JPH0916948A - Magnetic recording medium and method of manufacturing the same - Google Patents

Magnetic recording medium and method of manufacturing the same

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JPH0916948A
JPH0916948A JP16531495A JP16531495A JPH0916948A JP H0916948 A JPH0916948 A JP H0916948A JP 16531495 A JP16531495 A JP 16531495A JP 16531495 A JP16531495 A JP 16531495A JP H0916948 A JPH0916948 A JP H0916948A
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JP
Japan
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magnetic
film
thin film
recording medium
carbon film
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JP16531495A
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Japanese (ja)
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Futoshi Sasaki
太 佐々木
Hitoshi Watanabe
仁 渡辺
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 非磁性支持体の一主面に少なくとも金属磁性
薄膜とカーボン膜とを形成し、所定の寸法に裁断するこ
とによって得られる磁気記録媒体において、裁断面にも
カーボン膜を形成する。また、これらカーボン膜の表面
には、防錆剤の塗膜が形成されて好適である。 【効果】 金属磁性薄膜の露出部がなくなるため、高温
高湿の環境下においても腐蝕が抑制され、保存特性に優
れた磁気記録媒体となる。したがって、長期間に亘って
保存しても磁気特性の劣化が防止された、信頼性が高い
ものとなる。
(57) [Summary] [Structure] In a magnetic recording medium obtained by forming at least a metal magnetic thin film and a carbon film on one main surface of a non-magnetic support and cutting it into a predetermined size, carbon is also used for the cut surface. Form a film. Further, a coating film of a rust preventive agent is preferably formed on the surface of these carbon films. [Effect] Since the exposed portion of the metal magnetic thin film is eliminated, corrosion is suppressed even in an environment of high temperature and high humidity, and the magnetic recording medium has excellent storage characteristics. Therefore, even if it is stored for a long period of time, deterioration of the magnetic characteristics is prevented and the reliability is high.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、非磁性支持体上に金属
磁性薄膜とカーボン膜とが形成された、いわゆる金属薄
膜型の磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called metal thin film type magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film and a carbon film are formed on a non-magnetic support.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体,ポ
リエステル樹脂,ウレタン樹脂,ポリウレタン樹脂等の
有機結合剤中に分散せしめた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作製される、いわゆる塗布型の磁気記録媒体
が広く使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder is coated on a non-magnetic support with a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin, urethane resin, A so-called coating type magnetic recording medium, which is prepared by coating and drying a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as a polyurethane resin, is widely used.

【0003】これに対して、高密度記録への要求の高ま
りとともに、Co−Ni合金,Co−Cr合金,Co−
O等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段(真
空蒸着法,スパッタリング法,イオンプレーティング法
等)によって非磁性支持体上に直接被着した、いわゆる
金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案されて注目を集め
ている。
On the other hand, with the increasing demand for high-density recording, Co--Ni alloys, Co--Cr alloys, Co--
A so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a metal magnetic material such as O is directly deposited on a non-magnetic support by plating or vacuum thin film forming means (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.) It has been proposed and attracts attention.

【0004】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできる為、
記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性
層中に非磁性材であるその結合剤を混入する必要が無い
ため磁性材料の充填密度を高めることが出来ることな
ど、数々の利点を有している。
This metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent not only in coercive force and squareness ratio but also in electromagnetic conversion characteristics at short wavelengths, and the magnetic layer can be extremely thin,
There are many advantages such as remarkably small thickness loss during recording demagnetization and reproduction, and higher packing density of the magnetic material because there is no need to mix the binder, which is a non-magnetic material, into the magnetic layer. Have

【0005】さらに、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるよ
うにするため、該磁気記録媒体の磁性層を形成するに際
し、磁性層を斜めに蒸着する、いわゆる斜方蒸着が提案
され実用化されている。
Further, in order to improve the electromagnetic conversion characteristics of this kind of magnetic recording medium and to obtain a larger output, the magnetic layer is obliquely vapor-deposited when forming the magnetic layer of the magnetic recording medium. The so-called oblique vapor deposition has been proposed and put to practical use.

【0006】ところで、上述したような磁気記録媒体に
おいては、耐久性や耐錆性に問題があるといわれてお
り、これらの課題を解決するために、磁性層表面を酸化
させたり、真空成膜法を用いて、金属磁性薄膜上に保護
膜を設けたり、さらにこの上に潤滑剤を塗布したりして
いる。
By the way, it is said that the magnetic recording medium as described above has problems in durability and rust resistance, and in order to solve these problems, the surface of the magnetic layer is oxidized or vacuum film formation is performed. Method, a protective film is provided on the metal magnetic thin film, and a lubricant is further applied thereon.

【0007】現在のところ、この種の保護膜としては、
スパッタリング法によって成膜されたカーボン膜や、炭
化水素系のガスを用いた化学的気相成長(CVD)法に
よって成膜されたダイヤモンド状のカーボン膜が有望視
されている。
At present, as this type of protective film,
A carbon film formed by a sputtering method and a diamond-like carbon film formed by a chemical vapor deposition (CVD) method using a hydrocarbon-based gas are considered promising.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
してカーボン膜を成膜した後、所定の寸法に裁断する
と、この裁断面においては金属磁性薄膜が露出してしま
う。そして、このような磁気記録媒体を、高温高湿の環
境下で長時間に亘って使用する、あるいは、長期間に亘
って保存すると、金属磁性薄膜の裁断面から腐蝕が進行
してしまうこととなる。
However, when the carbon film is formed as described above and then cut into a predetermined size, the metal magnetic thin film is exposed at the cut surface. When such a magnetic recording medium is used for a long time in a high temperature and high humidity environment, or is stored for a long time, corrosion may progress from the cut surface of the metal magnetic thin film. Become.

【0009】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、高温高湿の環境下で使用
あるいは保存しても、腐蝕が抑制され、保存特性に優れ
た磁気記録媒体を提供することを目的とする。また、こ
のような磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的
とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional circumstances, and magnetic recording is excellent in storage characteristics, in which corrosion is suppressed even when used or stored in an environment of high temperature and high humidity. The purpose is to provide a medium. Moreover, it aims at providing the manufacturing method of such a magnetic recording medium.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、上述の目的を達成するため提案されたものであ
り、非磁性支持体の一主面に少なくとも金属磁性薄膜と
カーボン膜とが形成され、所定の寸法に裁断されてなる
ものであり、この裁断面にもカーボン膜が形成されてい
るものである。
A magnetic recording medium according to the present invention has been proposed in order to achieve the above-mentioned object, and at least a metal magnetic thin film and a carbon film are provided on one main surface of a non-magnetic support. It is formed and cut into a predetermined size, and a carbon film is also formed on this cut surface.

【0011】ここで、さらに腐蝕の抑制効果を得るに
は、カーボン膜表面に防錆剤の塗膜が形成された構成と
なされて好適である。
Here, in order to further obtain the effect of suppressing corrosion, it is preferable to have a structure in which a coating film of a rust preventive agent is formed on the surface of the carbon film.

【0012】このような構成を有する磁気記録媒体を製
造するには、非磁性支持体の一主面に少なくとも金属磁
性薄膜とカーボン膜とを成膜する工程と、これを所定の
寸法に裁断する工程とを経た後、裁断面に対して、カー
ボン膜を被着させる工程とを行えばよい。
In order to manufacture a magnetic recording medium having such a structure, at least a metal magnetic thin film and a carbon film are formed on one main surface of a non-magnetic support, and this is cut into a predetermined size. After passing through the steps, a step of depositing a carbon film on the cut surface may be performed.

【0013】さらに、この製造工程中には、カーボン膜
表面に防錆剤を塗布する工程を加えてもよい。なお、防
錆剤の塗布工程は、裁断工程より後であれば、主面のカ
ーボン膜のみならず裁断面のカーボン膜の表面にも防錆
剤の塗膜を形成できる。但し、裁断工程より前に防錆剤
を塗布しても、その後、この防錆剤が裁断面にも多少は
回り込んでくる。
Further, a step of applying a rust preventive agent on the surface of the carbon film may be added during the manufacturing process. In the step of applying the rust preventive agent, the rust preventive agent coating film can be formed not only on the carbon film on the main surface but also on the surface of the carbon film on the cut surface, after the cutting step. However, even if the rust preventive agent is applied before the cutting step, the rust preventive agent also wraps around the cut surface to some extent after that.

【0014】ここで、カーボン膜とは、スパッタリング
法によって成膜されたカーボン膜であっても、炭化水素
系ガスを用いたCVD法によって成膜されたカーボン膜
であってもよい。なお、スパッタリング法としては、マ
グネトロンスパッタ法や対向ターゲット法が挙げられ、
CVD法としては、CVDは、プラズマCVD法,EC
RプラズマCVD法,アークジェットプラズマCVD法
等が挙げられる。また、真空蒸着法やイオンプレーティ
ング法等を適用してカーボン膜を成膜してもよい。
Here, the carbon film may be a carbon film formed by a sputtering method or a carbon film formed by a CVD method using a hydrocarbon gas. The sputtering method includes a magnetron sputtering method and a facing target method,
As the CVD method, CVD is plasma CVD method, EC
R plasma CVD method, arc jet plasma CVD method and the like can be mentioned. Alternatively, the carbon film may be formed by applying a vacuum vapor deposition method, an ion plating method, or the like.

【0015】但し、金属磁性薄膜上にカーボン膜を成膜
するときには、金属磁性薄膜が成膜された非磁性支持体
を走行させながら連続的に成膜し、裁断によって形成さ
れた側面にカーボン膜を成膜するときには、裁断がなさ
れた磁気記録媒体のロールを所定の位置に載置させて、
このロールの側面に対して一挙に成膜すればよい。
However, when forming a carbon film on a metal magnetic thin film, the nonmagnetic support on which the metal magnetic thin film is formed is continuously formed while running, and the carbon film is formed on the side surface formed by cutting. When depositing a film, place a roll of the magnetic recording medium that has been cut at a predetermined position,
The film may be formed all at once on the side surface of the roll.

【0016】本発明に係る磁気記録媒体においては、非
磁性支持体や金属磁性薄膜といった構成材料に特に限定
はなく、従来公知のものがいずれも使用できる。
In the magnetic recording medium according to the present invention, the constituent materials such as the non-magnetic support and the metal magnetic thin film are not particularly limited, and any conventionally known one can be used.

【0017】例えば、非磁性支持体としては、ポリエス
テル類、ポリオレフィン類、セルロース類、ビニル類、
ポリイミド類、ポリカーボネート類に代表されるような
高分子材料によって形成される高分子基板や、アルミニ
ウム合金、チタン合金からなる金属基板、アルミガラス
等のセラミックス基板、ガラス基板等が挙げられ、その
形状も何等限定されないが、磁気テープに適用する場合
には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチ
レンナフタレートフィルム、アラミドフィルム等を用い
て好適である。また、これらのフィルムには、表面粗度
を制御するためにフィラーが内添されていてもよいし、
表面に表面粗度を制御するための層が形成されていても
よい。
For example, as the non-magnetic support, polyesters, polyolefins, celluloses, vinyls,
Polymer substrates formed of polymer materials typified by polyimides and polycarbonates, metal substrates made of aluminum alloys and titanium alloys, ceramics substrates such as aluminum glass, glass substrates, and the like can be given. Although not limited in any way, when applied to a magnetic tape, a polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film, an aramid film or the like is preferably used. In addition, a filler may be internally added to these films to control the surface roughness,
A layer for controlling the surface roughness may be formed on the surface.

【0018】金属磁性薄膜としても、従来公知のものが
いずれも使用可能である。例示するならば、Fe,C
o,Niなどの強磁性金属、Fe−Co,Fe−Ni,
Co−Ni,Fe−Co−Ni,Fe−Co−B,Fe
−Ni−B,Fe−Cu,Co−Cu,Co−Au,C
o−Pt,Mn−Bi,Mn−Al,Fe−Cr,Co
−Cr,Ni−Cr,Fe−Co−Cr,Co−Ni−
Cr,Co−Ni−Pt,Fe−Co−Ni−Cr,F
e−Co−Ni−B等の強磁性合金からなる面内磁化記
録用の金属磁性薄膜や、Co−Cr系合金薄膜、Co−
O系薄膜等の垂直磁化記録用の金属磁性薄膜が挙げられ
る。
As the metal magnetic thin film, any conventionally known one can be used. For example, Fe, C
Ferromagnetic metals such as o and Ni, Fe-Co, Fe-Ni,
Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Co-B, Fe
-Ni-B, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, C
o-Pt, Mn-Bi, Mn-Al, Fe-Cr, Co
-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Co-Ni-
Cr, Co-Ni-Pt, Fe-Co-Ni-Cr, F
A metal magnetic thin film for in-plane magnetization recording made of a ferromagnetic alloy such as e-Co-Ni-B, a Co-Cr alloy thin film, Co-
A metal magnetic thin film for perpendicular magnetization recording such as an O-based thin film may be used.

【0019】これら金属磁性材料は、真空下で強磁性金
属磁性材料を加熱蒸発させ支持体上に沈着させる真空蒸
着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイオンプ
レーティング法、アルゴンを主成分とする雰囲気中でグ
ロー放電を越こし生じたアルゴンイオンでターゲット表
面の原子をたたき出すスパッタ法等のいわゆるPVD技
術によって薄膜とされる。磁性層としてはこれら手法に
よって成膜される金属磁性薄膜の単層膜あるいは多層膜
のいずれでも良い。なお、非磁性支持体と金属磁性薄膜
の間,さらには金属磁性薄膜が多層膜である場合には金
属磁性薄膜同士の間に、各層間の付着力向上、抗磁力の
制御等を図るために下地層や中間層を設けるようにして
も良い。また、これら金属磁性薄膜の表面近傍は、耐蝕
性改善等を目的として酸化物層となっていてもよい。
These metal magnetic materials include a vacuum vapor deposition method of evaporating a ferromagnetic metal magnetic material under vacuum to deposit it on a support, an ion plating method of evaporating a ferromagnetic metal material in a discharge, and argon. A thin film is formed by a so-called PVD technique such as a sputtering method in which atoms on the target surface are knocked out by argon ions generated through a glow discharge in an atmosphere containing the main component. The magnetic layer may be either a single-layer film or a multilayer film of a metal magnetic thin film formed by these methods. In order to improve the adhesive force between layers and control the coercive force between the non-magnetic support and the metal magnetic thin film, or between the metal magnetic thin films when the metal magnetic thin film is a multilayer film. A base layer or an intermediate layer may be provided. Further, the vicinity of the surface of these metal magnetic thin films may be an oxide layer for the purpose of improving corrosion resistance and the like.

【0020】特に面内磁化記録用の金属磁性薄膜の場
合、予め非磁性支持体上にBi、Sb、Pb、Sn、G
a、In、Ge、Si、Ti等の低融点非磁性材料の下
地膜を形成しておき、金属磁性材料を垂直方向から蒸着
あるいはスパッタし、金属磁性薄膜中にこれら低融点非
磁性材料を拡散せしめ、配向性を解消して面内等方性を
確保するとともに抗磁力を向上するようにしてもよい。
Particularly in the case of a metal magnetic thin film for in-plane magnetization recording, Bi, Sb, Pb, Sn and G are previously formed on a non-magnetic support.
A base film of a low melting point non-magnetic material such as a, In, Ge, Si, Ti is formed in advance, and a metallic magnetic material is vapor-deposited or sputtered from the vertical direction to diffuse the low melting point non-magnetic material into the metallic magnetic thin film. However, the orientation may be eliminated to secure the in-plane isotropy and improve the coercive force.

【0021】また、本発明に係る磁気記録媒体において
は、非磁性支持体の金属磁性薄膜が形成されている側と
は反対側の面にバックコート層が形成されたり、カーボ
ン膜上にさらに潤滑剤や防錆剤等よりなるトップコート
層が塗布されたりしても良い。これらの層に用いられる
材料には、従来公知のものがいずれも使用可能である。
例えば、バックコート層は、通常の磁気記録媒体におい
て形成されているようなカーボンブラック等の帯電防止
効果や摩擦低減効果を有する非磁性粉末が結合剤中に分
散されてなる非磁性層であればよい。
Further, in the magnetic recording medium according to the present invention, a back coat layer is formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic thin film is formed, or the carbon film is further lubricated. A top coat layer made of an agent, an anticorrosive agent, or the like may be applied. As a material used for these layers, any conventionally known material can be used.
For example, the back coat layer is a non-magnetic layer in which a non-magnetic powder having an antistatic effect and a friction reducing effect, such as carbon black formed in a normal magnetic recording medium, is dispersed in a binder. Good.

【0022】[0022]

【作用】金属磁性薄膜の主面のみならず裁断面にもカー
ボン膜が形成されると、金属磁性薄膜の露出部がなくな
るため、高温高湿の環境下においても腐蝕が抑制され
る。このため、本発明に係る磁気記録媒体は保存特性に
優れたものとなる。
When the carbon film is formed not only on the main surface of the metal magnetic thin film but also on the cut surface, the exposed portion of the metal magnetic thin film disappears, so that the corrosion is suppressed even in an environment of high temperature and high humidity. Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention has excellent storage characteristics.

【0023】[0023]

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて説明するが、本発明がこの実施例に限定されるもの
でないことは言うまでもない。
EXAMPLES Specific examples to which the present invention is applied will be described below, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.

【0024】実施例1 本実施例の磁気テープは、非磁性支持体の一主面に金属
磁性薄膜とカーボン膜とが形成されるとともに、裁断面
にもカーボン膜が形成されたものである。
Example 1 The magnetic tape of this example is one in which a metal magnetic thin film and a carbon film are formed on one main surface of a non-magnetic support, and a carbon film is also formed on the cut surface.

【0025】具体的には、この磁気テープは、厚さ7μ
mのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムよ
りなる非磁性支持体の一主面に、膜厚が200nmのC
o薄膜よりなる金属磁性薄膜が形成され、さらにこの上
に、ダイヤモンドライクカーボンと呼ばれるアモルファ
ス状のカーボン膜が金属磁性薄膜の膜厚の1/20程度
(約10nm)の膜厚にて形成されてなる。
Specifically, this magnetic tape has a thickness of 7 μm.
m of polyethylene terephthalate (PET) film on one main surface of the non-magnetic support having a thickness of 200 nm of C
o A metal magnetic thin film made of a thin film is formed, and an amorphous carbon film called diamond-like carbon is further formed thereon with a film thickness of about 1/20 (about 10 nm) of the metal magnetic thin film. Become.

【0026】なお、非磁性支持体の表面には、粒径約6
0nmのSiO2 粒子よりなる突起が1万個/mm2
る密度にて形成されており、金属磁性薄膜は、互いに結
晶成長方向が同じ2層の薄膜より構成されている。
The surface of the non-magnetic support has a particle size of about 6
The protrusions composed of 0 nm SiO 2 particles are formed at a density of 10,000 / mm 2 , and the metal magnetic thin film is composed of two thin films having the same crystal growth direction.

【0027】また、このカーボン膜の表面には、フッ素
系の潤滑剤の塗膜と防錆剤の塗膜とからなるトップコー
ト層が形成され、非磁性支持体における金属磁性薄膜が
形成された主面とは反対側の主面には、カーボンブラッ
クと結合剤とを主体とするバックコート層が形成されて
いる。
On the surface of this carbon film, a top coat layer composed of a coating film of a fluorine-based lubricant and a coating film of a rust preventive was formed, and a metal magnetic thin film on a non-magnetic support was formed. A back coat layer mainly composed of carbon black and a binder is formed on the main surface opposite to the main surface.

【0028】そして、この磁気テープは8mm幅に裁断
されており、その裁断面にもダイヤモンドライクカーボ
ンと呼ばれるアモルファス状のカーボン膜が形成されて
いる。ここでは、この磁気テープを実施例1のサンプル
テープとする。
The magnetic tape is cut to a width of 8 mm, and an amorphous carbon film called diamond-like carbon is also formed on the cut surface. Here, this magnetic tape is the sample tape of the first embodiment.

【0029】このようなサンプルテープを作製するに
は、先ず、上述したような構成を有する非磁性支持体を
用意し、これを真空蒸着装置内で走行させながら、この
非磁性支持体の一主面に対して、Coを蒸着源に用いた
斜め蒸着を行うことによって金属磁性薄膜を連続的に成
膜した。
In order to manufacture such a sample tape, first, a non-magnetic support having the above-mentioned structure is prepared, and while the non-magnetic support is run in a vacuum vapor deposition apparatus, a main component of the non-magnetic support is prepared. A metal magnetic thin film was continuously formed on the surface by performing oblique vapor deposition using Co as a vapor deposition source.

【0030】その後、このようにして金属磁性薄膜が成
膜された非磁性支持体をスパッタリング装置内で走行さ
せながら、カーボンをターゲットに用いたスパッタリン
グを行うことにより、この金属磁性薄膜上にカーボン膜
を連続的に被着させた。
Thereafter, while the non-magnetic support on which the metal magnetic thin film is thus formed is run in the sputtering apparatus, sputtering using carbon as a target is performed to form a carbon film on the metal magnetic thin film. Were continuously deposited.

【0031】続いて、非磁性支持体における金属磁性薄
膜およびカーボン膜が形成された主面とは反対側の主面
に、以下の組成を有するバックコート用塗料を塗布し
た。
Subsequently, a back coat paint having the following composition was applied to the main surface of the non-magnetic support opposite to the main surface on which the metal magnetic thin film and the carbon film were formed.

【0032】 バックコート用塗料の組成 カーボンブラック(商品名:旭#80) 100重量部 ポリエステル−ポリウレタン共重合体 100重量部 メチルエチルケトン 500重量部 トルエン 500重量部 なお、上記バックコート用塗料を塗布した後、乾燥させ
ることによって、厚さが0.5μmのバックコート層を
得た。
Composition of coating for back coat Carbon black (trade name: Asahi # 80) 100 parts by weight Polyester-polyurethane copolymer 100 parts by weight Methyl ethyl ketone 500 parts by weight Toluene 500 parts by weight After applying the above coating for back coat After drying, a back coat layer having a thickness of 0.5 μm was obtained.

【0033】また、上述したカーボン膜上には、トルエ
ンに溶解させたフッ素系潤滑剤と、エタノールに溶解さ
せた防錆剤とを、それぞれ10mg/m2 なる塗布量に
て塗布して、トップコート層を形成した。
On the above-mentioned carbon film, a fluorine-based lubricant dissolved in toluene and a rust preventive dissolved in ethanol were applied at a coating amount of 10 mg / m 2 , respectively, A coat layer was formed.

【0034】その後、これを8mm幅に裁断し、巻き取
って磁気テープのロールを形成した後、裁断面に対して
カーボン膜を成膜した。
Thereafter, this was cut into a width of 8 mm and wound to form a roll of magnetic tape, and then a carbon film was formed on the cut surface.

【0035】このカーボン膜の成膜に用いたスパッタリ
ング装置は、図1に示されるように、ガス導入口2と排
気口3とが設けられた真空室1内に、カソード電極4と
アノード電極5とが対向するように配され、カソード電
極4上にはターゲット6が配されるとともに、その裏側
には磁界形成用のマグネット7が配されてなる、いわゆ
るDCマグネトロンスパッタリング装置である。ここで
は、アノード電極5におけるターゲット6と対向する面
には、上述したロール8を載置できるようになされてい
る。ここでは、ロール8は、磁気テープの幅方向がター
ゲット6の上面と垂直となるように、即ち、磁気テープ
の一方の裁断面がターゲット6と対向するように載置さ
れる。カーボン膜の成膜条件は下記のとおりである。
As shown in FIG. 1, the sputtering apparatus used for forming the carbon film has a cathode chamber 4 and an anode electrode 5 in a vacuum chamber 1 provided with a gas inlet 2 and an exhaust port 3. Are arranged so as to face each other, a target 6 is arranged on the cathode electrode 4, and a magnet 7 for forming a magnetic field is arranged on the back side thereof, which is a so-called DC magnetron sputtering apparatus. Here, the roll 8 described above can be placed on the surface of the anode electrode 5 facing the target 6. Here, the roll 8 is placed so that the width direction of the magnetic tape is perpendicular to the upper surface of the target 6, that is, one cutting surface of the magnetic tape faces the target 6. The conditions for forming the carbon film are as follows.

【0036】 成膜条件 装置 : 上述したDCマグネトロンスパッタリング装置 ターゲット : カーボン(厚み6mm) スパッタガス: Ar 成膜時真空度: 8×10-1Pa 設定膜厚 : 5〜10nm なお、所定の成膜が終了したら、ロール8を裏返して、
磁気テープの他方の裁断面がターゲット6に対向するよ
うにアノード電極5に載置させ、同様にカーボン膜の成
膜を行った。
Film-forming conditions Device: DC magnetron sputtering device Target described above: Carbon (thickness 6 mm) Sputtering gas: Ar Vacuum degree during film formation: 8 × 10 −1 Pa Set film thickness: 5-10 nm Note that the predetermined film formation After finishing, roll 8 upside down,
The magnetic tape was placed on the anode electrode 5 so that the other cut surface of the magnetic tape faces the target 6, and a carbon film was similarly formed.

【0037】そして、以上のようにして磁気テープの両
裁断面にカーボン膜を成膜した後、これをカセットに組
み込むことにより、実施例1のサンプルテープが完成し
た。
Then, after forming a carbon film on both cut surfaces of the magnetic tape as described above, the carbon tape was incorporated into a cassette to complete the sample tape of Example 1.

【0038】実施例2 本実施例に係る磁気テープは、カーボン膜上に防錆剤の
塗膜が形成されていない以外は、実施例1のサンプルテ
ープと同様の構成を有するものである。なお、この磁気
テープは、防錆剤を塗布する工程が省略された以外は、
実施例1と同様にして作製された。この磁気テープを実
施例2のサンプルテープとする。
Example 2 The magnetic tape according to this example has the same structure as the sample tape of Example 1 except that the coating film of the rust preventive agent is not formed on the carbon film. In addition, this magnetic tape, except that the step of applying the rust preventive agent is omitted,
It was produced in the same manner as in Example 1. This magnetic tape is used as the sample tape of Example 2.

【0039】比較例1 本比較例に係る磁気テープは、裁断面にカーボン膜が形
成されていない以外は、実施例1のサンプルテープと同
様の構成を有するものである。なお、この磁気テープ
は、裁断面にカーボン膜を成膜する工程が省略された以
外は、実施例1と同様にして作製された。この磁気テー
プを比較例1のサンプルテープとする。
Comparative Example 1 The magnetic tape according to this comparative example has the same structure as the sample tape of Example 1 except that the carbon film is not formed on the cut surface. This magnetic tape was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the step of forming a carbon film on the cut surface was omitted. This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 1.

【0040】比較例2 本比較例に係る磁気テープは、防錆剤の塗膜が形成され
ていないこと、裁断面にカーボン膜が形成されていない
こと以外は、実施例1のサンプルテープと同様の構成を
有するものである。なお、この磁気テープは、防錆剤を
塗布する工程と裁断面にカーボン膜を成膜する工程とが
省略された以外は、実施例1と同様にして作製された。
この磁気テープを比較例2のサンプルテープとする。
Comparative Example 2 The magnetic tape according to this Comparative Example is the same as the sample tape of Example 1 except that the coating film of the rust preventive agent is not formed and the carbon film is not formed on the cut surface. It has a structure of. This magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the step of applying a rust preventive agent and the step of forming a carbon film on the cut surface were omitted.
This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 2.

【0041】比較例3 本比較例に係る磁気テープは、金属磁性薄膜上にカーボ
ン膜が形成されていない以外は、実施例1のサンプルテ
ープと同様の構成を有するものである。なお、この磁気
テープは、金属磁性薄膜上にカーボン膜を成膜する工程
が省略された以外は、実施例1と同様にして作製され
た。この磁気テープを比較例3のサンプルテープとす
る。
Comparative Example 3 The magnetic tape according to this comparative example has the same structure as the sample tape of Example 1 except that the carbon film is not formed on the metal magnetic thin film. This magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the step of forming a carbon film on the metal magnetic thin film was omitted. This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 3.

【0042】比較例4 本比較例に係る磁気テープは、金属磁性薄膜上にカーボ
ン膜が形成されていないこと、防錆剤の塗膜が形成され
ていないこと以外は、実施例1のサンプルテープと同様
の構成を有するものである。なお、この磁気テープは、
金属磁性薄膜上にカーボン膜を成膜する工程と防錆剤を
塗布する工程とが省略された以外は、実施例1と同様に
して作製された。この磁気テープを比較例4のサンプル
テープとする。
Comparative Example 4 The magnetic tape according to this Comparative Example is a sample tape of Example 1 except that the carbon film is not formed on the metal magnetic thin film and the rust preventive coating film is not formed. It has the same configuration as the above. In addition, this magnetic tape,
It was produced in the same manner as in Example 1 except that the step of forming a carbon film on the metal magnetic thin film and the step of applying a rust preventive agent were omitted. This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 4.

【0043】比較例5 本比較例に係る磁気テープは、金属磁性薄膜上にカーボ
ン膜が形成されていないこと、裁断面にカーボン膜が形
成されていないこと以外は、実施例1のサンプルテープ
と同様の構成を有するものである。なお、この磁気テー
プは、金属磁性薄膜上にカーボン膜を成膜する工程と裁
断面にカーボン膜を成膜する工程とが省略された以外
は、実施例1と同様にして作製された。この磁気テープ
を比較例5のサンプルテープとする。
Comparative Example 5 The magnetic tape according to this comparative example was the same as the sample tape of Example 1 except that the carbon film was not formed on the metal magnetic thin film and the carbon film was not formed on the cut surface. It has a similar configuration. This magnetic tape was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the step of forming a carbon film on the metal magnetic thin film and the step of forming a carbon film on the cut surface were omitted. This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 5.

【0044】比較例6 本比較例に係る磁気テープは、金属磁性薄膜上にカーボ
ン膜が形成されていないこと、裁断面にカーボン膜が形
成されていないこと、防錆剤の塗膜が形成されていない
こと以外は、実施例1のサンプルテープと同様の構成を
有するものである。なお、この磁気テープは、金属磁性
薄膜上にカーボン膜を成膜する工程と、防錆剤を塗布す
る工程と、裁断面にカーボン膜を成膜する工程とが省略
された以外は、実施例1と同様にして作製された。この
磁気テープを比較例6のサンプルテープとする。
Comparative Example 6 In the magnetic tape according to this comparative example, the carbon film was not formed on the metal magnetic thin film, the carbon film was not formed on the cut surface, and the coating film of the rust preventive agent was formed. It has the same structure as the sample tape of Example 1 except that it is not provided. This magnetic tape was manufactured in the same manner as in Example except that the steps of forming a carbon film on the metal magnetic thin film, applying the rust preventive agent, and forming the carbon film on the cut surface were omitted. It was produced in the same manner as 1. This magnetic tape is used as a sample tape of Comparative Example 6.

【0045】特性の評価 上述のような構成を有する実施例1、実施例2、比較例
1〜比較例6のサンプルテープの保存特性について評価
した。
[0045] Example 1 having the evaluation above-described structure characteristics, Example 2, was evaluated for storage characteristics of the sample tapes of Comparative Examples 1 to 6.

【0046】具体的には、各サンプルテープをそれぞ
れ、温度40℃、相対湿度80%RHの恒温槽A中と、
温度65℃、相対湿度90%RHの恒温槽B中とで、3
0日間保存し、1日後、5日後、10日後、20日後、
30日後に、腐蝕の有無を観察した。
Specifically, each sample tape was placed in a constant temperature bath A having a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 80% RH.
3 in a constant temperature bath B with a temperature of 65 ° C and a relative humidity of 90% RH
Store for 0 days, 1 day, 5 days, 10 days, 20 days,
After 30 days, the presence or absence of corrosion was observed.

【0047】各サンプルテープの構成条件を表1にまと
めるとともに、恒温槽A中に保存された各サンプルテー
プに対する観察結果を表2に示し、恒温槽B中に保存さ
れた各サンプルテープに対する観察結果を表3に示す。
The constitutional conditions of each sample tape are summarized in Table 1, the observation results for each sample tape stored in the constant temperature bath A are shown in Table 2, and the observation results for each sample tape stored in the constant temperature bath B are shown. Is shown in Table 3.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】[0050]

【表3】 [Table 3]

【0051】表2および表3より、金属磁性薄膜上と裁
断面とにカーボン膜を有し、防錆剤の塗膜をも有する実
施例1のサンプルテープは、高温高湿の環境下で30日
以上保存しても、腐蝕が発生しないことがわかる。ま
た、防錆剤の塗膜が形成されなくとも、金属磁性薄膜上
と裁断面とにカーボン膜が形成された実施例2のサンプ
ルテープは、高温高湿の環境下で20日間以上の保存に
耐えることがわかる。
From Tables 2 and 3, the sample tape of Example 1 having the carbon film on the metal magnetic thin film and the cut surface and also having the coating film of the rust preventive agent was used under high temperature and high humidity environment. It can be seen that corrosion does not occur even if stored for more than a day. Even if the coating film of the rust preventive agent was not formed, the sample tape of Example 2 in which the carbon film was formed on the metal magnetic thin film and the cut surface was stored for 20 days or more under the environment of high temperature and high humidity. It turns out that it can endure.

【0052】また、実施例1のサンプルテープと比較例
1のサンプルテープとを比較する、あるいは、実施例2
のサンプルテープと比較例2のサンプルテープとを比較
すると、裁断面のカーボン膜の有無が異なる以外は等し
い構成を有しているが、保存による腐蝕の発生状態に差
が生じていることがわかる。これより、裁断面にカーボ
ン膜が形成されることにより、サンプルテープに腐蝕が
発生しにくくなり、保存特性が向上することがわかる。
Further, the sample tape of Example 1 and the sample tape of Comparative Example 1 are compared, or Example 2 is used.
Comparing the sample tape of No. 1 with the sample tape of Comparative Example 2, it is found that the sample tapes have the same constitution except that the carbon film on the cut surface is different, but there is a difference in the occurrence state of corrosion due to storage. . From this, it is understood that the formation of the carbon film on the cut surface makes the sample tape less likely to corrode and improves the storage characteristics.

【0053】但し、比較例3のサンプルテープと比較例
5のサンプルテープとを比較する、あるいは、比較例4
のサンプルテープと比較例6のサンプルテープとを比較
すると、裁断面のカーボン膜の有無が異なっているにも
かかわらず、腐蝕の発生状態に差がない。これより、裁
断面にカーボン膜を形成することによって腐蝕の抑制効
果を得るためには、金属磁性薄膜上にカーボン膜を形成
しておくことが前提となることがわかる。
However, the sample tape of Comparative Example 3 is compared with the sample tape of Comparative Example 5, or Comparative Example 4
When the sample tape of No. 1 and the sample tape of Comparative Example 6 are compared, there is no difference in the occurrence state of corrosion, although the presence or absence of the carbon film on the cut surface is different. From this, it is understood that the carbon film must be formed on the metal magnetic thin film in order to obtain the effect of suppressing corrosion by forming the carbon film on the cut surface.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明を適用して、金属磁性薄膜の主面のみならず裁断面に
もカーボン膜が形成されると、金属磁性薄膜の露出部が
なくなるため、高温高湿の環境下においても腐蝕が抑制
され、保存特性に優れた磁気記録媒体となる。
As is apparent from the above description, when the present invention is applied and the carbon film is formed not only on the main surface of the metal magnetic thin film but also on the cut surface, the exposed portion of the metal magnetic thin film is exposed. Since it disappears, corrosion is suppressed even in a high temperature and high humidity environment, and the magnetic recording medium has excellent storage characteristics.

【0055】したがって、本発明に係る磁気記録媒体
は、長期間に亘って保存しても磁気特性の劣化が防止さ
れた、信頼性が高いものとなる。
Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention is highly reliable in that deterioration of magnetic characteristics is prevented even if it is stored for a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に用いたDCマグネトロンスパッタリン
グ装置を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a DC magnetron sputtering apparatus used in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空室 4 カソード電極 5 アノード電極 6 ターゲット 8 ロール 1 Vacuum chamber 4 Cathode electrode 5 Anode electrode 6 Target 8 Roll

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体の一主面に少なくとも金属
磁性薄膜とカーボン膜とが形成され、所定の寸法に裁断
されてなる磁気記録媒体において、 裁断面にカーボン膜が形成されていることを特徴とする
磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium in which at least a metal magnetic thin film and a carbon film are formed on one main surface of a non-magnetic support, and the magnetic recording medium is cut to a predetermined size, and the carbon film is formed on the cut surface. A magnetic recording medium characterized by:
【請求項2】 前記カーボン膜の表面に防錆剤の塗膜が
形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気記
録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a coating film of a rust preventive agent is formed on the surface of the carbon film.
【請求項3】 非磁性支持体の一主面に少なくとも金属
磁性薄膜とカーボン膜とを成膜する工程と、 これを所定の寸法に裁断する工程とを経た後、 裁断面に対して、カーボン膜を被着させる工程とを有す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
3. After the step of forming at least a metal magnetic thin film and a carbon film on one main surface of the non-magnetic support and the step of cutting this into a predetermined size, the carbon is cut onto the cut surface. A step of depositing a film, the method for manufacturing a magnetic recording medium.
【請求項4】 前記カーボン膜の表面に防錆剤を塗布す
る工程を有することを特徴とする請求項2記載の磁気記
録媒体の製造方法。
4. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 2, further comprising a step of applying a rust preventive agent on the surface of the carbon film.
JP16531495A 1995-06-30 1995-06-30 Magnetic recording medium and method of manufacturing the same Withdrawn JPH0916948A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6075486A (en) * 1998-07-03 2000-06-13 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Antenna device

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