JPH09178655A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JPH09178655A JPH09178655A JP33957495A JP33957495A JPH09178655A JP H09178655 A JPH09178655 A JP H09178655A JP 33957495 A JP33957495 A JP 33957495A JP 33957495 A JP33957495 A JP 33957495A JP H09178655 A JPH09178655 A JP H09178655A
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- JP
- Japan
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- gas
- cell
- infrared light
- infrared
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で、しかも複雑な作業を伴うこと
なく複数のガス成分を高精度に測定できる赤外線ガス分
析計を提供する。 【解決手段】 光源１から照射された赤外光は、光学フ
ィルタ３、相関フィルタ２を介して試料ガスが連続して
流れている測定セル４へ照射され、測定セル４を通過し
た赤外光は検出器５で検出され、データ処理部６で測定
対象となるガス濃度が算出される。このとき、相関フィ
ルタ２を交換するだけで、異なるガスの濃度計測を行う
ことが可能となり、従来のように測定セルから光学フィ
ルタを取り外すという面倒な作業が一切不要となるた
め、装置の取り扱いが簡略されるとともに、その分だけ
全体の測定時間が短縮される。
なく複数のガス成分を高精度に測定できる赤外線ガス分
析計を提供する。 【解決手段】 光源１から照射された赤外光は、光学フ
ィルタ３、相関フィルタ２を介して試料ガスが連続して
流れている測定セル４へ照射され、測定セル４を通過し
た赤外光は検出器５で検出され、データ処理部６で測定
対象となるガス濃度が算出される。このとき、相関フィ
ルタ２を交換するだけで、異なるガスの濃度計測を行う
ことが可能となり、従来のように測定セルから光学フィ
ルタを取り外すという面倒な作業が一切不要となるた
め、装置の取り扱いが簡略されるとともに、その分だけ
全体の測定時間が短縮される。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、化学工場や製鉄所
のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラーや
燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排ガ
ス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効果
を利用してガス及び蒸気中にある特定成分の濃度を連続
的に測定する赤外線ガス分析計であって、特に相関フィ
ルタを備えた赤外線ガス分析計に関する。
のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラーや
燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排ガ
ス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効果
を利用してガス及び蒸気中にある特定成分の濃度を連続
的に測定する赤外線ガス分析計であって、特に相関フィ
ルタを備えた赤外線ガス分析計に関する。
【０００２】
【従来技術】図３は、相関フィルタを備えた従来の赤外
線ガス分析計を示しており、図３ａに示されるように光
源１１からの赤外光は、相関フィルタ１２を介して、導
入口１４ａより導入され排出口１４ｂより排出されるこ
とで試料ガスが連続的に流されている測定セル１４に照
射される。
線ガス分析計を示しており、図３ａに示されるように光
源１１からの赤外光は、相関フィルタ１２を介して、導
入口１４ａより導入され排出口１４ｂより排出されるこ
とで試料ガスが連続的に流されている測定セル１４に照
射される。
【０００３】相関フィルタ１２は、図３ｂに示されるよ
うに、測定対象となるガス（ＣＯ）と赤外光を吸収しな
いいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）がそれぞれ封入された２つ
のＣＯセル１２ａ、及びＮ2 セル１２ｂを有し、図３ａ
のモータ１２ｚによって適宜回転駆動されている。
うに、測定対象となるガス（ＣＯ）と赤外光を吸収しな
いいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）がそれぞれ封入された２つ
のＣＯセル１２ａ、及びＮ2 セル１２ｂを有し、図３ａ
のモータ１２ｚによって適宜回転駆動されている。
【０００４】検出器１５は、相関フィルタ１２のＣＯセ
ル１２ａを介して得られた赤外光とＮ2 セル１２ｂを介
して得られた赤外光とを交互に検出し、データ処理部１
６は、それぞれ交互に検出されたデータから試料ガス中
のＣＯ濃度を算出する。
ル１２ａを介して得られた赤外光とＮ2 セル１２ｂを介
して得られた赤外光とを交互に検出し、データ処理部１
６は、それぞれ交互に検出されたデータから試料ガス中
のＣＯ濃度を算出する。
【０００５】すなわち、ＣＯセル１２ａを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されてい
るため、検出器１５で検出されるデータは、測定セル１
４中のＣＯ濃度に関係なく、赤外光のＣＯ吸収波長帯成
分がゼロとなり、一方、Ｎ2セル１２ａを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器１５で検出されるデータは、測定セル１４中のＣ
Ｏ濃度に応じた値となる。このため、データ処理部１６
で両者の比を求めることにより、試料ガス中のＣＯ濃度
が算出される。
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されてい
るため、検出器１５で検出されるデータは、測定セル１
４中のＣＯ濃度に関係なく、赤外光のＣＯ吸収波長帯成
分がゼロとなり、一方、Ｎ2セル１２ａを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器１５で検出されるデータは、測定セル１４中のＣ
Ｏ濃度に応じた値となる。このため、データ処理部１６
で両者の比を求めることにより、試料ガス中のＣＯ濃度
が算出される。
【０００６】ここで、測定セル１４に配設された光学フ
ィルタ１３は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光のみ透過させ
る作用を有し、これにより、ＣＯ2 等ＣＯと吸収波長帯
が近接するガス成分による干渉誤差を排除することが可
能となる。
ィルタ１３は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光のみ透過させ
る作用を有し、これにより、ＣＯ2 等ＣＯと吸収波長帯
が近接するガス成分による干渉誤差を排除することが可
能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
赤外線ガス分析計では、例えば、ＣＯと異なるガス成分
濃度を測定したい場合等、相関フィルタ１２と共に光学
フィルタ１３もそのガス成分に対応したものに取り換え
る必要があり、測定セル１４からの取り外し作業が非常
に面倒なものとなっていた。
赤外線ガス分析計では、例えば、ＣＯと異なるガス成分
濃度を測定したい場合等、相関フィルタ１２と共に光学
フィルタ１３もそのガス成分に対応したものに取り換え
る必要があり、測定セル１４からの取り外し作業が非常
に面倒なものとなっていた。
【０００８】一方、図４に示されるように、ＣＯガスと
ＣＯ2 ガスとがそれぞれ封入されたＣＯセル２ａ’とＣ
Ｏ2 セル２ｂ’、及びゼロガスを封入したＮ2 セル２
ｃ’を有する相関フィルタ２’を用いた場合、相関フィ
ルタ２’を交換することなく複数のガス成分の分析が可
能となるが、かかる場合、光学フィルタは、測定対象と
なるガス成分全ての吸収波長帯を通過するものを用いる
必要があり、構成が複雑になる。また、ＣＯガスとＣＯ
2 ガス等のように吸収波長帯が近接したガスの同時測定
を行う場合には、それぞれの干渉によって生じる測定誤
差を避けることができなかった。
ＣＯ2 ガスとがそれぞれ封入されたＣＯセル２ａ’とＣ
Ｏ2 セル２ｂ’、及びゼロガスを封入したＮ2 セル２
ｃ’を有する相関フィルタ２’を用いた場合、相関フィ
ルタ２’を交換することなく複数のガス成分の分析が可
能となるが、かかる場合、光学フィルタは、測定対象と
なるガス成分全ての吸収波長帯を通過するものを用いる
必要があり、構成が複雑になる。また、ＣＯガスとＣＯ
2 ガス等のように吸収波長帯が近接したガスの同時測定
を行う場合には、それぞれの干渉によって生じる測定誤
差を避けることができなかった。
【０００９】そこで、本発明は、簡単な構成で、しかも
複雑な作業を伴うことなく複数のガス成分を高精度に測
定できる赤外線ガス分析計の提供を目的とする。
複雑な作業を伴うことなく複数のガス成分を高精度に測
定できる赤外線ガス分析計の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料ガスが連
続的に流れる測定セルを有し、相関フィルタを介して得
られる前記測定セルを透過した赤外光を検出すること
で、特定ガス成分の分析を行う赤外線ガス分析計であっ
て、前記相関フィルタに測定対象ガスの吸収波長帯の赤
外光のみ通過させる光学フィルタを配設したことを特徴
とする。
続的に流れる測定セルを有し、相関フィルタを介して得
られる前記測定セルを透過した赤外光を検出すること
で、特定ガス成分の分析を行う赤外線ガス分析計であっ
て、前記相関フィルタに測定対象ガスの吸収波長帯の赤
外光のみ通過させる光学フィルタを配設したことを特徴
とする。
【００１１】かかる相関フィルタは、複数の測定対象と
なるガスを個別に封入したガスセルを有し、それぞれの
ガスセル上に封入されたガスの吸収波長帯の赤外光のみ
通過させる光学フィルタを個別に配設したことを特徴と
する。
なるガスを個別に封入したガスセルを有し、それぞれの
ガスセル上に封入されたガスの吸収波長帯の赤外光のみ
通過させる光学フィルタを個別に配設したことを特徴と
する。
【００１２】また、上記相関フィルタにおいて、それぞ
れのガスセルに隣接してそれぞれゼロガスを封入したゼ
ロガスセルを配設し、それぞれのガスセルとそれに隣接
したゼロガスセル上に対応するガスの吸収波長帯の赤外
光のみ通過させる光学フィルタを配設したことを特徴と
する。
れのガスセルに隣接してそれぞれゼロガスを封入したゼ
ロガスセルを配設し、それぞれのガスセルとそれに隣接
したゼロガスセル上に対応するガスの吸収波長帯の赤外
光のみ通過させる光学フィルタを配設したことを特徴と
する。
【００１３】上記相関フィルタにおいて、２成分のガス
を検出する場合、第１のガスを封入した第１ガスセル及
び第２のガスを封入した第２ガスセルを備え、さらにそ
れぞれゼロガスを封入した、第１のガス検出に用いる第
１ゼロガスセル及び第２のガス検出に用いる第２ゼロガ
スセルとを隣接して配設し、前記第１ガスセルと第１ゼ
ロガスセル上に第１のガスの吸収波長帯の赤外光のみ通
過させる第１の光学フィルタを、また前記第２ガスセル
と第２ゼロガスセル上に第２のガスの吸収波長帯の赤外
光のみ通過させる第２の光学フィルタを設けるととも
に、前記隣接する第１ゼロガスセルと第２ゼロガスセル
とを連通する連通孔を穿設したことを特徴とする。
を検出する場合、第１のガスを封入した第１ガスセル及
び第２のガスを封入した第２ガスセルを備え、さらにそ
れぞれゼロガスを封入した、第１のガス検出に用いる第
１ゼロガスセル及び第２のガス検出に用いる第２ゼロガ
スセルとを隣接して配設し、前記第１ガスセルと第１ゼ
ロガスセル上に第１のガスの吸収波長帯の赤外光のみ通
過させる第１の光学フィルタを、また前記第２ガスセル
と第２ゼロガスセル上に第２のガスの吸収波長帯の赤外
光のみ通過させる第２の光学フィルタを設けるととも
に、前記隣接する第１ゼロガスセルと第２ゼロガスセル
とを連通する連通孔を穿設したことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１及
び図２に基づいて説明する。
び図２に基づいて説明する。
【００１５】図１は本発明にかかる赤外線ガス分析計の
全体概略図で、光源１から発せられた赤外光は、モータ
２ｚによって回転駆動される相関フィルタ２を介して、
測定セル４に照射される。
全体概略図で、光源１から発せられた赤外光は、モータ
２ｚによって回転駆動される相関フィルタ２を介して、
測定セル４に照射される。
【００１６】相関フィルタ２には、特定ガスの吸収波長
帯の赤外光のみ透過させる光学フィルタ３が配設されて
おり、これにより、特定ガスと吸収波長帯が近接する他
のガス成分による干渉誤差を排除することができる。
帯の赤外光のみ透過させる光学フィルタ３が配設されて
おり、これにより、特定ガスと吸収波長帯が近接する他
のガス成分による干渉誤差を排除することができる。
【００１７】図２は、相関フィルタ２に光学フィルタ３
を配設したときの一例を示しており、図２ａはその上面
図を、また、図２ｂはその側面図を示している。同図に
おいて、相関フィルタ２には、ＣＯガスを封入したＣＯ
セル２ａ、ＣＯ2 ガスを封入しＣＯ2 セル２ｂ、赤外光
を吸収しないいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）が封入されたＯ
用Ｎ2 セル２ｃ、及びＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄが略等間隔
で同形に形成されている。
を配設したときの一例を示しており、図２ａはその上面
図を、また、図２ｂはその側面図を示している。同図に
おいて、相関フィルタ２には、ＣＯガスを封入したＣＯ
セル２ａ、ＣＯ2 ガスを封入しＣＯ2 セル２ｂ、赤外光
を吸収しないいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）が封入されたＯ
用Ｎ2 セル２ｃ、及びＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄが略等間隔
で同形に形成されている。
【００１８】そして、相関フィルタ２の一面であって、
ＣＯセル２ａとＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ上には、ＣＯの吸収
波長帯の赤外光のみ透過させるＣＯ用光学フィルタ３ａ
が、また、ＣＯ2 セル２ｂとＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄ上に
は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光のみ透過させるＣＯ2
用光学フィルタ３ｂが、それぞれ配設されている。そし
て、ＣＯ用Ｎ2 セル２ｃとＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄは、連
通孔２ｅを介して内部でつながっている。これにより、
ゼロガスの封入が一回で済むため、ガス封入作業が簡略
化される。
ＣＯセル２ａとＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ上には、ＣＯの吸収
波長帯の赤外光のみ透過させるＣＯ用光学フィルタ３ａ
が、また、ＣＯ2 セル２ｂとＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄ上に
は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光のみ透過させるＣＯ2
用光学フィルタ３ｂが、それぞれ配設されている。そし
て、ＣＯ用Ｎ2 セル２ｃとＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄは、連
通孔２ｅを介して内部でつながっている。これにより、
ゼロガスの封入が一回で済むため、ガス封入作業が簡略
化される。
【００１９】なお、ＣＯ用光学フィルタ３ａとＣＯ2 用
光学フィルタ３ｂは、従来の窓材の機能、すなわち、Ｃ
Ｏセル２ａとＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ内のガス等を封止する
機能も合わせ持ち、接着剤或いはネジ止め等によって相
関フィルタ２上に配設される。また、相関フィルタ２の
他面には、赤外光を透過させるとともにセル内のガスを
封止する従来の窓材２ｆが配設されている。
光学フィルタ３ｂは、従来の窓材の機能、すなわち、Ｃ
Ｏセル２ａとＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ内のガス等を封止する
機能も合わせ持ち、接着剤或いはネジ止め等によって相
関フィルタ２上に配設される。また、相関フィルタ２の
他面には、赤外光を透過させるとともにセル内のガスを
封止する従来の窓材２ｆが配設されている。
【００２０】図１において、測定セル４には、試料ガス
が導入口４ａを介して導入され、排出口４ｂを介して排
出されることで、試料ガスが連続して流されており、光
学フィルタ３及び相関フィルタ２を通過した赤外光は、
窓４ｄを介して測定セル４内の試料ガス中を通過し、窓
４ｃから検出器５に到達する。
が導入口４ａを介して導入され、排出口４ｂを介して排
出されることで、試料ガスが連続して流されており、光
学フィルタ３及び相関フィルタ２を通過した赤外光は、
窓４ｄを介して測定セル４内の試料ガス中を通過し、窓
４ｃから検出器５に到達する。
【００２１】検出器５は、特定ガス成分の吸収波長帯の
赤外線強度、本実施例では、ＣＯとＣＯ2 の吸収波長帯
の赤外線強度を個別に検出して、データ処理部６に出力
する。ここで用いる検出器は、ＰｂＳｅセンサや焦電セ
ンサ等の赤外線センサである。 データ処理部６は、相
関フィルタ２の測定対象ガスが封入されたセルとゼロガ
スが封入されたセルをそれぞれ通過した赤外光の検出デ
ータから、測定対象ガスの濃度を算出する。
赤外線強度、本実施例では、ＣＯとＣＯ2 の吸収波長帯
の赤外線強度を個別に検出して、データ処理部６に出力
する。ここで用いる検出器は、ＰｂＳｅセンサや焦電セ
ンサ等の赤外線センサである。 データ処理部６は、相
関フィルタ２の測定対象ガスが封入されたセルとゼロガ
スが封入されたセルをそれぞれ通過した赤外光の検出デ
ータから、測定対象ガスの濃度を算出する。
【００２２】次に、本発明の作用を説明すると、まず、
モータ２ｚを駆動させることで、相関フィルタ２に配設
したＣＯセル２ａ、ＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ、ＣＯ2 用Ｎ2
セル２ｄ、及びＣＯ2 セル２ｂを順次測定セル４の窓４
ｄ上に位置決めし、それぞれのセル及び測定セル４を透
過した赤外光を順次検出器５で検出する。
モータ２ｚを駆動させることで、相関フィルタ２に配設
したＣＯセル２ａ、ＣＯ用Ｎ2 セル２ｃ、ＣＯ2 用Ｎ2
セル２ｄ、及びＣＯ2 セル２ｂを順次測定セル４の窓４
ｄ上に位置決めし、それぞれのセル及び測定セル４を透
過した赤外光を順次検出器５で検出する。
【００２３】ここで、ＣＯセル２ａを透過した赤外光
は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が、また、ＣＯ2 セル２
ｂを透過した赤外光は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光
が、それぞれ完全に吸収されるため、検出器５で検出さ
れるデータは、測定セル４中のＣＯ及びＣＯ2 濃度に関
係なく、それぞれ赤外光のＣＯの吸収波長帯及びＣＯ2
の吸収波長帯成分がゼロの値となる。
は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が、また、ＣＯ2 セル２
ｂを透過した赤外光は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光
が、それぞれ完全に吸収されるため、検出器５で検出さ
れるデータは、測定セル４中のＣＯ及びＣＯ2 濃度に関
係なく、それぞれ赤外光のＣＯの吸収波長帯及びＣＯ2
の吸収波長帯成分がゼロの値となる。
【００２４】一方、ＣＯ用Ｎ2 セル２ｃを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器５で検出されるデータは、測定セル４中のＣＯ濃
度に応じた値となり、ＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄを透過した
赤外光は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光がそのまま残る
ので、検出器５で検出されるデータは、測定セル４中の
ＣＯ2 濃度に応じた値となる。
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器５で検出されるデータは、測定セル４中のＣＯ濃
度に応じた値となり、ＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄを透過した
赤外光は、ＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光がそのまま残る
ので、検出器５で検出されるデータは、測定セル４中の
ＣＯ2 濃度に応じた値となる。
【００２５】このため、データ処理部６で、ＣＯセル２
ａ及びＣＯ用Ｎ2 セル２ｃを透過したＣＯの吸収波長帯
の赤外光の検出値の比から、試料ガス中のＣＯ濃度が算
出され、ＣＯ2 セル２ｂ及びＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄを透
過したＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光の検出値の比から、
試料ガス中のＣＯ2 濃度が算出される。
ａ及びＣＯ用Ｎ2 セル２ｃを透過したＣＯの吸収波長帯
の赤外光の検出値の比から、試料ガス中のＣＯ濃度が算
出され、ＣＯ2 セル２ｂ及びＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄを透
過したＣＯ2 の吸収波長帯の赤外光の検出値の比から、
試料ガス中のＣＯ2 濃度が算出される。
【００２６】ここで、ＣＯセル２ａ，ＣＯ用Ｎ2 セル２
ｃ、及びＣＯ2 セル２ｂ、ＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄ上に
は、それぞれＣＯ用光学フィルタ３ａとＣＯ2 用光学フ
ィルタ３ｂが配設されているため、それぞれのセルを通
過した光は、ＣＯの吸収波長帯のみを有する赤外光とＣ
Ｏ2 の吸収波長帯のみを有する赤外光となり、吸収波長
帯が近接するＣＯとＣＯ2 を検出する場合であっても、
お互いに干渉を受けることが無くなるため、計測された
ＣＯとＣＯ2 濃度は非常に精度の高いものとなる。
ｃ、及びＣＯ2 セル２ｂ、ＣＯ2 用Ｎ2 セル２ｄ上に
は、それぞれＣＯ用光学フィルタ３ａとＣＯ2 用光学フ
ィルタ３ｂが配設されているため、それぞれのセルを通
過した光は、ＣＯの吸収波長帯のみを有する赤外光とＣ
Ｏ2 の吸収波長帯のみを有する赤外光となり、吸収波長
帯が近接するＣＯとＣＯ2 を検出する場合であっても、
お互いに干渉を受けることが無くなるため、計測された
ＣＯとＣＯ2 濃度は非常に精度の高いものとなる。
【００２７】また、相関フィルタ２に光学フィルタ３を
配設したため、異なるガスの濃度計測を行う場合、相関
フィルタを交換するだけで、従来のように測定セルから
光学フィルタを取り外すという面倒な操作が一切不要と
なるため、装置の取り扱いが簡略されるとともに、その
分だけ全体の測定時間が短縮されることとなる。
配設したため、異なるガスの濃度計測を行う場合、相関
フィルタを交換するだけで、従来のように測定セルから
光学フィルタを取り外すという面倒な操作が一切不要と
なるため、装置の取り扱いが簡略されるとともに、その
分だけ全体の測定時間が短縮されることとなる。
【００２８】なお、上述した実施例では、２成分のガス
濃度を測定する例を示したが、２種以上のガス濃度検出
も同様に行うことが出来、また、１成分のガス濃度を測
定する場合にも適用しうるものである。
濃度を測定する例を示したが、２種以上のガス濃度検出
も同様に行うことが出来、また、１成分のガス濃度を測
定する場合にも適用しうるものである。
【００２９】また、相関フィルタ２は、光源１と測定セ
ル４の間に配設したが、測定セル４と検出器５との間に
配設してもよい。
ル４の間に配設したが、測定セル４と検出器５との間に
配設してもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、異なるガスの濃度計測
を行う場合、相関フィルタを交換するだけで、従来のよ
うに測定セルから光学フィルタを取り外すという面倒な
作業が一切不要となるため、装置の取り扱いが簡略され
るとともに、その分だけ全体の測定時間が短縮される。
を行う場合、相関フィルタを交換するだけで、従来のよ
うに測定セルから光学フィルタを取り外すという面倒な
作業が一切不要となるため、装置の取り扱いが簡略され
るとともに、その分だけ全体の測定時間が短縮される。
【００３１】また、一つの相関フィルタで２種以上のガ
スを計測する場合は、赤外光の吸収波長帯が近接するガ
スであっても、他のガスの干渉を受けることが無くなる
ため、極めて精度の高いガス濃度の計測を行うことが可
能となる。
スを計測する場合は、赤外光の吸収波長帯が近接するガ
スであっても、他のガスの干渉を受けることが無くなる
ため、極めて精度の高いガス濃度の計測を行うことが可
能となる。
【図１】本発明にかかる赤外線ガス分析計の一実施例を
示す図である。
示す図である。
【図２】本発明にかかる相関フィルタ及び光学フィルタ
の一実施例を示す図である。
の一実施例を示す図である。
【図３】従来の赤外線ガス分析計及び相関フィルタを示
す図である。
す図である。
【図４】従来の多成分ガスの測定を行うための相関フィ
ルタを示す図である。
ルタを示す図である。
１・・・・光源 ２・・・・相関フィルタ ３・・・・光学フィルタ ４・・・・測定セル ４ａ・・・導入口 ４ｂ・・・排出口 ５・・・・検出器 ６・・・・データ処理部
Claims (2)
- 【請求項１】 試料ガスが連続的に流れる測定セルを有
し、相関フィルタを介して得られる前記測定セルを透過
した赤外光を検出することで、特定ガス成分の分析を行
う赤外線ガス分析計において、 前記相関フィルタに測定対象ガスの吸収波長帯の赤外光
のみ通過させる光学フィルタを配設したことを特徴とす
る赤外線ガス分析計。 - 【請求項２】 前記相関フィルタは、複数の測定対象と
なるガスを個別に封入したガスセルを有し、それぞれの
ガスセル上に封入されたガスの吸収波長帯の赤外光のみ
通過させる光学フィルタを個別に配設したことを特徴と
する請求項１記載の赤外線ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33957495A JPH09178655A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33957495A JPH09178655A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178655A true JPH09178655A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18328768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33957495A Pending JPH09178655A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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-
1995
- 1995-12-26 JP JP33957495A patent/JPH09178655A/ja active Pending
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