JPH09180661A - Ｘ線管 - Google Patents
Ｘ線管Info
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- JPH09180661A JPH09180661A JP34107695A JP34107695A JPH09180661A JP H09180661 A JPH09180661 A JP H09180661A JP 34107695 A JP34107695 A JP 34107695A JP 34107695 A JP34107695 A JP 34107695A JP H09180661 A JPH09180661 A JP H09180661A
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- collimator
- ray
- rays
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- anode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線管において平行又はほぼ平行なＸ線を効
率よく取り出すようにすること。 【解決手段】 Ｘ線３３を取り出すことができるＸ線管
１０において、前記Ｘ線管１０の外筒１５を貫通するよ
うに細管束コリメータ２０を配置し、前記Ｘ線管１０内
で発生したＸ線３２を該細管束コリメータ２０により平
行又はほぼ平行にして外部に取り出すことを特徴とする
Ｘ線管１０。
率よく取り出すようにすること。 【解決手段】 Ｘ線３３を取り出すことができるＸ線管
１０において、前記Ｘ線管１０の外筒１５を貫通するよ
うに細管束コリメータ２０を配置し、前記Ｘ線管１０内
で発生したＸ線３２を該細管束コリメータ２０により平
行又はほぼ平行にして外部に取り出すことを特徴とする
Ｘ線管１０。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線管に関し、特
に平行又はほぼ平行なＸ線を効率的に取り出すことがで
きるＸ線管に関するものである。
に平行又はほぼ平行なＸ線を効率的に取り出すことがで
きるＸ線管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折法においては、結晶に投射した
Ｘ線が規則正しく集合した原子によって散乱されブラッ
グの条件が成り立つ特定の方向に強い回折Ｘ線が生ずる
ことを基本としている。ブラッグの条件を(1) 式に示
す。 ２ｄsin θ＝ｎλ──(1) なお、ｄは原子の格子間隔であり、θは回折角であり、
λはＸ線の波長であり、ｎは反射次数である。回折対象
特性である格子間隔ｄの分析精度や分解能は、上記(1)
式から波長λと回折角θのバラツキに依存することがわ
かる。また、局所的な物性の変化を二次元的に分析する
ような場合には、格子間隔ｄの区間分解能も重要な性能
となる。
Ｘ線が規則正しく集合した原子によって散乱されブラッ
グの条件が成り立つ特定の方向に強い回折Ｘ線が生ずる
ことを基本としている。ブラッグの条件を(1) 式に示
す。 ２ｄsin θ＝ｎλ──(1) なお、ｄは原子の格子間隔であり、θは回折角であり、
λはＸ線の波長であり、ｎは反射次数である。回折対象
特性である格子間隔ｄの分析精度や分解能は、上記(1)
式から波長λと回折角θのバラツキに依存することがわ
かる。また、局所的な物性の変化を二次元的に分析する
ような場合には、格子間隔ｄの区間分解能も重要な性能
となる。
【０００３】これらに対応して、結晶にＸ線を投射する
役目を持つＸ線源と光学系の特性値としては、回折角
θのバラツキと発散角 Ｘ線源エネルギー分布の均一
性Ｘ線の密度と密度分布 Ｘ線ビームの断面形状と
サイズなどがある。更に、前記二次元的分析において
は、Ｘ線ビームサイズの微小化が要求され、更に、分析
の迅速性や精度確保のために、Ｘ線のビームサイズに反
比例したＸ線密度が要求される。特定の波長のＸ線を使
用した分析では、モノクロメータの使用など様々な工夫
によってこの要求に対応している。一方、エネルギー分
散法では、白色Ｘ線が用いられるので、モノクロメータ
のような手法がないため、Ｘ線のビームサイズ微細化
と、それに比例した発散角の微細化に対しては、ピンホ
ールを用いる方法では焦点の微細化とコリメータを長く
することにより対応するのが一般的である。
役目を持つＸ線源と光学系の特性値としては、回折角
θのバラツキと発散角 Ｘ線源エネルギー分布の均一
性Ｘ線の密度と密度分布 Ｘ線ビームの断面形状と
サイズなどがある。更に、前記二次元的分析において
は、Ｘ線ビームサイズの微小化が要求され、更に、分析
の迅速性や精度確保のために、Ｘ線のビームサイズに反
比例したＸ線密度が要求される。特定の波長のＸ線を使
用した分析では、モノクロメータの使用など様々な工夫
によってこの要求に対応している。一方、エネルギー分
散法では、白色Ｘ線が用いられるので、モノクロメータ
のような手法がないため、Ｘ線のビームサイズ微細化
と、それに比例した発散角の微細化に対しては、ピンホ
ールを用いる方法では焦点の微細化とコリメータを長く
することにより対応するのが一般的である。
【０００４】図４は従来のピンホールを用いる方法を示
す。図４において、Ｘ線管７０の主要部は、熱陰極７
１、陽極７２及び外筒７３からなる。熱陰極７１は、電
子線９１を発生するものである。陽極７２は、高電圧で
加速された電子線９１の衝突によりＸ線９２を発生させ
るものである。コリメータ８０は筒状であり、コリメー
タ８０の入口８１は外筒７３の開口部に付設されてい
る。コリメータ８０の出口８２は、ピンホールである。
このため、熱陰極７１で発生した電子線９１は高電圧で
加速されて陽極７２に衝突する。陽極７２では、Ｘ線９
２が電子線９１により励起されて発生する。Ｘ線９２
は、コリメータ８０を通過すると平行又はほぼ平行なＸ
線９３になる。
す。図４において、Ｘ線管７０の主要部は、熱陰極７
１、陽極７２及び外筒７３からなる。熱陰極７１は、電
子線９１を発生するものである。陽極７２は、高電圧で
加速された電子線９１の衝突によりＸ線９２を発生させ
るものである。コリメータ８０は筒状であり、コリメー
タ８０の入口８１は外筒７３の開口部に付設されてい
る。コリメータ８０の出口８２は、ピンホールである。
このため、熱陰極７１で発生した電子線９１は高電圧で
加速されて陽極７２に衝突する。陽極７２では、Ｘ線９
２が電子線９１により励起されて発生する。Ｘ線９２
は、コリメータ８０を通過すると平行又はほぼ平行なＸ
線９３になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例で
は、コリメータ８０は、その形状が大きいので、Ｘ線管
７０と一体化できない。更に、陽極７２とコリメータ８
０の入口８１との距離が長いので、Ｘ線９２、９３の距
離減衰が大きくなる。また、上述のように、Ｘ線９３の
ビームの取り出しに必要な距離が該ビームの微細化にほ
ぼ反比例して長くなるため、Ｘ線９２、９３の距離減衰
によってＸ線９３の取り出し効率の低下を避けることが
できないという欠点があった。したがって、本願発明の
目的は、上記従来例の欠点をなくし、平行又はほぼ平行
なＸ線を効率よく取り出すことができるＸ線管を提供す
ることである。
は、コリメータ８０は、その形状が大きいので、Ｘ線管
７０と一体化できない。更に、陽極７２とコリメータ８
０の入口８１との距離が長いので、Ｘ線９２、９３の距
離減衰が大きくなる。また、上述のように、Ｘ線９３の
ビームの取り出しに必要な距離が該ビームの微細化にほ
ぼ反比例して長くなるため、Ｘ線９２、９３の距離減衰
によってＸ線９３の取り出し効率の低下を避けることが
できないという欠点があった。したがって、本願発明の
目的は、上記従来例の欠点をなくし、平行又はほぼ平行
なＸ線を効率よく取り出すことができるＸ線管を提供す
ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願発明の構成は、Ｘ線を取り出すことができるＸ
線管において、前記Ｘ線管の外筒を貫通するように細管
束コリメータを配置し、前記Ｘ線管内で発生したＸ線を
該細管束コリメータにより平行又はほぼ平行にして外部
に取り出すことである。上記本願発明の構成により、Ｘ
線管に細管束コリメータを内蔵させることによって、Ｘ
線発生部位と細管束コリメータの入口までの距離を縮小
させることができる。更に、細管束コリメータの長さ
は、従来のピンホールを用いたコリメータの長さより大
幅に短くなる。このため、Ｘ線の距離減衰を著しく減少
させ、平行又はほぼ平行なＸ線の取り出し効率を大幅に
高めることができる。
め、本願発明の構成は、Ｘ線を取り出すことができるＸ
線管において、前記Ｘ線管の外筒を貫通するように細管
束コリメータを配置し、前記Ｘ線管内で発生したＸ線を
該細管束コリメータにより平行又はほぼ平行にして外部
に取り出すことである。上記本願発明の構成により、Ｘ
線管に細管束コリメータを内蔵させることによって、Ｘ
線発生部位と細管束コリメータの入口までの距離を縮小
させることができる。更に、細管束コリメータの長さ
は、従来のピンホールを用いたコリメータの長さより大
幅に短くなる。このため、Ｘ線の距離減衰を著しく減少
させ、平行又はほぼ平行なＸ線の取り出し効率を大幅に
高めることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本願発明の第１の実施の
形態の断面構造を示す。図１において、真空引き組立型
Ｘ線管１０の主要部は、熱陰極１１、ローター１２、外
筒１５及び細管束コリメータ２０からなる。真空引き組
立型Ｘ線管１０は、図示しない真空ポンプにより真空引
きされつつ動作するようになっている。熱陰極１１は、
電子線３１を発生するものである。陽極（対陰極、ター
ゲット）１３は、熱陰極１１と陽極１３間の高電圧（例
えば数十ｋＶ）で加速された電子線３１の衝突によりＸ
線３２を発生させるものである。ローター１２の回転軸
１４は回転可能に外筒１５に支持され、ローター１２の
側面が陽極１３となる。なお、Ｘ線３２の発生効率が低
く、陽極１３での熱損失が大きいので、陽極１３は、冷
却を容易にするため、上述のようにローター１２の側面
に形成されている。陽極１３のうち回転により電子線３
１のビーム下にきた部分が瞬間的に過熱され温度が上昇
する。ローター１２の回転軸１４は、図示しないモータ
ーにより毎分１万回程度回転させられる。また、回転軸
１４と外筒１５との間はオイルシールされている。
形態の断面構造を示す。図１において、真空引き組立型
Ｘ線管１０の主要部は、熱陰極１１、ローター１２、外
筒１５及び細管束コリメータ２０からなる。真空引き組
立型Ｘ線管１０は、図示しない真空ポンプにより真空引
きされつつ動作するようになっている。熱陰極１１は、
電子線３１を発生するものである。陽極（対陰極、ター
ゲット）１３は、熱陰極１１と陽極１３間の高電圧（例
えば数十ｋＶ）で加速された電子線３１の衝突によりＸ
線３２を発生させるものである。ローター１２の回転軸
１４は回転可能に外筒１５に支持され、ローター１２の
側面が陽極１３となる。なお、Ｘ線３２の発生効率が低
く、陽極１３での熱損失が大きいので、陽極１３は、冷
却を容易にするため、上述のようにローター１２の側面
に形成されている。陽極１３のうち回転により電子線３
１のビーム下にきた部分が瞬間的に過熱され温度が上昇
する。ローター１２の回転軸１４は、図示しないモータ
ーにより毎分１万回程度回転させられる。また、回転軸
１４と外筒１５との間はオイルシールされている。
【０００８】なお、陽極１３の物質は、モリブデン（Ｍ
ｏ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）、タン
グステン（Ｗ）等であり、陽極１３で発生するＸ線３２
は、白色Ｘ線（連続Ｘ線）又は陽極１３の物質に固有な
特性Ｘ線である。細管束コリメータ２０は、外筒１５の
コリメータ固定用孔１５ａに固定されている。細管束コ
リメータ２０の入口２１は陽極１３の近傍に配置され、
細管束コリメータ２０の出口２２は外筒１５の外側に配
置されている。細管束コリメータ２０は、長さが１０〜
３０ｍｍであり、径が２〜３ｍｍである。コリメータカ
バー１６は細管束コリメータ２０のうち外筒１５の外側
に出ている部分を被うように外筒１５に固定され、コリ
メータカバー１６の窓１７はベリリウム板等で形成され
ている。なお、外筒１５は、Ｘ線を通さない材質（例え
ば銅合金等）で形成され、カバー状のもの及び一体に形
成された内側及び外側の細部構造を含む。なお、外筒１
５の上側は、図示しないステンレス製の外筒で被われて
いる。
ｏ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）、タン
グステン（Ｗ）等であり、陽極１３で発生するＸ線３２
は、白色Ｘ線（連続Ｘ線）又は陽極１３の物質に固有な
特性Ｘ線である。細管束コリメータ２０は、外筒１５の
コリメータ固定用孔１５ａに固定されている。細管束コ
リメータ２０の入口２１は陽極１３の近傍に配置され、
細管束コリメータ２０の出口２２は外筒１５の外側に配
置されている。細管束コリメータ２０は、長さが１０〜
３０ｍｍであり、径が２〜３ｍｍである。コリメータカ
バー１６は細管束コリメータ２０のうち外筒１５の外側
に出ている部分を被うように外筒１５に固定され、コリ
メータカバー１６の窓１７はベリリウム板等で形成され
ている。なお、外筒１５は、Ｘ線を通さない材質（例え
ば銅合金等）で形成され、カバー状のもの及び一体に形
成された内側及び外側の細部構造を含む。なお、外筒１
５の上側は、図示しないステンレス製の外筒で被われて
いる。
【０００９】図３（ａ）は、上記細管束コリメータ２０
を拡大して示し、図３（ｂ）は細管束コリメータ２０に
使用する細管２３の断面構造を示す。図３において、細
管束コリメータ２０は多数の細管２３を束ねたものであ
る。細管２３は、Ｘ線吸収係数の大きな素材（例えばセ
ラミック、鉛ガラス等）で形成されている。なお、２４
は束ねた細管２３を被う外皮である。細管束コリメータ
２０の発散角αは、細管２３の長さをＬ，細管２３の内
径をＤとすると、 tan α＝Ｄ／Ｌ となる。なお、Ｌが５０ｍｍにて、Ｄは５０μｍ程度ま
で工業的に量産可能である。細管２３の断面積に対する
空孔部分の面積は４０〜５０％程度である。これを稠密
六角形に組付けると細管２３と細管２３の隙間も光路を
形成し、幾何学的な開口率は５０〜６０％となり、製作
誤差を考慮しても４０％以上の開口率は確保できる。
を拡大して示し、図３（ｂ）は細管束コリメータ２０に
使用する細管２３の断面構造を示す。図３において、細
管束コリメータ２０は多数の細管２３を束ねたものであ
る。細管２３は、Ｘ線吸収係数の大きな素材（例えばセ
ラミック、鉛ガラス等）で形成されている。なお、２４
は束ねた細管２３を被う外皮である。細管束コリメータ
２０の発散角αは、細管２３の長さをＬ，細管２３の内
径をＤとすると、 tan α＝Ｄ／Ｌ となる。なお、Ｌが５０ｍｍにて、Ｄは５０μｍ程度ま
で工業的に量産可能である。細管２３の断面積に対する
空孔部分の面積は４０〜５０％程度である。これを稠密
六角形に組付けると細管２３と細管２３の隙間も光路を
形成し、幾何学的な開口率は５０〜６０％となり、製作
誤差を考慮しても４０％以上の開口率は確保できる。
【００１０】以上の構成により、陽極１３では、電子線
３１により励起されてＸ線３２が発生する。このＸ線３
２は、細管束コリメータ２０の入口２１から細管束コリ
メータ２０に入ることによって細管束コリメータ２０の
出口２２から平行又はほぼ平行なＸ線３３として出てく
る。このとき、細管束コリメータ２０の入口２１が陽極
１３の近傍に配置されているので、Ｘ線３２、３３取り
出し距離が大幅に短縮される。このため、Ｘ線３２、３
３の距離減衰が著しく減少する。更に、細管束コリメー
タ２０の長さは、従来のピンホールを用いたコリメータ
の長さより大幅に短くなる。このため、Ｘ線３２、３３
の距離減衰を著しく減少させ、平行又はほぼ平行なＸ線
３３の取り出し効率を大幅に高めることができる。
３１により励起されてＸ線３２が発生する。このＸ線３
２は、細管束コリメータ２０の入口２１から細管束コリ
メータ２０に入ることによって細管束コリメータ２０の
出口２２から平行又はほぼ平行なＸ線３３として出てく
る。このとき、細管束コリメータ２０の入口２１が陽極
１３の近傍に配置されているので、Ｘ線３２、３３取り
出し距離が大幅に短縮される。このため、Ｘ線３２、３
３の距離減衰が著しく減少する。更に、細管束コリメー
タ２０の長さは、従来のピンホールを用いたコリメータ
の長さより大幅に短くなる。このため、Ｘ線３２、３３
の距離減衰を著しく減少させ、平行又はほぼ平行なＸ線
３３の取り出し効率を大幅に高めることができる。
【００１１】具体的に数値を挙げて従来例と比較すると
次のようになる。Ｘ線３３の取り出しビーム径が１．７
ｍｍであり、その発散角が０．３２°の場合、Ｘ線管１
０の条件は次のようになる。 陽極１３の大きさは１．７ｍｍ以下であり、細管束
コリメータ２０は、長さＬが１７．９ｍｍであり、細管
２３の内径Ｄが０．１ｍｍである。なお、陽極１３か
ら細管束コリメータ２０の入口２１までの距離（無効距
離）は５ｍｍとする。これに対し、上記図４の従来例で
は、同じくＸ線９３の取り出しビーム径が１．７ｍｍで
あり、その発散角が０．３２°の場合、Ｘ線管７０及び
コリメータ８０の条件は次のようになる。 陽極７２の大きさは１×１ｍｍであり、コリメータ
８０の出口８２におけるピンホールの径は１．７ｍｍで
あり、陽極７２とコリメータ８０の入口８１との距離
（無効距離）は２０ｍｍであり、コリメータ８０の長
さは２２０ｍｍである。
次のようになる。Ｘ線３３の取り出しビーム径が１．７
ｍｍであり、その発散角が０．３２°の場合、Ｘ線管１
０の条件は次のようになる。 陽極１３の大きさは１．７ｍｍ以下であり、細管束
コリメータ２０は、長さＬが１７．９ｍｍであり、細管
２３の内径Ｄが０．１ｍｍである。なお、陽極１３か
ら細管束コリメータ２０の入口２１までの距離（無効距
離）は５ｍｍとする。これに対し、上記図４の従来例で
は、同じくＸ線９３の取り出しビーム径が１．７ｍｍで
あり、その発散角が０．３２°の場合、Ｘ線管７０及び
コリメータ８０の条件は次のようになる。 陽極７２の大きさは１×１ｍｍであり、コリメータ
８０の出口８２におけるピンホールの径は１．７ｍｍで
あり、陽極７２とコリメータ８０の入口８１との距離
（無効距離）は２０ｍｍであり、コリメータ８０の長
さは２２０ｍｍである。
【００１２】以上により、Ｘ線管１０の従来例に対する
取り出しＸ線強度の向上は細管束コリメータの開口率を
仮に５０％とした場合、次のようになる。 （２０＋２２０）2 ／（１９．７＋５）2 ×０．５≒５
５倍 である。なお、従来例と同様に陽極１３と細管束コリメ
ータ２０の入口２１との距離を２０ｍｍとした場合でも （２０＋２２０）2 ／（１９．７＋２０）2 ×０．５≒
２０倍 となる。したがって、Ｘ線管１０は、特に、コスト面か
ら消費電力を上げにくい場合でも、Ｘ線３３のエネルギ
ーを大きくすることができる。
取り出しＸ線強度の向上は細管束コリメータの開口率を
仮に５０％とした場合、次のようになる。 （２０＋２２０）2 ／（１９．７＋５）2 ×０．５≒５
５倍 である。なお、従来例と同様に陽極１３と細管束コリメ
ータ２０の入口２１との距離を２０ｍｍとした場合でも （２０＋２２０）2 ／（１９．７＋２０）2 ×０．５≒
２０倍 となる。したがって、Ｘ線管１０は、特に、コスト面か
ら消費電力を上げにくい場合でも、Ｘ線３３のエネルギ
ーを大きくすることができる。
【００１３】図２は、本願発明の第２の実施の形態の断
面構造を示す。図２において、封入型Ｘ線管４０の主要
部は、熱陰極４１、陽極４２、外筒４３及び細管束コリ
メータ５０からなる。熱陰極４１は、電子線６１を発生
するものである。陽極４２は、高電圧で加速された電子
線６１の衝突によりＸ線６２を発生させるものであり、
外筒４３の陽極台座部４３ａに固定されている。なお、
陽極４２の材質は上記陽極１３の材質と同じである。細
管束コリメータ５０は、上記細管束コリメータ２０と同
様のものであり、外筒４３のコリメータ固定用孔４３ｃ
に固定されている。細管束コリメータ５０の入口５１は
陽極４２の近傍に配置され、細管束コリメータ５０の出
口５２は外筒４３の外側に配置されている。
面構造を示す。図２において、封入型Ｘ線管４０の主要
部は、熱陰極４１、陽極４２、外筒４３及び細管束コリ
メータ５０からなる。熱陰極４１は、電子線６１を発生
するものである。陽極４２は、高電圧で加速された電子
線６１の衝突によりＸ線６２を発生させるものであり、
外筒４３の陽極台座部４３ａに固定されている。なお、
陽極４２の材質は上記陽極１３の材質と同じである。細
管束コリメータ５０は、上記細管束コリメータ２０と同
様のものであり、外筒４３のコリメータ固定用孔４３ｃ
に固定されている。細管束コリメータ５０の入口５１は
陽極４２の近傍に配置され、細管束コリメータ５０の出
口５２は外筒４３の外側に配置されている。
【００１４】コリメータカバー４４は細管束コリメータ
５０のうち外筒４３の外側に出ている部分を被うように
外筒４３に固定され、コリメータカバー４４の窓４５は
ベリリウム板等で形成されている。なお、外筒４３内に
て陽極台座部４３ａ近傍に形成された冷却媒体通路４３
ｂ内を冷却媒体（例えば水）が流れることによって、陽
極４２の熱を逃がすこができるので、陽極４２の温度上
昇を許容範囲内に抑えることができる。なお、外筒４３
の材質は、上記外筒１５の材質と同じである。なお、外
筒４３の上側は図示しないガラス製外筒で被われてい
る。
５０のうち外筒４３の外側に出ている部分を被うように
外筒４３に固定され、コリメータカバー４４の窓４５は
ベリリウム板等で形成されている。なお、外筒４３内に
て陽極台座部４３ａ近傍に形成された冷却媒体通路４３
ｂ内を冷却媒体（例えば水）が流れることによって、陽
極４２の熱を逃がすこができるので、陽極４２の温度上
昇を許容範囲内に抑えることができる。なお、外筒４３
の材質は、上記外筒１５の材質と同じである。なお、外
筒４３の上側は図示しないガラス製外筒で被われてい
る。
【００１５】以上の構成により、上記第１の実施の形態
と同様に細管束コリメータ５０の出口５２から効率よく
平行又はほぼ平行なＸ線６３を取り出すことができる。
なお、図２において二点鎖線で示す細管束コリメータ５
０ａ（前記細管束コリメータ５０と同様のもの）は、上
記従来例と同様に外筒４３の外側に配置されたものであ
る。なお、この場合、外筒４３の開口部４３ｄにベリリ
ウム等の窓４６が形成されている。この場合は、細管束
コリメータ５０ａの入口５１ａとＸ線６４を発生する陽
極４２との距離（無効距離）が長くなるので、Ｘ線６４
の距離減衰が大きくなる。このため、細管束コリメータ
５０ａの出口５２ａから平行又はほぼ平行なＸ線６５の
取出し効率は本願発明より大幅に低下せざるを得ない。
なお、上記各実施の形態において、Ｘ線管内に可視光線
を内蔵し、この可視光線をコリメータから外部に取り出
すようにすると、Ｘ線照射方向を容易に可視光線で示す
ことができる。
と同様に細管束コリメータ５０の出口５２から効率よく
平行又はほぼ平行なＸ線６３を取り出すことができる。
なお、図２において二点鎖線で示す細管束コリメータ５
０ａ（前記細管束コリメータ５０と同様のもの）は、上
記従来例と同様に外筒４３の外側に配置されたものであ
る。なお、この場合、外筒４３の開口部４３ｄにベリリ
ウム等の窓４６が形成されている。この場合は、細管束
コリメータ５０ａの入口５１ａとＸ線６４を発生する陽
極４２との距離（無効距離）が長くなるので、Ｘ線６４
の距離減衰が大きくなる。このため、細管束コリメータ
５０ａの出口５２ａから平行又はほぼ平行なＸ線６５の
取出し効率は本願発明より大幅に低下せざるを得ない。
なお、上記各実施の形態において、Ｘ線管内に可視光線
を内蔵し、この可視光線をコリメータから外部に取り出
すようにすると、Ｘ線照射方向を容易に可視光線で示す
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】本願発明により細管束コリメータをＸ線
管に内蔵させることによりＸ線管から平行又はほぼ平行
なＸ線を取り出す効率を大幅に高めることができ、ま
た、Ｘ線回折の回折角の調節が容易になる。このため、
Ｘ線回折において、Ｘ線回折の分析精度を向上させるこ
とができるとともに、測定時間を短縮することができ
る。
管に内蔵させることによりＸ線管から平行又はほぼ平行
なＸ線を取り出す効率を大幅に高めることができ、ま
た、Ｘ線回折の回折角の調節が容易になる。このため、
Ｘ線回折において、Ｘ線回折の分析精度を向上させるこ
とができるとともに、測定時間を短縮することができ
る。
【図１】本願発明の第１の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図２】本願発明の第２の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図３】前記各実施の形態に使用する細管束コリメータ
の説明図である。
の説明図である。
【図４】従来例の説明図である。
１０ Ｘ線管 １３ 陽極 １５ 外筒 ２０ 細管束コリメータ ２３ 細管束コリメータの細管 ３２、３３ Ｘ線 ４０ Ｘ線管 ４２ 陽極 ５０ 細管束コリメータ ６２、６３ Ｘ線
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線を取り出すことができるＸ線管にお
いて、 前記Ｘ線管の外筒を貫通するように細管束コリメータを
配置し、前記Ｘ線管内で発生したＸ線を該細管束コリメ
ータにより平行又はほぼ平行にして外部に取り出すこと
を特徴とするＸ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34107695A JPH09180661A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34107695A JPH09180661A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09180661A true JPH09180661A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18343031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34107695A Pending JPH09180661A (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09180661A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007287643A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-11-01 | Tomohei Sakabe | Ｘ線発生方法及びｘ線発生装置 |
| JP2016080607A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線照射装置 |
-
1995
- 1995-12-27 JP JP34107695A patent/JPH09180661A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007287643A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-11-01 | Tomohei Sakabe | Ｘ線発生方法及びｘ線発生装置 |
| JP2016080607A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線照射装置 |
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