JPH09178492A

JPH09178492A - 圧電振動体

Info

Publication number: JPH09178492A
Application number: JP7341439A
Authority: JP
Inventors: Koki Ashida; 幸喜芦田; Michiaki Nishimura; 道明西村
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1995-12-27
Filing date: 1995-12-27
Publication date: 1997-07-11

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電振動素子を基台に安定且つ簡単に接合
でき、しかも、各振動部内で発生するスプリアス振動を
有効に抑制できる圧電振動体を提供する。【解決手段】駆動電極２１〜２４、３１〜３４が形成
された駆動振動枝２、３、駆動入力電極４１、５１が形
成された２つの入力補強枝４、５とから成る駆動側振動
部１Ａと、検出電極６１〜６４、７１〜７４が形成され
た検出振動枝６、７、検出出力電極８１、９１が形成さ
れた２つの出力補強枝８、９とから成る検出側振動部と
が、中央結合基部１Ｃの対向しあう一対の端面に夫々一
体的に配置して成る圧電振動素子１０と、前記２つの入
力補強枝４、５及び２つの出力補強枝６、７と接合する
基台２０とから成る圧電振動体である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、角速度センサに用
いる圧電振動体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カメラのブレ補正、自動車のナビゲーシ
ョン、移動体の姿勢制御に用いられる角速度センサが種
々提案されている。

【０００３】本出願人は、駆動電極が形成された２つの
駆動振動枝、駆動入力電極が形成された１つの入力側中
間保持枝、２つの駆動振動枝の外側に配置された２つの
補強枝とから成る駆動側振動部と、検出電極が形成され
た２つの検出振動枝、検出出力電極が形成された１つの
出力側中間保持枝、２つの検出振動枝の外側に配置され
た２つの補強枝とから成る検出側振動部とが、中央結合
基部２の対向しあう一対の端面に夫々一体的に配置して
成る圧電振動素子を提案した。

【０００４】このような圧電振動素子は、実際の装置に
実装する際に実装を容易にするために基台に載置されて
用いられ、圧電振動素子と基台とで圧電振動体を構成す
る。

【０００５】基台は、その表面に、圧電振動素子の入力
側中間保持枝の前記駆動入力電極及び出力側中間保持枝
の検出出力電極と電気的に接続し、且つ機械的に接合す
るための配線パターンが形成されたて構成されていた。

【０００６】尚、基台の表面、例えば上述の電気的な接
続を達成する部分には、少なくとも駆動振動枝、検出振
動枝と基台との間に、振動可能な空間を確保するために
突起部、例えば導電性スペーサーが配置されていた。

【０００７】即ち、上述の圧電振動体では、圧電基板の
幅方向における中央部分で、長手方向における両端部付
近で、２点支持によって基台と搭載されていた。

【０００８】このような圧電振動体は、圧電振動素子の
駆動側振動部の駆動電極に、所定電気的な信号が与えら
れると、所定共振周波数の音叉振動が発生する。尚、こ
の所定電気的な信号は、例えば基台の配線パターン、駆
動側振動部の駆動入力電極、駆動電極を介して、外部回
路から与えられる。

【０００９】この圧電振動素子の駆動側振動部が音叉振
動している状態で、圧電振動素子に回転運動（角速度）
が加わわると、該音叉振動にコリオリの力が作用して、
検出側振動部に音叉振動と異なる振動、例えば、バタ足
振動やベンディング振動が発生する。

【００１０】例えば、バタ足振動は、回転運動の角速度
に比例した振幅で、圧電基板の平面に対して垂直方向
に、且つ２つの駆動側振動枝が交互対象に振動する。

【００１１】このバタ足振動を検出側振動部の検出電極
により、電気信号に変換することにより、所定角速度に
対応した検出信号を検出出力電極から抽出することがで
きる。

【００１２】従来、駆動振動枝の外側に配置していた２
つの補強枝は、この補強枝を形成することにより、中間
結合基部の幅方向の寸法を大きくして、中間結合基部部
分の剛性を向上させるために作用する。

【００１３】これは、特にバタ足振動が発生する中間結
合基部部分に、捩じれ応力が発生してしまい、械結的共
振尖鋭度（Ｑ値）を低下させ、出力感度を低下すること
を防止していた。

【００１４】このような出力感度の制御や駆動側振動部
の基本音叉振動が検出側振動部に直接伝搬したり、ま
た、検出側振動部のバタ足振動が駆動側振動部の基本音
叉振動に直接伝搬し影響を与えたりしないように制御す
るためには、夫々の振動部の振動（基本音叉振動、バタ
足振動）の固有共振周波数の設定が重要となる。例え
ば、両振動部の固有共振周波数の変位差Δｆを２００〜
３００Ｈｚ、例えば２５０Ｈｚなどである。

【００１５】このような周波数の変位差を所定値とする
ためには、各振動部の固有共振周波数を調整すればよ
い。具体的には、一方の振動部の振動枝の先端部分の端
面を研磨除去して、実質的に振動枝の質量を低下させ
る。この固有共振周波数の制御は、周波数を上げる一方
方向の調整となるが、固有共振周波数を高く設定してい
る例えば、駆動側振動部のみを周波数調整を行えば、そ
の変位差を広げることができ、逆に、固有共振周波数を
低く設定している例えば、検出側振動部のみを周波数調
整を行えば、その変位差を狭くすることができる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の圧電振
動体において、圧電振動素子と基台との機械的な接合
が、２つの中間保持枝の先端部分で行われた２点支持の
構造であり、上述の駆動側振動部と検出側振動部との関
係は、上述の共振周波数の制御が重要となるものの、実
際には、駆動側振動部を構成する駆動振動枝と補強枝間
にも基本音叉振動とスプリアス振動が発生してしまう。
特に、スプリアス振動は、固有共振周波数との対応しに
くいため、スプリアス振動の抑制が非常に困難であっ
た。このよう名スプリアス振動は、駆動側振動部に限ら
ず、検出側振動部についても同様であった。

【００１７】また、このような圧電振動体を駆動させる
ためには、２つの駆動側入力電極が必要（交番電圧を入
力するため）また、２つの検出側出力電極が必要（電位
差を得るため）となる。これを駆動側中間保持枝、検出
側中間保持枝に形成し、且つ基台との電気的な接続を簡
単化するために、各中間保持枝の基台対向面（下側主
面）に、２つの入出力電極を形成すると、電極間の間隔
が非常に狭くなり、短絡などの問題が発生してしまうこ
とが考えられる。

【００１８】本発明は、上述の問題点に鑑みて案出され
たものであり、その目的は、圧電振動素子を基台に安定
且つ簡単に接合でき、しかも、各振動部内で発生するス
プリアス振動を有効に抑制でき、出力感度を向上させる
ことができる圧電振動体を提供することになる。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は、駆動電極が形
成された駆動振動枝及び両主面に配置された駆動入力電
極を有する２つの入力補強枝とから成る駆動側振動部
と、検出電極が形成された検出振動枝及び両主面に配置
された検出出力電極を有する２つの出力補強枝とから成
る検出側振動部とが、中央結合基部の対向しあう一対の
端面に夫々一体的に配置して成る圧電振動素子と、表面
に配線パターン及び導電性突起部が形成された基台に、
前記導電性突起部と駆動入力電極、検出出力電極とが電
気的に接続し、且つ機械的に接合するようにして搭載さ
せた圧電振動体である。

【００２０】

【作用】本発明によれば、駆動側振動部、検出側振動部
は、２つの振動枝と２つの補強枝とから構成されてお
り、駆動側振動部の２つの補強枝には駆動入力電極が、
検出側振動部の２つの補強枝には検出出力電極が夫々形
成されている。そして、圧電振動素子を基台に搭載する
際には、合計４つの補強枝に導電性突起部を介して行わ
れ、４点支持の機械的な接合と、同時に電気的な接続が
達成される。

【００２１】従って、補強枝は強固に接合されているた
め、各振動枝側からみた時に、補強枝側が固定端とな
り、振動枝と入出力補強枝間でのスプリアス振動を有効
に抑えることができ、しかも、発生するスプリアス振動
は、所定振動の固有共振周波数との関係が明確になり、
周波数調整が非常に簡単と行え、出力感度を向上させる
ことが簡単に行える。

【００２２】また、上述のように４点支持であるため、
圧電振動素子と基台との機械的な接合が非常に安定化す
る。しかも、中間結合基部の幅方法の寸法を補強枝の幅
分だけ増加させることができ、同時に、各補強枝部が機
械的に固定されているため、中間結合基部の機械的な剛
性が一層高まることになり、機械的共振尖塔度（Ｑ値）
を向上させることができる。

【００２３】さらに、補強枝の両主面に、駆動入力電
極、検出出力電極が配置されているため、圧電振動素子
を表裏逆にしても、基台の所定配線パターンに電気的に
接続することができ、基台への搭載工程が簡略化する。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の圧電振動体を図面
を用いて説明する。

【００２５】図１は本発明の圧電振動体の外観斜視図で
あり、図２は、圧電振動体を構成する圧電振動素子の裏
面側の斜視図であり、図３は、圧電振動体を構成する基
台の斜視図であり、図４（ａ）は圧電振動体の駆動側振
動部の電気的接続状況を説明する概略図であり、図４
（ｂ）は圧電振動体の検出側振動部の電気的接続状況を
説明する概略図である。

【００２６】本発明の圧電振動体１は、圧電振動素子１
０と、該圧電振動素子１０を搭載する基台２０とから構
成され、圧電振動素子１０は、所定形状の圧電基板１１
と所定形状の各電極、引回電極等が形成されて構成され
ている。

【００２７】圧電振動素子１０は駆動側振動部１Ａと検
出側振動部１Ｂと中央結合基部１Ｃとから構成されてい
る。この駆動側振動部１Ａ、検出側振動部１Ｂ、中央結
合基部１Ｃの形状は、圧電基板１１の形状によって決定
され、例えば水晶の結晶分極軸に応じて所定カット、例
えばＺカットされた水晶基板などが例示できる。その他
に所定方向に分極処理された圧電性セラミック基板など
も例示できる。

【００２８】駆動側振動部１Ａは、２つの駆動振動枝
２、３、及び２つの入力補強枝４、５から成り、駆動振
動枝２、３及び入力補強枝４、５は夫々中央結合基部１
Ｃの一方側から同一方向に延びている。具体的には、駆
動振動枝２、３を挟むように入力補強枝４、５が配置さ
れている。

【００２９】検出側振動部１Ｂは、２つの検出振動枝
６、７及び出力補強枝８、９から成り、検出振動枝６、
７及び出力補強枝８、９は、中央結合基部１Ｃの他方側
から、上述の駆動振動枝２、３、入力補強枝４、５と別
の方向に逆方向に延びている。

【００３０】具体的には、幅方向側に検出振動枝６、７
を挟んで出力補強枝８、９が配置されている。

【００３１】従って、中間結合基部１Ｃの幅方向の寸法
は、最も外側に位置している枝、図では、入力出力補強
枝４−５、８−９によって決定される。

【００３２】駆動側振動部１Ａとなる駆動振動枝２、
３、入力補強枝４、５、検出側振動部１Ｂとなる検出振
動枝６、７、出力補強枝８、９及び中央結合基部１Ｃの
主面及びまたは側面には夫々各種所定電極が形成されて
いる。尚、この所定電極は、例えばクロム、Ａｕなどの
蒸着やスッパタリングなどの薄膜技法によって形成され
ている。

【００３３】駆動側振動部１Ａについて説明すると、２
つの駆動振動枝２、３の各４枝面には、所定駆動信号を
振動に変換させるための駆動電極２１〜２４、３１〜３
４が形成されている。

【００３４】また、入力補強枝４の両主面には、駆動信
号が入力される一方の駆動入力電極４１ａ、４１ｂ（両
方は基板の端面を通じて導通しているので総称して４１
と記す）が、また、入力補強枝５の両主面には、駆動信
号が入力される他方の駆動入力電極５１ａ、５１ｂ（５
１）が夫々形成されている。

【００３５】そして、図４（ａ）に示すように、駆動振
動枝２、３の４枝面に面に形成された駆動電極２１〜２
４、３１〜３４は、互いに対向する電極が同電位となる
ように、また、駆動振動枝２と駆動振動枝３とでは、互
いに対象となるなるように配置されている。即ち、同一
電位となる４つの駆動電極２１、２３、３２、３４が一
方の駆動入力電極４１に接続され、他方同一電位となる
４つの駆動電極２２、２４、３１、３３が他方の駆動入
力電極５１に接続されている。

【００３６】検出側振動部１Ｂについて説明すると、２
つの検出振動枝６、７の両主面には角速度に対応するバ
タ足振動等を電気信号に変換するための検出電極６１〜
６４、７１〜７４が形成されている。

【００３７】また、出力補強枝８の両主面には、電気信
号を外部に導出する一方の検出出力電極７１ａ、７１ｂ
（両方は基板の端面を通じて導通しているので総称して
７１と記す）が、また、出力補強枝９の両主面には、電
気信号を外部に導出する他方の検出出力電極９１ａ、９
１ｂ（９１）が夫々形成されている。

【００３８】振動枝６の一方主面には、第１の検出電極
６１と第２の検出電極６２とが振動枝６の長さ方向に所
定間隔を隔てて平行に並んで形成されており、振動枝７
の一方主面には第１の検出電極７１と第２の検出電極７
２とが振動枝７の長さ方向に所定間隔を隔てて平行に並
んで形成されており、同様に、振動枝６、７の他方主面
には第１の検出電極６３、７３と第２の検出電極６４、
７４とが平行に並んで形成されている。検出振動枝６、
７の上下主面に形成された互いに平行な検出電極は、互
いに異なる電位となるように配置され、同一電位がの検
出出力電極８１、９１に接続されている。

【００３９】例えば、図４（ｂ）に示すように、振動枝
６の検出電極６１、６４、振動枝７の検出電極７１、７
４とが同一電位となり、検出出力電極８１に接続され、
振動枝６の検出電極６２、６３、振動枝７の検出電極７
２、７３とが同一電位となり、検出出力電極９１に接続
されている。

【００４０】このような図４（ａ）、（ｂ）の電気的な
接続を達成するために、中央結合基部１Ｃ、駆動側振動
部１Ａの振動枝２、４、検出側振動部１Ｂの振動枝６、
７の先端部及び根元部分などには、駆動電極２１〜２
４、３１〜３４と駆動入力電極４１、５１とを、検出電
極６１〜６４、７１〜７４と検出出力電極８１、９１と
を接続する所定形状の引回電極が形成されている。

【００４１】基台２０は、図３図に示すように、例えば
アルミナセラミックなどの絶縁基板２７と、配線パター
ン４２、５２、８２、９２とを含んで構成されている。
この配線パターン４２、５２、８２、９２は、Ａｇ系
（単体または合金）やＣｕ系導体ペーストの焼きつけに
よって形成されている。

【００４２】配線パターン４２は、駆動側振動部１Ａの
入力補強枝４の下部位置にまで延出されており、さら
に、導電性スペーサー４３が配置されており、配線パタ
ーン５２は、駆動側振動部１Ａの入力補強枝５の下部位
置にまで延出されており、さらに、導電性スペーサー５
３が配置されている。また、配線パターン８２は、駆動
側振動部１Ａの出力補強枝８の下部位置にまで延出され
ており、さらに、導電性スペーサー８３が配置されてい
る。配線パターン９２は、駆動側振動部１Ａの出力補強
枝９の下部位置にまで延出されており、さらに、導電性
スペーサー９３が配置されている。尚、配線パターン４
２、５２、８２、９２の一部は、絶縁基板２７の端部に
まで延出して、端子電極となっている。

【００４３】このような構造の基台２０上に、圧電振動
素子１０が搭載される。

【００４４】具体的には、駆動側振動部１Ａの入力補強
枝４の下主面に形成された駆動入力電極４１ｂと導電性
スペーサ４３（配線パターン４２）とが半田などの導電
性接着材（図には現れない）を介して電気的に接続さ
れ、且つ機械的に接合されている。

【００４５】駆動側振動部１Ａの入力補強枝５の下主面
に形成された駆動入力電極５１ｂと導電性スペーサ５３
（配線パターン５２）とが半田などの導電性接着材を介
して電気的に接続され、且つ機械的に接合されている。

【００４６】また、検出側振動部１Ｂの出力補強枝８の
下主面に形成された検出出力電極８１ｂと導電性スペー
サ８３（配線パターン８２）とが半田などの導電性接着
材を介して電気的に接続され、且つ機械的に接合されて
いる。

【００４７】検出側振動部１Ｂの出力補強枝９の下主面
に形成された検出出力電極９１ｂと導電性スペーサ９３
（配線パターン９２）とが半田などの導電性接着材を介
して電気的に接続され、且つ機械的に接合されている。

【００４８】上述の構造の圧電振動体１において、駆動
入力電極４１、５１間に、所定駆動交番電圧を与えと、
図４（ａ）に示すように駆動側振動部１Ａに実線矢印の
ように、また次の瞬間、線矢印のように振動する音叉振
動が発生する。

【００４９】この状態で、圧電振動体１全体に、回転運
動が加わると、コリオリ力が作用して、例えば図４
（ｂ）に示す検出側振動部１Ｂには、実線矢印のよう
に、また次の瞬間、点線矢印のようにバタ足振動が発生
する。

【００５０】また、上述したように、検出側振動部１Ｂ
の振動枝６、７の各主面には、第１の検出電極６１、６
３、７１、７３と第２の検出電極６２、６４、７２、７
４とが平行に並設されているため、このバタ足振動によ
って、検出電極６１と６２との間、検出電極７１と７２
との間に、検出電極６３と６４との間、検出電極７３と
７４との間に夫々電位差が発生する。

【００５１】この一方電位は出力側補強枝８に形成され
検出出力電極８１から、他方電位は、出力側補強枝９に
形成され検出出力電極９１から出力される。

【００５２】そして、この検出出力電極８１、９１から
得られる信号を、増幅器（オペアンプ）などを含む外部
回路（上記基台２０の一部に形成してもよい）で処理す
ることによって、角速度に対応する電気的な検出信号を
得ることができる。

【００５３】このような検出される信号の感度を向上さ
せるためには、駆動側振動部１Ａの音叉振動の固有共振
周波数ｆａと、検出側振動部１Ｂのバタ足振動の固有共
振周波数ｆｂと、その両固有共振周波数ｆａ、ｆｂとの
変位差Δｆを制御することが重要である。

【００５４】例えば、駆動側振動部１Ａの音叉振動の固
有共振周波数ｆａは、例えば２５．６ＫＨｚ、検出側振
動部１Ｂのバタ足振動の固有共振周波数ｆｂは、例えば
２５．３５ＫＨｚ、その両固有共振周波数ｆａ、ｆｂと
の変位差Δｆを２５０Ｈｚとする。

【００５５】駆動側振動部１Ａの音叉振動の固有共振周
波数ｆａと検出側振動部１Ｂのバタ足振動の固有共振周
波数ｆｂを相違させることによって、各振動部１Ａ、１
Ｂに発生する各振動が、中間結合基部１Ｃを介して、他
の振動部１Ｂ、１Ａに伝達しないようにするためであ
る。実際には、例えば、２００Ｈｚ以上変位するように
する。

【００５６】また、駆動側振動部１Ａの音叉振動の固有
共振周波数ｆａと検出側振動部１Ｂのバタ足振動の固有
共振周波数ｆｂとの変位差Δｆは、出力感度に大きく起
因するものであり、種々の実験では、３００Ｈｚ以下が
好ましい。

【００５７】従って、最も安定した動作ができ、しか
も、出力感度を高めるためには、変位差Δｆを２００〜
３００Ｈｚとすることが重要となる。

【００５８】このような周波数の関係を達成するために
は、駆動側振動部１Ａ及び／又は検出側振動部１Ｂでの
振動の固有共振周波数を調整すればよく、具体的には回
転砥石などを用いて、駆動側振動部１Ａの駆動振動枝
２、３の先端部端面や検出側振動部１Ｂの検出振動枝
６、７の先端部端面を研磨、除去すればよい。

【００５９】このような圧電振動素子１０と基台２０と
の接合（機械的な接合及び電気的な接続）は、例えば周
波数調整された圧電振動素子１０と、所定配線パターン
４２、５２、８２、９２（導電性スペーサー４３、５
３、８３、９３を含む）を形成された基台２０を容易す
る。

【００６０】次に、圧電振動素子１０の駆動入力電極５
１、６１、検出出力電極８１、９１の表面に半田などの
導電性接着材を塗布しておき、または、基台２０の導電
性スペーサー４３、５３、８３、９３上に半田などの導
電性接着材を塗布しておき、導電性スペーサー４３、５
３、８３、９３上に圧電振動素子１０の駆動入力電極５
１、６１、検出出力電極８１、９１の表面に半田などの
導電性接が合致するように載置して、熱処理によって強
固に接合する。

【００６１】このようにすれば、圧電振動素子１０と基
台２０とが、入力補強枝４、５、出力補強枝８、９の４
点部分の強固に機械的に接合されるとともに、同時に、
駆動入力電極４１と配線パターン４２、駆動入力電極５
１と配線パターン５２、検出出力電極８１と配線パター
ン８２、検出出力電極９１と配線パターン９２との安定
した電気的な接続が達成されることになる。

【００６２】しかも、駆動入力電極４１、５１、検出出
力電極８１、９１は、夫々圧電基板１の端部の表面、端
面、裏面に形成されているため、圧電振動素子１０を表
裏逆にしても安定した電気的な接続がなられ、上述の基
台２０への圧電振動振動素子１０への搭載工程が非常に
簡単となる。

【００６３】尚、この接合によって、特に導電性接着材
との硬化状況、硬化挙動によって、各振動部１Ａ、１Ｂ
の振動の固有共振器周波数が変動する場合には、再度の
周波数調整を行えばよい。また、入出力補強枝４、５、
８、９の付加によるスプリアス振動による変動が発生し
ても、入出力補強枝４、５、８、９が固定されているこ
とから、スプリアス振動の周波数は、基準となる振動の
周波数の対応が明確となるため、周波数調整で、スプリ
アス振動による周波数の変動も上述の周波数調整によっ
てキャンセルすることができる。

【００６４】以上のように、本発明によれば、駆動側振
動部１Ａ、検出側振動部１Ｂの補強枝４、５、８、９
で、圧電振動素子１０と基台２０との機械的な接合され
ているため、非常に安定した支持構造となる。

【００６５】また、補強枝４、５、８、９で発生するス
プリアス振動を有効に抑えることができるため、周波数
調整ｆａ、ｆｂの調整、変位差Δｆの調整が非常に簡単
となえ、出力感度を向上させることが簡単に行える。

【００６６】しかも、中間結合基部１Ｃの幅方法の寸法
を補強枝４、５、８、９の幅分だけ増加させることがで
き、しかも、各補強枝４、５、８、９の機械的な固定に
より、中間結合基部の機械的な剛性が一層高まることに
なり、機械的共振尖塔度（Ｑ値）を向上させることがで
きる。

【００６７】また、各補強枝４、５、８、９の下側主面
に入出力電極４１、５１、８１、９１を配置することが
できため、基台２０と補強枝４、５、８、９との接合部
分で、同時に、圧電振動素子１０の入出力電極４１、５
１、８１、９１と基台２０の配線パターン４２、５２、
８２、９２との電気的な接続を簡単におこなうことがで
きる。

【００６８】尚、上述の実施例では、例えば、検出側振
動部１Ｂの各枝の配置が、出力側補強枝８、駆動振動体
枝６、駆動振動体枝７、出力側補強枝９の順とっなって
いるが、これを駆動側振動枝６、出力側補強枝８、出力
側補強枝９、駆動振動体枝７の順としても構わない。こ
の場合、２つの出力側補強枝の幅を比較的広く設定し、
２つの検出出力電極８１、９１の幅方向の間隔を広く設
定して、安定した接合が可能なようにしても構わない。

【００６９】また、検出側振動部１Ｂの配線構造、検出
電極の構造、引回電極の構造は、圧電基板の分極（結晶
軸方向）、出力電極の位置などを考慮して、任意に変え
ることができる。

【００７０】また、基台２０の配線パターン４２、５
２、８２、９２の構造も同様に種々考えられ、基台２０
上に、外部処理回路を形成しても構わない。

【００７１】

【発明の効果】以上、本発明によれば、圧電振動素子を
基台に安定且つ簡単に接合でき、しかも、各振動部内で
発生するスプリアス振動を有効に抑制でき、出力感度を
向上させることができる圧電振動体となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電振動体の外観斜視図である。

【図２】本発明の圧電振動体を構成する圧電振動素子の
裏面側の斜視図である。

【図３】本発明の圧電振動体を構成する基台の斜視図で
ある。

【図４】（ａ）は、駆動側振動部の電気的接続状態を説
明する概略図であり、（ｂ）は検出側振動部の電気的接
続状態を説明する概略図である。

【符号の説明】

１・・・・・圧電振動体１０・・・・圧電振動素子２０・・・・基台１１・・・・圧電基板１Ａ・・・・駆動側振動部１Ｂ・・・・検出側振動部１Ｃ・・・・中央結合基部２、３・・・駆動側振動部の振動枝６、７・・・検出側振動部の振動枝４、５・・・入力補強枝８、９・・・出力補強枝４１、５１・駆動入力電極８１、９１・検出出力電極２１〜２４、３１〜３４・・・・駆動電極６１〜６４、７１〜７４・・・・検出電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動電極が形成された駆動振動枝及び両
主面に配置された駆動入力電極を有する２つの入力補強
枝とから成る駆動側振動部と、検出電極が形成された検出振動枝及び両主面に配置され
た検出出力電極を有する２つの出力補強枝とから成る検
出側振動部とが、中央結合基部の対向しあう一対の端面
に夫々一体的に配置されて成る圧電振動素子を、表面に配線パターン及び導電性突起部が形成された基台
に、前記導電性突起部と駆動入力電極、検出出力電極と
が電気的に接続し、且つ機械的に接合するようにして搭
載させたことを特徴とする圧電振動体。