JPH09181555A - Piezoelectric resonator - Google Patents

Piezoelectric resonator

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JPH09181555A
JPH09181555A JP34011895A JP34011895A JPH09181555A JP H09181555 A JPH09181555 A JP H09181555A JP 34011895 A JP34011895 A JP 34011895A JP 34011895 A JP34011895 A JP 34011895A JP H09181555 A JPH09181555 A JP H09181555A
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JP
Japan
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electrode
piezoelectric
piezoelectric resonator
partial electrode
resonance frequency
Prior art date
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Pending
Application number
JP34011895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Yoshimura
健一 吉村
Makoto Higashibetsupu
誠 東別府
Harumi Hayashi
春美 林
Katsutoshi Fukuda
勝利 福田
Katsuhiko Onizuka
克彦 鬼塚
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】共振周波数の温度特性が悪化し、圧電共振子を
用いてフィルタを形成した場合、使用温度の変動により
通過帯域が変動するという問題があった。 【解決手段】平面形状が正方形の焼結体の四隅を切除し
てなる圧電セラミック基板の片面に、正方形形状の部分
電極を形成するとともに、前記圧電セラミック基板の他
面に全面電極を形成してなる圧電共振子であって、前記
部分電極の対角方向の長さをy1 、前記部分電極の対角
方向における前記全面電極の長さをy2 としたとき、
0.4≦(y2 −y1 )/y1 ≦1.0を満足するもの
である。
(57) [Abstract] [Problem] There is a problem that the temperature characteristic of the resonance frequency is deteriorated, and when a filter is formed by using a piezoelectric resonator, the pass band is changed due to a change in operating temperature. A square partial electrode is formed on one surface of a piezoelectric ceramic substrate formed by cutting out four corners of a sintered body having a square planar shape, and a full surface electrode is formed on the other surface of the piezoelectric ceramic substrate. When the length of the partial electrode in the diagonal direction is y 1 and the length of the full surface electrode in the diagonal direction of the partial electrode is y 2 ,
It satisfies 0.4 ≦ (y 2 −y 1 ) / y 1 ≦ 1.0.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、拡がり振動モード
を利用した圧電共振子に関するもので、例えば、カース
テレオ,コードレス電話,ページャ等の移動体通信で用
いられる圧電共振子に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric resonator using a spreading vibration mode, and more particularly to a piezoelectric resonator used in mobile communication such as car stereos, cordless telephones and pagers.

【0002】[0002]

【従来技術】近年、映像信号や音声信号など通信情報量
の大容量化や、自動車電話、移動体通信など通信端末の
多様化に伴い、高選択、低損失、高信頼性のフィルタが
求められ、このようなフィルタに適した圧電磁器の開発
が望まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in the amount of communication information such as video signals and audio signals and the diversification of communication terminals such as car phones and mobile communications, a filter with high selection, low loss and high reliability is required. Development of a piezoelectric ceramic suitable for such a filter is desired.

【0003】従来、この種の圧電磁器として、Pb(Z
r,Ti)O3 系圧電磁器が用いられており、比誘電
率、電気機械的結合係数Kp、機械的品質係数Qm等の
特性を向上させるために従来より組成的に各種の改良が
行われている。
Conventionally, Pb (Z
(r, Ti) O 3 -based piezoelectric ceramics are used, and various improvements in composition are conventionally made in order to improve characteristics such as relative dielectric constant, electromechanical coupling coefficient Kp, and mechanical quality coefficient Qm. ing.

【0004】また、このような圧電素子は、最近では電
子部品のチップ化に伴い、基板への表面実装可能で、ま
た、移動体通信ではチャンネル不足を補う手段としてア
ナログ方式よりデジタル伝送方式として周波数の多重、
時分割を行い、群遅延時間特性のよいセラミックフィル
タが望まれており、その開発が進められている。
In recent years, such a piezoelectric element can be surface-mounted on a substrate with the development of electronic component chips. In mobile communication, as a means for compensating for a shortage of channels, a digital transmission system is used instead of an analog system. Multiplex of
A ceramic filter which performs time division and has good group delay time characteristics is desired, and its development is being promoted.

【0005】従来、kHz帯セラミックフィルタとして
圧電共振子を用いる際、その形状、寸法により中心周波
数を調整したり、あるいは正方形状圧電共振子の四隅を
切除してカット部を形成し、これにより中心周波数を調
整することが行われている(実開昭63−12191号
公報参照)。
Conventionally, when a piezoelectric resonator is used as a kHz band ceramic filter, the center frequency is adjusted depending on its shape and dimensions, or four corners of a square piezoelectric resonator are cut off to form cut portions, thereby forming a center portion. The frequency is adjusted (see Japanese Utility Model Laid-Open No. 63-12191).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】一般に、コードレス電
話、ページャ等の移動体通信に対応するためのセラミッ
クフィルタの圧電第一共振子においては、静電容量が小
さいことおよび使用温度範囲において、共振周波数の温
度特性が良好であることが要求される。ここで、静電容
量をより小さくするために、圧電振動子の片面の電極を
部分電極とすることが必要となる。しかしながら、片面
を部分電極として共振子を形成すると、使用温度範囲に
おいて共振周波数の温度特性が悪化するという問題があ
った。このため、上記圧電共振子を用いてフィルタを形
成した場合、使用温度の変動によって通過帯域が変動し
てしまうという問題があった。
Generally, in a piezoelectric first resonator of a ceramic filter for mobile communication such as a cordless telephone and a pager, the resonance frequency is low in the capacitance range and the operating temperature range. Must have good temperature characteristics. Here, in order to further reduce the electrostatic capacitance, it is necessary to use the electrodes on one surface of the piezoelectric vibrator as partial electrodes. However, when a resonator is formed by using one surface as a partial electrode, there is a problem that the temperature characteristics of the resonance frequency deteriorate in the operating temperature range. Therefore, when a filter is formed by using the above-mentioned piezoelectric resonator, there is a problem that the pass band changes due to a change in operating temperature.

【0007】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、静電容量が小さく、かつ、使用温度範囲に
おいて共振周波数の温度特性が良好な圧電共振子を提供
することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric resonator having a small capacitance and a good temperature characteristic of a resonance frequency in an operating temperature range. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の圧電共振子は、
平面形状が正方形の焼結体の四隅を切除してなる圧電セ
ラミック基板の片面に、正方形形状の部分電極を形成す
るとともに、前記圧電セラミック基板の他面に全面電極
を形成してなる圧電共振子であって、前記部分電極の対
角方向の長さをy1 、前記部分電極の対角方向における
前記全面電極の長さをy2 としたとき、0.4≦(y2
−y1 )/y1 ≦1.0を満足するものである。
According to the present invention, there is provided a piezoelectric resonator comprising:
A piezoelectric resonator in which a square partial electrode is formed on one surface of a piezoelectric ceramic substrate formed by cutting out four corners of a sintered body having a square planar shape, and an entire surface electrode is formed on the other surface of the piezoelectric ceramic substrate. Where y 1 is the length of the partial electrode in the diagonal direction and y 2 is the length of the full surface electrode in the diagonal direction of the partial electrode, 0.4 ≦ (y 2
-Y 1 ) / y 1 ≦ 1.0 is satisfied.

【0009】[0009]

【作用】本発明の圧電共振子では、部分電極を形成する
ことにより静電容量をより小さくすることができるとと
もに、正方形形状の振動子の四隅を切除し、さらに正方
形形状の部分電極の対角方向の長さをy1 、部分電極の
対角方向における全面電極の長さをy2 としたとき、
0.4≦(y2 −y1 )/y1 ≦1.0を満足させたの
で、共振周波数の温度特性を向上することができる。こ
れは、圧電セラミック基板の上下面において低温領域で
発生する応力の非対称性を最小限に抑制できるからであ
ると考えられる。
In the piezoelectric resonator of the present invention, the capacitance can be made smaller by forming the partial electrodes, the four corners of the square-shaped vibrator are cut off, and the diagonal of the square-shaped partial electrode is further cut. When the length in the direction is y 1 and the length of the entire surface electrode in the diagonal direction of the partial electrode is y 2 ,
Since 0.4 ≦ (y 2 −y 1 ) / y 1 ≦ 1.0 is satisfied, the temperature characteristic of the resonance frequency can be improved. It is considered that this is because the asymmetry of stress generated in the low temperature region on the upper and lower surfaces of the piezoelectric ceramic substrate can be minimized.

【0010】また、本発明の圧電共振子では、共振周波
数Fr、反共振周波数Faの変化が小さくなり、リップ
ル(異常共振点)の発生位置を、使用する周波数帯、例
えば、455kHz帯近傍から低周波側へ移動させ、さ
らに短辺方向振動によるスプリアスを小さくすることが
できる。
Further, in the piezoelectric resonator of the present invention, the changes of the resonance frequency Fr and the anti-resonance frequency Fa become small, and the position of the ripple (abnormal resonance point) is lowered from the frequency band to be used, for example, near the 455 kHz band. By moving to the frequency side, it is possible to further reduce the spurious due to the short side vibration.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の圧電共振子では、部分電
極の対角方向の長さをy1 、部分電極の対角方向におけ
る全面電極の長さをy2 としたとき、0.4≦(y2
1 )/y1≦1.0を満足するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the piezoelectric resonator of the present invention, when the diagonal length of the partial electrode is y 1 and the full length electrode of the partial electrode in the diagonal direction is y 2 , 0.4 ≦ (y 2 -
y 1 ) / y 1 ≦ 1.0 is satisfied.

【0012】このように、(y2 −y1 )/y1 を1以
下としたのは、この値が1よりも大きいと低温側での共
振周波数と高温側での共振周波数の差が大きくなり、共
振周波数の温度特性が劣化するからである。共振周波数
の温度特性を良好にするという観点から、0.4≦(y
2 −y1 )/y1 ≦0.8の範囲、特には0.4〜0.
7が望ましい。
As described above, (y 2 −y 1 ) / y 1 is set to 1 or less because when this value is larger than 1, the difference between the resonance frequency on the low temperature side and the resonance frequency on the high temperature side is large. This is because the temperature characteristics of the resonance frequency deteriorate. From the viewpoint of improving the temperature characteristics of the resonance frequency, 0.4 ≦ (y
2− y 1 ) / y 1 ≦ 0.8, particularly 0.4 to 0.
7 is desirable.

【0013】また、本発明の圧電セラミック基板は、例
えば、Pb(Zr,Ti)O3 を主成分とするものが好
ましい。例えば、Pb(Zr,Ti)O3 のPb、Z
r、Tiの一部をBa等のアルカリ土類金属,Nb等の
周期律表第5a族元素、Y等の希土類元素,Cr等の周
期律表第6a族元素等で置換したものが用いられる。
Further, the piezoelectric ceramic substrate of the present invention preferably contains, for example, Pb (Zr, Ti) O 3 as a main component. For example, Pb (Zr, Ti) O 3 Pb, Z
A part of r, Ti is substituted with an alkaline earth metal such as Ba, a group 5a element of the periodic table such as Nb, a rare earth element such as Y, or a group 6a element of the periodic table such as Cr is used. .

【0014】[0014]

【実施例】図1および図2に本発明の圧電共振子を示
す。図1において、符号1はPb(Zr,Ti)O3
主成分とする圧電セラミック基板を示している。この圧
電セラミック基板1は、図3に示すような平面形状が正
方形の焼結体2の四隅が等量ずつ(aだけ)切除されて
形成されている。この圧電セラミック基板1の片面に
は、焼結体2の平面形状と相似する正方形状の部分電極
4が形成されており、他面には全面電極5が形成されて
いる。
1 and 2 show a piezoelectric resonator of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a piezoelectric ceramic substrate containing Pb (Zr, Ti) O 3 as a main component. This piezoelectric ceramic substrate 1 is formed by cutting four corners of a sintered body 2 having a square planar shape as shown in FIG. 3 in equal amounts (a). A square partial electrode 4 similar to the planar shape of the sintered body 2 is formed on one surface of the piezoelectric ceramic substrate 1, and a full surface electrode 5 is formed on the other surface.

【0015】そして、本発明の圧電共振子では、図4に
示すように、部分電極4の対角方向の長さをy1 、部分
電極4の対角方向における全面電極5の長さをy2 とし
たとき、0.4≦(y2 −y1 )/y1 ≦1.0を満足
するものである。
In the piezoelectric resonator of the present invention, as shown in FIG. 4, the diagonal length of the partial electrode 4 is y 1 , and the full length electrode 5 of the partial electrode 4 in the diagonal direction is y. When it is set to 2 , 0.4 ≦ (y 2 −y 1 ) / y 1 ≦ 1.0 is satisfied.

【0016】本発明者等は、本発明の効果を確認すべ
く、圧電セラミック基板1の寸法(焼結体2の寸法
l)、焼結体2の切除量(t)、部分電極4の寸法
(b)、および(y2 −y1 )/y1 の値を変化させ、
静電容量および共振周波数の温度特性について調査し
た。
In order to confirm the effects of the present invention, the present inventors have measured the size of the piezoelectric ceramic substrate 1 (the size 1 of the sintered body 2), the cut amount (t) of the sintered body 2, and the size of the partial electrode 4. (B) and (y 2 −y 1 ) / y 1 are changed,
The temperature characteristics of capacitance and resonance frequency were investigated.

【0017】先ず、出発原料として、純度99.5%以
上、平均粒径が1.0〜3.0μmの市販のPbO、T
iO2 、ZrO2 、Nb2 5 、Y2 3 、Cr2 3
およびBaCO3 の各粉末を所定量秤量し、ボールミル
にて湿式混合後乾燥し、これを仮焼した。これをボール
ミルにて湿式粉砕した後、有機系粘結剤を添加して加圧
成形し、この成形体を酸化性雰囲気にて焼成し、組成式
(Pb0.97Ba0.03)(Nb0.525 Cr0.285 0.190)
0.05Ti0.494 Zr0.456 3 で表される平面形状が
正方形の焼結体を作製した。
First, as starting materials, commercially available PbO and T having a purity of 99.5% or more and an average particle size of 1.0 to 3.0 μm are used.
iO 2 , ZrO 2 , Nb 2 O 5 , Y 2 O 3 , Cr 2 O 3
A predetermined amount of each powder of BaCO 3 and BaCO 3 was weighed, wet mixed in a ball mill, dried, and calcined. After wet pulverizing this with a ball mill, an organic binder is added and pressure molding is performed, and this molded body is fired in an oxidizing atmosphere to obtain a composition formula (Pb 0.97 Ba 0.03 ) (Nb 0.525 Cr 0.285 Y 0.190 )
A sintered body having a square planar shape represented by 0.05 Ti 0.494 Zr 0.456 O 3 was produced.

【0018】これを厚みが0.5mmに研摩し、その片
面に、1辺が表1に示す長さbで厚み10μmの正方形
状の部分電極、他面に厚み10μmの全面電極を形成し
た。
This was ground to a thickness of 0.5 mm, and a square partial electrode having a length b shown in Table 1 and a thickness of 10 μm was formed on one surface, and a full-scale electrode having a thickness of 10 μm was formed on the other surface.

【0019】電極は、Agjガラスからなるペーストを
塗布し、乾燥した後、520℃で焼き付けて電極を形成
した。これを80℃の絶縁油中に浸漬し、両端面に3k
V/mmの直流電圧を30分印加して分極処理した。こ
の後、分極安定状態の安定化のため、220℃、1時間
の熱処理を行った。
For the electrodes, a paste made of Agj glass was applied, dried and then baked at 520 ° C. to form the electrodes. Immerse this in insulating oil at 80 ° C and apply 3k to both end surfaces.
A DC voltage of V / mm was applied for 30 minutes for polarization treatment. Then, heat treatment was performed at 220 ° C. for 1 hour to stabilize the polarization stable state.

【0020】次に、この圧電磁器を、一辺の長さlが表
1に示すように4.6,4.8、5.0mmである平面
形状が正方形を有する角板状に切断加工し、圧電共振子
の試料を得た。
Next, this piezoelectric ceramic was cut into a square plate having a square planar shape with a side length l of 4.6, 4.8 and 5.0 mm as shown in Table 1, A sample of the piezoelectric resonator was obtained.

【0021】そして、試料の四隅を、表1に示すように
等量(t)ずつ斜めに切除し、カット部を形成した。こ
のカット部の切除量tは、図3における正方形状の頂角
からの距離である。
Then, the four corners of the sample were obliquely cut by equal amounts (t) as shown in Table 1 to form cut portions. The cut amount t of the cut portion is the distance from the square-shaped apex angle in FIG.

【0022】この後、各圧電共振子の電気機械結合係数
Kpをインピーダンスアナライザー(4194A)で測
定周波数350〜550kHzで測定した共振周波数と
反共振周波数の値から計算により求めた。また、静電容
量をインピーダンスアナライザー(4194A)で測定
周波数1kHzで測定した。さらに、25℃と−30℃
における共振周波数を求め、25℃における共振周波数
をf(25)、−30℃における共振周波数をf(−3
0)とした。また共振周波数の温度特性としてf(2
5)−f(−30)を計算により求めた。この結果を表
1に記載する。
After that, the electromechanical coupling coefficient Kp of each piezoelectric resonator was calculated from the values of the resonance frequency and the anti-resonance frequency measured at a measurement frequency of 350 to 550 kHz by an impedance analyzer (4194A). The capacitance was measured with an impedance analyzer (4194A) at a measurement frequency of 1 kHz. Furthermore, 25 ℃ and -30 ℃
, The resonance frequency at 25 ° C. is f (25), and the resonance frequency at −30 ° C. is f (−3).
0). In addition, f (2
5) -f (-30) was calculated. Table 1 shows the results.

【0023】[0023]

【表1】 [Table 1]

【0024】この表1から、本発明の範囲内の試料で
は、静電容量が小さく、共振周波数の温度特性f(2
5)−f(−30)が1kHzより小さい優れた特性を
有することが判る。
From Table 1, in the samples within the range of the present invention, the capacitance is small and the temperature characteristic f (2) of the resonance frequency is
5) It can be seen that -f (-30) has excellent characteristics of less than 1 kHz.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の圧電共振子
は、使用温度範囲において、静電容量が小さく、さらに
共振周波数の温度特性が良好であり、共振周波数Fr、
反共振周波数Faの変化が小さくなり、リップル(異常
共振点)の発生位置を、使用する周波数帯、例えば、4
55kHz帯近傍から低周波側へ移動させ、さらに短辺
方向振動によるスプリアスを小さくすることができ、コ
ードレス電話、ページャ等の移動体通信に対応するため
のセラミックフィルタの圧電第一共振子に最適な圧電共
振子を得ることができる。
As described in detail above, the piezoelectric resonator of the present invention has a small capacitance and a good temperature characteristic of the resonance frequency in the operating temperature range, and the resonance frequency Fr,
The change in the anti-resonance frequency Fa becomes small, and the position where the ripple (abnormal resonance point) occurs is determined by the frequency band used, for example
It is possible to move from the vicinity of 55 kHz band to the low frequency side and further reduce the spurious due to vibration in the short side direction, which is most suitable for the piezoelectric first resonator of the ceramic filter for mobile communication such as cordless telephones and pagers. A piezoelectric resonator can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の圧電共振子を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a piezoelectric resonator of the present invention.

【図2】図1の側面図である。FIG. 2 is a side view of FIG.

【図3】正方形状の圧電セラミック基板を示す平面図で
ある。
FIG. 3 is a plan view showing a square piezoelectric ceramic substrate.

【図4】本発明の圧電共振子の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the piezoelectric resonator of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・圧電セラミック基板 2・・・焼結体 4・・・部分電極 5・・・全面電極 1 ... Piezoelectric ceramic substrate 2 ... Sintered body 4 ... Partial electrode 5 ... Full surface electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福田 勝利 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内 (72)発明者 鬼塚 克彦 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Satoshi Fukuda 1-4 Yamashita-cho, Kokubun-shi, Kagoshima Inside Kyocera Stock Company Research Institute (72) Inventor Katsuhiko Onizuka 1-4-4 Yamashita-cho, Kokubun-shi, Kagoshima Kyocera Corporation Shikisha Research Institute

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平面形状が正方形の焼結体の四隅を切除し
てなる圧電セラミック基板の片面に、正方形形状の部分
電極を形成するとともに、前記圧電セラミック基板の他
面に全面電極を形成してなる圧電共振子であって、前記
部分電極の対角方向の長さをy1 、前記部分電極の対角
方向における前記全面電極の長さをy2としたとき、
0.4≦(y2 −y1 )/y1 ≦1.0を満足すること
を特徴とする圧電共振子。
1. A square-shaped partial electrode is formed on one surface of a piezoelectric ceramic substrate formed by cutting four corners of a sintered body having a square planar shape, and a full-scale electrode is formed on the other surface of the piezoelectric ceramic substrate. When the length of the partial electrode in the diagonal direction is y 1 and the length of the full surface electrode in the diagonal direction of the partial electrode is y 2 ,
A piezoelectric resonator characterized by satisfying 0.4 ≦ (y 2 −y 1 ) / y 1 ≦ 1.0.
JP34011895A 1995-12-27 1995-12-27 Piezoelectric resonator Pending JPH09181555A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009094560A (en) * 2007-10-03 2009-04-30 Murata Mfg Co Ltd Piezoelectric vibration device, oscillation circuit element, and electronic equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009094560A (en) * 2007-10-03 2009-04-30 Murata Mfg Co Ltd Piezoelectric vibration device, oscillation circuit element, and electronic equipment

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