記す)処理することを特徴とする誘電体磁器組成
物の製造方法。 - 【請求項２】 一般式が、ａＢａＯ−ｂＳｍ2Ｏ3−ｃＢ
ｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、ａ，ｂ，
ｃ，ｄ、及びｅの単位はモル％）で、１３.６≦ａ≦１
８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ＋ｅ）≦１９.２、６４.５≦
ｄ≦６９.２、０.７０≦ｃ≦９.４、０.２０≦ｅ≦６.
０の範囲内にあり、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋ｄ＝１００モル％
で示される誘電体磁器組成物の製造方法において、焼結
して得られた誘電体磁器を１０００〜１３００℃の温度
で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩ
Ｐ処理することを特徴とする誘電体磁器組成物の製造方
法。 - 【請求項３】 一般式が、ａＢａＯ−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ
2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、ａ，ｂ，ｃ，
ｄ、及びｆの単位はモル％）で、１３.６≦（ａ＋ｆ）
≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ）≦１９.２、６４.５≦
ｄ≦６９.２、０.１０≦ｆ≦５.５、０.７０≦ｃ≦９.
４、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００モル％で示される誘電
体磁器組成物の製造方法において、焼結して得られた誘
電体磁器を１０００〜１３００℃の温度で、５００〜１
５００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩＰ処理すること
を特徴とする誘電体磁器組成物の製造方法。 - 【請求項４】 一般式が、ａＢａＯ−ｆＳｒＯ−ｂＳｍ
2Ｏ3−ｃＢｉ2Ｏ3−ｅＬａ2Ｏ3−ｄＴｉＯ2（ただし、
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ、及びｆの単位はモル％）で、１
３.６≦（ａ＋ｆ）≦１８.６、１４.７≦（ｂ＋ｃ＋
ｅ）≦１９.２、６４.５≦ｄ≦６９.２、０.１０≦ｆ≦
５.５、０.７０≦ｃ≦９.４、０.２０≦ｅ≦６.０の範
囲内にあり、ａ＋ｆ＋ｂ＋ｃ＋ｅ＋ｄ＝１００モル％で
示される誘電体磁器組成物の製造方法において、焼結し
て得られた誘電体磁器を１０００〜１３００℃の温度
で、５００〜１５００気圧の圧力で、１〜１０時間ＨＩ
Ｐ処理することを特徴とする誘電体磁器組成物の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7348707A JPH09165258A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7348707A JPH09165258A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09165258A true JPH09165258A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18398828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7348707A Pending JPH09165258A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09165258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1092694A4 (en) * | 1998-06-04 | 2003-05-02 | Sumitomo Spec Metals | DIELECTRIC HYPERFREQUENCY CERAMIC COMPOSITION |
-
1995
- 1995-12-18 JP JP7348707A patent/JPH09165258A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1092694A4 (en) * | 1998-06-04 | 2003-05-02 | Sumitomo Spec Metals | DIELECTRIC HYPERFREQUENCY CERAMIC COMPOSITION |
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