JPH0917364A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH0917364A JPH0917364A JP7160500A JP16050095A JPH0917364A JP H0917364 A JPH0917364 A JP H0917364A JP 7160500 A JP7160500 A JP 7160500A JP 16050095 A JP16050095 A JP 16050095A JP H0917364 A JPH0917364 A JP H0917364A
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- Japan
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- ray
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- current
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/56—Switching-on; Switching-off
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
- H05G1/34—Anode current, heater current or heater voltage of X-ray tube
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線管球の寿命を延ばすことのできるＸ線回
折装置を提供する。 【構成】 Ｘ線管球を制御する管電圧制御手段１１と管
電流制御手段１２を有するＸ線回折装置で、試料に対す
るＸ線の照射と非照射の切替を管電圧のＯＮ／ＯＦＦに
よって行い、管電圧がＯＦＦのときにフィラメントの予
備加熱のための電流を流すフィラメント固定電流供給手
段１３を備え、熱的なストレスによるフィラメントの断
線が起こりにくくした。
折装置を提供する。 【構成】 Ｘ線管球を制御する管電圧制御手段１１と管
電流制御手段１２を有するＸ線回折装置で、試料に対す
るＸ線の照射と非照射の切替を管電圧のＯＮ／ＯＦＦに
よって行い、管電圧がＯＦＦのときにフィラメントの予
備加熱のための電流を流すフィラメント固定電流供給手
段１３を備え、熱的なストレスによるフィラメントの断
線が起こりにくくした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線回折装置に関し、特
にそのＸ線発生装置に関する。
にそのＸ線発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置では、試料に照射するため
のＸ線を発生するＸ線管球と、この管球に所定の管電圧
と管電流を供給するＸ線発生電源装置を備えている。通
常、Ｘ線回折装置に電源を入れて立ち上げるときには、
発生するＸ線の安定化を図るためにＸ線発生電源装置に
も電力を加え、管電圧と管電流を所定の値にしてウォー
ミングアップをしておく。また、Ｘ線管球のフィラメン
ト電流のＯＮ／ＯＦＦをひんぱんに繰り返すとフィラメ
ントに熱的なストレスがかかり切れやすくなるという理
由もあり、従来は一度Ｘ線発生装置を起動した後は一連
の測定・分析作業が終了するまで起動したままにしてお
くことが多かった。ただしＸ線回折パターンの測定や分
析作業が行われていない間は、管球で発生しているＸ線
が試料のおいてある位置、およびその周辺の空間に放射
されないようにするために、Ｘ線管球の周囲をを取り囲
むようにして設けられている管球ホルダに管球を収め、
管球のＸ線取り出し窓に対応した管球ホルダの位置にＸ
線を遮断できるシャッタを設けてあった。そして、Ｘ線
の試料に対する照射／非照射はこのシャッタを開または
閉にすることによって行っていた。
のＸ線を発生するＸ線管球と、この管球に所定の管電圧
と管電流を供給するＸ線発生電源装置を備えている。通
常、Ｘ線回折装置に電源を入れて立ち上げるときには、
発生するＸ線の安定化を図るためにＸ線発生電源装置に
も電力を加え、管電圧と管電流を所定の値にしてウォー
ミングアップをしておく。また、Ｘ線管球のフィラメン
ト電流のＯＮ／ＯＦＦをひんぱんに繰り返すとフィラメ
ントに熱的なストレスがかかり切れやすくなるという理
由もあり、従来は一度Ｘ線発生装置を起動した後は一連
の測定・分析作業が終了するまで起動したままにしてお
くことが多かった。ただしＸ線回折パターンの測定や分
析作業が行われていない間は、管球で発生しているＸ線
が試料のおいてある位置、およびその周辺の空間に放射
されないようにするために、Ｘ線管球の周囲をを取り囲
むようにして設けられている管球ホルダに管球を収め、
管球のＸ線取り出し窓に対応した管球ホルダの位置にＸ
線を遮断できるシャッタを設けてあった。そして、Ｘ線
の試料に対する照射／非照射はこのシャッタを開または
閉にすることによって行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法ではＸ線管
球は実際に試料を測定していないときにも電源を入れっ
ぱなしにしていることが多く、この方法はＸ線の安定化
のためにはよいが管球の実用上の寿命を短くしていると
いう問題点があった。Ｘ線管球を使用しているとタング
ステンでできているフィラメントが徐々に蒸発して管球
のターゲットに付着し、発生するＸ線が本来のターゲッ
ト物質の特性Ｘ線だけでなくタングステンの特性Ｘ線が
混ざってくる。これが回折パターン測定の支障になって
くるとこの管球が使えなくなり寿命が来たということに
なる。また管球ターゲットのタングステンによる汚れを
少なくするために、頻繁にＸ線発生電源のＯＮ／０Ｆ
Ｆ、すなわち管球フィラメント電流のＯＮ／０ＦＦを繰
り返すと、フィラメントの加熱と冷却が繰り返されるの
で熱的なストレスがかかり、フィラメントが断線しやす
くなるという問題点が新たに発生する。
球は実際に試料を測定していないときにも電源を入れっ
ぱなしにしていることが多く、この方法はＸ線の安定化
のためにはよいが管球の実用上の寿命を短くしていると
いう問題点があった。Ｘ線管球を使用しているとタング
ステンでできているフィラメントが徐々に蒸発して管球
のターゲットに付着し、発生するＸ線が本来のターゲッ
ト物質の特性Ｘ線だけでなくタングステンの特性Ｘ線が
混ざってくる。これが回折パターン測定の支障になって
くるとこの管球が使えなくなり寿命が来たということに
なる。また管球ターゲットのタングステンによる汚れを
少なくするために、頻繁にＸ線発生電源のＯＮ／０Ｆ
Ｆ、すなわち管球フィラメント電流のＯＮ／０ＦＦを繰
り返すと、フィラメントの加熱と冷却が繰り返されるの
で熱的なストレスがかかり、フィラメントが断線しやす
くなるという問題点が新たに発生する。
【０００４】本発明の目的は管球ターゲットの汚染を少
なくし、しかもフィラメントの断線を防いで、実質的な
Ｘ線管球の寿命を延ばすことのできるＸ線回折装置を提
供することである。
なくし、しかもフィラメントの断線を防いで、実質的な
Ｘ線管球の寿命を延ばすことのできるＸ線回折装置を提
供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、Ｘ線管球と、この管球に所定の管電圧と
管電流を与えるＸ線発生電源装置と、前記Ｘ線管球から
発生したＸ線を測定試料に照射するか否かを選択する照
射切替手段とを有するＸ線回折装置において、前記照射
切替手段は前記管電圧のＯＮ／ＯＦＦによって照射と非
照射を切り替えるものであり、前記Ｘ線発生電源装置は
管電圧がＯＦＦのときに管球フィラメントに所定の電流
を流すフィラメント固定電流供給手段を備えた。
に、本発明は、Ｘ線管球と、この管球に所定の管電圧と
管電流を与えるＸ線発生電源装置と、前記Ｘ線管球から
発生したＸ線を測定試料に照射するか否かを選択する照
射切替手段とを有するＸ線回折装置において、前記照射
切替手段は前記管電圧のＯＮ／ＯＦＦによって照射と非
照射を切り替えるものであり、前記Ｘ線発生電源装置は
管電圧がＯＦＦのときに管球フィラメントに所定の電流
を流すフィラメント固定電流供給手段を備えた。
【０００６】
【作用】Ｘ線回折パターンの実際の測定を行うときには
所定の管電圧と管電流になるようにＸ線管球を制御する
が、それ以外の時間は管電圧をＯＦＦにすることによっ
てＸ線が発生しないようにするので、その間はターゲッ
トに異物が付着せず汚れなくなる。また管電圧がＯＦＦ
のときにもフィラメントに所定の固定電流が流れるよう
に通電し予備加熱を行うので、管電圧をＯＮ／ＯＦＦし
たときにフィラメントの急激な温度変化がなくなり大き
なストレスがかからない。したがって、管球ターゲット
の汚染が少なくなりフィラメントの断線も起こりにくく
なるので実質的にＸ線管球の寿命が延びることとなる。
所定の管電圧と管電流になるようにＸ線管球を制御する
が、それ以外の時間は管電圧をＯＦＦにすることによっ
てＸ線が発生しないようにするので、その間はターゲッ
トに異物が付着せず汚れなくなる。また管電圧がＯＦＦ
のときにもフィラメントに所定の固定電流が流れるよう
に通電し予備加熱を行うので、管電圧をＯＮ／ＯＦＦし
たときにフィラメントの急激な温度変化がなくなり大き
なストレスがかからない。したがって、管球ターゲット
の汚染が少なくなりフィラメントの断線も起こりにくく
なるので実質的にＸ線管球の寿命が延びることとなる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明のＸ線回折装置の一実施例を示
す図である。Ｘ線管球１は管球ホルダ４の中に収められ
ている。このＸ線管球１のターゲット２で発生したＸ線
５は管球ホルダ４に設けられた窓を通して試料６に当て
られ、この試料６によって回折されたＸ線が検出器７に
よって検出される。試料６と検出器７はθ軸と２θ軸を
有するゴニオメータ（図示していない）にそれぞれ載せ
られており、いわゆるθ−２θ連動などの方法によって
角度走査が行われ、Ｘ線回折パターンを得ることができ
る。なお、図示はしていないが、ターゲット２を冷却す
るための冷却水が管球ホルダ４に設けられたパイプなど
を通して管球１に流されている。
す図である。Ｘ線管球１は管球ホルダ４の中に収められ
ている。このＸ線管球１のターゲット２で発生したＸ線
５は管球ホルダ４に設けられた窓を通して試料６に当て
られ、この試料６によって回折されたＸ線が検出器７に
よって検出される。試料６と検出器７はθ軸と２θ軸を
有するゴニオメータ（図示していない）にそれぞれ載せ
られており、いわゆるθ−２θ連動などの方法によって
角度走査が行われ、Ｘ線回折パターンを得ることができ
る。なお、図示はしていないが、ターゲット２を冷却す
るための冷却水が管球ホルダ４に設けられたパイプなど
を通して管球１に流されている。
【０００８】１０はＸ線発生電源装置でありＸ線管球１
に電力を与え、その管電圧と管電流を制御するものであ
る。通常Ｘ線管球１のターゲット２は接地電位にし、フ
ィラメント３に−１０〜−６０ｋＶ程度の負の電圧をか
ける。フィラメントにかけるこの管電圧はＸ線発生電源
装置１０に含まれる管電圧制御手段１１によって所定の
値に制御されている。またターゲット２からフィラメン
ト３に対して流れる管電流８（すなわちフィラメント３
からターゲット２に向かって流れる電子ビームの電流）
は管電流制御手段１２によって５〜１００ｍＡ程度の所
定の値に制御されている。より具体的にいえば、管電流
８の制御はフィラメント３を加熱するフィラメント電流
９を制御することによってフィラメント３から発生する
熱電子の量を調整して行っている。
に電力を与え、その管電圧と管電流を制御するものであ
る。通常Ｘ線管球１のターゲット２は接地電位にし、フ
ィラメント３に−１０〜−６０ｋＶ程度の負の電圧をか
ける。フィラメントにかけるこの管電圧はＸ線発生電源
装置１０に含まれる管電圧制御手段１１によって所定の
値に制御されている。またターゲット２からフィラメン
ト３に対して流れる管電流８（すなわちフィラメント３
からターゲット２に向かって流れる電子ビームの電流）
は管電流制御手段１２によって５〜１００ｍＡ程度の所
定の値に制御されている。より具体的にいえば、管電流
８の制御はフィラメント３を加熱するフィラメント電流
９を制御することによってフィラメント３から発生する
熱電子の量を調整して行っている。
【０００９】１３はフィラメント固定電流供給手段であ
って、管電圧をＯＦＦすなわちゼロｋＶにしたときにフ
ィラメント３の加熱を維持するために、所定のフィラメ
ント電流９流すためのものである。この時のフィラメン
ト電流９はある程度のフィラメント温度を保つために必
要な最低限の値が望ましい。従来装置では、管電圧をＯ
ＦＦにすると管電流８は流れなくなるので、管電流の設
定がいかなる値であったとしても管電圧がＯＦＦにされ
たらフィラメント電流９もＯＦＦにしてフィラメントが
過剰に加熱されるのを防いでいた。それに対して本発明
のフィラメント固定電流供給手段１３は必要最低限のフ
ィラメント電流９を管電圧がＯＦＦの間も流すようにし
ている。
って、管電圧をＯＦＦすなわちゼロｋＶにしたときにフ
ィラメント３の加熱を維持するために、所定のフィラメ
ント電流９流すためのものである。この時のフィラメン
ト電流９はある程度のフィラメント温度を保つために必
要な最低限の値が望ましい。従来装置では、管電圧をＯ
ＦＦにすると管電流８は流れなくなるので、管電流の設
定がいかなる値であったとしても管電圧がＯＦＦにされ
たらフィラメント電流９もＯＦＦにしてフィラメントが
過剰に加熱されるのを防いでいた。それに対して本発明
のフィラメント固定電流供給手段１３は必要最低限のフ
ィラメント電流９を管電圧がＯＦＦの間も流すようにし
ている。
【００１０】図２は図１のＸ線発生電源装置１０をより
詳細に表した図である。Ｘ線管球２１のターゲット２２
は接地しておき、フィラメント２３に負高圧をかけるこ
とによってフィラメント２３で発生した熱電子がターゲ
ット２２に向かって加速されて衝突し、ターゲット２２
からＸ線が発生する。負の高電圧である管電圧は商用の
交流電源２５をトランスＴ２を介して昇圧し、ダイオー
ドＤ１およびコンデンサＣ１などからなる平滑回路で平
滑した後フィラメント２３にかけられる。一方フィラメ
ント２３から熱電子を発生させるために流すフィラメン
ト電流は、交流電源２５をトランスＴ１でフィラメント
の抵抗値にみあった適当な電圧に変換して供給する。
詳細に表した図である。Ｘ線管球２１のターゲット２２
は接地しておき、フィラメント２３に負高圧をかけるこ
とによってフィラメント２３で発生した熱電子がターゲ
ット２２に向かって加速されて衝突し、ターゲット２２
からＸ線が発生する。負の高電圧である管電圧は商用の
交流電源２５をトランスＴ２を介して昇圧し、ダイオー
ドＤ１およびコンデンサＣ１などからなる平滑回路で平
滑した後フィラメント２３にかけられる。一方フィラメ
ント２３から熱電子を発生させるために流すフィラメン
ト電流は、交流電源２５をトランスＴ１でフィラメント
の抵抗値にみあった適当な電圧に変換して供給する。
【００１１】管電圧を所定の値に制御するのは次のよう
にして行う。フィラメント２３にかけられる管電圧は抵
抗Ｒ１と抵抗Ｒ２によって検出しやすい数ボルト程度の
電圧に分割され、この電圧と管電圧設定回路２６から供
給される基準電圧とを管電圧エラーアンプ２７が比較
し、両者が同じになるように管電圧トリガ回路２８を介
してトランスＴ２の一次側に入れられたサイリスタＳＣ
Ｒ２の導通角を制御することによって行う。このときス
イッチＳ１は端子ａの方につながれている。
にして行う。フィラメント２３にかけられる管電圧は抵
抗Ｒ１と抵抗Ｒ２によって検出しやすい数ボルト程度の
電圧に分割され、この電圧と管電圧設定回路２６から供
給される基準電圧とを管電圧エラーアンプ２７が比較
し、両者が同じになるように管電圧トリガ回路２８を介
してトランスＴ２の一次側に入れられたサイリスタＳＣ
Ｒ２の導通角を制御することによって行う。このときス
イッチＳ１は端子ａの方につながれている。
【００１２】同様に管電流の制御は次のようにして行
う。Ｘ線管球の中を流れる管電流２４は管電流の検出抵
抗Ｒ３によって数ボルト程度の電圧に変換され、この電
圧と管電流設定回路３０から供給される基準電圧とを管
電流エラーアンプ３１が比較し、両者が同じになるよう
に管電流トリガ回路３２を介してトランスＴ１の一次側
に入れられたサイリスタＳＣＲ１の導通角を制御して行
う。ＳＣＲ１の導通角制御によってフィラメント２３に
流れるフィラメント電流が変えられるとフィラメントか
ら発生する熱電子の量が変えられ、結果的にターゲット
２２からフィラメント２３に流れる管電流２４の大きさ
が制御されることになる。このときスイッチＳ２は端子
ａの方につながれている。
う。Ｘ線管球の中を流れる管電流２４は管電流の検出抵
抗Ｒ３によって数ボルト程度の電圧に変換され、この電
圧と管電流設定回路３０から供給される基準電圧とを管
電流エラーアンプ３１が比較し、両者が同じになるよう
に管電流トリガ回路３２を介してトランスＴ１の一次側
に入れられたサイリスタＳＣＲ１の導通角を制御して行
う。ＳＣＲ１の導通角制御によってフィラメント２３に
流れるフィラメント電流が変えられるとフィラメントか
ら発生する熱電子の量が変えられ、結果的にターゲット
２２からフィラメント２３に流れる管電流２４の大きさ
が制御されることになる。このときスイッチＳ２は端子
ａの方につながれている。
【００１３】Ｘ線の試料に対する照射と非照射を切り替
えるのはスイッチＳ１とＳ２を同時に切り替えることに
よって行う。Ｘ線回折パターンの測定状態のときにはス
イッチＳ１とＳ２はそれぞれ端子ａの方に接続されてお
り、管電圧と管電流は所定の値に制御されているが、測
定が終わると、Ｘ線照射／非照射切替手段３４からの指
令によってスイッチＳ１とスイッチＳ２はそれぞれ端子
ｂの方に同時に接続される。このとき管電圧はＯＦＦ設
定回路２９がスイッチＳ１を介して管電圧エラーアンプ
２７に接続されることによってゼロｋＶとなる。一方、
フィラメント２３に流される電流は、フィラメント固定
電流設定回路３３が管電流トリガ回路３２にスイッチＳ
２を介して直接接続されることによってフィラメントの
予備加熱をするのに適当な電流が流される。この時のフ
ィラメント電流はある程度のフィラメント温度を保つた
めに必要な最低限の値でよい。
えるのはスイッチＳ１とＳ２を同時に切り替えることに
よって行う。Ｘ線回折パターンの測定状態のときにはス
イッチＳ１とＳ２はそれぞれ端子ａの方に接続されてお
り、管電圧と管電流は所定の値に制御されているが、測
定が終わると、Ｘ線照射／非照射切替手段３４からの指
令によってスイッチＳ１とスイッチＳ２はそれぞれ端子
ｂの方に同時に接続される。このとき管電圧はＯＦＦ設
定回路２９がスイッチＳ１を介して管電圧エラーアンプ
２７に接続されることによってゼロｋＶとなる。一方、
フィラメント２３に流される電流は、フィラメント固定
電流設定回路３３が管電流トリガ回路３２にスイッチＳ
２を介して直接接続されることによってフィラメントの
予備加熱をするのに適当な電流が流される。この時のフ
ィラメント電流はある程度のフィラメント温度を保つた
めに必要な最低限の値でよい。
【００１４】このときＸ線管球２１には管電圧がかけら
れていないのだから、管電流２４はゼロｍＡであり、Ｘ
線は発生していない。したがって、試料に対するＸ線の
照射と非照射状態が管電圧のＯＮ／ＯＦＦによって行わ
れることになり、従来はＸ線の照射と非照射を切り替え
るために必要でり、管球ホルダなどに設けられていたシ
ャッタ機構が本発明のＸ線回折装置では不要になった。
れていないのだから、管電流２４はゼロｍＡであり、Ｘ
線は発生していない。したがって、試料に対するＸ線の
照射と非照射状態が管電圧のＯＮ／ＯＦＦによって行わ
れることになり、従来はＸ線の照射と非照射を切り替え
るために必要でり、管球ホルダなどに設けられていたシ
ャッタ機構が本発明のＸ線回折装置では不要になった。
【００１５】なお、上記で説明したスイッチＳ１および
Ｓ２は機械的な接点を持つリレーなどだけでなく、半導
体でできた無接点スイッチなどでもよいことはもちろん
である。また図２で説明したＸ線発生電源装置はサイリ
スタによる導通角を制御する位相制御方式の制御例であ
るが、その他にも管電圧と管電流を制御する方式は、高
周波の交流を使用するインバータ方式など種々の変形が
可能である。
Ｓ２は機械的な接点を持つリレーなどだけでなく、半導
体でできた無接点スイッチなどでもよいことはもちろん
である。また図２で説明したＸ線発生電源装置はサイリ
スタによる導通角を制御する位相制御方式の制御例であ
るが、その他にも管電圧と管電流を制御する方式は、高
周波の交流を使用するインバータ方式など種々の変形が
可能である。
【００１６】
【発明の効果】Ｘ線回折パターンの実際の測定を行うと
き以外の時間は管電圧をＯＦＦにすることによってＸ線
が発生しないようにするので、その間はフィラメントか
ら蒸発したタングステンがターゲットに付着せず、ター
ゲット汚染が進行しなくなる。また管電圧がＯＦＦのと
きにもフィラメントに所定の固定電流が流れるように通
電し予備加熱を行うので、管電圧をＯＮ／ＯＦＦしたと
きにフィラメントの急激な温度変化がなくなり大きなス
トレスがかからない。したがって、管球ターゲットの汚
染が少なくなりフィラメントの断線も起こりにくくなる
ので、Ｘ線回折パターンを測定できる時間が多くなり、
実質的にＸ線管球の寿命が延びる。
き以外の時間は管電圧をＯＦＦにすることによってＸ線
が発生しないようにするので、その間はフィラメントか
ら蒸発したタングステンがターゲットに付着せず、ター
ゲット汚染が進行しなくなる。また管電圧がＯＦＦのと
きにもフィラメントに所定の固定電流が流れるように通
電し予備加熱を行うので、管電圧をＯＮ／ＯＦＦしたと
きにフィラメントの急激な温度変化がなくなり大きなス
トレスがかからない。したがって、管球ターゲットの汚
染が少なくなりフィラメントの断線も起こりにくくなる
ので、Ｘ線回折パターンを測定できる時間が多くなり、
実質的にＸ線管球の寿命が延びる。
【００１７】さらにＸ線の試料に対する照射と非照射は
管電圧のＯＮ／ＯＦＦで行うので、従来技術が機械的な
シャッタの開閉で照射と非照射の切替を行っていたこと
に比べて、Ｘ線回折装置としてシャッタ機構が省けるの
でコスト低減とメンテナンスの容易化がはかれる。
管電圧のＯＮ／ＯＦＦで行うので、従来技術が機械的な
シャッタの開閉で照射と非照射の切替を行っていたこと
に比べて、Ｘ線回折装置としてシャッタ機構が省けるの
でコスト低減とメンテナンスの容易化がはかれる。
【図１】本発明のＸ線回折装置の一実施例である。
【図２】本発明のＸ線発生電源装置の部分をより詳細に
表した図である。
表した図である。
１…Ｘ線管球 ２…ターゲット ３…フィラメント ４…管球ホルダ ５…Ｘ線 ６…試料 ７…検出器 ８…管電流 ９…フィラメント電流 １０…Ｘ線発生電源装置 １１…管電圧制御手段 １２…管電流制御手段 １３…フィラメント固定電流供給手段 ２１…Ｘ線管球 ２２…ターゲット ２３…フィラメント ２４…管電流 ２５…交流電源 ２６…管電圧設定回路 ２７…管電圧エラーアンプ ２８…管電圧トリガ回路 ２９…ＯＦＦ設定回路 ３０…管電流設定回路 ３１…管電流エラーアンプ ３２…管電流トリガ回路 ３３…フィラメント固定電流設定回路 ３４…Ｘ線照射／非照射切替手段
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線管球と、この管球に所定の管電圧と
管電流を与えるＸ線発生電源装置と、前記Ｘ線管球から
発生したＸ線を測定試料に照射するか否かを選択する照
射切替手段とを有するＸ線回折装置において、前記照射
切替手段は前記管電圧のＯＮ／ＯＦＦによって照射と非
照射を切り替えるものであり、前記Ｘ線発生電源装置は
管電圧がＯＦＦのときに管球フィラメントに所定の電流
を流すフィラメント固定電流供給手段を備えていること
を特徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7160500A JPH0917364A (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | Ｘ線回折装置 |
| DE19625418A DE19625418A1 (de) | 1995-06-27 | 1996-06-25 | Röntgenstrahlen-Beugungsmesser |
| US08/668,336 US5727043A (en) | 1995-06-27 | 1996-06-25 | X-ray diffractometer |
| NL1003447A NL1003447C2 (nl) | 1995-06-27 | 1996-06-27 | Röntgendiffractometer. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7160500A JPH0917364A (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | Ｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917364A true JPH0917364A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15716288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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- 1996-06-27 NL NL1003447A patent/NL1003447C2/nl not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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