JPH09172790A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH09172790A JPH09172790A JP8343089A JP34308996A JPH09172790A JP H09172790 A JPH09172790 A JP H09172790A JP 8343089 A JP8343089 A JP 8343089A JP 34308996 A JP34308996 A JP 34308996A JP H09172790 A JPH09172790 A JP H09172790A
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- JP
- Japan
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- rotor
- vibrator
- ultrasonic motor
- oscillator
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動子の稜線部によって相対運動部材が摩耗
する。 【解決手段】 円環状の振動子Ｓと、振動子Ｓに加圧接
触されて振動子Ｓとの間で相対運動を行う円環状の相対
運動部材３とを備えた超音波モータであって、相対運動
部材３は、振動子Ｓの少なくとも一方の稜線部に接触し
ないように加圧接触されている。
する。 【解決手段】 円環状の振動子Ｓと、振動子Ｓに加圧接
触されて振動子Ｓとの間で相対運動を行う円環状の相対
運動部材３とを備えた超音波モータであって、相対運動
部材３は、振動子Ｓの少なくとも一方の稜線部に接触し
ないように加圧接触されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動を用いて駆動
力を得る超音波モータに関する。
力を得る超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の超音波モータは、例えば、特開昭
５９−２０４４７７号公報に記載されているように、圧
電体と弾性体で構成される振動子とロータとが加圧接触
した構造を有している。そして、圧電体により弾性体に
振動を発生させてロータを回転させていた。
５９−２０４４７７号公報に記載されているように、圧
電体と弾性体で構成される振動子とロータとが加圧接触
した構造を有している。そして、圧電体により弾性体に
振動を発生させてロータを回転させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】超音波モータは、振動
子とロータとの摩擦力によってロータを駆動するため、
振動子の稜線部と接触する部分においてロータの摩耗が
激しいという現象が起きていた。そのため、超音波モー
タの所望の性能をが得られなくなり、耐久性を低下させ
る一因となっていた。本発明は、このような従来の問題
点を解決することを目的とする。
子とロータとの摩擦力によってロータを駆動するため、
振動子の稜線部と接触する部分においてロータの摩耗が
激しいという現象が起きていた。そのため、超音波モー
タの所望の性能をが得られなくなり、耐久性を低下させ
る一因となっていた。本発明は、このような従来の問題
点を解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的のために、本発
明では、円環状の振動子と、前記振動子に加圧接触され
て該振動子との間で相対運動を行う円環状の相対運動部
材とを備えた超音波モータであって、前記相対運動部材
が、前記振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触されている超音波モータを提供する。
明では、円環状の振動子と、前記振動子に加圧接触され
て該振動子との間で相対運動を行う円環状の相対運動部
材とを備えた超音波モータであって、前記相対運動部材
が、前記振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触されている超音波モータを提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１（Ａ）は、本発明の一実施形
態である超音波モータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音
波モータの断面図である。図２は、前記超音波モータを
ユニット化した時の断面図である。図３（Ａ）および図
３（Ｂ）は、前記超音波モータの回転子の形状を示す構
造図である。図４は、前記超音波モータの駆動原理を示
す説明図である。図５は、前記超音波モータの入力周波
数と振幅との特性曲線を示すグラフである。
態である超音波モータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音
波モータの断面図である。図２は、前記超音波モータを
ユニット化した時の断面図である。図３（Ａ）および図
３（Ｂ）は、前記超音波モータの回転子の形状を示す構
造図である。図４は、前記超音波モータの駆動原理を示
す説明図である。図５は、前記超音波モータの入力周波
数と振幅との特性曲線を示すグラフである。
【０００６】図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すよう
に、振動子Ｓは電気機械変換素子としての圧電素子２と
その圧電素子２に励振され進行波（表面波）を生じる弾
性体１とからなる。そして、この振動子Ｓ上に弾性体１
と圧接するリング状回転子３が設置され、この振動子Ｓ
とリング状回転子３とから超音波モータが構成されてい
る。このリング状回転子３は、幅が一定の円環であり、
その中心Ｏ’が振動子Ｓの中心Ｏに対して偏心するよう
に設けられている。そして、このリング状回転子３は振
動子Ｓの中心Ｏを回転中心として回動されるように配置
されている。この時、このリング状回転子３は、固定さ
れた振動子Ｓ上を回動するが、振動子Ｓに対して任意の
偏心量δで振れ回ることになる。このように、回転子３
の中心と振動子Ｓの中心とを偏心させて回転子３を回動
させると、図１（Ｂ）に示す断面図において、振動子Ｓ
の表面１ａ上を振動子Ｓと回転子３との接触部１ｂが、
回転子３の回動に伴って回転中心Ｏに対して偏心量δの
片振幅で単振動することになる。すなわち、振動子Ｓの
表面１ａ上で回転子３が接触している摩擦接触面が、回
転子３の回動により表面１ａ上を径方向に偏心量δの範
囲で移動して時々刻々と振動子Ｓとの接触面が変化して
いることになる。従って、従来のように、回転子３と振
動子Ｓとの接触面が常に変わらずに摩擦接触されている
のとは違い、振動子３の表面１ａ上を回転子３の接触面
が時々刻々と移動するので、振動子Ｓの一ヶ所が摩耗に
より削られることがなく、振動子Ｓの表面１ａ全体を効
率良く使うことができるようになっている。この偏心量
δは次に述べる条件を満足する範囲で任意に決定され
る。
に、振動子Ｓは電気機械変換素子としての圧電素子２と
その圧電素子２に励振され進行波（表面波）を生じる弾
性体１とからなる。そして、この振動子Ｓ上に弾性体１
と圧接するリング状回転子３が設置され、この振動子Ｓ
とリング状回転子３とから超音波モータが構成されてい
る。このリング状回転子３は、幅が一定の円環であり、
その中心Ｏ’が振動子Ｓの中心Ｏに対して偏心するよう
に設けられている。そして、このリング状回転子３は振
動子Ｓの中心Ｏを回転中心として回動されるように配置
されている。この時、このリング状回転子３は、固定さ
れた振動子Ｓ上を回動するが、振動子Ｓに対して任意の
偏心量δで振れ回ることになる。このように、回転子３
の中心と振動子Ｓの中心とを偏心させて回転子３を回動
させると、図１（Ｂ）に示す断面図において、振動子Ｓ
の表面１ａ上を振動子Ｓと回転子３との接触部１ｂが、
回転子３の回動に伴って回転中心Ｏに対して偏心量δの
片振幅で単振動することになる。すなわち、振動子Ｓの
表面１ａ上で回転子３が接触している摩擦接触面が、回
転子３の回動により表面１ａ上を径方向に偏心量δの範
囲で移動して時々刻々と振動子Ｓとの接触面が変化して
いることになる。従って、従来のように、回転子３と振
動子Ｓとの接触面が常に変わらずに摩擦接触されている
のとは違い、振動子３の表面１ａ上を回転子３の接触面
が時々刻々と移動するので、振動子Ｓの一ヶ所が摩耗に
より削られることがなく、振動子Ｓの表面１ａ全体を効
率良く使うことができるようになっている。この偏心量
δは次に述べる条件を満足する範囲で任意に決定され
る。
【０００７】この条件とは、回転子３が偏心して回動し
た場合に、常に振動子Ｓの表面１ａ上を回転子３のリン
グがはみ出ずに回動するように設定することである。こ
のとき、回転子３は、振動子Ｓの内周側および外周側の
稜線部とは接触することなく、振動子Ｓに接触すること
になる。そのため、稜線部との接触による回転子３の摩
耗を防止でき、超音波モータの耐久性が向上する。
た場合に、常に振動子Ｓの表面１ａ上を回転子３のリン
グがはみ出ずに回動するように設定することである。こ
のとき、回転子３は、振動子Ｓの内周側および外周側の
稜線部とは接触することなく、振動子Ｓに接触すること
になる。そのため、稜線部との接触による回転子３の摩
耗を防止でき、超音波モータの耐久性が向上する。
【０００８】ここで、振動子Ｓの外径をＤ、内径をｄと
し、回転子３の外径をＤ’、内径をｄ’とし、振動子Ｓ
のリング幅をａ、リング状回転子３のリング幅をｂとす
る。このとき、条件としては、
し、回転子３の外径をＤ’、内径をｄ’とし、振動子Ｓ
のリング幅をａ、リング状回転子３のリング幅をｂとす
る。このとき、条件としては、
【０００９】
【数１】
【００１０】であるように偏心量δを設定する。図２
は、図１の超音波モータをユニットに構成した構造図で
ある。超音波モータは筒状のケース１０ａおよび１０ｂ
内に収められている。ケース１０ａの底には付勢手段
（例えばゴム等の弾性部材）６が配置され、その付勢手
段の上に付勢手段６の付勢力を均等に伝えるための円板
５が、また、この円板５の上に超音波モータの振動子Ｓ
の振動を吸振する保護用緩衝材４ａが固設されている。
そして、保護用緩衝材４ａ上に超音波モータの振動子Ｓ
が設置されている。
は、図１の超音波モータをユニットに構成した構造図で
ある。超音波モータは筒状のケース１０ａおよび１０ｂ
内に収められている。ケース１０ａの底には付勢手段
（例えばゴム等の弾性部材）６が配置され、その付勢手
段の上に付勢手段６の付勢力を均等に伝えるための円板
５が、また、この円板５の上に超音波モータの振動子Ｓ
の振動を吸振する保護用緩衝材４ａが固設されている。
そして、保護用緩衝材４ａ上に超音波モータの振動子Ｓ
が設置されている。
【００１１】振動子Ｓの中心はケース１０ａおよび１０
ｂの中心と一致するように配設されている。また、振動
子Ｓの内径側には、ケース１０ａの内筒に固設されても
超音波モータの振動をケース１０ａに伝播させないよう
に構成された支持部７を設けられている。この支持部７
は、振動子Ｓの内側から突出し、図２に示すようにケー
ス１０ａの内筒に嵌め合わされるように筒状に形成され
ている。支持部７は、ケース１０ａに対して振動子３の
位置決めと固定支持とを行うものであって、振動子Ｓと
一体に形成されていてもよいし、別部材で形成されてい
てもよい。
ｂの中心と一致するように配設されている。また、振動
子Ｓの内径側には、ケース１０ａの内筒に固設されても
超音波モータの振動をケース１０ａに伝播させないよう
に構成された支持部７を設けられている。この支持部７
は、振動子Ｓの内側から突出し、図２に示すようにケー
ス１０ａの内筒に嵌め合わされるように筒状に形成され
ている。支持部７は、ケース１０ａに対して振動子３の
位置決めと固定支持とを行うものであって、振動子Ｓと
一体に形成されていてもよいし、別部材で形成されてい
てもよい。
【００１２】振動子Ｓ上には中心が偏心量δだけ偏心し
ている回転子３が配設され、回転子３上にはその振動を
吸収する緩衝材４ｂが、さらにその緩衝材４ｂ上にリン
グ部材８が固設されている。リング部材８は、回転子３
の回転をスムースに行わせるためのボールレース９を介
してケース１０ｂに配設されている。このリング部材８
は、ケース１０ａおよび１０ｂの中心が回転中心となる
ように、ケース１０ｂの中心と同心に設けられたガイド
溝を有する。そして、このガイド溝にケース１０ｂの中
心を中心にして配設されたボールレース９が嵌まり込む
ことで回転自在に構成されている。すなわち、このリン
グ部材８の形状は、回転子３に固設される側が偏心して
おり、ケース１０ｂと当接する側が振動子Ｓの中心と一
致する偏心リングとなっている。したがって、このユニ
ット化された超音波モータから動力を取り出すには、超
音波モータにより回動されるリング部材８の動力を、こ
のユニットを使う機器に応じて適宜取り出せばよい。例
えば、このユニットをカメラの撮影レンズ鏡筒に使え
ば、絞り羽根の駆動やレンズの駆動等に使用することが
できる。
ている回転子３が配設され、回転子３上にはその振動を
吸収する緩衝材４ｂが、さらにその緩衝材４ｂ上にリン
グ部材８が固設されている。リング部材８は、回転子３
の回転をスムースに行わせるためのボールレース９を介
してケース１０ｂに配設されている。このリング部材８
は、ケース１０ａおよび１０ｂの中心が回転中心となる
ように、ケース１０ｂの中心と同心に設けられたガイド
溝を有する。そして、このガイド溝にケース１０ｂの中
心を中心にして配設されたボールレース９が嵌まり込む
ことで回転自在に構成されている。すなわち、このリン
グ部材８の形状は、回転子３に固設される側が偏心して
おり、ケース１０ｂと当接する側が振動子Ｓの中心と一
致する偏心リングとなっている。したがって、このユニ
ット化された超音波モータから動力を取り出すには、超
音波モータにより回動されるリング部材８の動力を、こ
のユニットを使う機器に応じて適宜取り出せばよい。例
えば、このユニットをカメラの撮影レンズ鏡筒に使え
ば、絞り羽根の駆動やレンズの駆動等に使用することが
できる。
【００１３】なお、本発明の一実施形態として、回転子
３の中心を振動子Ｓの中心に対して偏心させた場合につ
いて説明してきたが、これ以外にも図３（Ａ）および図
３（Ｂ）に示すリング状回転子が考えられる。図３
（Ａ）に示すように、リング状回転子３１は、外径と内
径との中心を偏心させたリング状に構成してもよい。ま
た、図３（Ｂ）に示すように、リング状回転子３２は、
楕円形状に構成してもよい。
３の中心を振動子Ｓの中心に対して偏心させた場合につ
いて説明してきたが、これ以外にも図３（Ａ）および図
３（Ｂ）に示すリング状回転子が考えられる。図３
（Ａ）に示すように、リング状回転子３１は、外径と内
径との中心を偏心させたリング状に構成してもよい。ま
た、図３（Ｂ）に示すように、リング状回転子３２は、
楕円形状に構成してもよい。
【００１４】図４は、振動子Ｓと回転子３との動作原理
を示したもので、振動子Ｓは圧電素子２によって屈曲振
動を起こし、表面に進行波を生じている。この時、振動
子Ｓの進行波は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は
楕円運動をしている。この振動子Ｓに回転子３を圧接し
た場合、回転子３は振動子Ｓによって表面波を生じ、そ
の進行方向は矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は
同様に楕円運動を行う。ここで、振動子Ｓおよび回転子
３はその材質および形状により表面波を発生させる振動
の振幅が変化し、振動子および回転子の振幅を次の３つ
の場合について考える。
を示したもので、振動子Ｓは圧電素子２によって屈曲振
動を起こし、表面に進行波を生じている。この時、振動
子Ｓの進行波は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は
楕円運動をしている。この振動子Ｓに回転子３を圧接し
た場合、回転子３は振動子Ｓによって表面波を生じ、そ
の進行方向は矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は
同様に楕円運動を行う。ここで、振動子Ｓおよび回転子
３はその材質および形状により表面波を発生させる振動
の振幅が変化し、振動子および回転子の振幅を次の３つ
の場合について考える。
【００１５】第一に、振動子Ｓの振幅ＡS が回転子３の
振幅Ａ3 より大きい場合、すなわち図４の状態では、振
動子Ｓと回転子３との接触は、振動子Ｓの波の山と回転
子３の波の谷とになる。この場合は、振動子Ｓと回転子
３との接触点においてはそれぞれの粒子Ｐ１およびＱ１
の運動が反対方向となり、超音波モータの駆動力は大き
くなる。
振幅Ａ3 より大きい場合、すなわち図４の状態では、振
動子Ｓと回転子３との接触は、振動子Ｓの波の山と回転
子３の波の谷とになる。この場合は、振動子Ｓと回転子
３との接触点においてはそれぞれの粒子Ｐ１およびＱ１
の運動が反対方向となり、超音波モータの駆動力は大き
くなる。
【００１６】第二に、振動子Ｓの振幅ＡS と回転子３の
振幅Ａ3 とが等しい場合は、振動子Ｓと回転子３とが全
面で接触することになる。この場合は、振動子Ｓの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、振動子Ｓの振幅ＡS が回
転子３の振幅Ａ3 より小さい場合は、振動子Ｓと回転子
３との接触は、振動子Ｓの波の谷と回転子３の波の山と
になる。この場合は、振動子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１およびＱ１の運動が反対方
向となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図４の
運動方向とは逆方向となる。
振幅Ａ3 とが等しい場合は、振動子Ｓと回転子３とが全
面で接触することになる。この場合は、振動子Ｓの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、振動子Ｓの振幅ＡS が回
転子３の振幅Ａ3 より小さい場合は、振動子Ｓと回転子
３との接触は、振動子Ｓの波の谷と回転子３の波の山と
になる。この場合は、振動子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１およびＱ１の運動が反対方
向となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図４の
運動方向とは逆方向となる。
【００１７】振動子Ｓと回転子３との防振を考えた場
合、回転子３はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、振動子Ｓに比べて防振を行ない難くなっている。し
たがって、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第
三の場合との何方を選択するかを考えると、回転子３の
振幅Ａ3 が振動子Ｓの振幅ＡS より小さくなる第一の場
合の方がより良いことになる。そこで、回転子３の振幅
Ａ3 が振動子Ｓの振幅ＡS より小さする方法を以下に示
す。
合、回転子３はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、振動子Ｓに比べて防振を行ない難くなっている。し
たがって、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第
三の場合との何方を選択するかを考えると、回転子３の
振幅Ａ3 が振動子Ｓの振幅ＡS より小さくなる第一の場
合の方がより良いことになる。そこで、回転子３の振幅
Ａ3 が振動子Ｓの振幅ＡS より小さする方法を以下に示
す。
【００１８】図５は、振動子Ｓの共振周波数をｆS 、回
転子３の共振周波数をｆ3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
振動子Ｓと回転子３との振幅は同一振幅であると仮定す
る。振動子Ｓの共振周波数ｆS で回転子３が振動させら
れる状態では、回転子３の振幅Ａ3 が振動子Ｓの振幅Ａ
S より小さくなる。したがって、振動子Ｓの振幅を１と
した場合に、回転子３の振幅Ａ3 が所望される大きさ１
／Ｘとなるように、回転子３の共振周波数ｆ3を決定す
るように設計すれば良い。
転子３の共振周波数をｆ3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
振動子Ｓと回転子３との振幅は同一振幅であると仮定す
る。振動子Ｓの共振周波数ｆS で回転子３が振動させら
れる状態では、回転子３の振幅Ａ3 が振動子Ｓの振幅Ａ
S より小さくなる。したがって、振動子Ｓの振幅を１と
した場合に、回転子３の振幅Ａ3 が所望される大きさ１
／Ｘとなるように、回転子３の共振周波数ｆ3を決定す
るように設計すれば良い。
【００１９】なお、本実施形態では、振動子Ｓの中心Ｏ
と回転子３の中心Ｏ’とが偏心している構成の超音波モ
ータについて説明したが、本発明はこのような構成に限
定されるものではない。振動子Ｓの中心Ｏと回転子３の
中心Ｏ’とが一致する構成の超音波モータにおいても、
振動子の稜線部に相対運動部材が接触しないように構成
すれば同様の効果を得ることができ、前記偏心の有無に
関わるものではない。
と回転子３の中心Ｏ’とが偏心している構成の超音波モ
ータについて説明したが、本発明はこのような構成に限
定されるものではない。振動子Ｓの中心Ｏと回転子３の
中心Ｏ’とが一致する構成の超音波モータにおいても、
振動子の稜線部に相対運動部材が接触しないように構成
すれば同様の効果を得ることができ、前記偏心の有無に
関わるものではない。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、相対運
動部材が振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触しているので、振動子の稜線部によって
生じる相対運動部材の摩耗が減少する。そのため、超音
波モータの耐久性を高めることができる。
動部材が振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触しているので、振動子の稜線部によって
生じる相対運動部材の摩耗が減少する。そのため、超音
波モータの耐久性を高めることができる。
【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施例である超音波モ
ータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面図
である。
ータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面図
である。
【図２】超音波モータをユニット化したときの断面図で
ある。
ある。
【図３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、前記超音波モ
ータの回転子の形状を示す構造図である。
ータの回転子の形状を示す構造図である。
【図４】超音波モータの駆動原理を示す説明図である。
【図５】超音波モータの入力周波数と振幅との特性曲線
を示すグラフである。
を示すグラフである。
１・・・弾性体 ２・・・圧電素子 ３、３１、３２・・・回転子 Ｓ・・・振動子
Claims (1)
- 【請求項１】 円環状の振動子と、前記振動子に加圧接
触されて該振動子との間で相対運動を行う円環状の相対
運動部材とを備えた超音波モータであって、 前記相対運動部材は、前記振動子の少なくとも一方の稜
線部に接触しないように加圧接触されていることを特徴
とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8343089A JPH09172790A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8343089A JPH09172790A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波モータ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6286612A Division JP2760297B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09172790A true JPH09172790A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=18358862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8343089A Pending JPH09172790A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09172790A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009201191A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110388A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP8343089A patent/JPH09172790A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110388A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009201191A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ |
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