JPH0916962A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JPH0916962A
JPH0916962A JP7166458A JP16645895A JPH0916962A JP H0916962 A JPH0916962 A JP H0916962A JP 7166458 A JP7166458 A JP 7166458A JP 16645895 A JP16645895 A JP 16645895A JP H0916962 A JPH0916962 A JP H0916962A
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JP
Japan
Prior art keywords
recording
layer
recording medium
optical recording
optical
Prior art date
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Pending
Application number
JP7166458A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kusato Hirota
草人 廣田
Gentaro Obayashi
元太郎 大林
Takao Amioka
孝夫 網岡
Futoshi Okuyama
太 奥山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP7166458A priority Critical patent/JPH0916962A/en
Publication of JPH0916962A publication Critical patent/JPH0916962A/en
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

PURPOSE: To stabilize tracking and reduce crosstalk. CONSTITUTION: This optical recording medium can have information recorded, erased, or reproduced by irradiating the recording layer formed on the substrate with light and the recording and erasure of the information are performed by a phase change between an amorphous phase and a crystalline phase; and guide grooves for tracks are formed on the surface of the said substrate where the recording layer is formed and the recording is performed both at the guide grooves and between the guide grooves. Before this optical recording medium is actually used, recording marks are previously formed on all the tracks at the guide groove parts and between the guide grooves in the actual recording area.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光の照射により、情報
の記録、消去、再生が可能である光情報記録媒体に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording medium capable of recording, erasing and reproducing information by irradiating light.

【0002】特に、本発明は、記録情報の消去、書換機
能を有し、情報信号を高速かつ、高密度に記録可能な光
ディスクなどの書換可能相変化型光記録媒体に関するも
のである。
In particular, the present invention relates to a rewritable phase change type optical recording medium such as an optical disc having a function of erasing and rewriting recorded information and capable of recording information signals at high speed and high density.

【0003】[0003]

【従来の技術】従来の書換可能相変化型光記録媒体の技
術は、以下のごときものである。
2. Description of the Related Art The conventional techniques for rewritable phase change type optical recording media are as follows.

【0004】これらの光記録媒体は、テルルなどを主成
分とする記録層を有し、記録時は、結晶状態の記録層に
集束したレーザー光パルスを短時間照射し、記録層を部
分的に溶融する。溶融した部分は熱拡散により急冷さ
れ、固化し、アモルファス状態の記録マークが形成され
る。この記録マークの光線反射率は、結晶状態より低く
光学的に記録信号として再生可能である。
These optical recording media have a recording layer containing tellurium as a main component, and at the time of recording, a focused laser light pulse is irradiated to the recording layer in a crystalline state for a short time to partially cover the recording layer. To melt. The melted portion is rapidly cooled by thermal diffusion and solidified to form a recording mark in an amorphous state. The light reflectance of this recording mark is lower than that of the crystalline state and can be optically reproduced as a recording signal.

【0005】また、消去時には、記録マーク部分にレー
ザー光を照射し、記録層の融点以下結晶化温度以上の温
度に加熱することによって、アモルファス状態の記録マ
ークを結晶化し、もとの未記録状態にもどす。
Further, at the time of erasing, the recording mark portion is irradiated with a laser beam and heated to a temperature not lower than the melting point of the recording layer and not lower than the crystallization temperature to crystallize the recording mark in an amorphous state, and the original unrecorded state. Return to.

【0006】これらの書換型相変化光記録媒体の記録層
の材料としては、Ge2 Sb2 Te5 などの合金(N.Ya
mada et al, Proc.Int.Symp.on Optical Memory 1987 p
61-66 )が知られている。
As the material of the recording layer of these rewritable phase change optical recording media, alloys such as Ge2 Sb2 Te5 (N.Ya
mada et al, Proc. Int. Symp.on Optical Memory 1987 p
61-66) is known.

【0007】これらTe合金を記録層とした光記録媒体
では、結晶化速度が速く、照射パワーを変調するだけ
で、円形の1ビームによる高速のオーバーライトが可能
であるこれらの記録層を使用した光記録媒体では、通
常、記録層の両面に耐熱性と透光性を有する誘電体層を
設け、記録時に記録層に変形、開口が発生することを防
いでいる。さらに、光ビーム入射方向と反対側の誘電体
層に、光反射性のAlなどの金属反射層を設け、光学的
な干渉効果により、再生時の信号コントラストを改善す
ると共に、冷却効果により、非晶状態の記録マークの形
成を容易にし、かつ消去特性、繰り返し特性を改善する
技術が知られている。特に、記録層及び記録層と反射層
の間の誘電体層を各々20nm程度に薄く構成した「急
冷構造」では誘電体層を200nm程度に厚くした「徐
冷構造」に比べ、書換の繰返しによる記録特性の劣化が
少なく、また消去パワーのパワー・マージンが広い点で
優れている (T.Ohota et al,Japanese Jounal of App
lied Physics, Vol 28(1989) Suppl. 28-3 pp123 - 12
8)。
Optical recording media using these Te alloys as recording layers have a high crystallization rate, and use these recording layers capable of high-speed overwriting with one circular beam only by modulating the irradiation power. In an optical recording medium, a dielectric layer having heat resistance and translucency is usually provided on both surfaces of a recording layer to prevent deformation and opening of the recording layer during recording. Further, a metal reflective layer such as light-reflective Al is provided on the dielectric layer on the side opposite to the light beam incident direction to improve the signal contrast at the time of reproduction by an optical interference effect. There is known a technique which facilitates formation of a recording mark in a crystalline state and improves erasing characteristics and repetition characteristics. In particular, the "quench-cooling structure" in which the recording layer and the dielectric layer between the recording layer and the reflecting layer are each thinned to about 20 nm is more repetitive than the "slow-cooling structure" in which the dielectric layer is thickened to about 200 nm. Excellent in that the recording characteristics are not deteriorated and the erasing power has a wide power margin (T.Ohota et al, Japanese Jounal of App
lied Physics, Vol 28 (1989) Suppl. 28-3 pp123-12
8).

【0008】最近では、より高密度記録を目指して、光
ディスクの案内溝だけでなく隣接する案内溝間にも記録
を行なう記録方法が提案されており、相変化方式を用い
た本方式の書換型光ディスクの提案も行なわれている
(特開平5−282705号公報)。
Recently, in order to achieve higher density recording, a recording method has been proposed in which recording is performed not only in the guide grooves of the optical disk but also between adjacent guide grooves, and the rewriting type of this method using the phase change method is proposed. An optical disk has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 5-28275).

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら案内溝
(グルーブ)と溝間(ランド)の両方に記録する前述の
光記録媒体(以下ランド・グルーブ記録媒体と記述)に
は以下のような問題があった。
However, the above-described optical recording medium (hereinafter referred to as a land / groove recording medium) for recording in both the guide groove (groove) and the groove (land) has the following problems. It was

【0010】ランド・グルーブ記録媒体では、記録トラ
ックの間隔が従来の約半分になるため、レーザ光スポッ
トのかなりの部分が隣接する記録トラックに及んでい
る。このため、隣接するトラックの一方のみに記録マー
クが記録されている場合には、記録再生時の反射光の強
度分布が非対称となり、一般的なトラッキングの手段で
あるプッシュプル法、3ビーム法ではトラッキングに記
録時および再生時にオフセットが生じやすく、その結果
として、隣接トラックからのクロストーク、クロスイレ
ースが増大し記録性能を損なうという問題があった。
In the land / groove recording medium, the distance between the recording tracks is about half that of the conventional one, so that a considerable part of the laser beam spot extends to the adjacent recording tracks. Therefore, when the recording mark is recorded on only one of the adjacent tracks, the intensity distribution of the reflected light at the time of recording / reproducing becomes asymmetrical, and in the push-pull method and the three-beam method, which are general tracking means. There is a problem that an offset is apt to occur in tracking and during recording and reproduction, and as a result, crosstalk and cross erase from adjacent tracks increase and recording performance is impaired.

【0011】本発明の目的は、前述の従来の光記録媒体
の課題を解決し、大容量で、かつ記録、再生特性が安定
しており、製造も容易な優れた光記録媒体を提供するこ
とにある。また、本発明の別の目的は、記録の繰り返し
耐久性に優れた光記録媒体を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional optical recording medium and to provide an excellent optical recording medium having a large capacity, stable recording and reproducing characteristics, and easy to manufacture. It is in. Another object of the present invention is to provide an optical recording medium having excellent recording durability.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に形成
された記録層に光を照射することによって、情報の記
録、消去、再生が可能であり、情報の記録及び消去が、
非晶相と結晶相の間の相変化により行われる光記録媒体
であって、かつ前記基板の記録層を設けた面にトラック
の案内溝が形成されており、案内溝と案内溝間の両方の
部分に記録を行なう光記録媒体において、実際の使用に
供する以前に、実際の記録領域にある案内溝部及び案内
溝間の全トラックに予め記録マークを形成した光記録媒
体を特徴とするものである。
According to the present invention, information can be recorded, erased, and reproduced by irradiating a recording layer formed on a substrate with light.
An optical recording medium that is performed by a phase change between an amorphous phase and a crystalline phase, and a track guide groove is formed on the surface of the substrate on which the recording layer is provided, and both the guide groove and the guide groove are formed. In the optical recording medium for recording on the portion of, the optical recording medium is characterized by forming recording marks in advance on the guide groove portion in the actual recording area and all tracks between the guide grooves before being actually used. is there.

【0013】本発明では、隣接トラックの一方にのみ記
録した場合に発生する前述のトラックオッフセットの発
生をさけるため、実際の使用に供する以前に、実際の記
録領域にある案内溝部及び案内溝間の全トラックに予め
記録マークを形成することが重要である。ここで、実際
に使用するとは、例えば、ユーザによる使用あるいは本
格的な使用または繰返し使用などをいう。すなわち本発
明では、例えば、予めユーザの使用に供する以前に、製
造者などにより、ユーザの記録領域にある案内溝部及び
案内溝間の全トラックに予め記録マークを形成する。こ
れによって、ユーザの使用時にはユーザの記録領域の全
てのトラックに記録がなされているため、ユーザが新た
に記録(すなわち書き換に相当)してもトラッキングが
不安定になりトラックオッフセットなどを生じることが
なくなる。
In the present invention, in order to avoid the occurrence of the above-described track offset set which occurs when recording is performed on only one of the adjacent tracks, the guide groove portion and the guide groove portion in the actual recording area are provided before the actual use. It is important to form recording marks on all the tracks in advance. Here, “actual use” means, for example, use by a user, full-scale use, or repeated use. That is, in the present invention, for example, before being used by the user in advance, the manufacturer or the like previously forms recording marks on the guide groove portion in the recording area of the user and all tracks between the guide grooves. As a result, since all tracks in the recording area of the user are recorded when the user uses it, even if the user newly records (that is, corresponds to rewriting), tracking becomes unstable and a track offset set or the like occurs. Will disappear.

【0014】予め全トラックに記録する方法としては、
特に限定するものではないが、溝部(もしくは溝間部)
のいずれかのトラックを全て記録した後、残りの溝間部
(もしくは溝部)の全トラックを記録することが、記録
マークがトラックオッフセットを生じずに形成されるこ
とから好ましい。
As a method of recording in advance on all tracks,
Although not particularly limited, the groove portion (or the groove portion)
It is preferable to record all the tracks of any one of the above, and then record all the tracks of the remaining inter-groove portions (or groove portions) because the recording mark is formed without causing the track offset.

【0015】ここで記録する記録マークは、特に限定す
るものではないが、再生時にDCオフセットが生じない
ように、マーク長さとマーク間スペースがほぼ等しくな
るように記録するか、もしくはマーク長さとマーク間ス
ペースが実質的にランダムになるよう記録することが好
ましい。また記録マークの記録方式はマークポジション
記録、マーク長記録のいずれであってもよい。
The recording mark to be recorded here is not particularly limited, but the mark length and the mark-to-mark space are substantially equal to each other so that a DC offset does not occur during reproduction. It is preferable to record so that the spaces are substantially random. The recording system for recording marks may be either mark position recording or mark length recording.

【0016】本発明に用いる光記録媒体の構成のついて
次に説明する。
The structure of the optical recording medium used in the present invention will be described below.

【0017】本発明の相変化光記録媒体の層構成は特に
限定はしないが、少なくとも透明基板/第1誘電体層/
記録層/第2誘電体層/反射層の積層体を構成部材とす
ることが良好な記録特性が得られることから好ましい。
但しこれに限定するものではなく、反射層上に、本発明
の効果を損なわない範囲で紫外線硬化樹脂などの樹脂層
や他の基板と張り合わせるための接着剤層など、他の層
を設けてもよい。
The layer structure of the phase change optical recording medium of the present invention is not particularly limited, but at least the transparent substrate / first dielectric layer /
It is preferable to use a laminated body of recording layer / second dielectric layer / reflection layer as a constituent member because good recording characteristics can be obtained.
However, the present invention is not limited to this, and another layer such as a resin layer such as an ultraviolet curable resin or an adhesive layer for laminating with another substrate may be provided on the reflective layer as long as the effect of the present invention is not impaired. Good.

【0018】本発明の相変化光記録媒体の基板の材料と
しては、透明な各種の合成樹脂、透明ガラスなどが使用
できる。ほこり、基板の傷などの影響をさけるために、
透明基板を用い、集束した光ビームで基板側から記録を
行なうことが好ましく、この様な透明基板材料として
は、ガラス、ポリカーボネート、ポリメチル・メタクリ
レート、ポリオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミ
ド樹脂などがあげられる。 特に、光学的複屈折が小さ
く、吸湿性が小さく、成形が容易であることからポリカ
ーボネート樹脂、アモルファス・ポリオレフィン樹脂が
好ましい。
As the material for the substrate of the phase change optical recording medium of the present invention, various transparent synthetic resins, transparent glass, etc. can be used. To avoid the effects of dust and scratches on the board,
It is preferable to use a transparent substrate and perform recording from the substrate side with a focused light beam. Examples of such a transparent substrate material include glass, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyolefin resin, epoxy resin, polyimide resin and the like. In particular, a polycarbonate resin and an amorphous polyolefin resin are preferable because they have a small optical birefringence, a small hygroscopicity, and easy molding.

【0019】基板の厚さは特に限定するものではない
が、0.01mm〜5mmが実用的である。0.01m
m未満では、基板側から集束した光ビ−ムで記録する場
合でもごみの影響を受け易くなり、5mmを越えると、
対物レンズの開口数を大きくすることが困難になり、照
射光ビームスポットサイズが大きくなるため、記録密度
をあげることが困難になる。基板はフレキシブルなもの
であっても良いし、リジッドなものであっても良い。こ
れらの基板は、記録層などを形成した後、2枚の基板を
用いて、密着張合せ構造、エアーサンドイッチ構造など
にしてもよい。
The thickness of the substrate is not particularly limited, but 0.01 mm to 5 mm is practical. 0.01m
If it is less than m, it is easily affected by dust even when recording with an optical beam focused from the substrate side. If it exceeds 5 mm,
It becomes difficult to increase the numerical aperture of the objective lens, and the spot size of the irradiation light beam becomes large, so that it becomes difficult to increase the recording density. The substrate may be flexible or rigid. These substrates may be formed into a contact bonding structure, an air sandwich structure or the like by using two substrates after forming a recording layer and the like.

【0020】またディスク基板の案内溝の深さは、記録
光波長をλ、基板の屈折率をnとすると、該溝深さが、
0.15(λ/n)以上、0.2(λ/n)以下とする
ことにより、隣接トラックとの光学的な位相差を利用し
て記録マーク1再生時の隣接する記録マークからの光学
的なクロストークを減少させることにより高いトラック
密度を実現すると同時にトラック・クロス信号を大きく
することによりトラッキングを容易かつ安定にできるこ
とから好ましい。
Further, the depth of the guide groove of the disk substrate is defined as follows: where the recording light wavelength is λ and the refractive index of the substrate is n.
By setting it to be not less than 0.15 (λ / n) and not more than 0.2 (λ / n), the optical from the adjacent recording mark at the time of reproducing the recording mark 1 is utilized by utilizing the optical phase difference with the adjacent track. It is preferable that a high track density can be realized by reducing the effective crosstalk, and at the same time, tracking can be easily and stably made by increasing the track cross signal.

【0021】また、案内溝の平面部の幅Wgと案内溝間
部の平面部の幅Wlの比(Wg/Wl)を0.7以上
1.3以下とすることにより、案内溝、案内溝間の各々
に記録した記録マークの再生信号強度、記録、消去に要
するレーザー光のパワー、オーバーライト時の消去率な
どの記録特性をほぼ等しくすることにより、ディスクの
記録、再生を容易にすることから好ましい。
Further, by setting the ratio (Wg / Wl) of the width Wg of the flat surface portion of the guide groove to the width Wl of the flat surface portion between the guide grooves to be 0.7 or more and 1.3 or less, the guide groove and the guide groove are formed. Facilitate recording and reproduction of the disc by making the recording characteristics such as the reproduction signal strength of the recording marks recorded in each of the intervals, the power of the laser light required for recording and erasing, and the erasing rate at the time of overwriting almost the same. Is preferred.

【0022】また、溝部のセンターから次の溝間部のセ
ンターまでのトラックピッチは、記録に用いる光ビーム
の直径をλ/NA(記録波長λと開口数NA)とすると
光ビームの直径の60%以上かつ80%以下とすること
がクロストーク、クロスイレースが小さく、かつトラッ
ク密度を高くできることから好ましい。
Further, the track pitch from the center of the groove portion to the center of the next inter-groove portion is 60, which is the diameter of the light beam when the diameter of the light beam used for recording is λ / NA (recording wavelength λ and numerical aperture NA). % Or more and 80% or less is preferable because crosstalk and cross erase are small and the track density can be increased.

【0023】第1及び第2誘電体層は、記録時に基板、
記録層などが熱によって変形し記録特性が劣化すること
を防止するなど、基板、記録層を熱から保護する効果光
学的な干渉効果により、再生時の信号コントラストを改
善する効果があることから記録層に積層して設けること
が好ましい。
The first and second dielectric layers are the substrate during recording,
The effect of protecting the substrate and recording layer from heat, such as preventing the recording layer from being deformed by heat and degrading the recording characteristics. The optical interference effect has the effect of improving the signal contrast during playback. It is preferable to provide them in layers.

【0024】この誘電体層としては、ZnS、Si
2 、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機薄膜
がある。特にZnSの薄膜、Si、Ge、Al、Ti、
Zr、Ta、などの金属の酸化物の薄膜、Si、Alな
どの窒化物の薄膜、Ti、Zr、Hfなどの炭化物の薄
膜及びこれらの化合物の混合物の膜が、耐熱性が高いこ
とから好ましい。また、これらに炭素や、MgF2 など
のフッ化物を混合したものも、膜の残留応力が小さいこ
とから好ましい。
As the dielectric layer, ZnS, Si
There are inorganic thin films such as O 2 , silicon nitride, and aluminum oxide. In particular, a thin film of ZnS, Si, Ge, Al, Ti,
Thin films of oxides of metals such as Zr and Ta, thin films of nitrides such as Si and Al, thin films of carbides such as Ti, Zr and Hf, and films of mixtures of these compounds are preferable because of high heat resistance. . A mixture of carbon and fluoride such as MgF2 is also preferable because the residual stress of the film is small.

【0025】特にZnSとSiO2 の混合膜あるいは、
ZnSとSiO2 と炭素の混合膜は記録、消去の繰り返
しによっても、記録感度、C/N、消去率などの劣化が
起きにくいことから好ましく、特にZnSとSiO2
炭素の混合膜が好ましい。
In particular, a mixed film of ZnS and SiO 2 or
A mixed film of ZnS, SiO 2 and carbon is preferable because deterioration of recording sensitivity, C / N, erasing rate, etc. does not easily occur even when recording and erasing are repeated, and a mixed film of ZnS, SiO 2 and carbon is particularly preferable.

【0026】第1および第2誘電体層の厚さは、およそ
10〜500nmである。第1誘電体層は、基板や記録
層から剥離し難く、クラックなどの欠陥が生じ難いこと
から50〜400nmが好ましい。また第2誘電体層
は、C/N、消去率などの記録特性、安定に多数回の書
換が可能なことから5〜40nmが好ましい。
The thickness of the first and second dielectric layers is approximately 10 to 500 nm. The thickness of the first dielectric layer is preferably 50 to 400 nm because it is difficult to peel it off from the substrate or the recording layer, and defects such as cracks are hard to occur. The second dielectric layer preferably has a thickness of 5 to 40 nm because it has stable recording characteristics such as C / N and erasure rate and can be stably rewritten many times.

【0027】本発明の記録層としては、特に限定するも
のではないが、Pd−Ge−Sb−Te合金、Nb−G
e−Sb−Te合金、Ni−Ge−Sb−Te合金、G
e−Sb−Te合金、Co−Ge−Sb−Te合金、I
n−Sb−Te合金、Ag−In−Sb−Te合金、I
n−Se合金などがある。
The recording layer of the present invention is not particularly limited, but a Pd-Ge-Sb-Te alloy, Nb-G is used.
e-Sb-Te alloy, Ni-Ge-Sb-Te alloy, G
e-Sb-Te alloy, Co-Ge-Sb-Te alloy, I
n-Sb-Te alloy, Ag-In-Sb-Te alloy, I
There are n-Se alloys and the like.

【0028】多数回の記録の書換が可能であることから
Pd−Ge−Sb−Te合金、Nb−Ge−Sb−Te
合金、Ge−Sb−Te合金、Co−Ge−Sb−Te
合金が好ましい。
Since the recording can be rewritten many times, Pd-Ge-Sb-Te alloy, Nb-Ge-Sb-Te
Alloy, Ge-Sb-Te alloy, Co-Ge-Sb-Te
Alloys are preferred.

【0029】特に下記の組成式で表される組成であるこ
とが消去時間が短く、かつ多数回の記録、消去の繰り返
しが可能であり、C/N、消去率などの記録特性に優れ
ることからことから好ましい。
In particular, the composition represented by the following composition formula has a short erasing time, allows recording and erasing to be repeated many times, and has excellent recording characteristics such as C / N and erasing rate. Therefore, it is preferable.

【0030】組成式 M z(Sbx Te1-x )1-y-z (Ge0.5 Te0.5 )y 0.35≦x≦0.5 0.2≦y≦0.5 0.0005≦z≦0.005 ここで、Mはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバ
ルトから選ばれる少なくとも一種の金属を表す。また
x、y、z及び数字は、各元素の原子の数(各元素のモ
ル数)を表す。
Compositional formula M z (Sbx Te1-x) 1-yz (Ge0.5 Te0.5) y 0.35 ≦ x ≦ 0.5 0.2 ≦ y ≦ 0.5 0.0005 ≦ z ≦ 0 0.005 Here, M represents at least one metal selected from palladium, niobium, platinum, silver, gold, and cobalt. Further, x, y, z and the numbers represent the number of atoms of each element (the number of moles of each element).

【0031】本発明の記録層の厚さとしては、特に限定
するものではないが10〜100nmである。特に記
録、消去感度が高く、多数回の記録消去が可能であるこ
とから10nm以上40nm以下とすることが好まし
い。
The thickness of the recording layer of the present invention is not particularly limited, but is 10 to 100 nm. In particular, the recording and erasing sensitivity is high, and the recording and erasing can be performed many times, so that the thickness is preferably 10 nm or more and 40 nm or less.

【0032】また第2誘電体に積層して反射層をを設け
ることが好ましい。材質としては、光反射性を有するA
l、Au、Ag、Cuなどの金属、およびこれらの合
金、および金属と金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物
などの金属化合物の混合物が好ましく、特にAl、A
u、Ag、Cuなどの高反射率の金属、およびこれらを
主成分として80原子%以上含有する合金が好ましい。
Further, it is preferable to provide a reflective layer on the second dielectric layer. As the material, A having light reflectivity
Metals such as 1, Au, Ag, and Cu, and alloys thereof, and mixtures of metals with metal compounds such as metal oxides, metal nitrides, and metal carbides are preferable, and Al and A are particularly preferable.
Metals having a high reflectance such as u, Ag and Cu, and alloys containing 80 atomic% or more of these as a main component are preferable.

【0033】前述の合金の例として、AlにSi、M
g、Cu、Pd、Ti、Hf、Zr、Ta、Cr、N
b、Mnなどの少なくとも1種の元素を合計で5原子%
以下、05原子%以上加えたもの、あるいは、AuにC
r、Ag、Cu、Pd、Pt、Niなどの少なくとも1
種の元素を合計で20原子%以下1原子%以上加えたも
のなどがある。特に、材料の価格が安くできることか
ら、Alを主成分とする合金が好ましい。
As an example of the aforementioned alloy, Al, Si, M
g, Cu, Pd, Ti, Hf, Zr, Ta, Cr, N
At least one element such as b or Mn is 5 atomic% in total
Below, more than 05 atom% added, or Au to C
at least 1 of r, Ag, Cu, Pd, Pt, Ni, etc.
For example, a total of 20 atomic% or less and 1 atomic% or more of seed elements may be added. In particular, an alloy containing Al as a main component is preferable because the cost of the material can be reduced.

【0034】とりわけ、Al合金としては、耐腐食性が
良好なことから、AlにTi、CrZr、Hfから選ば
れる少なくとも1種以上の金属を合計で5原子%以下
0.5原子%以上添加し、Pdを0.05原子%以上
0.5原子%以下加えた合金が好ましい。
In particular, since the Al alloy has good corrosion resistance, at least one metal selected from Ti, CrZr, and Hf is added to Al in a total amount of 5 atomic% or less and 0.5 atomic% or more. , Pd in an amount of 0.05 atomic% or more and 0.5 atomic% or less is preferable.

【0035】反射層の厚さとしては、おおむね30nm
以上300nm以下である。記録感度が高く、かつ記録
の耐久性に優れることからから100nm以上200n
m以下とすることが好ましい。
The thickness of the reflective layer is about 30 nm.
Not less than 300 nm. High recording sensitivity and excellent recording durability make it 100 nm or more and 200 n or more
m or less.

【0036】特に、記録感度が高く、高速でシングルビ
ーム・オーバーライトが可能でありかつ消去率が大きく
消去特性が良好であることから、次のごとく、光記録媒
体の主要部を構成することが好ましい。
In particular, since the recording sensitivity is high, the single beam overwrite is possible at a high speed, the erasing rate is large, and the erasing characteristic is good, the main part of the optical recording medium can be constructed as follows. preferable.

【0037】すなわち、誘電体層がZnSとSiO2 と
炭素の混合膜であり、SiO2 の混合比が15〜35モ
ル%、炭素混合比が1〜10モル%であり、記録光波長
での屈折率が2.0〜2.3であり、かつ第1誘電体層
の厚さを150nm〜400nm、第2誘電体層の厚さ
を10nm〜30nmで構成し、かつ記録層の厚さを1
0nm〜30nm、反射層を厚さ50nm〜200nm
のAl合金で構成し、かつ記録層の組成が次式で表され
る範囲にあることが好ましい。
That is, the dielectric layer is a mixed film of ZnS, SiO2, and carbon, the mixing ratio of SiO2 is 15 to 35 mol%, the carbon mixing ratio is 1 to 10 mol%, and the refractive index at the recording light wavelength is set. Is 2.0 to 2.3, the first dielectric layer has a thickness of 150 nm to 400 nm, the second dielectric layer has a thickness of 10 nm to 30 nm, and the recording layer has a thickness of 1 nm.
0 nm to 30 nm, reflective layer thickness 50 nm to 200 nm
It is preferable that the recording layer is composed of the Al alloy and the composition of the recording layer is in the range represented by the following formula.

【0038】組成式 M z(Sbx Te1-x )1-y-z (Ge0.5 Te0.5 )y 0.35≦x≦0.5 0.2≦y≦0.5 0.0005≦z≦0.005 ここで、Mはパラジウム、ニオブ、白金から選ばれる少
なくとも一種の金属を表す。またx、y、z及び数字
は、各元素の原子の数(各元素のモル数)を表す。
Compositional formula M z (Sbx Te1-x) 1-yz (Ge0.5 Te0.5) y 0.35≤x≤0.5 0.2≤y≤0.5 0.0005≤z≤0 0.005 Here, M represents at least one metal selected from palladium, niobium, and platinum. Further, x, y, z and the numbers represent the number of atoms of each element (the number of moles of each element).

【0039】本発明の光記録媒体の記録に用いる光源と
しては、レーザー光、ストロボ光のごとき高強度の光源
であり、特に半導体レーザー光は、光源が小型化できる
こと消費電力が小さいこと、変調が容易であることから
好ましい。
The light source used for recording on the optical recording medium of the present invention is a high-intensity light source such as laser light or strobe light. Particularly, the semiconductor laser light has a small light source, low power consumption, and modulation. It is preferable because it is easy.

【0040】記録は結晶状態の記録層にレーザー光パル
スなどを照射してアモルファスの記録マークを形成して
行う。また、反対に非晶状態の記録層に結晶状態の記録
マークを形成してもよい。消去はレーザー光照射によっ
て、アモルファスの記録マークを結晶化するか、もしく
は、結晶状態の記録マークをアモルファス化して行うこ
とができる。
Recording is performed by irradiating a laser beam pulse or the like to the crystalline recording layer to form an amorphous recording mark. Alternatively, a recording mark in a crystalline state may be formed on a recording layer in an amorphous state. Erasure can be performed by irradiating a laser beam to crystallize an amorphous recording mark or to amorphize a crystalline recording mark.

【0041】記録速度を高速化でき、かつ記録層の変形
が発生しにくいことから記録時はアモルファスの記録マ
ークを形成し、消去時は結晶化を行う方法が好ましい。
Since the recording speed can be increased and the recording layer is hardly deformed, it is preferable to form an amorphous recording mark at the time of recording and crystallize at the time of erasing.

【0042】また、記録マーク形成時は光強度を高く、
消去時はやや弱くし、1回の光ビームの照射により書換
を行う1ビーム・オーバーライトは、書換の所要時間が
短くなることから好ましい。
Further, when forming the recording mark, the light intensity is high,
The one-beam overwrite in which the light is slightly weakened at the time of erasing and rewriting is performed by irradiating the light beam once is preferable because the rewriting time is shortened.

【0043】記録層は、実際に記録を行う前に、予めレ
ーザー光、キセノンフラッシュランプなどの光を照射し
予め結晶化させておくことが好ましい。
The recording layer is preferably preliminarily crystallized by irradiation with light such as a laser beam or a xenon flash lamp before actual recording.

【0044】[0044]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。 (分析、測定方法)反射層、記録層の組成は、ICP発
光分析(セイコー電子工業(株)製)により確認した。
またキャリア対ノイズ比および消去率(記録後と消去後
の再生キャリア信号強度の差)は、スペクトラムアナラ
イザにより測定した。
EXAMPLES The present invention will be described below based on examples. (Analysis and measurement method) The compositions of the reflective layer and the recording layer were confirmed by ICP emission analysis (manufactured by Seiko Denshi Kogyo KK).
The carrier-to-noise ratio and the erasing rate (difference in reproduced carrier signal intensity after recording and after erasing) were measured by a spectrum analyzer.

【0045】記録層、誘電体層、反射層の形成中の膜厚
は、水晶振動子膜厚計によりモニターした。また各層の
厚さは、走査型あるいは透過型電子顕微鏡で断面を観察
することにより測定した。
The film thickness during the formation of the recording layer, the dielectric layer and the reflective layer was monitored by a crystal oscillator film thickness meter. The thickness of each layer was measured by observing the cross section with a scanning or transmission electron microscope.

【0046】(実施例1)厚さ0.6mm、直径12c
m、1.4μmピッチのスパイラルグルーブ付きポリカ
ーボネート製基板を毎分30回転で回転させながら、高
周波スパッタ法により、記録層、誘電体層、反射層を形
成した。
(Example 1) Thickness 0.6 mm, diameter 12c
A recording layer, a dielectric layer, and a reflective layer were formed by a high frequency sputtering method while rotating a polycarbonate substrate with a spiral groove having a pitch of m and 1.4 μm at 30 rpm.

【0047】まず、真空容器内を1×10-5Paまで排
気した後、2×10-1PaのArガス雰囲気中でSiO
2 を20mol%添加したZnSをスパッタし、基板上
に膜厚100nmの第1誘電体層を形成し、この上に組
成Pd0.002 Nb0.004 Ge0.174 Sb0.26Te0.56の
膜厚15nmの記録層を形成した。さらに第1誘電体層
と同様の材質の第2誘電体層を20nm形成し、この上
にAl98.1Hf1.7 Pd0.2 合金をスパッタして膜厚1
50nmの反射層を形成した。
First, the inside of the vacuum chamber was evacuated to 1 × 10 -5 Pa, and then SiO 2 in an Ar gas atmosphere of 2 × 10 -1 Pa.
ZnS added with 20 mol% of 2 was sputtered to form a first dielectric layer having a film thickness of 100 nm on the substrate. A recording layer was formed. Further, a second dielectric layer of the same material as the first dielectric layer is formed to a thickness of 20 nm, and an Al98.1Hf1.7 Pd0.2 alloy is sputtered on this to form a film with a thickness of 1
A 50 nm reflective layer was formed.

【0048】このディスクを真空容器より取り出した
後、この反射層上にアクリル系紫外線硬化樹脂(大日本
インキ(株)製SD-101)をスピンコートし、紫外線照射
により硬化させて膜厚10μmの樹脂層を形成し本発明
の光記録媒体を得た。さらに同様に形成したディスク同
種のディスクとホットメルト接着剤(東亜合成化学工業
(株)製XW30)で張り合わせて両面ディスクを作製
した。
After the disk was taken out of the vacuum container, an acrylic UV curable resin (SD-101 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) was spin-coated on the reflective layer and cured by UV irradiation to give a film thickness of 10 μm. A resin layer was formed to obtain the optical recording medium of the present invention. Further, a double-sided disk was prepared by laminating a disk of the same type as the disk formed in the same manner with a hot melt adhesive (XW30 manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo Co., Ltd.).

【0049】この光記録媒体に波長820nmの半導体
レーザーのビームを照射して、ディスク全面の記録層を
結晶化し初期化した。
This optical recording medium was irradiated with a semiconductor laser beam having a wavelength of 820 nm to crystallize and initialize the recording layer on the entire surface of the disk.

【0050】次に、半導体レーザ波長680nm、開口
数0.6の光学ヘッドを有するドライブ装置(プッシュ
プルトラッキング方式を採用)により、線速度9m/
s、記録パワー12mW、消去パワー4.5mWの記録
条件で、この光ディスクの連続する50トラックを案内
溝部トラック25トラック、案内溝間トラック25トラ
ックの順に予め記録周波数3MHzで記録し本発明の光
記録媒体を得た。
Next, a linear velocity of 9 m / s was obtained by a drive device (using a push-pull tracking system) having an optical head with a semiconductor laser wavelength of 680 nm and a numerical aperture of 0.6.
s, a recording power of 12 mW, and an erasing power of 4.5 mW, the continuous 50 tracks of this optical disk were previously recorded at a recording frequency of 3 MHz in the order of 25 tracks in the guide groove portion and 25 tracks between the guide grooves, and the optical recording of the present invention The medium was obtained.

【0051】次にこの記録した領域の案内溝部トラック
には4MHz、案内溝間トラックには5MHzの信号を
各1トラックずつオーバーライトして記録した。ここで
記録は50トラック中から記録するトラックを毎回ラン
ダムに選択し、未記録のトラックのみに記録をおこな
い、50トラックのすべてに記録を行なった。
Then, a signal of 4 MHz was recorded on the track of the guide groove portion of this recorded area, and a signal of 5 MHz was recorded on the track between the guide grooves by overwriting one track each. Here, for recording, a track to be recorded was randomly selected from 50 tracks each time, recording was performed only on unrecorded tracks, and recording was performed on all 50 tracks.

【0052】次に記録したトラックを再生し、隣接トラ
ックからのクロストークを測定した結果、いずれのトラ
ックにおいてもクロストークは、−30dBと非常に小
さい良好な値が得られた。
Next, the recorded track was reproduced, and the crosstalk from the adjacent track was measured. As a result, the crosstalk on any track was -30 dB, which was a very small and good value.

【0053】(比較例)実施例1と同様の構成の光ディ
スクを用い、予め3MHzの記録していないで同様のク
ロストーク測定を行なった。
(Comparative Example) Using an optical disk having the same structure as in Example 1, the same crosstalk measurement was performed without recording at 3 MHz in advance.

【0054】再生するトラックによりクロストークのば
らつきが大きく−30dBと良好なトラックがある一方
で、−15dBと大きくデータ再生上、許容できない値
のトラックが見られた。
Depending on the track to be reproduced, there is a large variation of crosstalk of -30 dB, while there is a good track of -15 dB.

【0055】[0055]

【発明の効果】本発明は、ランド・グルーブ記録方式の
光記録媒体に予め記録マークを形成したので以下の効果
が得られた。 (1) トラッキングが安定し、クロストークを低減でき
た。 (2) プッシュプルトラッキング方式でも安定したトラッ
キングが行なえる。
According to the present invention, since the recording marks are formed in advance on the optical recording medium of the land / groove recording system, the following effects can be obtained. (1) Tracking was stable and crosstalk could be reduced. (2) Stable tracking can be performed even with the push-pull tracking method.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥山 太 滋賀県大津市園山1丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Futoshi Okuyama 1-1-1, Sonoyama, Otsu City, Shiga Prefecture Toray Co., Ltd. Shiga Plant

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に形成された記録層に光を照射す
ることによって、情報の記録、消去、再生が可能であ
り、情報の記録及び消去が、非晶相と結晶相の間の相変
化により行われる光記録媒体であって、かつ前記基板の
記録層を設けた面にトラックの案内溝が形成されてお
り、案内溝と案内溝間の両方の部分に記録を行なう光記
録媒体において、実際の使用に供する以前に、実際の記
録領域にある案内溝部及び案内溝間の全トラックに予め
記録マークを形成したことを特徴とする光記録媒体。
1. Information can be recorded, erased, and reproduced by irradiating a recording layer formed on a substrate with light, and the recording and erasing of information is performed in a phase between an amorphous phase and a crystalline phase. In an optical recording medium which is performed by a change, a guide groove of a track is formed on the surface of the substrate on which the recording layer is provided, and an optical recording medium which performs recording in both the guide groove and the guide groove is provided. The optical recording medium is characterized in that the recording marks are formed in advance on the guide groove portion in the actual recording area and all the tracks between the guide grooves before being actually used.
【請求項2】 光記録媒体が少なくとも透明基板/第1
誘電体層/記録層/第2誘電体層/反射層の積層体を構
成部材とすることを特徴とする請求項1記載の光記録媒
体。
2. An optical recording medium comprising at least a transparent substrate / first
The optical recording medium according to claim 1, wherein a laminated body of dielectric layer / recording layer / second dielectric layer / reflection layer is used as a constituent member.
【請求項3】 記録層の組成が下記の組成式であらわさ
れることを特徴とする請求項2記載の光記録媒体。 組成式 M z(Sbx Te1-x )1-y-z (Ge0.5 Te0.5 )y 0.35≦x≦0.5 0.2≦y≦0.5 0.0005≦z≦0.005 ここで、Mはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバ
ルトから選ばれる少なくとも一種の金属を表す。また
x、y、z及び数字は、各元素の原子の数(各元素のモ
ル数)を表す。
3. The optical recording medium according to claim 2, wherein the composition of the recording layer is represented by the following composition formula. Composition formula M z (Sbx Te1-x) 1-yz (Ge0.5 Te0.5) y 0.35 ≦ x ≦ 0.5 0.2 ≦ y ≦ 0.5 0.0005 ≦ z ≦ 0.005 here Here, M represents at least one metal selected from palladium, niobium, platinum, silver, gold and cobalt. Further, x, y, z and the numbers represent the number of atoms of each element (the number of moles of each element).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006021543A (en) * 2005-09-20 2006-01-26 Fuji Photo Film Co Ltd Optical information recording medium and information recording method
WO2009038331A3 (en) * 2007-09-21 2009-05-07 Lg Electronics Inc Recording method of optical recording medium

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