JPH09172767A

JPH09172767A - 永久磁石式リニアモータ

Info

Publication number: JPH09172767A
Application number: JP34752595A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Shinpo; 信之眞保; Yasuyuki Hirabayashi; 康之平林; Takatoshi Oyama; 貴俊大山
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1995-12-18
Filing date: 1995-12-18
Publication date: 1997-06-30
Anticipated expiration: 2015-12-18
Also published as: JP3481759B2

Abstract

(57)【要約】【課題】効率を高め、推力の変動を抑えることを可能
とすると共に、可動部分が移動可能なストロークを長く
しかつストロークの増減を容易とする。【解決手段】隣設する永久磁石の磁極が同極対向する
ように配置された永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ間に
軟磁性体をそれぞれ設けた直線界磁体１０と、この外周
を相対的に移動可能な駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２
Ｃを一体的に有するコイル体２０と、これと一体的に移
動可能な複数の磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃと
を備え、磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃで直線界
磁体１０から発生する磁束を検知して直線界磁体１０と
コイル体２０の相対位置を検出し、磁電変換素子２４
Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力に応じて駆動コイル２２
Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに選択的に電流を流すことで直線界
磁体１０の軸方向に推力を発生する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＯＡ機器、制御機
器、電子機器、工作機械、半導体や液晶製造関連機器、
医療関連機器等において直線的な駆動力を発生する永久
磁石式リニアモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からよく知られているリニアモータ
は、リニア誘導モータ、リニア直流モータ、リニアパル
スモータ等に分類される。このうち、リニア誘導モータ
は、位置決め制御が難しく、リニアパルスモータは、機
械加工が難しく、また、推力の変動が大きく滑らかな動
作が得られない等の問題がある。

【０００３】また、上記リニア直流モータの一つとし
て、ボイスコイルモータが知られている。ボイスコイル
モータの場合、前述の問題は解決されるが、ストローク
を長く取ることが難しく、小さな変位で充分な用途、例
えば、ハードディスクのヘッド駆動用等に限られてい
る。

【０００４】また、長いストロークのリニア直流モータ
として、矩形のコイルを複数移動方向に配列し、互いに
隣設する磁極が異なる複数の永久磁石をそれらのコイル
に対向配置し、それらのコイルに電流を順次切り換え通
電するものが知られている。この種のモータの場合、矩
形のコイルにおいて、移動方向の推力を発生しない部分
（無効導体部）を有するという問題がある。さらに、矩
形のコイルに対向して互いに隣設する磁極が異なる複数
の永久磁石を配置するため、小型化に向かないという問
題がある。

【０００５】また、コイルの無効導体部を殆どなくした
例として、特開昭５９−６７６４号のリニアモータが提
案されている。このモータは、図１４に示すように、磁
性体で形成された円柱体１の外周に互いに隣同士が異極
となるようにＮ、Ｓの円環状の磁極を長手方向にそれぞ
れ１極以上有する円筒状の界磁マグネット３を固設し、
磁性体で形成された外筒体２を円柱体１と適宜間隔を有
して対向配設し、外筒体２と界磁マグネット３によって
形成された空隙に、非磁性円筒体６に導線を断面円筒枠
状に多数ターン巻回した第１の導体部４ａ及び第２の導
体部４ｂとを接続することによって１個の電機子コイル
４を形成している。なお、非磁性円筒体６には位置検出
のための磁電変換素子５が取り付けられている。

【０００６】この場合、電機子コイル４に通電すること
で、移動方向（円柱体１の軸方向）の推力が得られるよ
うになっている。

【０００７】さらに、リニアパルスモータに分類される
ものとして実開昭５５−１０６４９１号のリニアステッ
パーが提案されている。このリニアステッパーは同極対
向の永久磁石間に短いポールピースを配置した構造を繰
り返し持つ固定子と、該固定子に遊嵌された多相コイル
可動子とを有し、多相コイル可動子の各相を選択的に付
勢することで、軸方向にステップ的に多相コイル可動子
を移動させるとしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図１４の構
造を持つ特開昭５９−６７６４号の如きリニアモータ
は、永久磁石を径方向に磁化しなければならず、特に希
土類磁石のような保磁力の大きい永久磁石の場合、着磁
しにくいという問題がある。また、長手方向に磁極の幅
を大きくすると、磁束密度を大きくすることができず、
したがって推力も大きくすることができないという問題
がある。

【０００９】また、実開昭５５−１０６４９１号のリニ
アステッパーは、１相当たりのコイルの幅がポールピー
スよりも大きく、多相コイル可動子がステップ動作を行
うことを前提とした構造となっており、滑らかな推力発
生には向かないものである。また、多相コイル可動子の
各相を順次選択的に付勢するための具体的手段が開示さ
れていない。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、本発明の第１の目的は、リニア直流モータとし
ての制御性の良さを維持しつつ、推力を発生しない部分
（無効導体部）を殆どなくして効率を高めると共に推力
の変動（推力リップル）を抑えることを可能とした永久
磁石式リニアモータを提供することにある。

【００１１】また、本発明の第２の目的は、小型で構造
が簡略化されているにもかかわらず、可動部分が移動可
能なストロークを長くでき、かつ、ストロークの増減が
容易な永久磁石式リニアモータを提供することにある。

【００１２】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の永久磁石式リニアモータは、隣設する永久
磁石の磁極が同極対向するように配置された少なくとも
３個の永久磁石間に軟磁性体をそれぞれ設けた構造を有
する直線界磁体と、該直線界磁体の外周を相対的に移動
可能な複数の駆動コイルを一体的に有するコイル体と、
該コイル体と一体的に移動可能な複数の磁電変換素子と
を備え、前記磁電変換素子で前記直線界磁体から発生す
る磁束を検知して前記直線界磁体と前記コイル体の相対
位置を検出し、前記磁電変換素子の検出出力に応じて前
記駆動コイルに選択的に電流を流すことで前記直線界磁
体の軸方向に推力を発生する構成となっている。

【００１４】また、隣設する前記駆動コイルのコイル配
列ピッチと隣設する前記磁電変換素子の素子配列ピッチ
とを等しくし、かつ前記磁電変換素子の少なくとも１つ
を、いずれかの隣設する駆動コイルの中間位置に配設し
た構成とするとよい。

【００１５】また、隣設する前記駆動コイルのコイル配
列ピッチをＰとしたとき、隣設する前記軟磁性体の軟磁
性体配列ピッチを略Ｍ×Ｐとし（但し、Ｍは２以上の整
数）、前記駆動コイルの個数をＭ×Ｎとするとともに
（但し、Ｎは１以上の整数）、前記磁電変換素子をＭ個
にするとよい。

【００１６】前記コイル体はボビンに前記複数の駆動コ
イルを巻装したもので、前記直線界磁体は外周面が非磁
性パイプ部材で覆われており、前記パイプ部材の外周面
を前記ボビンが直接摺動することで前記コイル体が相対
的に直線移動するように案内される構成とすることがで
き、あるいは、前記コイル体は摺動軸受を有し、前記直
線界磁体は外周面が非磁性パイプ部材で覆われており、
前記パイプ部材の外周面を前記摺動軸受が直接摺動する
ことで前記コイル体が相対的に直線移動するように案内
される構成とすることができる。

【００１７】また、前記ボビンに凹部を形成し、該凹部
に対応する位置に前記磁電変換素子を配置する構成とし
てもよい。

【００１８】さらに、前記コイル体がプリント基板を一
体的に有し、該プリント基板に前記磁電変換素子が位置
決めされると共にはんだ接続される構成とすることもで
きる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る永久磁石式リ
ニアモータの実施の形態を図面に従って説明する。

【００２０】図１は本発明に係る永久磁石式リニアモー
タの第１の実施の形態の全体構成を示す斜視図、図２は
直線界磁体部分の斜視図、図３はコイル体側の正断面
図、図４はコイル体の底面側を示す部分斜視図、図５は
動作説明のための概略構成を示す正断面図である。

【００２１】これらの図において、リニアモータは、３
個の永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ及びそれらに挟ま
れた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂで構成された直線界磁体１
０と、該直線界磁体１０に対し直接摺動するボビン２１
に３個（３相）の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを
巻装してなるコイル体２０とを有し、該コイル体２０に
取り付けられたプリント基板２３上には３個の位置検出
素子としての磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃが配
置されている。前記コイル体２０を固定とし、直線界磁
体１０を可動とする場合、コイル体２０及びプリント基
板２３は固定台３０上に固定され、直線界磁体１０の端
部には、直線界磁体１０の動きを外部に出力するための
出力取り出し部材１３が取り付けられている（固着乃至
連結されている）。この出力取り出し部材１３を介し直
線界磁体１０は図示しないシリンダ等の被駆動系に連結
される。

【００２２】図２に示すように、前記永久磁石１１Ａ，
１１Ｂ，１１Ｃは、例えば、小型で強力な磁力を発生可
能な希土類永久磁石であり、鉄等の軟磁性体１２Ａ，１
２Ｂを挟んで同極対向配置となっている。すなわち、永
久磁石１１Ａ及び１１ＢのＮ極で軟磁性体１２Ａを挟
み、永久磁石１１Ｂ及び１１ＣのＳ極で軟磁性体１２Ｂ
を挟むことにより、隣設する永久磁石の同一磁極（同
極）が対向して配置される。なお、永久磁石１１Ａ，１
１Ｂ，１１Ｃ及び軟磁性体１２Ａ，１２Ｂは共に同一外
径の円柱乃至円板形状である。従って、永久磁石１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ及び軟磁性体１２Ａ，１２Ｂの外周
面は同一で段差のないように揃っており、円柱形状の直
線界磁体１０を構成している。この場合、直線界磁体１
０の軸方向（コイル体２０が直線的に相対移動する長手
方向）と永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃの磁化方向と
が一致している。なお、各永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１
１Ｃは軸方向に等しい長さを持ち、各軟磁性体１２Ａ，
１２Ｂも軸方向に等しい長さを持つものであり、直線界
磁体１０の軸方向の永久磁石１１Ａの中心から１１Ｂの
中心（あるいは１１Ｂの中心から１１Ｃの中心）までの
間隔、すなわち隣設する永久磁石同士の永久磁石配列ピ
ッチが一定値Ｋであるものとする。また、軟磁性体１２
Ａの中心から１２Ｂの中心までの間隔、すなわち隣設す
る軟磁性体同士の軟磁性体配列ピッチも一定値Ｋとな
る。なお、永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ及び軟磁性
体１２Ａ，１２Ｂ相互の固着一体化は、接着剤等で行う
ことができる。

【００２３】図３に示すように、前記コイル体２０が有
するボビン２１は、非磁性で絶縁性の材質、例えば、各
鍔部が方形の耐摩耗性に優れた絶縁樹脂製であり、前記
円柱形状の直線界磁体１０の外周面が摺動自在となるよ
うに、断面円形の貫通孔２１Ｄを有し、かつ、直線界磁
体１０の外周面を周回するように方形の鍔部２５Ａ，２
５Ｂ，２５Ｃ，２５Ｄによって区画された（仕切られ
た）溝２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが形成されている。この
結果、前記直線界磁体１０はボビン２１の貫通孔２１Ｄ
を直線移動するように案内されることになる。なお、図
４の如く前記ボビン２１の端部の鍔部２５Ｄの底面部は
凹部（切欠き）が設けられた端子台２１Ｅを形成してお
り、図４のように６本の接続端子ピン２６Ａ，２６Ｂ，
２６Ｃ，２６Ｄ，２６Ｅ，２６Ｆが植設されている。

【００２４】また、前記駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２
２Ｃは、ボビン２１の溝２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃに前記
直線ガイド体１０を周回する向きに巻かれ、前記駆動コ
イル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの両端の巻線引き出し端が
前記６本の接続端子ピン２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６
Ｄ，２６Ｅ，２６Ｆにからげられている。この結果、図
５から判るように、コイル体２０は直線界磁体１０の軸
方向の前記永久磁石配列ピッチＫに対して３相の駆動コ
イルを有することになる。そして、駆動コイル２２Ａの
中心から２２Ｂの中心（あるいは２２Ｂの中心から２２
Ｃの中心）までの間隔、すなわち隣設する駆動コイル同
士のコイル配列ピッチをＰとしたとき、３×Ｐが永久磁
石配列ピッチＫに略一致する。また、駆動コイル２２
Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの幅は、コイル配列ピッチＰより中
間の鍔部２５Ｂ，２５Ｃの幅だけ小さくなっている。

【００２５】前記３個の位置検出素子としての磁電変換
素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃは、例えばホール素子とな
っており、磁電変換素子２４Ａと２４Ｂ（あるいは２４
Ｂと２４Ｃ）の間隔、すなわち隣設する磁電変換素子同
士の素子配列ピッチが前記コイル配列ピッチＰと同じ値
となるように前記プリント基板２３上に配設されてい
る。なお、前記ボビン２１の各鍔部２５Ａ，２５Ｂ，２
５Ｃ，２５Ｄの一側面には、プリント基板２３が接着剤
等で固着され、かつ、３個の磁電変換素子２４Ａ，２４
Ｂ，２４Ｃが鍔部２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃに接触しない
ように凹部（切欠き）２１Ｆ，２１Ｇ，２１Ｈが設けら
れている。

【００２６】前記プリント基板２３には、所要の導体パ
ターン及びスルーホールが形成されており、前記３個の
磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃがはんだ付けによ
って前記導体パターンに電気的に接続されると共に、前
記駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの両端の巻線引き
出し端がからげられた前記６本の接続端子ピン２６Ａ，
２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ，２６Ｅ，２６Ｆが前記スルー
ホールに挿通され、はんだ付けによって電気的に接続さ
れ、図示しない制御回路に接続されている。この制御回
路は磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力に
応じて前記駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに選択的
に電流を流すためのものである。

【００２７】このようにプリント基板２３を一体化した
コイル体２０は、例えば、プリント基板２３側を固定台
３０上に載置固定することで、固定的に保持され、コイ
ル体２０のボビン２１の貫通孔２１Ｄにより可動体とし
ての直線界磁体１０が摺動自在に支持されることにな
る。

【００２８】以上の第１の実施の形態の構成による動作
について以下に詳述する。

【００２９】図６（Ａ）のような直線界磁体１０とコイ
ル体２０の位置関係にあるとすると、直線界磁体１０か
らの磁束を検出する磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４
Ｃの３個共Ｎ極を示す検出出力信号を出す。これに対応
して、磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力
信号を受ける制御回路から駆動コイル２２Ａ，２２Ｂに
図示する方向に電流を流し、駆動コイル２２Ｃには流さ
ないようにする。この時、永久磁石１１Ａと１１ＢのＮ
極同士が対向しており、軟磁性体１２Ａの側面から径方
向の磁束が発生しているので、２つの駆動コイル２２
Ａ，２２Ｂには、矢印に示す方向のフレミングの左手の
法則に基づく推力が発生する。コイル体２０は固定台３
０に固定されているため、直線界磁体１０がコイル体２
０の貫通孔２１Ｄの内周を摺動して直線移動することに
なる。

【００３０】直線界磁体１０が図６（Ｂ）の位置に達す
ると、磁電変換素子２４Ａの検出出力はＳ極を示すよう
になり、これに対応して、制御回路から駆動コイル２２
Ｂ，２２Ｃに図示する方向に電流を流し、駆動コイル２
２Ａには流さないようにすると、駆動コイル２２Ｂ，２
２Ｃには、矢印に示す方向のフレミングの左手の法則に
基づく推力が発生する。

【００３１】また、直線界磁体１０が図６（Ｃ）の位置
に達すると、磁電変換素子２４Ｂの検出出力はＳ極を示
すようになり、これに対応して、制御回路から駆動コイ
ル２２Ａ，２２Ｃに図示する方向に電流を流し、駆動コ
イル２２Ｂには流さないようにすると、駆動コイル２２
Ａ，２２Ｃには矢印に示す方向のフレミングの左手の法
則に基づく推力が発生する。

【００３２】さらに、直線界磁体１０が図６（Ｄ）の位
置に達すると、磁電変換素子２４Ｃの検出出力はＳ極を
示すようになり、これに対応して、制御回路から駆動コ
イル２２Ａ，２２Ｂに図示する方向に電流を流し、駆動
コイル２２Ｃには流さないようにすると、駆動コイル２
２Ａ，２２Ｂには矢印に示す方向のフレミングの左手の
法則に基づく推力が発生する。

【００３３】以下、同様にして、３個の磁電変換素子の
出力に対応して、制御回路から３個の駆動コイルに流す
電流を制御することにより、継続してフレミングの左手
の法則に基づく推力が発生し、直線界磁体を動かすこと
ができる。

【００３４】この第１の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。

【００３５】(1) コイル体２０が有するボビン２１の
貫通孔２１Ｄは、同極対向された３個の永久磁石１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ及びそれらに挟まれた軟磁性体１２
Ａ，１２Ｂで構成された直線界磁体１０を直線移動可能
に案内するガイドとして機能し、その直線界磁体１０の
外周面を貫通孔２１Ｄにて直接軸方向に摺動自在に支持
することにより、ガイド軸や軸受部材を別途設ける必要
がなく、小型化を図ることができ、部品点数も少なくな
り、構造の簡略化、原価低減を図ることができる。ま
た、直線界磁体１０は永久磁石と軟磁性体とを交互に配
置する構造であり、コイル体２０もボビン２１に複数の
駆動コイルを巻回するだけであり、この点でも構造が簡
単であり、小型化し易いと言える。さらに、ボール螺子
を用いた直線駆動機構等に比較して動作音が小さく、静
寂性を確保できる。

【００３６】(2) 直線界磁体１０の永久磁石１１Ａ，
１１Ｂ，１１Ｃは円柱乃至円板形状であって、その軸方
向に着磁すれば良く、径方向着磁に比較して製造容易で
あり、小型で強力な磁力を発生可能な希土類永久磁石の
ように保磁力の大きな永久磁石の採用が可能である。

【００３７】(3) 直線界磁体１０の軟磁性体１２Ａ，
１２Ｂの側面に垂直な方向に磁束が発生し、直線界磁体
１０の外周を周回するように巻回された駆動コイルに電
流を流すと、通電された駆動コイルのほぼ全ての部分で
ローレンツ力が発生し、直線界磁体１０の軸方向に推力
を得ることができるので、推力を発生しない部分（無効
導体部）を殆どなくして効率良く、電流を力に変換でき
る。

【００３８】(4) 隣設する駆動コイル２２Ａ，２２
Ｂ，２２Ｃのコイル配列ピッチＰと隣設する磁電変換素
子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの素子配列ピッチとを等しく
し、かつ磁電変換素子の少なくとも１つを、いずれかの
隣設する駆動コイルの中間位置に配設し、それらの磁電
変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃで直線界磁体１０によ
る磁束（磁極の極性）を検出しており、磁電変換素子２
４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力に応じて制御回路より
駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに選択的に電流を流
すことによって、１個の駆動コイルに対し同一方向の磁
束が加わる範囲で電流を流すことができ、個々の駆動コ
イルから得られる推力を大きくできるとともに所定の方
向に揃えることができる。さらに、直線界磁体１０とコ
イル体２０の任意の位置関係において同一方向の推力を
発生可能で、発生する推力の合計の変動を抑えることが
できる。また、コイル体２０の軸方向の長さをコンパク
トにすることができる。なお、コイル体２０は直線界磁
体に対する任意の位置で、同一方向の推力を発生可能な
ので、３個を越える永久磁石及びそれらに挟まれた軟磁
性体によって構成された長尺の直線界磁体においても、
連続して推力を得ることができ、非常に長い直線界磁体
でも駆動可能となる。

【００３９】(5) コイル体２０が有するボビン２１の
各鍔部２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ，２５Ｄの一側面には、
プリント基板２３が接着剤等で固着され、かつ、プリン
ト基板２３上に搭載された３個の磁電変換素子２４Ａ，
２４Ｂ，２４Ｃが接触しないように、図３の如く鍔部２
５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃに凹部（切欠き）２１Ｆ，２１
Ｇ，２１Ｈが設けられているため、それらの凹部２１
Ｆ，２１Ｇ，２１Ｈに磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２
４Ｃが収納、配置されることになり、磁電変換素子２４
Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを直線界磁体１０に近づけることが
でき、直線界磁体１０の磁束（磁極の極性）検出をいっ
そう確実に実行できる。また、コイル体２０をコンパク
トに構成できる。

【００４０】(6) コイル体２０はプリント基板２３を
一体的に有し、該プリント基板２３に磁電変換素子２４
Ａ，２４Ｂ，２４Ｃが位置決めされると共にはんだ接続
されているので、プリント基板上の導体パターンによる
プリント配線を通じて磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２
４Ｃからの位置検出信号の伝達が可能である。また、駆
動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの両端の巻線引き出し
端をからげる接続端子ピン２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２
６Ｄ，２６Ｅ，２６Ｆがボビン２１に設けられているた
め、これらの接続端子ピン２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２
６Ｄ，２６Ｅ，２６Ｆを前記巻線引き出し端と共にプリ
ント基板２３にはんだ接続でき、駆動コイル２２Ａ，２
２Ｂ，２２Ｃに通電するための配線が容易となり、ボビ
ン２１へのプリント基板２３の組付けも容易である。

【００４１】(7) 駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ
は、通電する電流の向きを切り換えて制御すればよく、
導線の巻回方向は各駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ
について同一方向でよく、一度に自動巻線処理ができ、
生産性の向上が図れる。

【００４２】なお、第１の実施の形態において、コイル
体２０側を固定とし、直線界磁体１０を可動としたが、
逆に直線界磁体１０を直線ガイド体として固定とし、コ
イル体２０側を可動とする構成を採用することもでき
る。

【００４３】図７は本発明の第２の実施の形態を示す正
断面図である。この図において、直線界磁体４０は固定
台３０に端部が固定されてコイル体５０を直接摺動自在
に案内する直線ガイド体として機能するものである。

【００４４】ここで、直線界磁体４０は、同極対向され
た４個の永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ及び
それらに挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを非
磁性材料であるステンレス、真鍮等の非磁性金属、樹脂
等の薄肉の円筒状非磁性パイプ部材４１の内側に挿入し
たものであり、永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１
Ｄ及び軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃは当該パイプ部
材４１で覆われるとともに一体的に保持されている。

【００４５】可動体としてのコイル体５０はボビン５１
に３個の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを巻装し、
３個の磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを搭載した
プリント基板２３を一体に有するものであり、ボビン５
１の貫通孔５１Ｄが直線界磁体４０のパイプ部材４１の
外周面を直接摺動するように嵌合されている。コイル体
５０の細部の構造は前述の第１の実施の形態におけるコ
イル体２０と同様である。但し、ボビン５１の方形鍔部
には磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを配置する凹
部を設けていないため、プリント基板２３をボビン５１
の底面から磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの厚み
分だけ浮かして当該ボビン５１に取り付けている。

【００４６】この第２の実施の形態においても、隣設す
る永久磁石同士の永久磁石配列ピッチ（隣設する軟磁性
体同士の軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋと、隣設
する駆動コイル同士のコイル配列ピッチ（隣設する磁電
変換素子同士の素子配列ピッチも同じピッチ）Ｐとの関
係は前述の第１の実施の形態と同じであり、３×Ｐが永
久磁石配列ピッチＫに略一致するようにしている。従っ
て、第１の実施の形態の場合と同様に磁電変換素子２４
Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力信号を用いて駆動コイル
２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに選択的に電流を流すことで、
可動体としてのコイル体５０を、直線ガイド体としての
直線界磁体４０の外周面を直接摺動させて直線移動させ
ることができる。

【００４７】この第２の実施の形態によれば、非磁性の
薄肉パイプ部材４１とボビン５１の材質を適切に選択す
ることで、コイル体５０を円滑にパイプ部材外周面を摺
動させることができる。例えば、摩擦の少ない材質を選
ぶことで、移動時の摩擦抵抗の低減を図ることができ、
耐摩耗性の材質を選ぶことで、長寿命化を図ることがで
きる。さらに、パイプ部材４１で永久磁石１１Ａ，１１
Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ及び軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，１２
Ｃを覆うことにより、直線ガイド体として同軸上に精度
良く組み立てることが容易となる。その他の作用効果は
前述した第１の実施の形態と同様である。

【００４８】なお、第２の実施の形態において、直線界
磁体４０を直線ガイド体として固定とし、コイル体５０
側を可動としたが、逆にコイル体５０側を固定として直
線界磁体４０を可動とする構成を採用することもでき
る。

【００４９】図８は本発明の第３の実施の形態を示す正
断面図である。この図において、コイル体６０はボビン
６１に３個の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを巻装
し、３個の磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを搭載
したプリント基板２３を一体に有するものであり、ボビ
ン６１の貫通孔６１Ｄの両端部に該貫通孔６１Ｄの内径
よりも小径の内周面を有する摺動軸受６２が固着されて
いる。そして、摺動軸受６２が直線界磁体４０の薄肉の
円筒状非磁性パイプ部材４１の外周面を摺動するように
なっている。その他のコイル体６０の細部の構造は前述
の第１の実施の形態におけるコイル体２０と同様であ
り、直線界磁体４０の構造は前述の第２の実施の形態と
同様である。

【００５０】この第３の実施の形態によれば、非磁性の
薄肉パイプ部材４１とボビン６１側に固定した摺動軸受
６２の材質を適切に選択することで、コイル体６０を前
述した第２の実施の形態よりもいっそう円滑に相対移動
させることができる。その他の作用効果は前述した第１
の実施の形態と同様である。第３の実施の形態の場合、
直線界磁体４０を固定、コイル体６０を可動としてもよ
いし、逆にコイル体６０を固定、直線界磁体４０を可動
としてもよい。

【００５１】図９は本発明の第４の実施の形態を示す正
断面図である。この図において、直線界磁体７０は、同
極対向された４個の永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄ及びそれらに挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃを一体化した円柱形状である。

【００５２】コイル体８０はボビン８１に３個の駆動コ
イル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを巻装し、３個の磁電変換
素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを搭載したプリント基板２
３を一体に有するものであり、ボビン８１の貫通孔８１
Ｄが直線界磁体７０の外周面を直接摺動するように嵌合
されている。コイル体８０の細部の構造は前述の第１の
実施の形態におけるコイル体２０と同様であり、永久磁
石配列ピッチ（軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋ
と、コイル配列ピッチ（磁電変換素子配列ピッチも同じ
ピッチ）Ｐとの関係は前述の第１の実施の形態と同じで
あり、３×Ｐが永久磁石配列ピッチＫに略一致するよう
にしている。但し、第１の実施の形態に比べて磁電変換
素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの配置がピッチＰだけ外側
にずれており、１個の磁電変換素子２４Ｃのみが隣設す
る駆動コイル２２Ａ，２２Ｂの中間位置に配設されてい
る。

【００５３】この第４の実施の形態における磁電変換素
子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの配置であっても、直線界磁
体７０が軟磁性体を挟んで永久磁石が同極対向する構造
を周期的に繰り返すものであるため、磁電変換素子２４
Ａ，２４Ｂ，２４Ｃの検出出力信号を利用して図６の動
作と同様に駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに対し選
択的に電流を流して一定方向に推力を発生させることが
できる。その他の作用効果は前述した第１の実施の形態
と同様である。この第４の実施の形態の場合、直線界磁
体７０を固定、コイル体８０を可動としてもよいし、逆
にコイル体８０を固定、直線界磁体７０を可動としても
よい。

【００５４】なお、第４の実施の形態における直線界磁
体７０の代わりに、永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄ及びそれらに挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃを薄肉の円筒状非磁性パイプ部材４１で覆った直
線界磁体４０を用いることも可能であり、また前述の第
３の実施の形態のように摺動軸受６２を具備したボビン
構造としてもよい。

【００５５】図１０は本発明の第５の実施の形態を示す
正断面図である。この図において、コイル体９０は３個
のボビンレスコイルからなる駆動コイル２２Ａ，２２
Ｂ，２２Ｃを非磁性の絶縁性スペーサ９１を介して非磁
性で絶縁性のホルダー９２の外周に嵌挿し、さらにホル
ダー９２の外周端部に固着された非磁性で絶縁性のサイ
ド板９３で一体化したものである。そして、磁電変換素
子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを搭載したプリント基板２３
がホルダー９２及びサイド板９３に固着されている。

【００５６】直線界磁体７０は、同極対向された４個の
永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ及びそれらに
挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを一体化した
円柱形状である。その他の細部の構成は、前述の第１の
実施の形態と同様でよい。

【００５７】この第５の実施の形態の場合は駆動コイル
２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとしてボビンレスコイルを組み
合わせて使用可能な特長がある。その他の作用効果は前
述した第１の実施の形態と同様である。

【００５８】この第５の実施の形態の場合、直線界磁体
７０を固定、コイル体９０を可動としてもよいし、逆に
コイル体９０を固定、直線界磁体７０を可動としてもよ
い。

【００５９】なお、第５の実施の形態における直線界磁
体７０の代わりに、永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄ及びそれらに挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃを薄肉の円筒状非磁性パイプ部材４１で覆った直
線界磁体４０を用いることも可能である。

【００６０】図１１は本発明の第６の実施の形態を示す
正断面図である。この図において、コイル体１００はボ
ビン１０１に６個の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２
Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆを巻装し、３個の磁電変換
素子２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを搭載したプリント基板２
３を一体に有するものであり、ボビン１０１の貫通孔１
０１Ｄが直線界磁体７０の外周面を直接摺動するように
嵌合されている。このコイル体１００は直線界磁体７０
の軸方向の永久磁石配列ピッチＫに対して３相の駆動コ
イルを２組有することになる。すなわち、右半分の駆動
コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが１組目の３相の駆動コ
イルを構成し、左半分の駆動コイル２２Ｄ，２２Ｅ，２
２Ｆが２組目の３相の駆動コイルを構成しており、前述
の第１の実施の形態におけるコイル体２０を２個連結一
体化したものと実質的に等価である。

【００６１】直線界磁体７０は、同極対向された４個の
永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ及びそれらに
挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを一体化した
円柱形状である。

【００６２】この第６の実施の形態における永久磁石配
列ピッチ（軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋと、コ
イル配列ピッチ（磁電変換素子配列ピッチも同じピッ
チ）Ｐとの関係は前述の第１の実施の形態と同じであ
り、３×Ｐが永久磁石配列ピッチＫに略一致するように
している。また、コイル体１００の細部の構造は前述の
第１の実施の形態におけるコイル体２０に準ずる構造と
することが可能である。

【００６３】この第６の実施の形態によれば、３相の駆
動コイルを２組有することから前述の第１の実施の形態
に比べて推力を倍増することができる。その他の作用効
果は前述した第１の実施の形態と同様である。

【００６４】この第６の実施の形態の場合、直線界磁体
７０を固定、コイル体１００を可動としてもよいし、逆
にコイル体１００を固定、直線界磁体７０を可動として
もよい。

【００６５】なお、第６の実施の形態における直線界磁
体７０の代わりに、永久磁石１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄ及びそれらに挟まれた軟磁性体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃを薄肉の円筒状非磁性パイプ部材４１で覆った直
線界磁体４０を用いることも可能であり、ボビン１０１
に摺動軸受を設ける構造とすることも可能である。

【００６６】図１２は本発明の第７の実施の形態を示す
正断面図である。この図において、コイル体１１０はボ
ビン１１１に２個の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂを巻装
し、２個の磁電変換素子２４Ａ，２４Ｂを搭載したプリ
ント基板２３を一体に有するものであり、ボビン１１１
の貫通孔１１１Ｄが直線界磁体１２０の外周面を直接摺
動するように嵌合されている。直線界磁体１２０は同極
対向の永久磁石１１間に軟磁性体１２を設けた構造を繰
り返し有する長尺の直線界磁体である。

【００６７】前記コイル体１１０は直線界磁体１２０の
軸方向の永久磁石配列ピッチＫに対して２個の駆動コイ
ル２２Ａ，２２Ｂを持ち、すなわち２相の駆動コイルを
有することになる。

【００６８】この第７の実施の形態における永久磁石配
列ピッチ（軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋと、コ
イル配列ピッチ（磁電変換素子配列ピッチも同じピッ
チ）Ｐとの関係は、２×Ｐが永久磁石配列ピッチＫに略
一致するようにしている。また、コイル体１１０の細部
の構造は前述の第１の実施の形態におけるコイル体２０
に準ずる構造とすることが可能である。

【００６９】この第７の実施の形態によれば、コイル体
１１０が２相の駆動コイルを有することから、駆動コイ
ル及び磁電変換素子の個数が最も少なくて済み、構造の
簡素化を図ることができる。その他の作用効果は前述し
た第１の実施の形態と同様である。

【００７０】この第７の実施の形態の場合、直線界磁体
１２０を固定、コイル体１１０を可動としてもよいし、
逆にコイル体１１０を固定、直線界磁体１２０を可動と
してもよい。

【００７１】なお、第７の実施の形態における直線界磁
体１２０の代わりに、永久磁石１１及びそれらに挟まれ
た軟磁性体１２を薄肉の円筒状非磁性パイプ部材で覆っ
た直線界磁体を用いることも可能であり、ボビン１１１
に摺動軸受を設ける構造とすることも可能である。

【００７２】図１３は本発明の第８の実施の形態を示す
正断面図である。この図において、コイル体１３０はボ
ビン１３１に４個の駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２
Ｃ，２２Ｄを巻装し、４個の磁電変換素子２４Ａ，２４
Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを搭載したプリント基板２３を一体
に有するものであり、ボビン１３１の貫通孔１３１Ｄが
直線界磁体１４０の外周面を直接摺動するように嵌合さ
れている。直線界磁体１４０は同極対向の永久磁石１４
１間に比較的長さの大きな軟磁性体１４２を設けた構造
を繰り返し有する長尺の直線界磁体である。

【００７３】前記コイル体１３０は直線界磁体１４０の
軸方向の永久磁石配列ピッチＫに対して４個の駆動コイ
ル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄを持ち、すなわち４
相の駆動コイルを有することになる。

【００７４】この第８の実施の形態における永久磁石配
列ピッチ（軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋと、コ
イル配列ピッチ（磁電変換素子配列ピッチも同じピッ
チ）Ｐとの関係は、４×Ｐが永久磁石配列ピッチＫに略
一致するようにしている。また、コイル体１３０の細部
の構造は前述の第１の実施の形態におけるコイル体２０
に準ずる構造とすることが可能である。

【００７５】この第８の実施の形態によれば、コイル体
１３０が４相の駆動コイルを有することから、駆動コイ
ル及び磁電変換素子の個数は増加するが、２相又は３相
の駆動コイルを有する場合よりも推力変動を少なくする
ことができる。すなわち、２相の場合には２相の駆動コ
イルのいずれか一方に選択的に通電することになり、３
相の駆動コイルの場合には図６のように３相の駆動コイ
ルのうちの２相に選択的に通電することになるのに対し
て、４相の駆動コイルの場合には４相の駆動コイルのう
ちの３相に選択的に通電することになるからであり、相
数が増加するのに伴い推力変動が減少するとともに駆動
コイルの利用率を高めることができる。その他の作用効
果は前述した第１の実施の形態と同様である。

【００７６】この第８の実施の形態の場合、直線界磁体
１４０を固定、コイル体１３０を可動としてもよいし、
逆にコイル体１３０を固定、直線界磁体１４０を可動と
してもよい。

【００７７】なお、第８の実施の形態における直線界磁
体１４０の代わりに、永久磁石１４１及びそれらに挟ま
れた軟磁性体１４２を薄肉の円筒状非磁性パイプ部材で
覆った直線界磁体を用いることも可能であり、ボビン１
３１に摺動軸受を設ける構造とすることも可能である。

【００７８】前述した各実施の形態では、直線界磁体を
構成する各永久磁石及び軟磁性体が円柱乃至円板形状で
あり、直線界磁体は円柱形状である場合を例示している
が、直線界磁体を構成する各永久磁石及び軟磁性体が角
柱乃至角板形状であり、直線界磁体が角柱形状であって
もよく、コイル体側のボビンもそれに合わせて角穴状の
貫通孔を有する構成とすることができる。この場合、ボ
ビンの回転方向の動きを防止することができる。

【００７９】なお、図１２の第７の実施の形態はコイル
体１１０が有する駆動コイルの相数が２相であり、駆動
コイル２２Ａ，２２Ｂ全体で２相の駆動コイルを１組構
成しており、図１乃至図１０の第１乃至第５の実施の形
態は駆動コイルの相数が３相であり、駆動コイル２２
Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ全体で３相の駆動コイルを１組構成
しており、図１１の第６の実施の形態は駆動コイルの相
数が３相であり、駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，
２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ全体で３相の駆動コイルを２組
構成しており、図１３の第８の実施の形態は駆動コイル
の相数が４相であり、駆動コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２
Ｃ，２２Ｄ全体で４相の駆動コイルを１組構成している
が、原理上はコイル体が５相以上の駆動コイルを持つ構
成とすることができる。

【００８０】そこで、コイル体が有する駆動コイルの相
数をＭ（但し、Ｍは２以上の整数）、組数をＮ（但し、
Ｎは１以上の整数）とし、隣設する駆動コイルのコイル
配列ピッチをＰとしたとき、コイル体が有する駆動コイ
ルの総個数はＭ×Ｎとなり（例えば図１１の如く３相が
２組で６個）、隣設する永久磁石の永久磁石配列ピッチ
（軟磁性体配列ピッチも同じピッチ）Ｋは略Ｍ×Ｐとな
る。また、磁電変換素子の個数はＭ個あればよく、磁電
変換素子の配列ピッチはコイル配列ピッチＰに一致す
る。

【００８１】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００８２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の永久磁石
式リニアモータによれば、隣設する永久磁石の磁極が同
極対向するように配置された少なくとも３個の永久磁石
間に軟磁性体をそれぞれ設けた構造を有する直線界磁体
と、該直線界磁体の外周を相対的に移動可能な複数の駆
動コイルを一体的に有するコイル体と、該コイル体と一
体的に移動可能な複数の磁電変換素子とを備え、前記磁
電変換素子で前記直線界磁体から発生する磁束を検知し
て前記直線界磁体と前記コイル体の相対位置を検出し、
前記磁電変換素子の検出出力に応じて前記駆動コイルに
選択的に電流を流すように構成することで、前記直線界
磁体の軸方向に推力を発生可能である。

【００８３】前記直線界磁体に用いる永久磁石は、その
軸方向に着磁すれば良く、径方向着磁に比較して製造容
易であり、小型で強力な磁力を発生可能な希土類永久磁
石のように保磁力の大きな永久磁石の採用が可能であ
る。

【００８４】また、前記直線界磁体において、同極対向
の永久磁石間に軟磁性体が挟まれているため、軟磁性体
の側面に垂直な方向に磁束が発生し、直線界磁体の外周
を周回するように巻回された駆動コイルに電流を流す
と、通電された駆動コイルのほぼ全ての部分でローレン
ツ力が発生し、前記直線界磁体の軸方向に推力を得るこ
とができるので、推力を発生しない部分（無効導体部）
を殆どなくして効率良く、電流を推力に変換できる。

【００８５】さらに、隣設する前記駆動コイルのコイル
配列ピッチと隣設する前記磁電変換素子の素子配列ピッ
チとを等しくし、かつ前記磁電変換素子の少なくとも１
つを、いずれかの隣設する駆動コイルの中間位置に配設
する場合には、１個の駆動コイルに対し同一方向の磁束
が加わる範囲で電流を流すことができ、個々の駆動コイ
ルから得られる推力を大きくできるとともに所定の方向
に揃えることができる。

【００８６】さらに、前記直線界磁体と前記コイル体の
任意の位置関係において同一方向の推力を発生可能で、
発生する推力の合計の変動を抑えることができる。

【００８７】前記コイル体は直線界磁体に対する任意の
位置で、同一方向の推力を発生可能なので、３個を越え
る永久磁石及びそれらに挟まれた軟磁性体によって構成
された長尺の直線界磁体においても、連続して推力を得
ることができる。従って、永久磁石と軟磁性体の個数を
増減するだけで、可動ストローク長さの変更が容易で、
非常に長いストロークで駆動することも可能となる。

【００８８】また、永久磁石と軟磁性体を交互に積層す
るだけで前記直線界磁体を構成でき、ボビン又はホルダ
ーに駆動コイルを設けるだけでコイル体を構成できるの
で、構造の簡略化、小型化を図ることができ、原価低減
にも有効である。

【００８９】さらに、ボール螺子を用いた直線駆動機構
等に比較して動作音が小さく、静寂性を確保できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第１の
実施の形態の全体構成を示す斜視図である。

【図２】第１の実施の形態の直線界磁体部分の外観を示
す斜視図である。

【図３】第１の実施の形態におけるコイル体側の正断面
図である。

【図４】第１の実施の形態におけるコイル体の底面側を
示す部分斜視図である。

【図５】第１の実施の形態の動作説明のための概略構成
を示す正断面図である。

【図６】第１の実施の形態の動作説明図である。

【図７】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第２の
実施の形態を示す正断面図である。

【図８】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第３の
実施の形態を示す正断面図である。

【図９】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第４の
実施の形態を示す正断面図である。

【図１０】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第５
の実施の形態を示す正断面図である。

【図１１】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第６
の実施の形態を示す正断面図である。

【図１２】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第７
の実施の形態を示す正断面図である。

【図１３】本発明に係る永久磁石式リニアモータの第８
の実施の形態を示す正断面図である。

【図１４】従来例のリニアモータを示す斜視図である。

【符号の説明】

１０，４０，７０，１２０，１４０直線界磁体１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，１４１永久
磁石１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１４２軟磁性体２０，５０，６０，８０，９０，１００，１１０，１３
０コイル体２１，５１，６１，８１，１０１，１１１，１３１ボ
ビン２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ駆
動コイル２３プリント基板２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ磁電変換素子３０固定台４１パイプ部材６２摺動軸受９１スペーサ９２ホルダー９３サイド板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隣設する永久磁石の磁極が同極対向する
ように配置された少なくとも３個の永久磁石間に軟磁性
体をそれぞれ設けた構造を有する直線界磁体と、該直線
界磁体の外周を相対的に移動可能な複数の駆動コイルを
一体的に有するコイル体と、該コイル体と一体的に移動
可能な複数の磁電変換素子とを備え、前記磁電変換素子
で前記直線界磁体から発生する磁束を検知して前記直線
界磁体と前記コイル体の相対位置を検出し、前記磁電変
換素子の検出出力に応じて前記駆動コイルに選択的に電
流を流すことで前記直線界磁体の軸方向に推力を発生す
ることを特徴とする永久磁石式リニアモータ。
【請求項２】隣設する前記駆動コイルのコイル配列ピ
ッチと隣設する前記磁電変換素子の素子配列ピッチとを
等しくし、かつ前記磁電変換素子の少なくとも１つを、
いずれかの隣設する駆動コイルの中間位置に配設した請
求項１記載の永久磁石式リニアモータ。
【請求項３】隣設する前記駆動コイルのコイル配列ピ
ッチをＰとしたとき、隣設する前記軟磁性体の軟磁性体
配列ピッチを略Ｍ×Ｐとし（但し、Ｍは２以上の整
数）、前記駆動コイルの個数をＭ×Ｎとするとともに
（但し、Ｎは１以上の整数）、前記磁電変換素子をＭ個
とした請求項２記載の永久磁石式リニアモータ。
【請求項４】前記コイル体はボビンに前記複数の駆動
コイルを巻装したもので、前記直線界磁体は外周面が非
磁性パイプ部材で覆われており、前記パイプ部材の外周
面を前記ボビンが直接摺動することで前記コイル体が相
対的に直線移動するように案内されている請求項１，２
又は３記載の永久磁石式リニアモータ。
【請求項５】前記コイル体は摺動軸受を有し、前記直
線界磁体は外周面が非磁性パイプ部材で覆われており、
前記パイプ部材の外周面を前記摺動軸受が直接摺動する
ことで前記コイル体が相対的に直線移動するように案内
されている請求項１，２又は３記載の永久磁石式リニア
モータ。
【請求項６】前記ボビンに凹部が形成され、該凹部に
対応する位置に前記磁電変換素子が配置されている請求
項４記載のリニアモータ。
【請求項７】前記コイル体はプリント基板を一体的に
有し、該プリント基板に前記磁電変換素子が位置決めさ
れると共にはんだ接続されている請求項１，２，３，
４，５又は６記載の永久磁石式リニアモータ。