JPH09166430A

JPH09166430A - 測定器の検査方法、及び検査装置

Info

Publication number: JPH09166430A
Application number: JP34736695A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Sugihara; 和男杉原
Original assignee: Tosok Corp
Current assignee: Nidec Powertrain Systems Corp
Priority date: 1995-12-14
Filing date: 1995-12-14
Publication date: 1997-06-24
Anticipated expiration: 2015-12-14
Also published as: JP3585619B2

Abstract

(57)【要約】【目的】測定器の異常の発見を容易に行うことができ
る測定器の検査方法、及び検査装置を提供する。【構成】マスター測定処理のステップＳ１４で測定ヘ
ッドをゼロマスターにセットし、測定ヘッドの電気マイ
クロメータに送られたリトラクトエアの圧力を減圧した
後（Ｓ１５）、電気マイクロメータから出力される突出
量が”０”となるように調整する（Ｓ１６）。測定ヘッ
ドを感度マスターにセットし（Ｓ１７）、測定子の突出
量から感度位置を演算した後（Ｓ１８）、ＲＡＭに感度
位置が記憶されているか否かを判断する（Ｓ１９）。次
に、ＲＡＭに記憶された１時間前の感度位置と、現時点
の感度位置とを比較する（Ｓ２１）。電気マイクロメー
タのリーフスプリングの付勢力が低下している場合に
は、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＞（現在の感度位
置）となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の寸法を
測定する測定器の検査を行う測定器の検査方法、及び検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、エンジンのボアー径を測定する際
には、図６に示すように、測定器としての測定ヘッド８
１が用いられている。該測定ヘッド８１は、円柱状の首
部８２、及び該首部８２の下端に設けられた頭部８３か
らなり、該頭部８３には、検出器としての４つの電気マ
イクロメータ８４，・・・が設けられている。

【０００３】該電気マイクロメータ８４は、図７に示す
ように、検出器本体８５と、該検出器本体８５より突出
する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設された
スピンドル８７中央には、コア８８が設けられている。
前記検出器本体８５には、前記コア８８を包囲する１次
コイル８９及び２次コイル９０，９０からなる検出手段
としての差動変圧器９１が設けられており、この差動変
圧器９１は、前記コア８８の変位量を電気信号に変換
し、検出器本体８５の基端より延出したケーブル９２を
介して出力するように構成されている。

【０００４】前記スピンドル８７には、前記測定子８６
側の先端部にストッパー９３が設けられており、基端部
にはナット９４が設けられている。前記ストッパー９３
には、縁部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム
９５が設けられており、このダイヤフラム９５の先端側
には気室９６が形成されている。該気室９６は、連通路
９７を介して検出器本体８５の基端に設けられたパイプ
９８に連通しており、加圧されたリトラクトエアーが、
前記パイプ９８、前記連通路９７を介して前記気室９６
内へ送り込まれた際に、このリトラクトエアーの圧力に
より前記測定子８６を後退させるような反付勢手段が形
成されている。また、前記スピンドル８７の先端側及び
基端側には、縁部が検出器本体８５に固定された付勢部
材としてのリーフスプリング９９，９９が各々設けられ
ており、これらによって、スピンドル８７は、先端方向
に向けて付勢されている。

【０００５】前記各リーフスプリング９９，９９は、同
一形状であり、図８に示すように、０．１５ｍｍ厚の円
板状の部材によって形成されている。このリーフスプリ
ング９９には、前記スピンドル８７が貫通する円形の貫
通穴１００が中央に開設されており、該貫通穴１００を
中心とする同心円上には、互いに向き合う円弧状の第１
及び第２のスリット１０１，１０２、第３及び第４のス
リット１０３，１０４、第５及び第６のスリット１０
５，１０６が互い違いに等間隔をおいて順次形成されて
いる。前記第１及び第２のスリット１０１，１０２と、
前記第５及び第６のスリット１０５，１０６は、リーフ
スプリング９９を中央より上下及び左右に分けるＸ軸１
０７及びＹ軸１０８を想定した際に、Ｙ軸１０８を挟み
対称に形成されており、前記第３及び第４のスリット１
０３，１０４は、前記Ｘ軸１０７を挟み対称に形成され
ている。これによって、前記スピンドル８７は、上下方
向に移動した際の左右方向へのずれが防止されるように
構成されている。

【０００６】前記測定ヘッド８１を製造ラインにて使用
する際には、所定時間ごとに検査及び調整が行われる。
すなわち、前記パイプ９８より前記気室９６内にリトラ
クトエアーを送り込み、この圧力により測定子８６を後
退させる。そして、図５に示したように、基準径Ｃを有
したゼロマスター１０９に挿入した後、前記リトラクト
エアーを減圧する。この状態で、前記差動変圧器９１の
出力が”０”となるように調整し、使用環境などによる
基準値のずれを排除できるようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記測
定ヘッド８１にて測定を１０万〜４０万回繰り返すと、
電気マイクロメータ８４のリーフスプリング９９が金属
疲労を起こし、破損してしまうことがある。この場合に
は、差動変圧器９１の出力が”０”から大幅にずれるた
め、前述した検査方法により、これを発見することがで
きるが、一方のリーフスプリング９９のみが破損してい
る場合や、両リーフスプリング９９，９９が劣化して付
勢力が低下している場合には、これを発見することが困
難となる。この場合、測定ヘッド８１から全ての電気マ
イクロメータ８４，・・・を取り出した後、この各電気
マイクロメータ８４，・・・を分解しなければならず、
発見に至るまで時間を要してしまう。また、破損や劣化
を発見した場合においても、修理に時間を要するため、
製造ラインの停止時間が長くなり、生産性が悪化してし
まう。

【０００８】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、測定器の異常の発見を容易に行う
ことができる測定器の検査方法、及び検査装置を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の測定器の検査方法においては、被測定物の寸
法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を
前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から
前記寸法を測定する測定器の検査方法であって、第１の
マスターを用いて測定を行う第１の測定工程と、前記第
１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増
加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２の
測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定の時間
をおいて繰り返し行い、前記第１の測定工程から前記第
２の測定工程へ移行した際の前記突出量の増加量が、各
計測工程にて変化した際に、この変化量に基づき前記付
勢部材の状態を判断する。

【００１０】すなわち、第１のマスターによる第１の測
定工程と、第２のマスターによる第２の測定工程とを連
続的に行い、前記第１の測定工程から前記第２の測定工
程へ移行した際の測定器における測定子の増加量を、１
回目の計測結果とする。そして、所定時間経過後に、第
１の工程と第２の工程とを連続的に行い、このときの第
１の測定工程から第２の測定工程へ移行した際の測定子
の増加量を、２回目の計測結果とするとともに、前記１
回目の計測結果と比較する。

【００１１】このとき、前記測定子を付勢する付勢部材
が正常であり、その付勢力が変化しない場合には、前記
測定子の突出量は、１回目の計測と２回目の計測とにお
いて一致するので、両測定結果は同じ値となる。また、
付勢部材が破損あるいは劣化し、２回目の測定の際に、
その付勢力が低下している場合には、前記測定子の突出
量は１回目の測定と比較して少なくなる。このため、２
回目の計測結果は１回目の計測結果と比較して小さな値
となる。このように、１回目の計測結果と２回目の計測
結果との変化を測定することで、両計測結果の変化量に
基づき、付勢部材の経時的な変化が判断される。

【００１２】また、本発明の検査装置は、被測定物の寸
法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を
前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から
前記寸法を測定する測定器の検査装置であって、第１の
マスターを用いて測定を行う第１の前測定と、該第１の
マスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加す
るような第２のマスターを用いて測定を行う第２の前測
定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２の前測
定の間における前記突出量の増加量を記憶する記憶手段
と、所定時間経過後に、前記第１のマスターを用いて測
定を行う第１の後測定と、前記第２のマスターを用いて
測定を行う第２の後測定とが連続的に行われた際に、前
記第１及び第２の後測定の間における前記突出量の増加
量と、前記記憶手段に記憶された増加量と比較する比較
手段と、該比較手段にて、前記記憶手段に記憶された増
加量と所定時間後に計測された増加量とが一致していな
い場合には、両増加量の差に基づき、これを示す報知信
号を出力する出力手段と、を備えている。

【００１３】この検査装置にて測定器の検査を行う際に
は、第１のマスターによる第１の前測定と、第２のマス
ターによる第２の前測定とが連続的に行われる１回目の
計測の際に、前記第１及び第２の前測定の間における前
記測定子の増加量が記憶手段に記憶される。そして、所
定時間経過後に２回目の計測が行われた際には、詳しく
は、前記第１のマスターによる第１の後測定と、前記第
２のマスターによる第２の後測定とが連続的に行われた
際には、前記第１及び第２の後測定の間における前記測
定子の増加量と、前記記憶手段に記憶された増加量が比
較手段により比較される。

【００１４】このとき、前記測定子を付勢する付勢部材
が正常であり、その付勢力が変化しない場合には、前記
測定子の突出量は、１回目の計測と２回目の計測とにお
いて一致するので、２回目に計測された増加量と１回目
に計測計測された増加量とは同じ値となる。また、付勢
部材が破損あるいは劣化し、２回目の測定の際に、その
付勢力が低下している場合には、前記測定子の突出量は
１回目と比較して少なくなるので、２回目の増加量は１
回目の増加量より小さな値となる。このように、１回目
の増加量と２回目の増加量との変化を比較することで、
この変化量に基づき、付勢部材の経時的な変化が判断さ
れるとともに、これを示す報知信号が出力手段より出力
される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にしたがって説明する。図１は、本発明の実施の形態に
かかる検査装置１を示すブロック図である。該検査装置
１は、製造されたエンジンのボアー径を測定する際の制
御を行うシーケンサーに接続されるものであり、図示し
ない前記シーケンサーに接続された制御装置２と、該制
御装置２に接続されたエア回路３とにより構成されてい
る。

【００１６】この検査装置１には、従来例の図６〜図８
に示したように、前記ボアー径を測定する測定ヘッド
（測定器）８１に組み込まれた電気マイクロメータ８４
（検出器），・・・が接続されている。該電気マイクロ
メータ８４は、検出器本体８５と、該検出器本体８５よ
り突出する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設
されたスピンドル８７は、付勢部材としてのリーフスプ
リング９９，９９により、先端方向に向けて付勢されて
いる。前記スピンドル８７に中央には、コア８８が設け
られており、前記検出器本体８５には、このコア８８を
包囲する１次コイル８９及び２次コイル９０，９０から
なる検出手段としての差動変圧器９１が設けられてい
る。この差動変圧器９１は、コア８８の変位量、すなわ
ち、前記測定子８６の突出量を電気信号に変換するとと
もに、この電気信号を、検出器本体８５より延出したケ
ーブル９２を介して、検査装置１の前記制御装置２へ出
力するように構成されている。

【００１７】また、前記スピンドル８７の先端には、縁
部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム９５が設
けられており、このダイヤフラム９５の先端側には気室
９６が形成されている。該気室９６は、検出器本体８５
に形成された連通路９７を介して基端に設けられたパイ
プ９８に連通しており、該パイプ９８は、検査装置１の
前記エア回路３に接続されている。

【００１８】前記制御装置２は、ＣＰＵ４、ＲＯＭ５、
ＲＡＭ６、及び制御回路７を備えており、前記ＣＰＵ４
は、前記ＲＯＭ５の内容に従って動作するように構成さ
れている。また、前記ＣＰＵ４は、作動中における記憶
内容を前記ＲＡＭ６に随時読み書きできるように構成さ
れている。

【００１９】前記エア回路３には、エアポンプ８より送
られて来るリトラクトエアを２回路に分岐する分岐点９
が設けられており、一方の回路を形成する高圧供給回路
１０には、送られて来るエアの圧力を減圧する第１のレ
ギュレータ１１と、該第１のレギュレータ１１より送ら
れて来るエアの通流を、前記制御装置２からの駆動信号
を受けて開閉する第１の電磁弁１２とが設けられてい
る。また、他方の回路を形成する供給手段としての低圧
供給回路１３には、送られて来るエアの通流を、前記制
御装置２からの駆動信号を受けて開閉する第２の電磁弁
１４と、該第２の電磁弁１４から送られて来るエアを減
圧する第２のレギュレータ１５が設けられており、前記
高圧供給回路１０と合流した後、前記電気マイクロメー
タ８４に接続されている。

【００２０】前記第１のレギュレター１１は、通流する
エアの圧力を１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに減圧するよう
に設定されており、このエアが前記電気マイクロメータ
８４に送られた際に、正常状態にある前記両リーフスプ
リング９９，９９の付勢力に抗して、前記測定子８６を
後退させることができるように構成されている。これに
より、前記測定ヘッド８１にてエンジンのボアー径を測
定する際には、前記第１の電磁弁１２を開作動させて電
気マイクロメータ８４の測定子８６を後退させることに
より、測定ヘッド８１のボアーへの挿入が容易に行える
ように構成されている。

【００２１】また、前記第２のレギュレター１５は、通
流するエアの圧力を０．５〜０．７Ｋｇ／ｃｍに減圧す
るように設定されており、前記両リーフスプリング９
９，９９が正常状態にある場合には、このエアが前記電
気マイクロメータ８４に送られた場合であっても、前記
測定子８６を後退させることができないように構成され
ている。一方、前記両リーフスプリング９９，９９が劣
化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労
により破損し、その付勢力が低下している場合には、こ
の付勢力に抗して、前記測定子８６を後退させることが
できるように構成されている。

【００２２】このように構成された検査装置１は、図２
に示すように、ゼロマスター１６と、該ゼロマスター１
６に積層された感度マスター１７とからなる機付マスタ
ー１８を用いて検査を行うように構成されている。前記
ゼロマスター１６の内径寸法は、測定ヘッド８１にて測
定を行うボアー径の設計値と一致する基準寸法Ａに設定
されており、前記感度マスター１７の内径寸法は、前記
設計値に許容誤差量を加えた寸法よりやや大きめの大径
寸法Ｂに設定されている。

【００２３】以上の構成からなる本実施の形態における
具体的な動作を、図３に示すフローチャートにしたがっ
て説明する。なお、制御装置２のＲＯＭ６には、製造ラ
イン上を搬送されるエンジンのボアー径を測定する際の
制御プログラムと、検査装置１を制御する自動運転処理
のプログラムとが組み込まれており、この自動運転処理
ルーチンは、メインルーチンより１時間おきに呼び出さ
れるように構成されている。

【００２４】すなわち、自動運転処理が呼び出されるた
際には、始めに、圧力検査処理が行われる（Ｓ１）。こ
の圧力検査処理は、図４に示すように、測定ヘッド８１
の各電気マイクロメータ８４，・・・における差動変圧
器９１の出力、すなわち、測定子８６の突出量を入力す
るとともに、この突出量をＲＡＭに記憶し（Ｓ２）、次
のステップＳ３で低圧供給回路１３の第２の電磁弁１４
に、駆動信号を出力して開作動させ、０．５〜０．７Ｋ
ｇ／ｃｍに設定されたリトラクトエアを各電気マイクロ
メータ８４，・・・へ出力する。そして、各電気マイク
ロメータ８４，・・・の測定子８６の突出量を入力した
後（Ｓ４）、この突出量と、前記ＲＡＭに記憶された突
出量とを比較して、低圧供給回路１３がリトラクトエア
を出力する以前と以後とにおいて、突出量に変化が生じ
たか否かを判断する（Ｓ５）。

【００２５】このとき、電気マイクロメータ８４の測定
子８６を付勢する両リーフスプリング９９，９９が劣
化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労
により破損し、その付勢力が低下している場合には、前
記低圧供給回路１３より供給されたリトラクトエアによ
って前記測定子８６は後退するので、前記ステップＳ５
にて、突出量に変化が生じたと判断され（ＹＥＳ）、こ
の場合には、次のステップＳ６で、この変化量が３μｍ
を越えているか否かが判断される。前記変化量が３μｍ
を超えていない、つまり正常動作の範囲内である場合に
は（ＹＥＳ）、リーフスプリング９９が劣化しつつある
ことを示す予知信号をシーケンサーに出力して（Ｓ
７）、次のステップＳ８へ進む一方、前記変化量が３μ
ｍを超えていた、すなわち正常動作の範囲外である場合
には（ＮＯ）、ステップＳ９に分岐して故障信号をシー
ケンサーに出力し、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。

【００２６】また、前記両リーフスプリング９９，９９
が正常状態にある場合には、前記低圧供給回路１３よ
り、前記リトラクトエアが供給された場合であっても、
前記測定子８６が動くことはないので、前記ステップＳ
５にて、突出量に変化が生じないと判断され（ＮＯ）、
前記ステップＳ８へ分岐する。

【００２７】このステップＳ８では、高圧供給回路１０
の第１の電磁弁１２に、駆動信号を出力して開作動さ
せ、１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに設定されたリトラクト
エアを各電気マイクロメータ８４，・・・へ出力する。
そして、各電気マイクロメータ８４，・・・の測定子８
６の突出量を入力した後（Ｓ１０）、この突出量と、前
記ＲＡＭに記憶された突出量とを比較して、高圧供給回
路１０がリトラクトエアを出力する以前と以後とにおい
て、突出量に変化が生じたか否かを判断する（Ｓ１
１）。

【００２８】このとき、前記両リーフスプリング９９，
９９が正常である場合には、前記高圧供給回路１０から
のリトラクトエアの圧力により、前記測定子８６は後退
するので、前記ステップＳ１１にて、突出量に変化が生
じたと判断され（ＹＥＳ）、前記自動運転処理ルーチン
へ戻る。また、突出量が変化してない、つまり測定子８
６が後退しない場合には（ＮＯ）、何らかの故障が発生
しているので、前記ステップＳ９に分岐して、故障信号
をシーケンサーに出力した後、前記自動運転処理ルーチ
ンへ戻る。

【００２９】そして、この自動運転処理ルーチンでは、
ステップＳ１２にて、故障信号の出力の有無が判断さ
れ、故障信号が出力されている場合、すなわち、電気マ
イクロメータ８６に故障が発生している場合には（Ｎ
Ｏ）、メインルーチンへ戻る。また、故障が発生してい
ない場合には（ＹＥＳ）、マスター測定処理（Ｓ１３）
を実行する。

【００３０】該マスター測定処理では、図５に示すよう
に、ステップＳ１４にて、前記圧力検査処理にて測定子
８６が後退された測定ヘッド８４を、機付マスター１８
に挿入し、ゼロマスター１６にセットする（図２参
照）。そして、電気マイクロメータ８６に送られたリト
ラクトエアの圧力を減圧して各測定子８６，・・・をゼ
ロマスター１６の内壁面に当接させ（Ｓ１５）、これら
測定子８６，・・・の突出量、すなわち、差動変圧器９
１，・・・の出力が”０”となるように各々調整する
（Ｓ１６）。このように、１時間ごとに、”０”調整を
行うことで、経時的な使用環境などの変化に伴う、基準
値のずれを排除することができる。

【００３１】次に、測定ヘッド８４を感度マスター１７
にセットして（Ｓ１７）、このときの測定子８６の突出
量から感度位置を演算した後（Ｓ１８）、ＲＡＭに感度
位置が記憶されているか否かを判断する（Ｓ１９）。１
回目の判断においては、前記ＲＡＭには、感度位置が記
憶されていないので（ＮＯ）、ステップＳ２０へ分岐し
て演算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処
理へ戻る。一方、２回目の判断、つまり１時間後にこの
ステップ１９を通過する際には、前記ＲＡＭには、１時
間前に測定された突出量から演算された感度位置が記憶
されているので（ＹＥＳ）、次のステップＳ２１に進
み、前記ＲＡＭに記憶された１時間前の感度位置と、現
時点における突出量から演算した感度位置とを比較す
る。

【００３２】このとき、前記両リーフスプリング９９，
９９が正常であり、その付勢力が１時間前と比較して変
化しない場合には、ゼロマスター１６を測定した際の前
記測定子８６の突出量から感度マスター１８を測定した
際の前記測定子８６の突出量までの増加量は、１時間前
と現在とにおいて一致するので、前記”０”調整を行う
ことによって基準値のずれが各々排除された前記ＲＡＭ
に記憶された感度位置と現在の感度位置とは同じ値とな
る。したがって、前記ステップＳ２１での比較において
は、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＝（現在の感度位
置）となり（ＮＯ）、前記ステップＳ２０に分岐して演
算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処理へ
戻る。

【００３３】また、前記両リーフスプリング９９，９９
が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属
疲労により破損し、その付勢力が１時間前と比較して低
下している場合には、ゼロマスター１６から感度マスタ
ー１８へ移行した際の現在における測定子８６の増加量
は、１時間前と比較して小さくなるので、前記ステップ
Ｓ２１の判断にて、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＞
（現在の感度位置）となり（ＹＥＳ）、次のステップＳ
２２にて、この差が４μｍ以上ずれているか否かが判断
される。前記差が４μｍ未満、つまり測定器の誤差範囲
内である場合には（ＹＥＳ）、前記ステップＳ２０に
て、演算した感度位置をＲＡＭに記憶して、前記自動運
転処理へ戻る一方、前記差が４μｍ以上の場合、すなわ
ち測定器の誤差範囲を超えている場合には（ＮＯ）、リ
ーフスプリング９９，９９が劣化しているか、あるい
は、前記両マスター１６，１７のいずれかにごみ等が付
着しているか、等を示す予知信号をシーケンサーに出力
して（Ｓ２３）、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。な
お、前記差が大幅に（例えば１０μｍ以上）ずれている
場合には、故障信号をシーケンサーに出力するようにし
ても良い。

【００３４】このように、故障信号、または予知信号を
シーケンサーに出力することにより、リーフスプリング
９９，９９の破損のみならず、リーフスプリング９９，
９９の劣化状態等を伝達することができるので、シーケ
ンサーは、これらを容易に認識することができる。した
がって、一方のリーフスプリング９９が破損している場
合や、一方のリーフスプリング９９の付勢力が低下して
いる場合であっても、測定ヘッド８１と、該測定ヘッド
８１に組み込まれた電気マイクロメータ８４，・・・を
分解することなく、これを発見することができる。

【００３５】また、ＲＡＭが記憶する１時間前の感度位
置と現在の感度位置とを比較することにより、リーフス
プリング９９，９９の経時的な劣化を検査することがで
きる。これにより、この劣化の度合を判断してリーフス
プリング９９，９９の破損時期を予測することができ、
破損する前に新しい測定ヘッド８１、あるいは、新しい
電気マイクロメータ８４，・・・を発注しておけば、電
気マイクロメータ８４，・・・の故障による製造ライン
の長時間にわたる停止を未然に防止することができる。

【００３６】なお、本実施の形態においては、エンジン
のボアー径を測定する電気マイクロメータ８４を備えた
測定ヘッド８１の検査方法について説明したが、例え
ば、被測定物を包囲するように電気マイクロメータが配
置された外形寸法を測定する測定器の場合には、第１の
マスターと、該第１のマスタより小径の第２のマスター
とを用いて検査することができる。

【００３７】また、本実施の形態では、ＲＡＭに記憶さ
れる感度位置を１時間おきに更新するとともに、１時間
前の感度位置と現在の感度位置とを比較する方法につい
て説明したが、例えば、ボアー径の測定を開始する際の
感度位置をＲＡＭに記憶し、この感度位置と、これ以後
に１時間毎に測定される各感度位置とを比較しても良
い。

【００３８】さらに、本実施の形態にあっては、自動運
転処理にて、電気マイクロメータ８４に低圧のリトラク
トエアを供給する圧力検査処理と、各マスター１６，１
７を用いて測定を行うマスター測定処理とを行い、電気
マイクロメータ８４のリーフスプリング９９，９９の異
常を、より正確に検査したが、前記マスター測定処理の
みにより検査を行っても良い。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の測定器の
検査方法においては、第１の測定工程と第２の測定工程
とが連続的に行われる計測工程を、所定時間毎に繰り返
すとともに、各計測工程における測定器の測定子の増加
量を計測し、これらの計測結果が変化した際には、この
変化量に基づき、前記付勢部材の経時的な変化を判断す
ることができる。つまり、前記変化量が測定器の誤差範
囲内にある場合には、付勢部材が劣化した、また、前記
変化量が測定器の誤差範囲を大幅に超える場合には、付
勢部材が破損した等の判断をすることができるので、付
勢部材が破損した場合のみならず、付勢部材が劣化して
付勢力が低下した場合であっても、これを容易に発見す
ることができる。

【００４０】したがって、複数の付勢部材により測定子
が付勢された測定器を検査する際に、１つの付勢部材が
破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下し
ている場合であっても、測定器を分解することなく、こ
れを発見することができる。また、測定器が製造ライン
で使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、
付勢部材の劣化による異常を発見することができるの
で、劣化の度合によって新しい測定器を発注することに
より、測定器の故障による製造ラインの長時間にわたる
停止を未然に防止することができる。

【００４１】また、本発明の検査装置にあっては、記憶
手段が記憶する１回目に測定された増加量と、２回目に
測定された増加量とを比較手段が比較し、両増加量の差
に基づき、付勢部材の経時的な変化が判断されるととも
に、これを示す報知信号が出力手段より出力される。例
えば、両増加量の差が、測定器の誤差範囲内である場合
には、付勢部材が劣化したことを示す報知信号が、ま
た、両増加量の差が測定器の誤差範囲を大幅に超える場
合には、付勢部材が破損したことを示す報知信号が出力
手段より出力される。これにより、前述と同様に、付勢
部材が破損して付勢力が無くなった場合のみならず、付
勢部材が劣化して付勢力が低下した場合であっても、こ
れ容易に発見することができる。

【００４２】したがって、複数の付勢部材により測定子
が付勢された測定器を検査する際に、１つの付勢部材が
破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下し
ている場合であっても、測定器を分解することなく、こ
れを発見することができる。また、測定器が製造ライン
で使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、
付勢部材の劣化による異常を発見することができるの
で、劣化の度合によって新しい測定器を発注することに
より、測定器の故障による製造ラインの長時間にわたる
停止を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示すブロック図である。

【図２】同実施の形態における検査の様子を示す一部断
面図である。

【図３】同実施の形態における動作を示すフローチャー
トである。

【図４】同実施の形態の圧力検査処理を示すフローチャ
ートである。

【図５】同実施の形態のマスター測定処理を示すフロー
チャートである。

【図６】従来の検査方法を示す側面図である。

【図７】従来例及び本実施の形態の電気マイクロメータ
を示す断面図である。

【図８】従来例及び本実施の形態のリーフスプリングを
示す平面図である。

【符号の説明】１検査装置２制御装置４ＣＰＵ５ＲＯＭ６ＲＡＭ７制御回路１３低圧供給回路（供給手段）１６ゼロマスター（第１のマスター）１７感度マスター（第２のマスター）８１測定ヘッド（測定器）８４電気マイクロメータ（検出器）８６測定子９１差動変圧器（検出手段）９９リーフスプリング（付勢部材）Ａ基準寸法Ｃ大径寸法

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の寸法を測定する際に、付勢部
材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接
し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器
の検査方法であって、第１のマスターを用いて測定を行う第１の測定工程と、
前記第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出
量が増加するような第２のマスターを用いて測定を行う
第２の測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定
の時間をおいて繰り返し行い、前記第１の測定工程から前記第２の測定工程へ移行した
際の前記突出量の増加量が、各計測工程にて変化した際
に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断する
ことを特徴とした測定器の検査方法。
【請求項２】被測定物の寸法を測定する際に、付勢部
材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接
し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器
の検査装置であって、第１のマスターを用いて測定を行う第１の前測定と、該
第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が
増加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２
の前測定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２
の前測定の間における前記突出量の増加量を記憶する記
憶手段と、所定時間経過後に、前記第１のマスターを用いて測定を
行う第１の後測定と、前記第２のマスターを用いて測定
を行う第２の後測定とが連続的に行われた際に、前記第
１及び第２の後測定の間における前記突出量の増加量
と、前記記憶手段に記憶された増加量と比較する比較手
段と、該比較手段にて、前記記憶手段に記憶された増加量と所
定時間後に計測された増加量とが一致していない場合に
は、両増加量の差に基づき、これを示す報知信号を出力
する出力手段と、を備えたことを特徴とした測定器の検査装置。